JPH05282645A - 浮上型複合磁気ヘッド - Google Patents
浮上型複合磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH05282645A JPH05282645A JP7952192A JP7952192A JPH05282645A JP H05282645 A JPH05282645 A JP H05282645A JP 7952192 A JP7952192 A JP 7952192A JP 7952192 A JP7952192 A JP 7952192A JP H05282645 A JPH05282645 A JP H05282645A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic head
- film
- track width
- blocks
- Prior art date
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- Pending
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- Magnetic Heads (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気ディスク装置用の磁気ヘッドとして、高
記録密度化にともなう狭トラック化と高周波特性の改善
に適した浮上型複合磁気ヘッドを提供する。 【構成】 浮上面５を具備し非磁性体からなるスライダ
−体と、そのスライダ−体と磁気ギャップ９を介して相
対する一対のコア片を具備してなる浮上型複合磁気ヘッ
ド１であって、前記スライダ−体と一対のコア片は磁性
膜と非磁性膜を積層した積層膜２を有し、その積層膜２
の膜厚は、磁気記録媒体に面するトラック部近傍の膜厚
より、そのトラック部に、略、垂直な一対のコア片の突
合せ面の積層膜の膜厚が厚いことを特徴とする浮上型複
合磁気ヘッド。
記録密度化にともなう狭トラック化と高周波特性の改善
に適した浮上型複合磁気ヘッドを提供する。 【構成】 浮上面５を具備し非磁性体からなるスライダ
−体と、そのスライダ−体と磁気ギャップ９を介して相
対する一対のコア片を具備してなる浮上型複合磁気ヘッ
ド１であって、前記スライダ−体と一対のコア片は磁性
膜と非磁性膜を積層した積層膜２を有し、その積層膜２
の膜厚は、磁気記録媒体に面するトラック部近傍の膜厚
より、そのトラック部に、略、垂直な一対のコア片の突
合せ面の積層膜の膜厚が厚いことを特徴とする浮上型複
合磁気ヘッド。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気記録再生装置、主と
して磁気ディスク装置に用いる磁気ヘッドに関する。
して磁気ディスク装置に用いる磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気記録技術の分野における最近の記録
密度の向上は著しく、これに伴って例えば電磁変換素子
としての磁気ヘッドに対する狭トラック化およびコア材
料の飽和磁化の増大化並びに高周波領域における透磁率
の改善といった要求が高まっている。
密度の向上は著しく、これに伴って例えば電磁変換素子
としての磁気ヘッドに対する狭トラック化およびコア材
料の飽和磁化の増大化並びに高周波領域における透磁率
の改善といった要求が高まっている。
【０００３】近年、上記要求を満たす磁気ヘッドとし
て、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金膜等の軟磁性膜で磁気回路が
構成した積層型の磁気ヘッドが急速に注目を浴びてい
る。その一例が特開昭６４−３７７０５、平３−７１４
０９に記載されており、特に、磁気ディスク装置用の積
層型磁気ヘッドが特開平３−４９０１９に開示されてい
る。図４はそのヘッドの外観を示す斜視図、図５は磁気
ギャップ近傍の積層薄膜部の拡大斜視図である。
て、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金膜等の軟磁性膜で磁気回路が
構成した積層型の磁気ヘッドが急速に注目を浴びてい
る。その一例が特開昭６４−３７７０５、平３−７１４
０９に記載されており、特に、磁気ディスク装置用の積
層型磁気ヘッドが特開平３−４９０１９に開示されてい
る。図４はそのヘッドの外観を示す斜視図、図５は磁気
ギャップ近傍の積層薄膜部の拡大斜視図である。
【０００４】前記磁気ヘッドの積層膜の膜厚はトラック
部近傍以外の膜厚も記録再生を行うトラック幅となるよ
うに設定されている。最近の磁気ディスク装置では、ト
ラック幅は１０μｍ以下が要求されていることから、ト
ラック部近傍の積層膜の膜厚も１０μｍ以下とすること
が必要となる。
部近傍以外の膜厚も記録再生を行うトラック幅となるよ
うに設定されている。最近の磁気ディスク装置では、ト
ラック幅は１０μｍ以下が要求されていることから、ト
ラック部近傍の積層膜の膜厚も１０μｍ以下とすること
が必要となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の積層型磁気
ヘッドでは、トラック幅が積層膜の厚みとなるため、ト
ラック幅が１０μｍ以下となると磁気抵抗が大きくなり
再生効率の低下は否めない。トラック幅を１０μｍとし
たとき、透磁率μ＝１５００の磁性膜を使用した積層型
磁気ヘッドは、フェライト（μ＝８００）の磁気ギャッ
プ近傍のみに磁性膜（μ＝１５００）を成膜したＭＩＧ
（metal in gap)ヘッドに比べ、再生効率２０〜３０％
の低下すると予想される。従って、ＭＩＧヘッド並み以
上の再生効率を得るためには、積層型磁気ヘッドの磁気
抵抗を改善する事が必要である。
ヘッドでは、トラック幅が積層膜の厚みとなるため、ト
ラック幅が１０μｍ以下となると磁気抵抗が大きくなり
再生効率の低下は否めない。トラック幅を１０μｍとし
たとき、透磁率μ＝１５００の磁性膜を使用した積層型
磁気ヘッドは、フェライト（μ＝８００）の磁気ギャッ
プ近傍のみに磁性膜（μ＝１５００）を成膜したＭＩＧ
（metal in gap)ヘッドに比べ、再生効率２０〜３０％
の低下すると予想される。従って、ＭＩＧヘッド並み以
上の再生効率を得るためには、積層型磁気ヘッドの磁気
抵抗を改善する事が必要である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】磁気抵抗を改善する方法
として磁性膜の透磁率を上げる事と、積層膜の形状を検
討する手段が考えられる。本発明は、後者の磁気コアの
形状により前記課題を解決するものである。
として磁性膜の透磁率を上げる事と、積層膜の形状を検
討する手段が考えられる。本発明は、後者の磁気コアの
形状により前記課題を解決するものである。
【０００７】本発明の磁気ヘッドは、浮上面を具備し非
磁性体からなるスライダ−体と、そのスライダ−体と磁
気ギャップを介して相対する一対のコア片を具備してな
る浮上型複合磁気ヘッドであって、前記スライダ−体と
一対のコア片は磁性膜と非磁性膜を積層した積層膜を有
し、その積層膜の膜厚は、磁気記録媒体に面するトラッ
ク部近傍の膜厚より、そのトラック部に、略、垂直な一
対のコア片の突合せ面の積層膜の膜厚が厚いことを特徴
とするものである。
磁性体からなるスライダ−体と、そのスライダ−体と磁
気ギャップを介して相対する一対のコア片を具備してな
る浮上型複合磁気ヘッドであって、前記スライダ−体と
一対のコア片は磁性膜と非磁性膜を積層した積層膜を有
し、その積層膜の膜厚は、磁気記録媒体に面するトラッ
ク部近傍の膜厚より、そのトラック部に、略、垂直な一
対のコア片の突合せ面の積層膜の膜厚が厚いことを特徴
とするものである。
【０００８】
【作用】バック側の磁性膜厚を厚くする事により磁気回
路の断面積が増し磁気抵抗が低減でき再生効率がアップ
する。
路の断面積が増し磁気抵抗が低減でき再生効率がアップ
する。
【０００９】
【実施例】以下実施例に基き説明する。図１は本発明に
よる一実施例の浮上型複合磁気ヘッド１の斜視図であ
る。図２は図１の積層磁気コア２部の側面拡大図を示
す。浮上型複合磁気ヘッド１は一対のコア片よりなるブ
ロック３とスライダ−体となるブロック４から構成され
ており、かつこの２つのブロックを対向させて接合する
ことにより磁気ギャップ９を形成する。２つのブロック
３と４に各々スパッタリング手法等により積層膜２を形
成し、各々非磁性ブロック６を積層膜に接合し、その形
成の後に磁気ギャップ９を形成しつつ接合する。ブロッ
ク３及び４には、磁気信号と電気信号を相互変換をする
コイルを巻線するための巻線窓７と、巻線溝８が形成さ
れている。浮上面５はブロック３と４を接合した後に空
気逃げ溝１０を研削加工等により設ける事により形成さ
れる。積層膜２の膜厚は、図２に示す様に図の上側のト
ラック部近傍と、図の下側の部分では異なっている。
よる一実施例の浮上型複合磁気ヘッド１の斜視図であ
る。図２は図１の積層磁気コア２部の側面拡大図を示
す。浮上型複合磁気ヘッド１は一対のコア片よりなるブ
ロック３とスライダ−体となるブロック４から構成され
ており、かつこの２つのブロックを対向させて接合する
ことにより磁気ギャップ９を形成する。２つのブロック
３と４に各々スパッタリング手法等により積層膜２を形
成し、各々非磁性ブロック６を積層膜に接合し、その形
成の後に磁気ギャップ９を形成しつつ接合する。ブロッ
ク３及び４には、磁気信号と電気信号を相互変換をする
コイルを巻線するための巻線窓７と、巻線溝８が形成さ
れている。浮上面５はブロック３と４を接合した後に空
気逃げ溝１０を研削加工等により設ける事により形成さ
れる。積層膜２の膜厚は、図２に示す様に図の上側のト
ラック部近傍と、図の下側の部分では異なっている。
【００１０】以下、製造方法を図３により詳細に説明す
る。まず台形型の凸部を有する磁気ヘッドブロック３及
び４に相当する非磁性基板１３を準備する。凸部は機械
加工により作製しても良いし、ホトリソグラフィ技術を
使用してスパッタリング手法で作製しても良い。凸部の
形状は、特に台形型にこだわらず他の形状でも良い。台
形型の場合は角度θは３０〜６０°の範囲が望ましく、
高さＨはトラック幅の１．５〜４倍が望ましい。次に、
前記基板上にＦｅ−Ａｌ−Ｓｉの三元系からなるセンダ
スト磁性膜１１をスパッタリング法を用いて一層２〜３
μｍとし数層積層する。この時、中間層１２として非磁
性体を挿入すると高周波における透磁率が良好となる。
センダスト磁性膜１１のかわりにＦｅ系、Ｃｏ系の磁性
膜を使用しても良い。次に、磁性膜を積層した面が平
坦、かつ所定のトラック幅を得るまでラップ加工を施
す。その上に非磁性ブロック６に相当する非磁性基板を
接合する。そして、その接合体をスライダ−の大きさに
切断分割し、更にロック３と４に切断し、ブロック３に
コイルの巻線窓７を形成した後、所定のギャップ長とな
るようにブロック４にギャップ規制膜を成膜し、ブロッ
ク３と４を接合する。その後、磁気ヘッドブロック４及
び３に巻線溝８と空気逃げ溝１０を切削加工等により設
ける。
る。まず台形型の凸部を有する磁気ヘッドブロック３及
び４に相当する非磁性基板１３を準備する。凸部は機械
加工により作製しても良いし、ホトリソグラフィ技術を
使用してスパッタリング手法で作製しても良い。凸部の
形状は、特に台形型にこだわらず他の形状でも良い。台
形型の場合は角度θは３０〜６０°の範囲が望ましく、
高さＨはトラック幅の１．５〜４倍が望ましい。次に、
前記基板上にＦｅ−Ａｌ−Ｓｉの三元系からなるセンダ
スト磁性膜１１をスパッタリング法を用いて一層２〜３
μｍとし数層積層する。この時、中間層１２として非磁
性体を挿入すると高周波における透磁率が良好となる。
センダスト磁性膜１１のかわりにＦｅ系、Ｃｏ系の磁性
膜を使用しても良い。次に、磁性膜を積層した面が平
坦、かつ所定のトラック幅を得るまでラップ加工を施
す。その上に非磁性ブロック６に相当する非磁性基板を
接合する。そして、その接合体をスライダ−の大きさに
切断分割し、更にロック３と４に切断し、ブロック３に
コイルの巻線窓７を形成した後、所定のギャップ長とな
るようにブロック４にギャップ規制膜を成膜し、ブロッ
ク３と４を接合する。その後、磁気ヘッドブロック４及
び３に巻線溝８と空気逃げ溝１０を切削加工等により設
ける。
【００１１】
【発明の効果】以上、本発明によればヘッドトラック幅
を１０μｍ以下としても磁気抵抗の増加が少なく、公知
例と比較し３０％以上高い再生出力が得られる。また、
図３（ｃ）から判るようにラップ加工量をかえることに
より、トラック幅の異なるヘッドが容易に作製でき顧客
ニ−ズに容易に対応可能となる。
を１０μｍ以下としても磁気抵抗の増加が少なく、公知
例と比較し３０％以上高い再生出力が得られる。また、
図３（ｃ）から判るようにラップ加工量をかえることに
より、トラック幅の異なるヘッドが容易に作製でき顧客
ニ−ズに容易に対応可能となる。
【図１】本発明の浮上型複合磁気ヘッドの斜視図であ
る。
る。
【図２】本発明の浮上型複合磁気ヘッドの積層磁気コア
の側面図である。
の側面図である。
【図３】本発明の浮上型複合磁気ヘッドの製造方法を示
す模式図である。
す模式図である。
【図４】従来の浮上型複合磁気ヘッドの斜視図である。
【図５】従来の浮上型複合磁気ヘッドの斜視図である。
１ 浮上型複合磁気ヘッド ２ 積層膜 ３ ブロック ４ ブロック ５ 浮上面 ６ 非磁性ブロック ７ 巻線窓 ８ 巻線溝 ９ 磁気ギャップ １０ 空気逃げ溝 １１ センダスト磁性膜 １２ 中間膜 １３ 非磁性基板
Claims (1)
- 【請求項１】 浮上面を具備し非磁性体からなるスライ
ダ−体と、そのスライダ−体と磁気ギャップを介して相
対する一対のコア片を具備してなる浮上型複合磁気ヘッ
ドであって、前記スライダ−体と一対のコア片は磁性膜
と非磁性膜を積層した積層膜を有し、その積層膜の膜厚
は、磁気記録媒体に面するトラック部近傍の膜厚より、
そのトラック部に、略、垂直な一対のコア片の突合せ面
の積層膜の膜厚が厚いことを特徴とする浮上型複合磁気
ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7952192A JPH05282645A (ja) | 1992-04-01 | 1992-04-01 | 浮上型複合磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7952192A JPH05282645A (ja) | 1992-04-01 | 1992-04-01 | 浮上型複合磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05282645A true JPH05282645A (ja) | 1993-10-29 |
Family
ID=13692287
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7952192A Pending JPH05282645A (ja) | 1992-04-01 | 1992-04-01 | 浮上型複合磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05282645A (ja) |
-
1992
- 1992-04-01 JP JP7952192A patent/JPH05282645A/ja active Pending
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