JPH05281038A - パルスレーザ光の光強度分布測定装置 - Google Patents
パルスレーザ光の光強度分布測定装置Info
- Publication number
- JPH05281038A JPH05281038A JP4074180A JP7418092A JPH05281038A JP H05281038 A JPH05281038 A JP H05281038A JP 4074180 A JP4074180 A JP 4074180A JP 7418092 A JP7418092 A JP 7418092A JP H05281038 A JPH05281038 A JP H05281038A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pulse
- pulsed laser
- laser light
- signal
- image pickup
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】パルスレーザ光の光強度分布測定装置におい
て、パルスレーザ光のパルス幅や周期等の発振条件を変
更した場合にも、パルスレーザ一発毎の光強度分布測定
が容易にかつ自動的に行なえるようにする。 【構成】パルスレーザ光１のパルスの立ち下がりからＣ
ＣＤ撮像装置８の露光を制御する垂直同期信号１６の出
力までの遅れ時間ＴDを Ｎ・ＴFP＋ＴEXP−ＴVD−τ1≦ＴD≦Ｎ・ＴFP−ＴVD に従って演算装置１５で計算及び設定し、トリガ発生器
１４から出力されるパルス幅ＴDのトリガ信号に基づい
て、パルスレーザ光信号１１のパルスの立ち下がりから
遅れ時間ＴD後に垂直同期信号１６をカメラコントロー
ラ９よりＣＣＤ撮像装置８に出力し、これをもとにパル
スレーザ光一発毎の出力時間中に露光時間ＴEXPでＣＣ
Ｄ撮像装置８の露光を行う。
て、パルスレーザ光のパルス幅や周期等の発振条件を変
更した場合にも、パルスレーザ一発毎の光強度分布測定
が容易にかつ自動的に行なえるようにする。 【構成】パルスレーザ光１のパルスの立ち下がりからＣ
ＣＤ撮像装置８の露光を制御する垂直同期信号１６の出
力までの遅れ時間ＴDを Ｎ・ＴFP＋ＴEXP−ＴVD−τ1≦ＴD≦Ｎ・ＴFP−ＴVD に従って演算装置１５で計算及び設定し、トリガ発生器
１４から出力されるパルス幅ＴDのトリガ信号に基づい
て、パルスレーザ光信号１１のパルスの立ち下がりから
遅れ時間ＴD後に垂直同期信号１６をカメラコントロー
ラ９よりＣＣＤ撮像装置８に出力し、これをもとにパル
スレーザ光一発毎の出力時間中に露光時間ＴEXPでＣＣ
Ｄ撮像装置８の露光を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、パルスレ−ザ光の光強
度分布をパルスレーザ光の出力時間中に好適なタイミン
グで測定できるパルスレーザ光の光強度分布測定装置に
関する。
度分布をパルスレーザ光の出力時間中に好適なタイミン
グで測定できるパルスレーザ光の光強度分布測定装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に高出力のパルスレーザ光を利用し
たレーザ加工装置におけるパルスレーザ光の光強度分布
測定方法は多種にわたるが、従来のパルスレーザ光の光
強度分布測定装置を搭載したレーザ加工装置として、特
願平２−２４１５９７号や特願平３−４３１６号に開示
されているように、測定した光強度分布をもとに、パル
スレーザ光のビーム品質を加工するのに最適な状態に調
整することを特徴としたものがある。
たレーザ加工装置におけるパルスレーザ光の光強度分布
測定方法は多種にわたるが、従来のパルスレーザ光の光
強度分布測定装置を搭載したレーザ加工装置として、特
願平２−２４１５９７号や特願平３−４３１６号に開示
されているように、測定した光強度分布をもとに、パル
スレーザ光のビーム品質を加工するのに最適な状態に調
整することを特徴としたものがある。
【０００３】以下、従来のレーザ加工装置におけるパル
スレーザ光の光強度分布測定装置について図７により説
明する。図７において、レーザ発振器（図示せず）より
出力されたパルスレーザ光１は、トリガ信号発生のため
にビームサンプラ４２Ａによって極微少量がサンプリン
グされ、光強度分布測定のためにビームサンプラ４２ａ
でさらにその１部（〜４％程度）がサンプル光４４とし
て反射して取り出される。ビームサンプラ４２ａを透過
した主レーザ光４３はレーザ加工機の本来の目的である
レーザ加工や測定等に使用される。サンプル光４４は、
さらにビームサンプラ４２ｂにより減光され、滅光フィ
ルタ４６及び集光レンズ４７を透過してパルスレーザ光
強度分布（レーザビーム断面の光強度分布）の２次元画
像を検出するための光電変換器４８に入射する。一方、
ビームサンプラ４２ｂを透過したパルスレーザ光はビー
ムアブソーバ４５で吸収される。尚、減光フィルタ４６
は光電変換器４８の感度レベルを越えないようにパルス
レーザ光の強度を最終的に調整するもので、減光率の異
なる減光フィルターを何枚か組み合わせることにより構
成され、また集光レンズ４７はパルスレーザ光のビーム
径を縮小して光電変換器４８に入射させるためのもので
ある。光電変換器４８で検出されたパルスレーザ光の光
強度分布のデータはカメラコントローラ４９及び画像処
理装置５０を経てＴＶモニタ５０Ａ等に表示される。
スレーザ光の光強度分布測定装置について図７により説
明する。図７において、レーザ発振器（図示せず）より
出力されたパルスレーザ光１は、トリガ信号発生のため
にビームサンプラ４２Ａによって極微少量がサンプリン
グされ、光強度分布測定のためにビームサンプラ４２ａ
でさらにその１部（〜４％程度）がサンプル光４４とし
て反射して取り出される。ビームサンプラ４２ａを透過
した主レーザ光４３はレーザ加工機の本来の目的である
レーザ加工や測定等に使用される。サンプル光４４は、
さらにビームサンプラ４２ｂにより減光され、滅光フィ
ルタ４６及び集光レンズ４７を透過してパルスレーザ光
強度分布（レーザビーム断面の光強度分布）の２次元画
像を検出するための光電変換器４８に入射する。一方、
ビームサンプラ４２ｂを透過したパルスレーザ光はビー
ムアブソーバ４５で吸収される。尚、減光フィルタ４６
は光電変換器４８の感度レベルを越えないようにパルス
レーザ光の強度を最終的に調整するもので、減光率の異
なる減光フィルターを何枚か組み合わせることにより構
成され、また集光レンズ４７はパルスレーザ光のビーム
径を縮小して光電変換器４８に入射させるためのもので
ある。光電変換器４８で検出されたパルスレーザ光の光
強度分布のデータはカメラコントローラ４９及び画像処
理装置５０を経てＴＶモニタ５０Ａ等に表示される。
【０００４】上記パルスレーザ光の光強度分布測定装置
において、光電変換器４８はレーザビーム断面の光強度
分布（ビーム光強度分布）を測定し、これによる２次元
の光学画像を電気信号に変換するものであり、このよう
な機能を有するものとしては、撮像管、固体撮像素子等
がある。このうち、固体撮像素子の一つであるＣＣＤ撮
像素子（ＣＣＤカメラ）は安価で、またパルスレーザ光
一発毎の光強度分布測定に適した電子シャッタ機能を有
したものがあり、光電変換器として用いられることが最
も多く、上記従来のパルスレーザ光の光強度分布測定装
置にもしばしば用いられている。
において、光電変換器４８はレーザビーム断面の光強度
分布（ビーム光強度分布）を測定し、これによる２次元
の光学画像を電気信号に変換するものであり、このよう
な機能を有するものとしては、撮像管、固体撮像素子等
がある。このうち、固体撮像素子の一つであるＣＣＤ撮
像素子（ＣＣＤカメラ）は安価で、またパルスレーザ光
一発毎の光強度分布測定に適した電子シャッタ機能を有
したものがあり、光電変換器として用いられることが最
も多く、上記従来のパルスレーザ光の光強度分布測定装
置にもしばしば用いられている。
【０００５】このようなＣＣＤ撮像素子によってレーザ
ビーム断面の光強度分布を測定する場合、ＣＣＤ撮像素
子の露光を制御して一発毎のパルスレーザ光が発せられ
ている間、即ち出力時間中にＣＣＤ撮像素子の露光を行
なう必要がある。以下、この制御方法について説明す
る。前述したビームサンプラ４２Ａで取り出したサンプ
ル光は、フォトダイオード５２で検出され、これに基づ
くパルス光信号５１がトリガ発生器５４に入力される。
このトリガ発生器５４からは所定のパルス幅を有するト
リガ信号５３がカメラコントローラ４９に入力される。
カメラコントローラ４９からは、上記トリガ信号の立ち
下がりに同期した読み出し信号である垂直同期信号がＣ
ＣＤ撮像素子に入力され、設定された露光時間でＣＣＤ
撮像素子の露光が行なわれる。この時、トリガ発生器５
４からのトリガ信号５３のパルス幅はパルスレーザ光４
１のパルスの立ち下がりからＣＣＤ撮像素子の露光を制
御する垂直同期信号の出力までの遅れ時間に相当し、こ
れによって、パルスレーザ光一発毎の出力時間中にＣＣ
Ｄ撮像素子の露光が行える。
ビーム断面の光強度分布を測定する場合、ＣＣＤ撮像素
子の露光を制御して一発毎のパルスレーザ光が発せられ
ている間、即ち出力時間中にＣＣＤ撮像素子の露光を行
なう必要がある。以下、この制御方法について説明す
る。前述したビームサンプラ４２Ａで取り出したサンプ
ル光は、フォトダイオード５２で検出され、これに基づ
くパルス光信号５１がトリガ発生器５４に入力される。
このトリガ発生器５４からは所定のパルス幅を有するト
リガ信号５３がカメラコントローラ４９に入力される。
カメラコントローラ４９からは、上記トリガ信号の立ち
下がりに同期した読み出し信号である垂直同期信号がＣ
ＣＤ撮像素子に入力され、設定された露光時間でＣＣＤ
撮像素子の露光が行なわれる。この時、トリガ発生器５
４からのトリガ信号５３のパルス幅はパルスレーザ光４
１のパルスの立ち下がりからＣＣＤ撮像素子の露光を制
御する垂直同期信号の出力までの遅れ時間に相当し、こ
れによって、パルスレーザ光一発毎の出力時間中にＣＣ
Ｄ撮像素子の露光が行える。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来のパ
ルスレーザ光の光強度分布測定装置において、パルスレ
ーザ光４１のパルス幅や周期等の発振条件を変更した場
合、パルスレーザ一発毎の出力時間中にＣＣＤ撮像素子
の露光を行なうためには、トリガ発生機５４からのトリ
ガ信号５３のパルス幅、即ちパルスレーザ光４１のパル
スの立ち下がりからＣＣＤ撮像素子の露光を制御する垂
直同期信号の出力までの遅れ時間をその都度変化させな
ければならない。この遅れ時間（トリガ信号５３のパル
ス幅）は、ＴＶモニタ５０Ａを見ながらパルスレーザ光
一発毎の光強度分布測定が行なえるように手動で調整す
るか、あるいはオシロスコープ等にパルス光信号５１と
上記垂直同期信号に基づくシャッタパルス信号とを表示
させ、パルスレーザ一発毎の出力時間中にＣＣＤ撮像素
子の露光が行なえるようにを手動で調整する。しかし、
このような調整方法は手動によって行なうため、煩雑で
非常に時間がかかり、能率が悪いという問題があった。
ルスレーザ光の光強度分布測定装置において、パルスレ
ーザ光４１のパルス幅や周期等の発振条件を変更した場
合、パルスレーザ一発毎の出力時間中にＣＣＤ撮像素子
の露光を行なうためには、トリガ発生機５４からのトリ
ガ信号５３のパルス幅、即ちパルスレーザ光４１のパル
スの立ち下がりからＣＣＤ撮像素子の露光を制御する垂
直同期信号の出力までの遅れ時間をその都度変化させな
ければならない。この遅れ時間（トリガ信号５３のパル
ス幅）は、ＴＶモニタ５０Ａを見ながらパルスレーザ光
一発毎の光強度分布測定が行なえるように手動で調整す
るか、あるいはオシロスコープ等にパルス光信号５１と
上記垂直同期信号に基づくシャッタパルス信号とを表示
させ、パルスレーザ一発毎の出力時間中にＣＣＤ撮像素
子の露光が行なえるようにを手動で調整する。しかし、
このような調整方法は手動によって行なうため、煩雑で
非常に時間がかかり、能率が悪いという問題があった。
【０００７】本発明の目的は、パルスレーザ光のパルス
幅や周期等の発振条件を変更した場合にも、パルスレー
ザ一発毎の光強度分布測定が容易にかつ自動的に行なえ
るパルスレーザ光の光強度分布測定装置を提供すること
である。
幅や周期等の発振条件を変更した場合にも、パルスレー
ザ一発毎の光強度分布測定が容易にかつ自動的に行なえ
るパルスレーザ光の光強度分布測定装置を提供すること
である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の第１の概念によるパルスレーザ光の光強度
分布測定装置は、パルスレーザ発振器から出力されるパ
ルスレーザ光の一部を取り出す光学系と、前記取り出さ
れたパルスレーザ光のレーザビーム断面における光強度
分布を測定するＣＣＤ撮像装置と、前記ＣＣＤ撮像装置
で測定された光強度分布を画像処理して表示する画像処
理表示装置とを備えたパルスレーザ光の光強度分布測定
装置において、前記パルスレーザ光のパルスの立ち下が
りに対する前記ＣＣＤ撮像装置の露光を制御する読み出
し信号の出力までの遅れ時間ＴDを計算する演算手段
と、前記パルスレーザ光のパルスの立ち下がりから前記
遅れ時間ＴDを持つトリガ信号を出力するトリガ出力手
段と、前記トリガ信号に基づいて前記読み出し信号を出
力し前記ＣＣＤ撮像装置の露光を前記パルスレーザ光一
発毎の出力時間中に行なうように制御する撮像制御手段
とを備え、前記演算手段は、前記パルスレーザ光の周期
をＴFP、前記パルスレーザ光のパルス幅をτ1、前記Ｃ
ＣＤ撮像素子の露光時間をＴEXP、前記ＣＣＤ撮像素子
の読み出し信号の周期をＴVD、Ｎ＞ＴVD／ＴFPを満たす
整数をＮとして、 Ｎ・ＴFP＋ＴEXP−ＴVD−τ1≦ＴD≦Ｎ・ＴFP−ＴVD を満たすように前記遅れ時間ＴDを計算し設定する。
め、本発明の第１の概念によるパルスレーザ光の光強度
分布測定装置は、パルスレーザ発振器から出力されるパ
ルスレーザ光の一部を取り出す光学系と、前記取り出さ
れたパルスレーザ光のレーザビーム断面における光強度
分布を測定するＣＣＤ撮像装置と、前記ＣＣＤ撮像装置
で測定された光強度分布を画像処理して表示する画像処
理表示装置とを備えたパルスレーザ光の光強度分布測定
装置において、前記パルスレーザ光のパルスの立ち下が
りに対する前記ＣＣＤ撮像装置の露光を制御する読み出
し信号の出力までの遅れ時間ＴDを計算する演算手段
と、前記パルスレーザ光のパルスの立ち下がりから前記
遅れ時間ＴDを持つトリガ信号を出力するトリガ出力手
段と、前記トリガ信号に基づいて前記読み出し信号を出
力し前記ＣＣＤ撮像装置の露光を前記パルスレーザ光一
発毎の出力時間中に行なうように制御する撮像制御手段
とを備え、前記演算手段は、前記パルスレーザ光の周期
をＴFP、前記パルスレーザ光のパルス幅をτ1、前記Ｃ
ＣＤ撮像素子の露光時間をＴEXP、前記ＣＣＤ撮像素子
の読み出し信号の周期をＴVD、Ｎ＞ＴVD／ＴFPを満たす
整数をＮとして、 Ｎ・ＴFP＋ＴEXP−ＴVD−τ1≦ＴD≦Ｎ・ＴFP−ＴVD を満たすように前記遅れ時間ＴDを計算し設定する。
【０００９】また、上記目的を達成するため、本発明の
第２の概念によるパルスレーザ光の光強度分布測定装置
は、外部のパルス発生器より出力されるパルス信号に基
づいてパルスレーザ発振器から出力されるパルスレーザ
光の一部を取り出す光学系と、前記取り出されたパルス
レーザ光のレーザビーム断面における光強度分布を測定
するＣＣＤ撮像装置と、前記ＣＣＤ撮像装置で測定され
た光強度分布を画像処理して表示する画像処理表示装置
とを備えたパルスレーザ光の光強度分布測定装置におい
て、前記外部のパルス発生器より出力されるパルス信号
の出力から前記パルスレーザ光のパルスの立ち上りまで
の遅れ時間ＴEを計算する演算手段と、前記外部のパル
ス発生器より出力される前記パルス信号のパルスの立ち
下がりに同期して前記ＣＣＤ撮像素子の露光を制御する
読み出し信号を出力し前記読み出し信号をトリガ信号と
して前記ＣＣＤ撮像素子の露光が前記パルスレーザ光一
発毎の出力時間中に設定された露光時間で行なわれるよ
うに制御する撮像制御手段とを備え、前記演算手段は、
前記パルスレーザ光の発振のパルス幅をτ1、前記外部
のパルス発生器からのパルス信号のパルス幅をτ2、前
記ＣＣＤ撮像素子の露光時間をＴEXP、前記ＣＣＤ撮像
素子の読み出し信号の周期をＴVDとして、 ＴVD+τ2−τ1≦ＴE≦ＴVD＋τ2−ＴEXP を満たすように前記遅れ時間ＴEを計算し設定する。
第２の概念によるパルスレーザ光の光強度分布測定装置
は、外部のパルス発生器より出力されるパルス信号に基
づいてパルスレーザ発振器から出力されるパルスレーザ
光の一部を取り出す光学系と、前記取り出されたパルス
レーザ光のレーザビーム断面における光強度分布を測定
するＣＣＤ撮像装置と、前記ＣＣＤ撮像装置で測定され
た光強度分布を画像処理して表示する画像処理表示装置
とを備えたパルスレーザ光の光強度分布測定装置におい
て、前記外部のパルス発生器より出力されるパルス信号
の出力から前記パルスレーザ光のパルスの立ち上りまで
の遅れ時間ＴEを計算する演算手段と、前記外部のパル
ス発生器より出力される前記パルス信号のパルスの立ち
下がりに同期して前記ＣＣＤ撮像素子の露光を制御する
読み出し信号を出力し前記読み出し信号をトリガ信号と
して前記ＣＣＤ撮像素子の露光が前記パルスレーザ光一
発毎の出力時間中に設定された露光時間で行なわれるよ
うに制御する撮像制御手段とを備え、前記演算手段は、
前記パルスレーザ光の発振のパルス幅をτ1、前記外部
のパルス発生器からのパルス信号のパルス幅をτ2、前
記ＣＣＤ撮像素子の露光時間をＴEXP、前記ＣＣＤ撮像
素子の読み出し信号の周期をＴVDとして、 ＴVD+τ2−τ1≦ＴE≦ＴVD＋τ2−ＴEXP を満たすように前記遅れ時間ＴEを計算し設定する。
【００１０】
【作用】上記のように構成した本発明の第１の概念にお
いては、パルスレーザ光（パルス幅τ1、周期ＴFP）の
パルスの立ち下がりからＣＣＤ撮像装置の露光を制御す
る読み出し信号（周期ＴVD）の出力までの遅れ時間ＴD
を、ＣＣＤ撮像装置の露光時間をＴEXP、Ｎ＞ＴVD／Ｔ
FPを満たす整数をＮとして、 Ｎ・ＴFP＋ＴEXP−ＴVD−τ1≦ＴD≦Ｎ・ＴFP−ＴVD に従って演算手段で計算し、トリガ出力手段より遅れ時
間ＴDを持つトリガ信号を出力し、前記トリガ信号に基
づいて読み出し信号を撮像制御手段からＣＣＤ撮像装置
に出力し、これをもとに露光時間ＴEXPでＣＣＤ撮像装
置の露光を行うことによって、パルスレーザ光一発毎の
出力時間中にＣＣＤ撮像装置の露光が行なわれ、パルス
レーザ光のパルス幅や周期等の発振条件を変更した場合
にも、パルスレーザ一発毎の光強度分布測定が容易にか
つ自動的に行なえる。
いては、パルスレーザ光（パルス幅τ1、周期ＴFP）の
パルスの立ち下がりからＣＣＤ撮像装置の露光を制御す
る読み出し信号（周期ＴVD）の出力までの遅れ時間ＴD
を、ＣＣＤ撮像装置の露光時間をＴEXP、Ｎ＞ＴVD／Ｔ
FPを満たす整数をＮとして、 Ｎ・ＴFP＋ＴEXP−ＴVD−τ1≦ＴD≦Ｎ・ＴFP−ＴVD に従って演算手段で計算し、トリガ出力手段より遅れ時
間ＴDを持つトリガ信号を出力し、前記トリガ信号に基
づいて読み出し信号を撮像制御手段からＣＣＤ撮像装置
に出力し、これをもとに露光時間ＴEXPでＣＣＤ撮像装
置の露光を行うことによって、パルスレーザ光一発毎の
出力時間中にＣＣＤ撮像装置の露光が行なわれ、パルス
レーザ光のパルス幅や周期等の発振条件を変更した場合
にも、パルスレーザ一発毎の光強度分布測定が容易にか
つ自動的に行なえる。
【００１１】また、上記のように構成した本発明の第２
の概念においては、パルスレーザ光が外部のパルス発生
器より出力されるパルス信号（パルス幅τ2）に基づい
て出力される場合に、ＣＣＤ撮像装置の露光時間をＴ
EXP、ＣＣＤ撮像装置の読み出し信号の周期をＴVD、パ
ルスレーザ光の発振のパルス幅をτ1として、 ＴVD+τ2−τ1≦ＴE≦ＴVD＋τ2−ＴEXP に従って演算手段でＴEを計算し、外部のパルス発生器
より出力されるパルス信号の出力から遅れ時間ＴE後に
パルスレーザ光のパルスを立ち上げ、一方、上記外部の
パルス発生器より出力されるパルス信号をトリガ信号と
して、このパルス信号に基づいてＣＣＤ撮像装置の露光
を制御する読み出し信号を撮像制御手段より出力し、こ
れをもとに露光時間ＴEXPでＣＣＤ撮像装置の露光を行
うことによって、パルスレーザ光一発毎の出力時間中に
ＣＣＤ撮像装置の露光が行なわれ、パルスレーザ光のパ
ルス幅や周期等の発振条件を変更した場合にも、パルス
レーザ一発毎の光強度分布測定が容易にかつ自動的に行
なえる。
の概念においては、パルスレーザ光が外部のパルス発生
器より出力されるパルス信号（パルス幅τ2）に基づい
て出力される場合に、ＣＣＤ撮像装置の露光時間をＴ
EXP、ＣＣＤ撮像装置の読み出し信号の周期をＴVD、パ
ルスレーザ光の発振のパルス幅をτ1として、 ＴVD+τ2−τ1≦ＴE≦ＴVD＋τ2−ＴEXP に従って演算手段でＴEを計算し、外部のパルス発生器
より出力されるパルス信号の出力から遅れ時間ＴE後に
パルスレーザ光のパルスを立ち上げ、一方、上記外部の
パルス発生器より出力されるパルス信号をトリガ信号と
して、このパルス信号に基づいてＣＣＤ撮像装置の露光
を制御する読み出し信号を撮像制御手段より出力し、こ
れをもとに露光時間ＴEXPでＣＣＤ撮像装置の露光を行
うことによって、パルスレーザ光一発毎の出力時間中に
ＣＣＤ撮像装置の露光が行なわれ、パルスレーザ光のパ
ルス幅や周期等の発振条件を変更した場合にも、パルス
レーザ一発毎の光強度分布測定が容易にかつ自動的に行
なえる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の一実施例によるパルスレーザ
光の光強度分布測定装置について図１から図３を参照し
ながら説明する。図１において、レーザ発振器２０は内
部にパルス発生器が内蔵されたレーザコントローラ２１
により動作が制御され、このレーザ発振器２０とレーザ
コントローラ２１とでパルスレーザ加工機本体が構成さ
れる。このレーザ発振器２０に対して図中２点鎖線で囲
まれた本実施例によるパルスレーザ光の光強度分布測定
装置１００が設けられている。パルスレーザ光の光強度
分布測定装置１００は、ビームサンプラ２Ａ，２ａ，２
ｂ、ビームアブソーバ５、滅光フィルタ６、集光レンズ
７、ＣＣＤ撮像装置８、撮像制御手段としてのカメラコ
ントローラ９、画像処理装置１０、ＴＶモニタ１０Ａを
備え、これらが測定されるパルスレーザ光の経路順に設
置されている。
光の光強度分布測定装置について図１から図３を参照し
ながら説明する。図１において、レーザ発振器２０は内
部にパルス発生器が内蔵されたレーザコントローラ２１
により動作が制御され、このレーザ発振器２０とレーザ
コントローラ２１とでパルスレーザ加工機本体が構成さ
れる。このレーザ発振器２０に対して図中２点鎖線で囲
まれた本実施例によるパルスレーザ光の光強度分布測定
装置１００が設けられている。パルスレーザ光の光強度
分布測定装置１００は、ビームサンプラ２Ａ，２ａ，２
ｂ、ビームアブソーバ５、滅光フィルタ６、集光レンズ
７、ＣＣＤ撮像装置８、撮像制御手段としてのカメラコ
ントローラ９、画像処理装置１０、ＴＶモニタ１０Ａを
備え、これらが測定されるパルスレーザ光の経路順に設
置されている。
【００１３】レーザ発振器２０より出力されたパルスレ
ーザ光１は、トリガ信号発生のためにビームサンプラ２
Ａによって極微少量がサンプリングされ、光強度分布測
定のためにビームサンプラ２ａでさらにその１部（〜４
％程度）がサンプル光４として反射して取り出される。
ビームサンプラ２ａを透過した主レーザ光３はレーザ加
工機の本来の目的であるレーザ加工や測定等に使用され
る。サンプル光４は、さらにビームサンプラ２ｂにより
減光され、滅光フィルタ６及び集光レンズ７を透過して
パルスレーザ光強度分布（レーザビーム断面の光強度分
布）の２次元画像を検出するためのＣＣＤ撮像装置８に
入射する。一方、ビームサンプラ２ｂを透過したパルス
レーザ光はビームアブソーバ５で吸収される。尚、減光
フィルタ６はＣＣＤ撮像装置８の感度レベルを越えない
ようにパルスレーザ光の強度を最終的に調整するもの
で、減光率の異なる減光フィルターを何枚か組み合わせ
ることにより構成され、また集光レンズ７はパルスレー
ザ光のビーム径を縮小してＣＣＤ撮像装置８に入射させ
るためのものである。ＣＣＤ撮像装置８で検出されたパ
ルスレーザ光の光強度分布のデータはカメラコントロー
ラ９及び画像処理装置１０を経てＴＶモニタ１０Ａに表
示される。
ーザ光１は、トリガ信号発生のためにビームサンプラ２
Ａによって極微少量がサンプリングされ、光強度分布測
定のためにビームサンプラ２ａでさらにその１部（〜４
％程度）がサンプル光４として反射して取り出される。
ビームサンプラ２ａを透過した主レーザ光３はレーザ加
工機の本来の目的であるレーザ加工や測定等に使用され
る。サンプル光４は、さらにビームサンプラ２ｂにより
減光され、滅光フィルタ６及び集光レンズ７を透過して
パルスレーザ光強度分布（レーザビーム断面の光強度分
布）の２次元画像を検出するためのＣＣＤ撮像装置８に
入射する。一方、ビームサンプラ２ｂを透過したパルス
レーザ光はビームアブソーバ５で吸収される。尚、減光
フィルタ６はＣＣＤ撮像装置８の感度レベルを越えない
ようにパルスレーザ光の強度を最終的に調整するもの
で、減光率の異なる減光フィルターを何枚か組み合わせ
ることにより構成され、また集光レンズ７はパルスレー
ザ光のビーム径を縮小してＣＣＤ撮像装置８に入射させ
るためのものである。ＣＣＤ撮像装置８で検出されたパ
ルスレーザ光の光強度分布のデータはカメラコントロー
ラ９及び画像処理装置１０を経てＴＶモニタ１０Ａに表
示される。
【００１４】また、上記経路とは別に、ビームサンプラ
２Ａで取り出したパルスレーザ光の一部を検出してパル
スレーザ光信号１１に変換するフォトダイオード１２、
後述のようにパルスレーザ光のパルス幅τ1及び周期Ｔ
FPと、ＣＣＤ撮像装置８の露光を制御する読み出し信号
としての垂直同期信号（ＶＤ信号）の周期ＴVDと、ＣＣ
Ｄ撮像装置８の露光時間ＴEXPとを用いてパルスレーザ
光のパルスの立ち下がりに対する読み出し信号の出力ま
での遅れ時間ＴDを計算し設定する演算装置１５、フォ
トダイオード１２で検出されたパルスレーザ光信号１１
の立ち下がりから、演算装置１５で設定された遅れ時間
ＴDに相当するパルス幅のトリガ信号１３をカメラコン
トローラ９に出力するトリガ発生器１４が設置されてい
る。
２Ａで取り出したパルスレーザ光の一部を検出してパル
スレーザ光信号１１に変換するフォトダイオード１２、
後述のようにパルスレーザ光のパルス幅τ1及び周期Ｔ
FPと、ＣＣＤ撮像装置８の露光を制御する読み出し信号
としての垂直同期信号（ＶＤ信号）の周期ＴVDと、ＣＣ
Ｄ撮像装置８の露光時間ＴEXPとを用いてパルスレーザ
光のパルスの立ち下がりに対する読み出し信号の出力ま
での遅れ時間ＴDを計算し設定する演算装置１５、フォ
トダイオード１２で検出されたパルスレーザ光信号１１
の立ち下がりから、演算装置１５で設定された遅れ時間
ＴDに相当するパルス幅のトリガ信号１３をカメラコン
トローラ９に出力するトリガ発生器１４が設置されてい
る。
【００１５】光強度分布測定装置１００の撮像装置とし
ては、安価で、またパルスレーザ光の一発毎の光強度分
布測定に適した電子シャッタ機能を有するＣＣＤ撮像素
子を有するＣＣＤ撮像装置８が用いられる、この電子シ
ャッタ機能を有したＣＣＤ撮像装置による露光から映像
信号出力までの基本的な動作は次のようである。図２は
横軸に時間の推移をとり、垂直同期信号（ＶＤ信号）が
ＣＣＤ撮像装置に入力されてから映像信号が出力される
までの動作に対応するタイムチャートである。図２にお
いて、垂直同期信号（ＶＤ信号）が入力されるとその立
ち下がりに同期してシャッタパルスが入力され、露光が
行なわれる。電子シャッタ機能を有しない通常のＣＣＤ
撮像装置の場合には、垂直同期信号（ＶＤ信号）の立ち
下がりから次の立ち下がりまでの時間、即ちＴVDが露光
時間となるが、本実施例に使用される電子シャッタ機能
を有するＣＣＤ撮像装置の場合には、図２に示すよう
に、露光は垂直同期信号（ＶＤ信号）の立ち下がりから
時間（ＴVD−ＴEXP）の後に開始し、設定した露光時間
ＴEXPの間露光が行なわれ、次の垂直同期信号（ＶＤ信
号）とともに露光が終了する。この場合、画素に蓄積さ
れる電荷のうち、露光時間ＴEXP以外の時間、即ち時間
（ＴVD−ＴEXP）の間に露光した不要な電荷は捨てら
れ、露光時間ＴEXP内に露光された電荷のみを信号電荷
（図中２０１，２０２，２０３）として取り出し、次の
垂直同期信号（ＶＤ信号）が入力されるまでにそれぞれ
に対応する映像信号（図中３０１，３０２，３０３）と
して出力される。その後は、同様にして順次映像信号が
出力される。
ては、安価で、またパルスレーザ光の一発毎の光強度分
布測定に適した電子シャッタ機能を有するＣＣＤ撮像素
子を有するＣＣＤ撮像装置８が用いられる、この電子シ
ャッタ機能を有したＣＣＤ撮像装置による露光から映像
信号出力までの基本的な動作は次のようである。図２は
横軸に時間の推移をとり、垂直同期信号（ＶＤ信号）が
ＣＣＤ撮像装置に入力されてから映像信号が出力される
までの動作に対応するタイムチャートである。図２にお
いて、垂直同期信号（ＶＤ信号）が入力されるとその立
ち下がりに同期してシャッタパルスが入力され、露光が
行なわれる。電子シャッタ機能を有しない通常のＣＣＤ
撮像装置の場合には、垂直同期信号（ＶＤ信号）の立ち
下がりから次の立ち下がりまでの時間、即ちＴVDが露光
時間となるが、本実施例に使用される電子シャッタ機能
を有するＣＣＤ撮像装置の場合には、図２に示すよう
に、露光は垂直同期信号（ＶＤ信号）の立ち下がりから
時間（ＴVD−ＴEXP）の後に開始し、設定した露光時間
ＴEXPの間露光が行なわれ、次の垂直同期信号（ＶＤ信
号）とともに露光が終了する。この場合、画素に蓄積さ
れる電荷のうち、露光時間ＴEXP以外の時間、即ち時間
（ＴVD−ＴEXP）の間に露光した不要な電荷は捨てら
れ、露光時間ＴEXP内に露光された電荷のみを信号電荷
（図中２０１，２０２，２０３）として取り出し、次の
垂直同期信号（ＶＤ信号）が入力されるまでにそれぞれ
に対応する映像信号（図中３０１，３０２，３０３）と
して出力される。その後は、同様にして順次映像信号が
出力される。
【００１６】次に、上記のような電子シャッタ機能を有
するＣＣＤ撮像装置を用いた本実施例によるおける演算
装置１５の演算原理及び機能を図３を用いて説明する。
図３は横軸に時間の推移をとり、レーザパルス信号１１
がフォトダイオード１２よりトリガ発生器１４に入力さ
れてからＣＣＤ撮像装置８において露光が行われるまで
の動作に対応するタイムチャートである。図３に示すよ
うに、パルスレーザ光信号１１（パルス幅τ1、周期Ｔ
FP）を基に、その発振のパルスの立ち下がりと同期して
トリガ発生器１４よりトリガ信号１３をカメラコントロ
ーラ９に入力する。このトリガ信号１３のパルス幅は、
後述するようにして演算装置１５で計算された遅れ時間
ＴDに相当する。カメラコントローラ９では、トリガ信
号１３の立ち下がりに同期して固定された周期ＴVDの垂
直同期信号（ＶＤ信号）１６を発生させ、これがＣＣＤ
撮像装置８に入力される。即ち、パルスレーザ光信号１
１の立ち下がりから遅れ時間ＴD後に垂直同期信号（Ｖ
Ｄ信号）１６が発生することになる。そして前述のよう
に垂直同期信号（ＶＤ信号）１６に基づいたシャッター
パルス１７により、設定された露光時間ＴEXPでＣＣＤ
撮像装置８の露光が行なわれる。
するＣＣＤ撮像装置を用いた本実施例によるおける演算
装置１５の演算原理及び機能を図３を用いて説明する。
図３は横軸に時間の推移をとり、レーザパルス信号１１
がフォトダイオード１２よりトリガ発生器１４に入力さ
れてからＣＣＤ撮像装置８において露光が行われるまで
の動作に対応するタイムチャートである。図３に示すよ
うに、パルスレーザ光信号１１（パルス幅τ1、周期Ｔ
FP）を基に、その発振のパルスの立ち下がりと同期して
トリガ発生器１４よりトリガ信号１３をカメラコントロ
ーラ９に入力する。このトリガ信号１３のパルス幅は、
後述するようにして演算装置１５で計算された遅れ時間
ＴDに相当する。カメラコントローラ９では、トリガ信
号１３の立ち下がりに同期して固定された周期ＴVDの垂
直同期信号（ＶＤ信号）１６を発生させ、これがＣＣＤ
撮像装置８に入力される。即ち、パルスレーザ光信号１
１の立ち下がりから遅れ時間ＴD後に垂直同期信号（Ｖ
Ｄ信号）１６が発生することになる。そして前述のよう
に垂直同期信号（ＶＤ信号）１６に基づいたシャッター
パルス１７により、設定された露光時間ＴEXPでＣＣＤ
撮像装置８の露光が行なわれる。
【００１７】ところで、ＣＣＤ撮像装置８の露光によっ
てパルスレーザ光の光強度分布測定を行なう場合には、
一発毎のパルスレーザ光が発せられている間、即ちパル
スレーザ光信号１１の出力時間中にＣＣＤ撮像装置８の
露光開始及び終了を行なう必要がある。つまり、図３に
おいてＣＣＤ撮像装置８の露光時間ＴEXPがパルスレー
ザ光信号１１のパルス幅τ1の範囲になければならな
い。このために演算装置１５においては遅れ時間Ｔ
D（トリガ信号１３のパルス幅）を次のように計算し設
定する。パルスレーザ光信号１１の最初の発振のパルス
の立ち下がりの時刻を０、ＣＣＤ撮像装置８の露光開始
時刻をＴST、露光終了時刻をＴSPとすると、これらの時
刻はそれぞれ次のように表わされる。 ＴST＝ＴD＋ＴVD−ＴEXP ・・・（１） ＴSP＝ＴD＋ＴVD ・・・（２） また、上記露光が、時刻０において外部トリガ信号１３
のカメラコントローラ９への入力から数えてＮ発目のパ
ルスレーザ光信号１１の出力時間中（τ1）に行なわれ
るとすると、そのためにはＴST及びＴSPは次式の条件を
満たさなければならない。尚、Ｎは、Ｎ＞ＴVD／ＴFPを
満たす整数である。 Ｎ・ＴFP−τ1≦ＴST＜Ｎ・ＴFP・・・（３） Ｎ・ＴFP−τ1＜ＴSP≦Ｎ・ＴFP・・・（４） 上記式（１）及び式（２）をそれぞれ式（３）及び式
（４）に代入し、整理することにより、式（５）が得ら
れる。 Ｎ・ＴFP＋ＴEXP−ＴVD−τ1≦ＴD≦Ｎ・ＴFP−ＴVD・・・（５） 式（５）は遅れ時間ＴD（トリガ信号１３のパルス幅）
の条件を表す式であって演算装置１５に予め記憶されて
おり、演算装置１５は必要な数値をレーザコントローラ
２１から受取り、遅れ時間ＴDを計算し設定する。即
ち、演算装置１５には垂直同期信号（ＶＤ信号）の周期
ＴVDが予め入力されており、パルスレーザ光出力時にレ
ーザコントローラ２１より設定されたパルス幅τ1と周
期ＴFPが入力され、パルス幅τ1をもとに露出時間ＴEXP
が、周期ＴFP及び垂直同期信号（ＶＤ信号）の周期ＴVD
をもとにＮがそれぞれ決定、選択され、これらＴVD，τ
1，ＴFP，ＴEXP，Ｎの値をもとに式（５）を用いて遅れ
時間ＴDが計算及び設定される。
てパルスレーザ光の光強度分布測定を行なう場合には、
一発毎のパルスレーザ光が発せられている間、即ちパル
スレーザ光信号１１の出力時間中にＣＣＤ撮像装置８の
露光開始及び終了を行なう必要がある。つまり、図３に
おいてＣＣＤ撮像装置８の露光時間ＴEXPがパルスレー
ザ光信号１１のパルス幅τ1の範囲になければならな
い。このために演算装置１５においては遅れ時間Ｔ
D（トリガ信号１３のパルス幅）を次のように計算し設
定する。パルスレーザ光信号１１の最初の発振のパルス
の立ち下がりの時刻を０、ＣＣＤ撮像装置８の露光開始
時刻をＴST、露光終了時刻をＴSPとすると、これらの時
刻はそれぞれ次のように表わされる。 ＴST＝ＴD＋ＴVD−ＴEXP ・・・（１） ＴSP＝ＴD＋ＴVD ・・・（２） また、上記露光が、時刻０において外部トリガ信号１３
のカメラコントローラ９への入力から数えてＮ発目のパ
ルスレーザ光信号１１の出力時間中（τ1）に行なわれ
るとすると、そのためにはＴST及びＴSPは次式の条件を
満たさなければならない。尚、Ｎは、Ｎ＞ＴVD／ＴFPを
満たす整数である。 Ｎ・ＴFP−τ1≦ＴST＜Ｎ・ＴFP・・・（３） Ｎ・ＴFP−τ1＜ＴSP≦Ｎ・ＴFP・・・（４） 上記式（１）及び式（２）をそれぞれ式（３）及び式
（４）に代入し、整理することにより、式（５）が得ら
れる。 Ｎ・ＴFP＋ＴEXP−ＴVD−τ1≦ＴD≦Ｎ・ＴFP−ＴVD・・・（５） 式（５）は遅れ時間ＴD（トリガ信号１３のパルス幅）
の条件を表す式であって演算装置１５に予め記憶されて
おり、演算装置１５は必要な数値をレーザコントローラ
２１から受取り、遅れ時間ＴDを計算し設定する。即
ち、演算装置１５には垂直同期信号（ＶＤ信号）の周期
ＴVDが予め入力されており、パルスレーザ光出力時にレ
ーザコントローラ２１より設定されたパルス幅τ1と周
期ＴFPが入力され、パルス幅τ1をもとに露出時間ＴEXP
が、周期ＴFP及び垂直同期信号（ＶＤ信号）の周期ＴVD
をもとにＮがそれぞれ決定、選択され、これらＴVD，τ
1，ＴFP，ＴEXP，Ｎの値をもとに式（５）を用いて遅れ
時間ＴDが計算及び設定される。
【００１８】一例として、τ1＝０．６msec、ＴFP＝３
３．３msecの場合、ＴEXP＝０．１msec、Ｎ＝１として
式（５）に従ってＴDを求めると、１６．１msec≦ＴD≦
１６．６msecとなる。尚、ここに、ＴVD＝１／６０sec
とした。演算装置１５ではこの計算を行ない、１６．１
msecから１６．６msecまでの任意の値、例えば１６．４
msecを選択し設定する。尚、この選択及び設定はオペレ
ータが外部より行なってもよい。
３．３msecの場合、ＴEXP＝０．１msec、Ｎ＝１として
式（５）に従ってＴDを求めると、１６．１msec≦ＴD≦
１６．６msecとなる。尚、ここに、ＴVD＝１／６０sec
とした。演算装置１５ではこの計算を行ない、１６．１
msecから１６．６msecまでの任意の値、例えば１６．４
msecを選択し設定する。尚、この選択及び設定はオペレ
ータが外部より行なってもよい。
【００１９】次に、本実施例によるパルスレーザ光の光
強度分布測定装置の動作を説明する。図１において、レ
ーザ発振器２０は一般にレーザコントローラ２１により
コントロールされ、所定のパルス幅τ1と周期ＴFPでパ
ルスレーザ光を出力する。レーザ発振器２０より出力さ
れたパルスレーザ光１は、前述の通りビームサンプラ２
Ａ，２ａ，２ｂにより減光され、滅光フィルタ６及び集
光レンズ７を透過してＣＣＤ撮像装置８で検出され、カ
メラコントローラ９及び画像処理装置１０を経てパルス
レーザ光の光強度分布のデータがＴＶモニタ１０Ａに表
示される。
強度分布測定装置の動作を説明する。図１において、レ
ーザ発振器２０は一般にレーザコントローラ２１により
コントロールされ、所定のパルス幅τ1と周期ＴFPでパ
ルスレーザ光を出力する。レーザ発振器２０より出力さ
れたパルスレーザ光１は、前述の通りビームサンプラ２
Ａ，２ａ，２ｂにより減光され、滅光フィルタ６及び集
光レンズ７を透過してＣＣＤ撮像装置８で検出され、カ
メラコントローラ９及び画像処理装置１０を経てパルス
レーザ光の光強度分布のデータがＴＶモニタ１０Ａに表
示される。
【００２０】一方、ビームサンプラ２Ａで取り出された
サンプル光は、フォトダイオード１２で検出され、これ
に基づくパルス光信号１１がトリガ発生器１４に入力さ
れ、また演算装置１５では上記のようにして遅れ時間Ｔ
Dが計算及び設定され、この遅れ時間ＴDがトリガ発生器
１４に入力される。このトリガ発生器１４からは遅れ時
間ＴDに相当するパルス幅のトリガ信号１３がカメラコ
ントローラ９に入力される。カメラコントローラ９から
は、図３に示すようにトリガ信号１３の立ち下がりに同
期した垂直同期信号（ＶＤ信号）１６がＣＣＤ撮像装置
に入力され、この垂直同期信号（ＶＤ信号）１６に基づ
いたシャッターパルス１７により、設定された露光時間
ＴEXPでＣＣＤ撮像装置の露光が行なわれる。ここで、
遅れ時間ＴDが上記のように設定されているので、ＣＣ
Ｄ撮像装置８の露光はパルスレーザ光一発毎の出力時間
中に確実に行なわれる。
サンプル光は、フォトダイオード１２で検出され、これ
に基づくパルス光信号１１がトリガ発生器１４に入力さ
れ、また演算装置１５では上記のようにして遅れ時間Ｔ
Dが計算及び設定され、この遅れ時間ＴDがトリガ発生器
１４に入力される。このトリガ発生器１４からは遅れ時
間ＴDに相当するパルス幅のトリガ信号１３がカメラコ
ントローラ９に入力される。カメラコントローラ９から
は、図３に示すようにトリガ信号１３の立ち下がりに同
期した垂直同期信号（ＶＤ信号）１６がＣＣＤ撮像装置
に入力され、この垂直同期信号（ＶＤ信号）１６に基づ
いたシャッターパルス１７により、設定された露光時間
ＴEXPでＣＣＤ撮像装置の露光が行なわれる。ここで、
遅れ時間ＴDが上記のように設定されているので、ＣＣ
Ｄ撮像装置８の露光はパルスレーザ光一発毎の出力時間
中に確実に行なわれる。
【００２１】また、パルスレーザ光１のパルス幅τ1や
周期ＴFP等の発振条件を変更した場合には、レーザコン
トローラ２１から演算装置１５に変更したパルス幅τ1
や周期ＴFPの値が入力され、演算装置１５においてはこ
の値に基づいて前述と同様に遅れ時間ＴDを計算し設定
する。従って、ＣＣＤ撮像装置８の露光はパルスレーザ
光一発毎の出力時間中に確実に行なわれ、パルスレーザ
一発毎の光強度分布測定が容易にかつ自動的に行なうこ
とができる。
周期ＴFP等の発振条件を変更した場合には、レーザコン
トローラ２１から演算装置１５に変更したパルス幅τ1
や周期ＴFPの値が入力され、演算装置１５においてはこ
の値に基づいて前述と同様に遅れ時間ＴDを計算し設定
する。従って、ＣＣＤ撮像装置８の露光はパルスレーザ
光一発毎の出力時間中に確実に行なわれ、パルスレーザ
一発毎の光強度分布測定が容易にかつ自動的に行なうこ
とができる。
【００２２】以上のように本実施例によれば、遅れ時間
ＴDを計算及び設定し、トリガ発生器１４から出力され
るパルス幅ＴDのトリガ信号に基づいて、遅れ時間ＴD後
にＣＣＤ撮像装置８の露光の制御を行うので、パルスレ
ーザ光一発毎の出力時間中にＣＣＤ撮像装置の露光が行
なわれ、パルスレーザ光１のパルス幅や周期等の発振条
件を変更した場合にも、パルスレーザ一発毎の光強度分
布測定が容易にかつ自動的に行なえる。
ＴDを計算及び設定し、トリガ発生器１４から出力され
るパルス幅ＴDのトリガ信号に基づいて、遅れ時間ＴD後
にＣＣＤ撮像装置８の露光の制御を行うので、パルスレ
ーザ光一発毎の出力時間中にＣＣＤ撮像装置の露光が行
なわれ、パルスレーザ光１のパルス幅や周期等の発振条
件を変更した場合にも、パルスレーザ一発毎の光強度分
布測定が容易にかつ自動的に行なえる。
【００２３】次に、本発明の他の実施例によるパルスレ
ーザ光の光強度分布測定装置について図４から図６を参
照しながら説明する。本実施例は、図１の実施例のよう
にレーザコントローラにパルス発生器が内蔵されたもの
はでなく、パルスレーザ加工機本体外部にあるパルス発
生器のパルスによりパルスレーザ光を発振する場合に適
用されるものである。図４において、レーザ発振器２０
はレーザコントローラ２２により動作が制御され、この
レーザ発振器２０とレーザコントローラ２２とでパルス
レーザ加工機本体が構成される。また、パルス発生器３
３はパルスレーザ加工機本体外部に設けられている。こ
のレーザ発振器２０に対して、図中２点鎖線で囲まれた
本実施例によるパルスレーザ光の光強度分布測定装置１
０１が設けられている。パルスレーザ光の光強度分布測
定装置１０１における図１の実施例との相違点は、ビー
ムサンプラ２Ａ、フォトダイオード１２及びトリガ発生
器１４がなく、演算装置１８の機能及び接続関係が図１
の実施例の演算装置１５と異なることであり、それ以外
の構成及び各部材の機能は図１の実施例のものと同様で
ある。
ーザ光の光強度分布測定装置について図４から図６を参
照しながら説明する。本実施例は、図１の実施例のよう
にレーザコントローラにパルス発生器が内蔵されたもの
はでなく、パルスレーザ加工機本体外部にあるパルス発
生器のパルスによりパルスレーザ光を発振する場合に適
用されるものである。図４において、レーザ発振器２０
はレーザコントローラ２２により動作が制御され、この
レーザ発振器２０とレーザコントローラ２２とでパルス
レーザ加工機本体が構成される。また、パルス発生器３
３はパルスレーザ加工機本体外部に設けられている。こ
のレーザ発振器２０に対して、図中２点鎖線で囲まれた
本実施例によるパルスレーザ光の光強度分布測定装置１
０１が設けられている。パルスレーザ光の光強度分布測
定装置１０１における図１の実施例との相違点は、ビー
ムサンプラ２Ａ、フォトダイオード１２及びトリガ発生
器１４がなく、演算装置１８の機能及び接続関係が図１
の実施例の演算装置１５と異なることであり、それ以外
の構成及び各部材の機能は図１の実施例のものと同様で
ある。
【００２４】本実施例に適用される外部のパルス発生器
による一般的なパルスレーザ光の発振動作は、図５にタ
イムチャートで示すように、外部のパルス発生器で発生
したパルス信号に同期して、レーザコントローラ２２に
コントロールされたレーザ発振器より、設定されたパル
ス幅τ1のパルスレーザ光が出力される。また、パルス
レーザ光の周期ＴFPは外部のパルス発生器で発生させる
パルス信号の周期に等しくなる。
による一般的なパルスレーザ光の発振動作は、図５にタ
イムチャートで示すように、外部のパルス発生器で発生
したパルス信号に同期して、レーザコントローラ２２に
コントロールされたレーザ発振器より、設定されたパル
ス幅τ1のパルスレーザ光が出力される。また、パルス
レーザ光の周期ＴFPは外部のパルス発生器で発生させる
パルス信号の周期に等しくなる。
【００２５】本実施例では、図１の実施例のようにトリ
ガ信号１３を発生させる必要がなく、パルス発生器３３
からのパルス信号３４をそのままトリガ信号としてカメ
ラコントローラ９に入力させることができる。一方、パ
ルスレーザ光１は、図５のようにパルス発生器のパルス
信号に同期させるのではなく、パルス発生器３３のパル
ス信号３４の立上りより後述する遅れ時間ＴE後にパル
スレーザ光１の発振のパルスが立上るようにレーザコン
トローラ２２で制御される。以下、本実施例における演
算装置１８の演算原理及び機能について図６を用いて説
明する。
ガ信号１３を発生させる必要がなく、パルス発生器３３
からのパルス信号３４をそのままトリガ信号としてカメ
ラコントローラ９に入力させることができる。一方、パ
ルスレーザ光１は、図５のようにパルス発生器のパルス
信号に同期させるのではなく、パルス発生器３３のパル
ス信号３４の立上りより後述する遅れ時間ＴE後にパル
スレーザ光１の発振のパルスが立上るようにレーザコン
トローラ２２で制御される。以下、本実施例における演
算装置１８の演算原理及び機能について図６を用いて説
明する。
【００２６】図６は横軸に時間の推移をとり、パルス発
生器３３からのパルス信号３４が発生してからＣＣＤ撮
像装置８において露光が行われ、パルスレーザ光１が発
振するまでの動作に対応するタイムチャートである。図
６に示すように、パルス信号３４（パルス幅τ2、周期
ＴFP）がトリガ信号としてカメラコントローラ９に入力
され、カメラコントローラ９では、パルス信号３４の立
ち下がりに同期して、ＣＣＤ撮像装置８の露光を制御す
る読み出し信号でかつ固定された周期ＴVDを有する垂直
同期信号（ＶＤ信号）１６Ａを発生させ、これがＣＣＤ
撮像装置８に入力される。即ち、パルスレーザ光１のパ
ルスの立ち下がりと同期して垂直同期信号（ＶＤ信号）
１６Ａが発生することになる。そして図１の実施例と同
様にして垂直同期信号（ＶＤ信号）１６Ａに基づいたシ
ャッターパルス１７Ａにより、設定された露光時間Ｔ
EXPでＣＣＤ撮像装置８の露光が行なわれる。また、パ
ルス信号３４の立上りより遅れ時間ＴE後にパルスレー
ザ光１が出力されるが、本実施例においても、ＣＣＤ撮
像装置８の露光時間ＴEXPがパルスレーザ光１のパルス
幅τ1の範囲になければならない。
生器３３からのパルス信号３４が発生してからＣＣＤ撮
像装置８において露光が行われ、パルスレーザ光１が発
振するまでの動作に対応するタイムチャートである。図
６に示すように、パルス信号３４（パルス幅τ2、周期
ＴFP）がトリガ信号としてカメラコントローラ９に入力
され、カメラコントローラ９では、パルス信号３４の立
ち下がりに同期して、ＣＣＤ撮像装置８の露光を制御す
る読み出し信号でかつ固定された周期ＴVDを有する垂直
同期信号（ＶＤ信号）１６Ａを発生させ、これがＣＣＤ
撮像装置８に入力される。即ち、パルスレーザ光１のパ
ルスの立ち下がりと同期して垂直同期信号（ＶＤ信号）
１６Ａが発生することになる。そして図１の実施例と同
様にして垂直同期信号（ＶＤ信号）１６Ａに基づいたシ
ャッターパルス１７Ａにより、設定された露光時間Ｔ
EXPでＣＣＤ撮像装置８の露光が行なわれる。また、パ
ルス信号３４の立上りより遅れ時間ＴE後にパルスレー
ザ光１が出力されるが、本実施例においても、ＣＣＤ撮
像装置８の露光時間ＴEXPがパルスレーザ光１のパルス
幅τ1の範囲になければならない。
【００２７】このために演算装置１８においては、遅れ
時間ＴEを次のように計算し設定する。パルス信号３４
の最初の発振のパルスの立ち下がりの時刻を０、ＣＣＤ
撮像装置８の露光開始時刻をＴST、露光終了時刻をＴSP
とすると、これらの時刻はそれぞれ次のように表わされ
る。 ＴST＝τ2＋ＴVD−ＴEXP ・・・（６） ＴSP＝τ2＋ＴVD ・・・（７） また、上記露光がパルスレーザ光１の出力時間中
（τ1）に行なわれるとすると、そのためにはＴST及び
ＴSPは次式の条件を満たさなければならない。 ＴE≦ＴST＜ＴE＋τ1 ・・・（８） ＴE＜ＴSP≦ＴE＋τ1 ・・・（９） 上記式（６）及び式（７）をそれぞれ式（８）及び式
（９）に代入し、整理することにより、遅れ時間ＴEの
条件を表す式（１０）が得られる。 ＴVD＋τ2−τ1≦ＴE≦ＴVD＋τ2−ＴEXP・・・（１０） 演算装置１８にはこの（１０）式が予め記憶されてお
り、演算装置１８は必要な数値をパルス発生器３３及び
レーザコントローラ２２から受取り、遅れ時間ＴEを計
算し設定する。即ち、演算装置１８には垂直同期信号
（ＶＤ信号）の周期ＴVDが予め入力されており、パルス
レーザ光出力時にパルス発生器３３よりパルス信号３４
のパルス幅τ2及び周期ＴFPが、レーザコントローラ２
２より設定されたパルス幅τ1がそれぞれ入力され、パ
ルス幅τ1をもとに露出時間ＴEXPが決定、選択され、こ
れらＴVD，τ1，τ2，ＴEXPの値をもとに式（１０）を
用いて遅れ時間ＴEが計算及び設定される。但し、パル
スレーザ光の発振の周期ＴFPは、この計算には使用され
ず、そのままレーザコントローラ２２に入力される。
尚、式（１０）は、図１の実施例で求めた式（５）より
も簡単な式となっており、特にパルスレーザ光の発振の
周期ＴFPに関係なく、容易に計算することができる。
時間ＴEを次のように計算し設定する。パルス信号３４
の最初の発振のパルスの立ち下がりの時刻を０、ＣＣＤ
撮像装置８の露光開始時刻をＴST、露光終了時刻をＴSP
とすると、これらの時刻はそれぞれ次のように表わされ
る。 ＴST＝τ2＋ＴVD−ＴEXP ・・・（６） ＴSP＝τ2＋ＴVD ・・・（７） また、上記露光がパルスレーザ光１の出力時間中
（τ1）に行なわれるとすると、そのためにはＴST及び
ＴSPは次式の条件を満たさなければならない。 ＴE≦ＴST＜ＴE＋τ1 ・・・（８） ＴE＜ＴSP≦ＴE＋τ1 ・・・（９） 上記式（６）及び式（７）をそれぞれ式（８）及び式
（９）に代入し、整理することにより、遅れ時間ＴEの
条件を表す式（１０）が得られる。 ＴVD＋τ2−τ1≦ＴE≦ＴVD＋τ2−ＴEXP・・・（１０） 演算装置１８にはこの（１０）式が予め記憶されてお
り、演算装置１８は必要な数値をパルス発生器３３及び
レーザコントローラ２２から受取り、遅れ時間ＴEを計
算し設定する。即ち、演算装置１８には垂直同期信号
（ＶＤ信号）の周期ＴVDが予め入力されており、パルス
レーザ光出力時にパルス発生器３３よりパルス信号３４
のパルス幅τ2及び周期ＴFPが、レーザコントローラ２
２より設定されたパルス幅τ1がそれぞれ入力され、パ
ルス幅τ1をもとに露出時間ＴEXPが決定、選択され、こ
れらＴVD，τ1，τ2，ＴEXPの値をもとに式（１０）を
用いて遅れ時間ＴEが計算及び設定される。但し、パル
スレーザ光の発振の周期ＴFPは、この計算には使用され
ず、そのままレーザコントローラ２２に入力される。
尚、式（１０）は、図１の実施例で求めた式（５）より
も簡単な式となっており、特にパルスレーザ光の発振の
周期ＴFPに関係なく、容易に計算することができる。
【００２８】次に、本実施例によるパルスレーザ光の光
強度分布測定装置の動作を説明する。図４において、外
部のパルス発生器３３からのパルス信号３４がトリガ信
号としてカメラコントローラ９に入力され、カメラコン
トローラ９からは、図６に示すようにパルス信号３４の
立ち下がりに同期した垂直同期信号（ＶＤ信号）１６Ａ
を発生させ、これがＣＣＤ撮像装置８に入力され、この
垂直同期信号（ＶＤ信号）１６Ａに基づいたシャッター
パルス１７Ａにより、設定された露光時間ＴEXPでＣＣ
Ｄ撮像装置の露光が行なわれる。また、演算装置１８で
は上記のようにして遅れ時間ＴEが計算及び設定され、
この遅れ時間ＴEが周期ＴFPとともにレーザコントロー
ラ２２に入力される。レーザ発振器２０は、パルス信号
３４の立上り時刻からこの遅れ時間ＴE後にパルスレー
ザ光がパルス幅τ2及び周期ＴFPで出力するようにレー
ザコントローラ２２によってコントロールされる。その
後は、図１の実施例と同様にして、サンプリングされた
サンプル光４がＣＣＤ撮像装置８に入射し、検出された
パルスレーザ光の光強度分布のデータがカメラコントロ
ーラ９及び画像処理装置１０を経てＴＶモニタ１０Ａに
表示される。ここで、遅れ時間ＴEが上記のように設定
されているので、ＣＣＤ撮像装置８の露光はパルスレー
ザ光一発毎の出力時間中に確実に行なわれる。
強度分布測定装置の動作を説明する。図４において、外
部のパルス発生器３３からのパルス信号３４がトリガ信
号としてカメラコントローラ９に入力され、カメラコン
トローラ９からは、図６に示すようにパルス信号３４の
立ち下がりに同期した垂直同期信号（ＶＤ信号）１６Ａ
を発生させ、これがＣＣＤ撮像装置８に入力され、この
垂直同期信号（ＶＤ信号）１６Ａに基づいたシャッター
パルス１７Ａにより、設定された露光時間ＴEXPでＣＣ
Ｄ撮像装置の露光が行なわれる。また、演算装置１８で
は上記のようにして遅れ時間ＴEが計算及び設定され、
この遅れ時間ＴEが周期ＴFPとともにレーザコントロー
ラ２２に入力される。レーザ発振器２０は、パルス信号
３４の立上り時刻からこの遅れ時間ＴE後にパルスレー
ザ光がパルス幅τ2及び周期ＴFPで出力するようにレー
ザコントローラ２２によってコントロールされる。その
後は、図１の実施例と同様にして、サンプリングされた
サンプル光４がＣＣＤ撮像装置８に入射し、検出された
パルスレーザ光の光強度分布のデータがカメラコントロ
ーラ９及び画像処理装置１０を経てＴＶモニタ１０Ａに
表示される。ここで、遅れ時間ＴEが上記のように設定
されているので、ＣＣＤ撮像装置８の露光はパルスレー
ザ光一発毎の出力時間中に確実に行なわれる。
【００２９】また、パルスレーザ光１のパルス幅τ1や
周期ＴFP、さらにパルス発生器３３から発生するパルス
信号のパルス幅τ2等の発振条件を変更した場合には、
レーザコントローラ２１から演算装置１８に変更したパ
ルス幅τ1，τ2や周期ＴFPの値が入力され、演算装置１
８においてはこの値に基づいて前述と同様に遅れ時間Ｔ
Eを計算し設定する。従って、ＣＣＤ撮像装置８の露光
はパルスレーザ光一発毎の出力時間中に確実に行なわ
れ、パルスレーザ一発毎の光強度分布測定が容易にかつ
自動的に行なうことができる。
周期ＴFP、さらにパルス発生器３３から発生するパルス
信号のパルス幅τ2等の発振条件を変更した場合には、
レーザコントローラ２１から演算装置１８に変更したパ
ルス幅τ1，τ2や周期ＴFPの値が入力され、演算装置１
８においてはこの値に基づいて前述と同様に遅れ時間Ｔ
Eを計算し設定する。従って、ＣＣＤ撮像装置８の露光
はパルスレーザ光一発毎の出力時間中に確実に行なわ
れ、パルスレーザ一発毎の光強度分布測定が容易にかつ
自動的に行なうことができる。
【００３０】以上のように本実施例によれば、遅れ時間
ＴEを計算及び設定し、この遅れ時間ＴE後にパルスレー
ザ光の発振のパルスを立ち上げ、一方、パルス信号３４
をトリガ信号としてこれに基づいてＣＣＤ撮像装置８の
露光の制御を行うので、パルスレーザ光一発毎の出力時
間中にＣＣＤ撮像装置８の露光が行なわれ、パルスレー
ザ光１のパルス幅や周期等の発振条件を変更した場合に
も、パルスレーザ一発毎の光強度分布測定が容易にかつ
自動的に行なうことができる。しかも（１０）式は式
（５）よりも簡単な式であり、図１の実施例よりも容易
に計算することができる。
ＴEを計算及び設定し、この遅れ時間ＴE後にパルスレー
ザ光の発振のパルスを立ち上げ、一方、パルス信号３４
をトリガ信号としてこれに基づいてＣＣＤ撮像装置８の
露光の制御を行うので、パルスレーザ光一発毎の出力時
間中にＣＣＤ撮像装置８の露光が行なわれ、パルスレー
ザ光１のパルス幅や周期等の発振条件を変更した場合に
も、パルスレーザ一発毎の光強度分布測定が容易にかつ
自動的に行なうことができる。しかも（１０）式は式
（５）よりも簡単な式であり、図１の実施例よりも容易
に計算することができる。
【００３１】
【発明の効果】本発明によれば、遅れ時間ＴDを演算手
段によって計算及び設定し、遅れ時間ＴDを持つトリガ
信号に基づく読み出し信号によってＣＣＤ撮像装置の露
光を制御するので、パルスレーザ光一発毎の出力時間中
にＣＣＤ撮像装置の露光が行なわれ、パルスレーザ光の
パルス幅や周期等の発振条件を変更した場合にも、パル
スレーザ一発毎の光強度分布測定が容易にかつ自動的に
行なえる。
段によって計算及び設定し、遅れ時間ＴDを持つトリガ
信号に基づく読み出し信号によってＣＣＤ撮像装置の露
光を制御するので、パルスレーザ光一発毎の出力時間中
にＣＣＤ撮像装置の露光が行なわれ、パルスレーザ光の
パルス幅や周期等の発振条件を変更した場合にも、パル
スレーザ一発毎の光強度分布測定が容易にかつ自動的に
行なえる。
【００３２】また、パルスレーザ光が外部のパルス発生
器より出力されるパルス信号に基づいて出力される場合
に、遅れ時間ＴEを演算手段によって計算及び設定し、
この遅れ時間ＴE後にパルスレーザ光を出力し、一方、
上記パルス信号をトリガ信号としてこれに基づく読み出
し信号によってＣＣＤ撮像装置の露光を制御するので、
上記と同様の効果が得られる。しかもＴEはＴDよりも簡
単な式で表されるので、容易に計算することができる。
器より出力されるパルス信号に基づいて出力される場合
に、遅れ時間ＴEを演算手段によって計算及び設定し、
この遅れ時間ＴE後にパルスレーザ光を出力し、一方、
上記パルス信号をトリガ信号としてこれに基づく読み出
し信号によってＣＣＤ撮像装置の露光を制御するので、
上記と同様の効果が得られる。しかもＴEはＴDよりも簡
単な式で表されるので、容易に計算することができる。
【図１】本発明の一実施例によるパルスレーザ光の光強
度分布測定装置のブロック図である。
度分布測定装置のブロック図である。
【図２】垂直同期信号（ＶＤ信号）がＣＣＤ撮像装置に
入力されてから映像信号が出力されるまでの動作に対応
するタイムチャートである。
入力されてから映像信号が出力されるまでの動作に対応
するタイムチャートである。
【図３】レーザパルス信号がフォトダイオードよりトリ
ガ発生器に入力されてからＣＣＤ撮像装置において露光
が行われるまでの動作に対応するタイムチャートであ
る。
ガ発生器に入力されてからＣＣＤ撮像装置において露光
が行われるまでの動作に対応するタイムチャートであ
る。
【図４】本発明の他の実施例によるパルスレーザ光の光
強度分布測定装置のブロック図である。
強度分布測定装置のブロック図である。
【図５】外部のパルス発生器による一般的なパルスレー
ザ光の発振動作を示すタイムチャートである。
ザ光の発振動作を示すタイムチャートである。
【図６】外部のパルス発生器からのパルス信号が発生し
てからＣＣＤ撮像装置において露光が行われ、パルスレ
ーザ光が発振するまでの動作に対応するタイムチャート
である。
てからＣＣＤ撮像装置において露光が行われ、パルスレ
ーザ光が発振するまでの動作に対応するタイムチャート
である。
【図７】従来のパルスレーザ光の光強度分布測定装置の
ブロック図である。
ブロック図である。
１ パルスレーザ光 ２Ａ，２ａ，２ｂ ビームサンプラ ４ サンプル光 ８ ＣＣＤ撮像装置 ９ カメラコントローラ １０ 画像処理装置 １０Ａ ＴＶモニタ １３ トリガ信号 １４ トリガ発生器 １１ レーザパルス光信号 １６，１６Ａ 垂直同期信号（ＶＤ信号） １７，１７Ａ シャッターパルス ２０ レーザ発振器 ２１，２２ レーザコントローラ １５，１８ 演算装置 ３３ パルス発生器 ３４ パルス信号
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 多田 信彦 茨城県土浦市神立町650番地 日立建機株 式会社土浦工場内
Claims (2)
- 【請求項１】 パルスレーザ発振器から出力されるパル
スレーザ光の一部を取り出す光学系と、前記取り出され
たパルスレーザ光のレーザビーム断面における光強度分
布を測定するＣＣＤ撮像装置と、前記ＣＣＤ撮像装置で
測定された光強度分布を画像処理して表示する画像処理
表示装置とを備えたパルスレーザ光の光強度分布測定装
置において、前記パルスレーザ光のパルスの立ち下がり
に対する前記ＣＣＤ撮像装置の露光を制御する読み出し
信号の出力までの遅れ時間ＴDを計算する演算手段と、
前記パルスレーザ光のパルスの立ち下がりから前記遅れ
時間ＴDを持つトリガ信号を出力するトリガ出力手段
と、前記トリガ信号に基づいて前記読み出し信号を出力
し前記ＣＣＤ撮像装置の露光を前記パルスレーザ光一発
毎の出力時間中に行なうように制御する撮像制御手段と
を備え、前記演算手段は、前記パルスレーザ光の周期を
ＴFP、前記パルスレーザ光のパルス幅をτ1、前記ＣＣ
Ｄ撮像素子の露光時間をＴEXP、前記ＣＣＤ撮像素子の
読み出し信号の周期をＴVD、Ｎ＞ＴVD／ＴFPを満たす整
数をＮとして、 Ｎ・ＴFP＋ＴEXP−ＴVD−τ1≦ＴD≦Ｎ・ＴFP−ＴVD を満たすように前記遅れ時間ＴDを計算し設定すること
を特徴とするパルスレーザ光の強度分布測定装置。 - 【請求項２】 外部のパルス発生器より出力されるパル
ス信号に基づいてパルスレーザ発振器から出力されるパ
ルスレーザ光の一部を取り出す光学系と、前記取り出さ
れたパルスレーザ光のレーザビーム断面における光強度
分布を測定するＣＣＤ撮像装置と、前記ＣＣＤ撮像装置
で測定された光強度分布を画像処理して表示する画像処
理表示装置とを備えたパルスレーザ光の光強度分布測定
装置において、前記外部のパルス発生器より出力される
パルス信号の出力から前記パルスレーザ光のパルスの立
ち上りまでの遅れ時間ＴEを計算する演算手段と、前記
外部のパルス発生器より出力される前記パルス信号のパ
ルスの立ち下がりに同期して前記ＣＣＤ撮像素子の露光
を制御する読み出し信号を出力し前記読み出し信号をト
リガ信号として前記ＣＣＤ撮像素子の露光が前記パルス
レーザ光一発毎の出力時間中に設定された露光時間で行
なわれるように制御する撮像制御手段とを備え、前記演
算手段は、前記パルスレーザ光の発振のパルス幅を
τ1、前記外部のパルス発生器からのパルス信号のパル
ス幅をτ2、前記ＣＣＤ撮像素子の露光時間をＴEXP、前
記ＣＣＤ撮像素子の読み出し信号の周期をＴVDとして、 ＴVD+τ2−τ1≦ＴE≦ＴVD＋τ2−ＴEXP を満たすように前記遅れ時間ＴEを計算し設定すること
を特徴とするパルスレーザ光の強度分布測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4074180A JPH05281038A (ja) | 1992-03-30 | 1992-03-30 | パルスレーザ光の光強度分布測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4074180A JPH05281038A (ja) | 1992-03-30 | 1992-03-30 | パルスレーザ光の光強度分布測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05281038A true JPH05281038A (ja) | 1993-10-29 |
Family
ID=13539719
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4074180A Pending JPH05281038A (ja) | 1992-03-30 | 1992-03-30 | パルスレーザ光の光強度分布測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05281038A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008096153A (ja) * | 2006-10-06 | 2008-04-24 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ビームプロファイル計測装置及びレーザ加工装置 |
| JP2013111630A (ja) * | 2011-11-30 | 2013-06-10 | Disco Corp | レーザー加工装置 |
| JP2013119117A (ja) * | 2011-12-09 | 2013-06-17 | Disco Corp | レーザー加工装置 |
| KR20130071364A (ko) * | 2011-12-20 | 2013-06-28 | 가부시기가이샤 디스코 | 레이저 가공 장치 |
| WO2021009997A1 (ja) * | 2019-07-12 | 2021-01-21 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体装置 |
| CN112697273A (zh) * | 2020-12-08 | 2021-04-23 | 中国人民解放军空军工程大学 | 一种远距离激光光场能量均匀度测量系统 |
-
1992
- 1992-03-30 JP JP4074180A patent/JPH05281038A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008096153A (ja) * | 2006-10-06 | 2008-04-24 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ビームプロファイル計測装置及びレーザ加工装置 |
| JP2013111630A (ja) * | 2011-11-30 | 2013-06-10 | Disco Corp | レーザー加工装置 |
| JP2013119117A (ja) * | 2011-12-09 | 2013-06-17 | Disco Corp | レーザー加工装置 |
| KR20130071364A (ko) * | 2011-12-20 | 2013-06-28 | 가부시기가이샤 디스코 | 레이저 가공 장치 |
| WO2021009997A1 (ja) * | 2019-07-12 | 2021-01-21 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体装置 |
| JPWO2021009997A1 (ja) * | 2019-07-12 | 2021-01-21 | ||
| CN112697273A (zh) * | 2020-12-08 | 2021-04-23 | 中国人民解放军空军工程大学 | 一种远距离激光光场能量均匀度测量系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101272458B (zh) | 图像捕获装置、测光方法、亮度计算方法 | |
| JP3574607B2 (ja) | ３次元画像入力装置 | |
| JP5196985B2 (ja) | カメラシステム及び撮像装置 | |
| KR20010023563A (ko) | 고속 프로파일링용의 향상된 프레임 이송 주파수로구동되는 인터라인 이송 ｃｃｄ | |
| US7394484B2 (en) | Photographic apparatus and photographic method using same | |
| Bretthauer et al. | An electronic Cranz–Schardin camera | |
| JPH05281038A (ja) | パルスレーザ光の光強度分布測定装置 | |
| JP3372209B2 (ja) | 撮像装置 | |
| US5075775A (en) | Method and apparatus for controlling electronic shutter | |
| JP2004064661A (ja) | 撮像装置およびそれを用いた撮影方法 | |
| JPS642922B2 (ja) | ||
| JPH0670226A (ja) | カメラおよびその予備測光方法ならびに予備測光装置および方法 | |
| JPH0773339B2 (ja) | 撮影装置 | |
| JP2000121922A (ja) | カメラの被写体表示装置 | |
| JP2006105848A (ja) | 距離測定システムおよび距離測定方法 | |
| JP3058994B2 (ja) | ビデオ・カメラおよびその測光方法 | |
| JP2552499B2 (ja) | 撮像装置 | |
| JPS6359074A (ja) | 高速ビデオカメラ | |
| JPH04361162A (ja) | 速度分布測定装置 | |
| JPH05122614A (ja) | 撮像装置 | |
| JPH0365625A (ja) | 高速度撮像装置 | |
| JP2552500B2 (ja) | 撮像装置 | |
| JP2808222B2 (ja) | ビデオ・カメラおよびその測光方法 | |
| JP2595510B2 (ja) | 車両ナンバープレート読み取り装置 | |
| JP3213394B2 (ja) | ビデオ・カメラおよびその測光方法 |