JPH0527485Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0527485Y2 JPH0527485Y2 JP278888U JP278888U JPH0527485Y2 JP H0527485 Y2 JPH0527485 Y2 JP H0527485Y2 JP 278888 U JP278888 U JP 278888U JP 278888 U JP278888 U JP 278888U JP H0527485 Y2 JPH0527485 Y2 JP H0527485Y2
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- Japan
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- crucible
- spacer
- support
- thin film
- carbon
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- Expired - Lifetime
Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
本考案は蒸着装置等の薄膜製造装置に関する。
(ロ) 従来の技術
薄膜製造装置は薄膜形成材料をるつぼの中で加
熱することにより蒸発させ、この材料の薄膜を基
板表面に形成する装置であるが、従来、るつぼは
外側のフイラメントにより加熱されるため、熱伝
導率が大きくかつ耐熱性があるカーボンがその材
料としてよく用いられており、このカーボン製の
るつぼをモリブデンやタングステン等の耐熱金属
製の支柱（支持体）で支持している。
熱することにより蒸発させ、この材料の薄膜を基
板表面に形成する装置であるが、従来、るつぼは
外側のフイラメントにより加熱されるため、熱伝
導率が大きくかつ耐熱性があるカーボンがその材
料としてよく用いられており、このカーボン製の
るつぼをモリブデンやタングステン等の耐熱金属
製の支柱（支持体）で支持している。
(ハ) 解決すべき問題点
るつぼは蒸発させる材料によつては1600℃以上
になるが、このような高温ではカーボンとモリブ
デン或いはタングステンが反応するためるつぼと
支柱が接合して取り外せなくなつてしまい、装置
のメンテナンスや材料の供給に際して不便であつ
た。
になるが、このような高温ではカーボンとモリブ
デン或いはタングステンが反応するためるつぼと
支柱が接合して取り外せなくなつてしまい、装置
のメンテナンスや材料の供給に際して不便であつ
た。
(ニ) 問題点を解決するための手段
本考案においては、カーボン製のるつぼとこの
るつぼを支持する金属製の支持体の間にこの支持
体と同一材質のスペーサを介在させると共に、ス
ペーサと支持体を嵌合結合することにより上記の
問題点を解決する。
るつぼを支持する金属製の支持体の間にこの支持
体と同一材質のスペーサを介在させると共に、ス
ペーサと支持体を嵌合結合することにより上記の
問題点を解決する。
(ホ) 作用
スペーサと支持体とは同一材質であるため、反
応して接合することが無い。従つて、るつぼとス
ペーサを支持体から取り外すことができる。
応して接合することが無い。従つて、るつぼとス
ペーサを支持体から取り外すことができる。
(ヘ) 実施例
第１図は本考案の一実施例を示す蒸着装置の部
分構成図である。図中、１はカーボン（黒鉛）製
のるつぼ、２はモリブデン製のスペーサ、３はモ
リブデン製の支柱で装置本体に取り付けられてお
り、図示するようにスペーサ２と嵌合結合してい
る。るつぼ１の中の薄膜形成材料４はるつぼの周
囲に配置したフイラメント（図示せず）によつて
加熱され、ノズル５から出射してるつぼに対向し
て配置した基板の表面に薄膜を形成する。
分構成図である。図中、１はカーボン（黒鉛）製
のるつぼ、２はモリブデン製のスペーサ、３はモ
リブデン製の支柱で装置本体に取り付けられてお
り、図示するようにスペーサ２と嵌合結合してい
る。るつぼ１の中の薄膜形成材料４はるつぼの周
囲に配置したフイラメント（図示せず）によつて
加熱され、ノズル５から出射してるつぼに対向し
て配置した基板の表面に薄膜を形成する。
第１図の状態でるつぼ１を高温（1600℃以上）
に加熱するとるつぼ１とスペーサ２とは反応して
接合するが、スペーサ２と支柱３とは溶融するま
で（モリブデンの融点である約2600℃に達するま
で）結合することがない。従つてメンテナンスや
材料供給に際しるつぼ（及びスペーサ）を支柱３
から随時取り外すことができる。
に加熱するとるつぼ１とスペーサ２とは反応して
接合するが、スペーサ２と支柱３とは溶融するま
で（モリブデンの融点である約2600℃に達するま
で）結合することがない。従つてメンテナンスや
材料供給に際しるつぼ（及びスペーサ）を支柱３
から随時取り外すことができる。
またスペーサ２と支柱３は同一の材質であるた
め、熱膨張係数が等しく、温度が変化してもるつ
ぼの固定が確実に行なえる。
め、熱膨張係数が等しく、温度が変化してもるつ
ぼの固定が確実に行なえる。
(ト) 効果
本考案によると、薄膜製造装置のメンテナンス
や材料供給に際しるつぼを装置から随時取り外す
ことができるようになり、実用に際して大変便利
である。
や材料供給に際しるつぼを装置から随時取り外す
ことができるようになり、実用に際して大変便利
である。
第１図は本考案の一実施例の蒸着装置の部分構
成図である。 １……るつぼ、２……スペーサ、３……支柱。
成図である。 １……るつぼ、２……スペーサ、３……支柱。
Claims (1)
- 薄膜形成材料をるつぼの中で加熱することによ
り蒸発させ、この材料の薄膜を基板表面に形成す
る装置において、カーボン製の前記るつぼとこの
るつぼを支持する金属製の支持体の間にこの支持
体と同一材質のスペーサを介在させると共に、ス
ペーサと支持体を嵌合結合することを特徴とする
薄膜製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP278888U JPH0527485Y2 (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP278888U JPH0527485Y2 (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01110256U JPH01110256U (ja) | 1989-07-25 |
| JPH0527485Y2 true JPH0527485Y2 (ja) | 1993-07-13 |
Family
ID=31506636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP278888U Expired - Lifetime JPH0527485Y2 (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0527485Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-01-13 JP JP278888U patent/JPH0527485Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01110256U (ja) | 1989-07-25 |
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