JPH05121809A - パルスレーザ用電源装置 - Google Patents
パルスレーザ用電源装置Info
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- JPH05121809A JPH05121809A JP27804091A JP27804091A JPH05121809A JP H05121809 A JPH05121809 A JP H05121809A JP 27804091 A JP27804091 A JP 27804091A JP 27804091 A JP27804091 A JP 27804091A JP H05121809 A JPH05121809 A JP H05121809A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 グロー放電発生後に主電極間に不要な電圧が
発生することを防止し、安定した動作を実現できるパル
スレーザ用電源装置を得る。 【構成】 一対の主電極1,2と予備電離用コンデンサ
Cpの間に、前記主電極1,2と並列に、充電電圧と順
方向の電圧を吸収するスイッチング素子10と、充電電
圧と逆方向の電圧を吸収する整流素子11を接続する。
発生することを防止し、安定した動作を実現できるパル
スレーザ用電源装置を得る。 【構成】 一対の主電極1,2と予備電離用コンデンサ
Cpの間に、前記主電極1,2と並列に、充電電圧と順
方向の電圧を吸収するスイッチング素子10と、充電電
圧と逆方向の電圧を吸収する整流素子11を接続する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電源回路構成に改良を
施したパルスレーザ用電源装置に関するものである。
施したパルスレーザ用電源装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】放電励起方式のガスレーザ装置では、レ
ーザガス中で空間的に均一なグロー放電を発生させてレ
ーザ発振を得ているが、横方向励起パルスCO2 レーザ
やエキシマレーザを始めとするパルスレーザ発振装置で
は、レーザガス圧力が大気圧以上であり、さらに、電子
付着性の強いガス成分を含んでいるため、上記グロー放
電を均一に点弧することは困難である。このため、グロ
ー放電点弧に先立って予備電離を行うと共に、高速のパ
ルス電圧を放電部に印加してグロー放電を形成するのが
一般的である。
ーザガス中で空間的に均一なグロー放電を発生させてレ
ーザ発振を得ているが、横方向励起パルスCO2 レーザ
やエキシマレーザを始めとするパルスレーザ発振装置で
は、レーザガス圧力が大気圧以上であり、さらに、電子
付着性の強いガス成分を含んでいるため、上記グロー放
電を均一に点弧することは困難である。このため、グロ
ー放電点弧に先立って予備電離を行うと共に、高速のパ
ルス電圧を放電部に印加してグロー放電を形成するのが
一般的である。
【0003】図4は、従来のパルスレーザ用電源装置の
一例を示したものである。即ち、一対の主電極1,2が
対向して配設され、主電極1,2で囲まれた空間内にレ
ーザガスが充填されている。また、主電極1,2間に
は、予備電離用のコンデンサCpがギャップ3を介して
並列に接続され、主電極2は接地されている。さらに、
前記予備電離用コンデンサCpには、可飽和リアクトル
S2 とコンデンサC2 からなる梯子型回路が接続されて
おり、又、コンデンサC2 には可飽和リアクトルS1 と
コンデンサC1 からなる梯子型回路が接続されている。
さらに、コンデンサC1 は、インダクタンスLとサイリ
スタスイッチT及びコンデンサC0 からなる閉回路を構
成している。また、コンデンサC0 は抵抗Rを介して高
圧電源(図示せず)に接続されている。
一例を示したものである。即ち、一対の主電極1,2が
対向して配設され、主電極1,2で囲まれた空間内にレ
ーザガスが充填されている。また、主電極1,2間に
は、予備電離用のコンデンサCpがギャップ3を介して
並列に接続され、主電極2は接地されている。さらに、
前記予備電離用コンデンサCpには、可飽和リアクトル
S2 とコンデンサC2 からなる梯子型回路が接続されて
おり、又、コンデンサC2 には可飽和リアクトルS1 と
コンデンサC1 からなる梯子型回路が接続されている。
さらに、コンデンサC1 は、インダクタンスLとサイリ
スタスイッチT及びコンデンサC0 からなる閉回路を構
成している。また、コンデンサC0 は抵抗Rを介して高
圧電源(図示せず)に接続されている。
【0004】なお、これらのコンデンサ,インダクタン
ス及び可飽和リアクトル類は、一つもしくは複数個が並
列に接続されて構成されている。また、主電極1,2間
の紙面垂直方向には、光共振器(図示せず)が配設され
ている。
ス及び可飽和リアクトル類は、一つもしくは複数個が並
列に接続されて構成されている。また、主電極1,2間
の紙面垂直方向には、光共振器(図示せず)が配設され
ている。
【0005】この様に構成された従来のパルスレーザ用
電源装置の動作を、図4及び図5に基づいて説明する。
即ち、初期状態においては、サイリスタスイッチTは開
いており、高圧電源ー充電抵抗RーコンデンサC0 ー接
地の経路でコンデンサC0 は充電されている。一方、コ
ンデンサC1 ,C2 ,Cpは充電されていないので、主
電極1は接地電位となっている。次いで、サイリスタス
イッチTが閉じられると、コンデンサC0の電荷は、サ
イリスタスイッチT,インダクタンスLを介してコンデ
ンサC1 に移行する。
電源装置の動作を、図4及び図5に基づいて説明する。
即ち、初期状態においては、サイリスタスイッチTは開
いており、高圧電源ー充電抵抗RーコンデンサC0 ー接
地の経路でコンデンサC0 は充電されている。一方、コ
ンデンサC1 ,C2 ,Cpは充電されていないので、主
電極1は接地電位となっている。次いで、サイリスタス
イッチTが閉じられると、コンデンサC0の電荷は、サ
イリスタスイッチT,インダクタンスLを介してコンデ
ンサC1 に移行する。
【0006】コンデンサC1 の電圧V1 が可飽和リアク
トルS1 の動作電圧に達するまでは、可飽和リアクトル
S1 のインピーダンスが大きいため、コンデンサC0 の
電荷のほとんどはコンデンサC1 に流れ、コンデンサC
2 には移行しない。次に、コンデンサC1 の電圧V1 が
可飽和リアクトルS1 の動作電圧に達すると、可飽和リ
アクトルS1 のインピーダンスは急激に低下するため、
コンデンサC1 の電荷はコンデンサC2 に移行する。
トルS1 の動作電圧に達するまでは、可飽和リアクトル
S1 のインピーダンスが大きいため、コンデンサC0 の
電荷のほとんどはコンデンサC1 に流れ、コンデンサC
2 には移行しない。次に、コンデンサC1 の電圧V1 が
可飽和リアクトルS1 の動作電圧に達すると、可飽和リ
アクトルS1 のインピーダンスは急激に低下するため、
コンデンサC1 の電荷はコンデンサC2 に移行する。
【0007】ここで、各コンデンサ容量が等しい場合
は、可飽和リアクトルS1 の動作時のインダクタンスを
インダクタンスLの値よりも小さくすると、図5に示し
た様に、コンデンサC2 の電圧V2 の立上がり時間は、
コンデンサC1 の電圧V1 の立上がり時間よりも速くな
る。
は、可飽和リアクトルS1 の動作時のインダクタンスを
インダクタンスLの値よりも小さくすると、図5に示し
た様に、コンデンサC2 の電圧V2 の立上がり時間は、
コンデンサC1 の電圧V1 の立上がり時間よりも速くな
る。
【0008】次に、コンデンサC2 の電圧V2 が可飽和
リアクトルS2 の動作電圧に達すると、可飽和リアクト
ルS2 のインピーダンスは急激に低下するため、コンデ
ンサC2 の電荷は予備電離用コンデンサCpに移行す
る。この際、予備電離用コンデンサCp間のギャップ3
にスパーク放電が発生し、ここから出る紫外線によって
主電極1,2間のレーザガスが予備電離される。この場
合、予備電離用コンデンサCpの電圧波形は、図5のV
pに示した様に変化し、主電極1,2間に加わる電圧
が、レーザガスの放電破壊電圧に達した時点で、主電極
1,2間にグロー放電が形成され、レーザガスが励起さ
れて、図示していない光共振器の作用でレーザ光が紙面
垂直方向に出射される。
リアクトルS2 の動作電圧に達すると、可飽和リアクト
ルS2 のインピーダンスは急激に低下するため、コンデ
ンサC2 の電荷は予備電離用コンデンサCpに移行す
る。この際、予備電離用コンデンサCp間のギャップ3
にスパーク放電が発生し、ここから出る紫外線によって
主電極1,2間のレーザガスが予備電離される。この場
合、予備電離用コンデンサCpの電圧波形は、図5のV
pに示した様に変化し、主電極1,2間に加わる電圧
が、レーザガスの放電破壊電圧に達した時点で、主電極
1,2間にグロー放電が形成され、レーザガスが励起さ
れて、図示していない光共振器の作用でレーザ光が紙面
垂直方向に出射される。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た様な従来のパルスレーザ用電源装置においては、時刻
t2 において主電極1,2間にグロー放電が形成され、
消滅した後に、各コンデンサに残留する電荷の影響で、
再び可飽和リアクトルが動作し、図5中Vp2 で示した
様な電圧が主電極1,2間に加わる場合がある。その結
果、時刻t4 で主電極1,2間にアーク放電が発生し、
電極の消耗を引き起こし、また、レーザ出力の低下を招
いていた。そのため、長期間にわたる繰り返し運転が困
難となり、また、長寿命化が実現できなかった。
た様な従来のパルスレーザ用電源装置においては、時刻
t2 において主電極1,2間にグロー放電が形成され、
消滅した後に、各コンデンサに残留する電荷の影響で、
再び可飽和リアクトルが動作し、図5中Vp2 で示した
様な電圧が主電極1,2間に加わる場合がある。その結
果、時刻t4 で主電極1,2間にアーク放電が発生し、
電極の消耗を引き起こし、また、レーザ出力の低下を招
いていた。そのため、長期間にわたる繰り返し運転が困
難となり、また、長寿命化が実現できなかった。
【0010】本発明は、上記の様な従来技術の欠点を解
消するために提案されたもので、その目的は、グロー放
電発生後に主電極間に不要な電圧が発生することを防止
し、安定した動作を実現することができるパルスレーザ
用電源装置を提供することにある。
消するために提案されたもので、その目的は、グロー放
電発生後に主電極間に不要な電圧が発生することを防止
し、安定した動作を実現することができるパルスレーザ
用電源装置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、対向して配置された一対の主電極間に予備電離用コ
ンデンサを接続し、前記予備電離用のコンデンサに可飽
和リアクトルとコンデンサとから成る梯子型回路を複数
段接続したパルスレーザ用電源装置において、前記一対
の主電極と並列に、スイッチング素子及び整流素子を接
続したことを特徴とするものである。
は、対向して配置された一対の主電極間に予備電離用コ
ンデンサを接続し、前記予備電離用のコンデンサに可飽
和リアクトルとコンデンサとから成る梯子型回路を複数
段接続したパルスレーザ用電源装置において、前記一対
の主電極と並列に、スイッチング素子及び整流素子を接
続したことを特徴とするものである。
【0012】また、請求項2に記載の発明は、対向して
配置された一対の主電極間に予備電離用コンデンサを接
続し、前記予備電離用のコンデンサに可飽和リアクトル
とコンデンサとから成る梯子型回路を複数段接続したパ
ルスレーザ用電源装置において、前記複数段の梯子型回
路の端部に、当該回路を構成するコンデンサと並列に、
スイッチング素子及び整流素子を接続したことを特徴と
するものである。
配置された一対の主電極間に予備電離用コンデンサを接
続し、前記予備電離用のコンデンサに可飽和リアクトル
とコンデンサとから成る梯子型回路を複数段接続したパ
ルスレーザ用電源装置において、前記複数段の梯子型回
路の端部に、当該回路を構成するコンデンサと並列に、
スイッチング素子及び整流素子を接続したことを特徴と
するものである。
【0013】
【作用】請求項1に記載のパルスレーザ用電源装置にお
いては、グロー放電発生・消滅後に、各コンデンサに残
留する電荷によって可飽和リアクトルが動作した場合で
あっても、主電極と並列に接続した整流素子によって、
充電電圧と逆方向の電圧が吸収される。また、グロー放
電消滅後に、主電極と並列に接続したスイッチング素子
を動作することにより、充電電圧と順方向の不要な電圧
も吸収される。その結果、主電極間に不要な電圧が発生
することを防止できる。
いては、グロー放電発生・消滅後に、各コンデンサに残
留する電荷によって可飽和リアクトルが動作した場合で
あっても、主電極と並列に接続した整流素子によって、
充電電圧と逆方向の電圧が吸収される。また、グロー放
電消滅後に、主電極と並列に接続したスイッチング素子
を動作することにより、充電電圧と順方向の不要な電圧
も吸収される。その結果、主電極間に不要な電圧が発生
することを防止できる。
【0014】請求項2に記載のパルスレーザ用電源装置
においては、グロー放電発生・消滅後に、各コンデンサ
に残留する電荷によって可飽和リアクトルが動作した場
合であっても、複数段の梯子型回路の端部に、コンデン
サと並列に接続した整流素子によって、充電電圧と逆方
向の電圧が吸収される。また、グロー放電消滅後に、コ
ンデンサと並列に接続したスイッチング素子を動作する
ことにより、充電電圧と順方向の不要な電圧も吸収され
る。その結果、主電極間に不要な電圧が発生することを
防止できる。
においては、グロー放電発生・消滅後に、各コンデンサ
に残留する電荷によって可飽和リアクトルが動作した場
合であっても、複数段の梯子型回路の端部に、コンデン
サと並列に接続した整流素子によって、充電電圧と逆方
向の電圧が吸収される。また、グロー放電消滅後に、コ
ンデンサと並列に接続したスイッチング素子を動作する
ことにより、充電電圧と順方向の不要な電圧も吸収され
る。その結果、主電極間に不要な電圧が発生することを
防止できる。
【0015】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図1乃至図3に基
づいて具体的に説明する。なお、図4及び図5に示した
従来型と同一の部材には同一の符号を付して、説明は省
略する。
づいて具体的に説明する。なお、図4及び図5に示した
従来型と同一の部材には同一の符号を付して、説明は省
略する。
【0016】(A)第1実施例 本実施例においては、図1に示した様に、一対の主電極
1,2と予備電離用コンデンサCpの間に、前記主電極
1,2と並列に、充電電圧と順方向の電圧を吸収するス
イッチング素子10と、充電電圧と逆方向の電圧を吸収
する整流素子11が接続されている。その他の構成は、
図4に示した従来型と同様である。
1,2と予備電離用コンデンサCpの間に、前記主電極
1,2と並列に、充電電圧と順方向の電圧を吸収するス
イッチング素子10と、充電電圧と逆方向の電圧を吸収
する整流素子11が接続されている。その他の構成は、
図4に示した従来型と同様である。
【0017】この様な構成を有する本実施例のパルスレ
ーザ用電源装置においては、以下に述べる様にして、グ
ロー放電発生後に主電極間に不要な電圧が発生すること
を防止できる。
ーザ用電源装置においては、以下に述べる様にして、グ
ロー放電発生後に主電極間に不要な電圧が発生すること
を防止できる。
【0018】即ち、時刻t2 で主電極1,2間にグロー
放電が形成され、消滅した後においても、各コンデンサ
には電荷が残留し、この電荷によって再び可飽和リアク
トルが動作することがあるが、その場合であっても、充
電電圧と逆方向の電圧は前記整流素子11によって吸収
されるので、主電極1,2に大きな電圧が加わることは
ない。また、グロー放電消滅後、充電電圧と順方向に再
び電圧が生じることがあっても、この電圧は前記スイッ
チング素子10によって吸収されるので、主電極1,2
に大きな電圧が加わることはない。その結果、図2に示
した様に、グロー放電発生・消滅後においては、主電極
1,2間にアーク放電が発生することはなくなる。
放電が形成され、消滅した後においても、各コンデンサ
には電荷が残留し、この電荷によって再び可飽和リアク
トルが動作することがあるが、その場合であっても、充
電電圧と逆方向の電圧は前記整流素子11によって吸収
されるので、主電極1,2に大きな電圧が加わることは
ない。また、グロー放電消滅後、充電電圧と順方向に再
び電圧が生じることがあっても、この電圧は前記スイッ
チング素子10によって吸収されるので、主電極1,2
に大きな電圧が加わることはない。その結果、図2に示
した様に、グロー放電発生・消滅後においては、主電極
1,2間にアーク放電が発生することはなくなる。
【0019】この様に本実施例によれば、一対の主電極
1,2と並列にスイッチング素子と整流素子を接続する
ことによって、充電電圧と正・逆いずれの方向の不要電
圧も吸収できるので、グロー放電発生・消滅後に、主電
極間に不要な電圧が発生することを防止できる。
1,2と並列にスイッチング素子と整流素子を接続する
ことによって、充電電圧と正・逆いずれの方向の不要電
圧も吸収できるので、グロー放電発生・消滅後に、主電
極間に不要な電圧が発生することを防止できる。
【0020】なお、本発明は上述した実施例に限定され
るものではなく、整流素子と抵抗とを直列に接続したも
のを、主電極と並列に接続しても同様の効果が得られ
る。また、上記の実施例は、本発明を紫外線予備電離方
式のパルスレーザ発振装置に適用したものであるが、X
線予備電離方式、コロナ予備電離方式等のパルスレーザ
発振装置に適用することもできる。
るものではなく、整流素子と抵抗とを直列に接続したも
のを、主電極と並列に接続しても同様の効果が得られ
る。また、上記の実施例は、本発明を紫外線予備電離方
式のパルスレーザ発振装置に適用したものであるが、X
線予備電離方式、コロナ予備電離方式等のパルスレーザ
発振装置に適用することもできる。
【0021】(B)第2実施例 本実施例においては、図3に示した様に、可飽和リアク
トルとコンデンサとから成る梯子型回路を複数段接続し
たパルスレーザ用電源装置の端部に位置するサイリスタ
スイッチTとインダクタンスLの接続点と接地電位間
に、当該回路を構成するコンデンサと並列に、充電電圧
と順方向の電圧を吸収するスイッチング素子10と、充
電電圧と逆方向の電圧を吸収する整流素子11が接続さ
れている。その他の構成は、図4に示した従来型と同様
である。
トルとコンデンサとから成る梯子型回路を複数段接続し
たパルスレーザ用電源装置の端部に位置するサイリスタ
スイッチTとインダクタンスLの接続点と接地電位間
に、当該回路を構成するコンデンサと並列に、充電電圧
と順方向の電圧を吸収するスイッチング素子10と、充
電電圧と逆方向の電圧を吸収する整流素子11が接続さ
れている。その他の構成は、図4に示した従来型と同様
である。
【0022】この様な構成を有する本実施例のパルスレ
ーザ用電源装置においても、上記第1実施例と同様に、
グロー放電発生後に主電極間に不要な電圧が発生するこ
とを防止できる。
ーザ用電源装置においても、上記第1実施例と同様に、
グロー放電発生後に主電極間に不要な電圧が発生するこ
とを防止できる。
【0023】即ち、時刻t2 で主電極1,2間にグロー
放電が形成され、消滅した後においても、各コンデンサ
には電荷が残留し、この電荷によって再び可飽和リアク
トルが動作することがあるが、その場合であっても、充
電電圧と逆方向の電圧は、インダクタンスLを介してコ
ンデンサC1 に接続された整流素子11によって吸収さ
れるので、主電極1,2に大きな電圧が加わることはな
い。また、グロー放電消滅後、充電電圧と順方向に再び
電圧が生じることがあっても、この電圧はスイッチング
素子10によって吸収されるので、主電極1,2に大き
な電圧が加わることはない。その結果、図2に示した様
に、グロー放電発生・消滅後においては、主電極1,2
間にアーク放電が発生することはなくなる。
放電が形成され、消滅した後においても、各コンデンサ
には電荷が残留し、この電荷によって再び可飽和リアク
トルが動作することがあるが、その場合であっても、充
電電圧と逆方向の電圧は、インダクタンスLを介してコ
ンデンサC1 に接続された整流素子11によって吸収さ
れるので、主電極1,2に大きな電圧が加わることはな
い。また、グロー放電消滅後、充電電圧と順方向に再び
電圧が生じることがあっても、この電圧はスイッチング
素子10によって吸収されるので、主電極1,2に大き
な電圧が加わることはない。その結果、図2に示した様
に、グロー放電発生・消滅後においては、主電極1,2
間にアーク放電が発生することはなくなる。
【0024】この様に本実施例によれば、サイリスタス
イッチTとインダクタンスLの接続点と接地電位間に、
スイッチング素子と整流素子を接続することによって、
充電電圧と正・逆いずれの方向の不要電圧も吸収できる
ので、グロー放電発生・消滅後に、主電極間に不要な電
圧が発生することを防止できる。
イッチTとインダクタンスLの接続点と接地電位間に、
スイッチング素子と整流素子を接続することによって、
充電電圧と正・逆いずれの方向の不要電圧も吸収できる
ので、グロー放電発生・消滅後に、主電極間に不要な電
圧が発生することを防止できる。
【0025】なお、本発明は上述した実施例に限定され
るものではなく、整流素子と抵抗とを直列に接続したも
のを、サイリスタスイッチTとインダクタンスLの接続
点と接地電位間に接続しても同様の効果が得られる。ま
た、可飽和リアクトルとコンデンサとから成る梯子型回
路の接続個数は特に限定されず、複数段の梯子型回路の
端部に、その回路を構成するコンデンサと並列にスイッ
チング素子と整流素子を接続すれば良い。
るものではなく、整流素子と抵抗とを直列に接続したも
のを、サイリスタスイッチTとインダクタンスLの接続
点と接地電位間に接続しても同様の効果が得られる。ま
た、可飽和リアクトルとコンデンサとから成る梯子型回
路の接続個数は特に限定されず、複数段の梯子型回路の
端部に、その回路を構成するコンデンサと並列にスイッ
チング素子と整流素子を接続すれば良い。
【0026】さらに、上記の実施例は、本発明を紫外線
予備電離方式のパルスレーザ発振装置に適用したもので
あるが、X線予備電離方式、コロナ予備電離方式等のパ
ルスレーザ発振装置に適用することもできる。
予備電離方式のパルスレーザ発振装置に適用したもので
あるが、X線予備電離方式、コロナ予備電離方式等のパ
ルスレーザ発振装置に適用することもできる。
【0027】
【発明の効果】以上述べた様に、本発明によれば、パル
スレーザ電源装置を構成する一対の主電極と並列にスイ
ッチング素子及び整流素子を接続し、あるいは、パルス
レーザ用電源装置を構成する複数段の梯子型回路の端部
に、当該回路を構成するコンデンサと並列にスイッチン
グ素子及び整流素子を接続することによって、グロー放
電発生後に、主電極間に不要な電圧が発生することを防
止し、安定した動作を実現することができるパルスレー
ザ用電源装置を提供することができる。
スレーザ電源装置を構成する一対の主電極と並列にスイ
ッチング素子及び整流素子を接続し、あるいは、パルス
レーザ用電源装置を構成する複数段の梯子型回路の端部
に、当該回路を構成するコンデンサと並列にスイッチン
グ素子及び整流素子を接続することによって、グロー放
電発生後に、主電極間に不要な電圧が発生することを防
止し、安定した動作を実現することができるパルスレー
ザ用電源装置を提供することができる。
【図1】本発明のパルスレーザ用電源装置の第1実施例
を示す回路図
を示す回路図
【図2】本発明のパルスレーザ用電源装置の電圧波形を
示す図
示す図
【図3】本発明のパルスレーザ用電源装置の第2実施例
を示す回路図
を示す回路図
【図4】従来のパルスレーザ用電源装置の一例を示す回
路図
路図
【図5】従来のパルスレーザ用電源装置の電圧波形を示
す図
す図
1,2…主電極 3…ギャップ 10…スイッチング素子 11…整流素子 Cp…予備電離用コンデンサ C1 ,C2 ,C0 …コンデンサ S1 ,S2 …可飽和リアクトル T…サイリスタスイッチ L…インダクタンス R…抵抗 V1 …コンデンサC1 にかかる電圧波形 V2 …コンデンサC2 にかかる電圧波形 Vp…主電極にかかる電圧波形
Claims (2)
- 【請求項1】 対向して配置された一対の主電極間に予
備電離用コンデンサを接続し、前記予備電離用のコンデ
ンサに可飽和リアクトルとコンデンサとから成る梯子型
回路を複数段接続したパルスレーザ用電源装置におい
て、 前記一対の主電極と並列に、スイッチング素子及び整流
素子を接続したことを特徴とするパルスレーザ用電源装
置。 - 【請求項2】 対向して配置された一対の主電極間に予
備電離用コンデンサを接続し、前記予備電離用のコンデ
ンサに可飽和リアクトルとコンデンサとから成る梯子型
回路を複数段接続したパルスレーザ用電源装置におい
て、 前記複数段の梯子型回路の端部に、当該回路を構成する
コンデンサと並列に、スイッチング素子及び整流素子を
接続したことを特徴とするパルスレーザ用電源装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27804091A JPH05121809A (ja) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | パルスレーザ用電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27804091A JPH05121809A (ja) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | パルスレーザ用電源装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05121809A true JPH05121809A (ja) | 1993-05-18 |
Family
ID=17591812
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27804091A Pending JPH05121809A (ja) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | パルスレーザ用電源装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05121809A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111313738A (zh) * | 2018-12-12 | 2020-06-19 | 西门子医疗有限公司 | 用于提供高压脉冲的高压发生器和高频发生器 |
-
1991
- 1991-10-24 JP JP27804091A patent/JPH05121809A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111313738A (zh) * | 2018-12-12 | 2020-06-19 | 西门子医疗有限公司 | 用于提供高压脉冲的高压发生器和高频发生器 |
CN111313738B (zh) * | 2018-12-12 | 2023-05-23 | 西门子医疗有限公司 | 用于提供高压脉冲的高压发生器和高频发生器 |
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