JPH0527422A - 可視光感光性樹脂組成物 - Google Patents

可視光感光性樹脂組成物

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JPH0527422A
JPH0527422A JP20608891A JP20608891A JPH0527422A JP H0527422 A JPH0527422 A JP H0527422A JP 20608891 A JP20608891 A JP 20608891A JP 20608891 A JP20608891 A JP 20608891A JP H0527422 A JPH0527422 A JP H0527422A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、400nm〜700nmの波長の光
に対して優れた感光性を有する可視光感光性樹脂組成物
を提供することを目的とする。 【構成】(A)重合可能なエチレン性不飽和結合を少な
くとも1個以上有する化合物と、下記一般式(I)で表
される(B)金属錯化合物と、(C)少なくとも一種以
上のラジカル重合開始剤よりなる可視光感光性樹脂組成
物。 一般式(I) 【化1】

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、通常の可視光光源を使
ったフォトレジスト材料、印刷製版材料、ホログラム材
料などの画像形成材料や、銀塩に代わる高感度感光材料
として、優れた感度を示す可視光感光性樹脂に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】可視光に感光する感光性樹脂組成物とし
ては、種々の提案がなされている。例えば、「フォトポ
リマー・テクノロジー」第82ページ〜第97ページ
(日刊工業新聞社刊)(1988年)、「フォトポリマ
ー懇話会誌」第3巻、第97ページ〜第115ページ
(1990年)には、種々の光増感剤とラジカル重合開
始剤の組み合わせを紹介している。特に、増感剤とし
て、ケトクマリン誘導体、キサンテン誘導体またはシア
ニン誘導体などと種々のラジカル重合開始剤との組み合
わせは、0.1mJ/cm2 以下の高感度を示すことが
知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】増感剤としてケトクマ
リン誘導体を用いたものは、アルゴンレーザの488n
mの光には高感度を示すが、感光波長を500nm以上
にすることは困難である。増感剤としてキサンテン誘導
体を用いたものは、原料の合成が多段階で煩雑であると
いう問題点を有している。また、増感剤として、シアニ
ン誘導体を用いたものは、耐候性に劣るという問題点を
有している。
【0004】本発明は、このような従来の感光性樹脂組
成物が有する欠点を克服し、400nm〜700nmの
可視光に対して優れた感光性を有する可視光感光性樹脂
組成物を提供することを目的としたものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、以上の諸
点を考慮し、上記目的を達成すべく鋭意検討した結果、
ルテニウムまたはオスミウムのポリピリジン錯体が、可
視光照射によりラジカル重合開始剤を増感分解させ、ラ
ジカル重合を誘起させることを見いだし本発明に至った
ものである。
【0006】すなわち、本発明は、(A)重合可能なエ
チレン性不飽和結合を少なくとも1個以上有する化合
物、(B)下記一般式(I)で表される金属錯化合物、
(C)オニウム塩化合物(a)、少なくとも1つのモ
ノ、ジ、あるいはトリハロメチル基により置換された
1,3,5−トリアジン誘導体(b)、有機過酸化物
(c)、から選ばれた少なくとも一種のラジカル重合開
始剤、上記(A)、(B)、(C)よりなる可視光感光
性樹脂組成物である。 一般式(I)
【0007】
【化2】
【0008】(式中、L1 、L2 、L3 、L4 、L5
6 は、それぞれ、窒素原子を少なくとも1つ以上含む
アルキル基、ヒドロキシ基、アルキルカルボニル基、ア
ルコキシ基、アルコキシカルボニル基、ジアルキルアミ
ノ基が置換されていてもよい芳香環の配位子である。さ
らに、L1 、L2 、L3 、L4 、L5 、L6は、同一分
子または隣接分子の配位子と化学結合で結ばれていても
よい。Mは、2価のルテニウム、オスミウムを表す。X
- はハロゲンイオン、BF4 - 、PF6 - 、AsF
6 - 、ClO4 - 、SbF6 - を示す。)
【0009】以下、詳細にわたって本発明を説明する。
本発明の可視光感光性樹脂組成物を構成する(A)重合
可能なエチレン性不飽和結合を少なくとも1個以上有す
る化合物としては、ビニル系モノマーの他にオリゴマー
あるいは高分子量化合物でも良い。
【0010】具体的には、ビニル系モノマーとしては、
アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、
クロトン酸、アクリルアミド、メタクリルアミド、ジア
セトンアクリルアミド、2−ヒドロキシエチルアクリレ
ート、N−ビニルピロリドンなどの高沸点モノマーがあ
り、さらには、脂肪族ポリヒドロキシ化合物、例えば、
エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチ
レングリコール、テトラエチレングリコール、ネオペン
チルグリコール、1,3−プロパンジオール、1,4−
ブタンジオール、1,5−ペンタンジオール、1,6−
ヘキサンジオール、1,10−デカンジオール、トリメ
チロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエ
リスリトール、ソルビトール、マンニトールなどのジあ
るいはポリ(メタ)アクリルエステル類、さらには、側
鎖にヒドロキシ基やハロゲン化メチル基の如き反応活性
を有する官能基を持つ重合体とアクリル酸、メタクリル
酸、クロトン酸などの不飽和カルボン酸との高分子反応
によって得られるポリマーも好適に使用しうる。このよ
うな高分子化合物としては、ポリビニルアルコール、ビ
ニルアルコールと酢酸ビニルとの共重合体、ポリエピク
ロルヒドリン、フェノキシ樹脂、ポリクロロメチルスチ
レン、2−ヒドロキシ(メタ)アクリレートと種々アク
リレートモノマーとの共重合体、フェノール樹脂などが
挙げられる。
【0011】本発明の可視光感光性樹脂組成物を構成す
る上記一般式(I)中、L1 〜L6 で表される配位子と
しては、ピリジン、4−ジメチルアミノピリジン、1,
4−ピラジン、1,3,5−トリアジン、2,2' −ジ
ピリジル、9,10−フェナントロリンなどが挙げら
れ、上記一般式(I)で表される(B)金属錯化合物と
しては、トリス(2,2’−ジピリジル)ルテニウム
塩、トリス(2,2’−ジピリジル)オスミウム塩など
の他、「コーディネイション・ケミストリー・レビュウ
(Coordination Chemistry R
eview)」、第84巻、第85ページ〜第277ペ
ージ(1988年)記載の金属錯化合物を挙げることが
出来る。
【0012】また、本発明の可視光感光性樹脂組成物を
構成する(C)ラジカル重合開始剤の内、オニウム塩
(a)としては、下記一般式(II)で表されるジアル
キルヨードニウム塩、下記一般式(III)で表される
スルホニウム塩、下記一般式(IV)または下記一般式
(V)で表されるスルホキソニウム塩、下記一般式(V
I)で表されるピリリウム塩、チアピリリウム塩または
セレナピリリウム塩を挙げることが出来る。 一般式(II)
【0013】
【化3】
【0014】(式中、R1 およびR2 は、それぞれ水素
原子、ハロゲン原子、低級アルキル基、メトキシ基、ニ
トロ基またはシアノ基、X- はハロゲンイオン、BF4
- 、PF6 - 、AsF6 - 、ClO4 - 、SbF6 -
示す。) 一般式(III)
【0015】
【化4】
【0016】(式中、R3 、R4 およびR5 はそれぞれ
アルキル基、R1 で置換されたアリール基またはR1
置換されたベンゾイル基を表し、R1 およびX- は前記
と同じ意味を表す) 一般式(IV)
【0017】
【化5】
【0018】(式中、R3 、R4 、R5 およびX- は前
記と同じ意味を表す) 一般式(V)
【0019】
【化6】
【0020】(式中、R1 、R4 、R5 およびX- は前
記と同じ意味を表す) 一般式(VI)
【0021】
【化7】
【0022】(式中、R6 、R7 およびR8 は、それぞ
れ水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ
基、アリール基、ニトロ基またはアミノ基を表し、Qは
酸素、硫黄またはセレンを表し、X- は前記と同じ意味
を表す。)
【0023】一般式(II)で表されるジアリールヨー
ドニウム塩としては、ジフェニルヨードニウム、フェニ
ル(p−アニシル)ヨードニウム、ビス(m−ニトロフ
ェニル)ヨードニウム、ビス(p−tert−ブチルフ
ェニル)ヨードニウムなど他、「マクロモレキュールス
(Macromolecules)」、第10巻、第1
307ページ(1977年)記載のジアリールヨードニ
ウム塩が挙げられる。また、特開昭63−180946
号公報に記載のアミン類をジアリールヨードニウム塩に
併用しても良い。
【0024】一般式(III)で表されるスルホニルム
塩としては、ジメチルフェナシルスルホニウム、フェナ
シルテトラメチレンスルホニウム、p−クロロフェナシ
ルスルホニウム、ベンジルジメチルスルホニウム、ベン
ジルメチルフェニルスルホニウム、(p−シアノフェニ
ル)ベンジルメチルスルホニウムなどのクロリド、ブロ
ミド、ホウフッ化塩、ヘキサフルオロホスフェート塩、
ヘキサフルオロアルセネート塩などの他、「ジャーナル
・オブ・ポリマー・サイエンス(J.Polym.Sc
i.)」第17巻、第2877ページ記載または、「第
40回高分子学会年次大会予稿集」、第3号、477ペ
ージ(1991年)記載の化合物が挙げられる。
【0025】一般式(IV)で表されるフェナシルスル
ホキソニウム塩としては、ジメチルフェナシルスルホキ
ソニウム、ジフェニルフェナシルスルホキソニウムなど
のクロリド、ブロミド、ホウフッ化塩、ヘキサフルオロ
ホスフェート塩、ヘキサフルオロアルセネート塩などの
他、ヨーロッパ特許第44274号明細書記載の化合物
が挙げられる。
【0026】一般式(V)で表されるスルホキソニウム
塩としては、ジメチルフェノキシスルホキソニウム、ジ
フェニルフェノキシスルホキソニウムなどのクロリド、
ブロミド、ホウフッ化塩、ヘキサフルオロホスフェート
塩、ヘキサフルオロアルセネート塩などの他、ヨーロッ
パ特許第44274号明細書記載の化合物が挙げられ
る。
【0027】一般式(VI)で表されるピリリウム塩、
チアピリリウム塩、セレナピリリウム塩としては、2,
4,6−トリフェニルピリリウム、2,4,6−トリス
(トリクロロメチル)ピリリウム、2,4,6−トリ−
tert−ブチルチアピリリウム、2,4,6−トリス
(トリブロモメチル)チアピリリウム、2,4,6−ト
リス(トリクロロメチル)セレナピリリウムなどのクロ
リド、ブロミド、テトラフルオロボレート塩、ヘキサフ
ルオロホスフェート塩、ヘキサフルオロアルセネート塩
などの他、特開昭59−45303号公報記載の化合物
が挙げられる。また、本発明の可視光感光性樹脂組成物
を構成する(C)ラジカル重合開始剤の内、少なくとも
1つのモノ、ジ、あるいはトリハロメチル基により置換
された1,3,5−トリアジン誘導体(b)としては、
下記一般式(VII) 一般式(VII)
【0028】
【化8】
【0029】(式中、R9 、R10およびR11は、それぞ
れメチル基またはトリハロメチル基を表す)で示される
1,3,5−トリアジン化合物、例えば、2,4,6−
トリス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジ
ン、2,4,6−トリス(トリブロモメチル)−1,
3,5−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(ト
リクロロメチル)−1,3,5−トリアジンの他、特開
昭60−60104号公報記載の化合物が挙げられる。
【0030】また本発明の可視光感光性樹脂組成物を構
成する(C)ラジカル重合開始剤の内、有機過酸化物
(c)は、分子内に少なくとも酸素−酸素結合を1個以
上有する有機過酸化物で、例えば、メチルエチルケトン
パーオキシド、1,1−ビス(tert−ブチルパーオ
キシ)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、クメ
ンハイドロパーオキシド、過酸化ベンゾイルの他、特開
昭59−140203号公報記載の有機過酸化物を挙げ
ることが出来る。
【0031】以上列記した本発明による可視光感光性樹
脂組成物を形成している成分の配合比は、次に示すよう
な配合組成比にて使用することが望ましい。すなわち、
(A)重合可能なエチレン性不飽和結合を少なくとも1
個以上有する化合物に対する(B)一般式(I)で表さ
れる金属錯化合物の使用割合は、前者100重量部に対
して0.1重量部から40重量部、より好ましくは、
0.5重量部から20重量部であるが、当該可視光感光
性樹脂組成物を種々の基材上に塗布した時に照射光の波
長領域において光学密度が2.0を越えないように配慮
することが肝要である。また、上記一般式(II)〜
(VII)、有機過酸化物(c)である(C)ラジカル
重合開始剤は、(A)重合可能なエチレン性不飽和結合
を少なくとも1個以上有する化合物100重量部に対し
て、0.1重量部から、40重量部、より好ましくは、
0.5重量部から20重量部である。
【0032】前記(A)重合可能なエチレン性不飽和結
合を少なくとも1個以上有する化合物が、皮膜を形成す
るのに充分な分子量や強度を有している場合には特にそ
の必要はないが、そうでない場合には、通常の方法とし
て高分子物質をバインダーとして上記組成物中に配合す
ることが可能である。かかるバインダーは皮膜形成性、
現像性、接着性、機械的強度など種々の改善目的を達成
するためのもので、その目的に応じて適宜の種類のもの
を選択すればよい。具体的には、例えば水系現像性改善
のためにはアクリル酸共重合体、メタクリル酸共重合
体、イタコン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共
重合体、側鎖にカルボキシル基を有する酢酸セルロース
変性物、ポリエチレンオキシド、ポリビニルピロリドン
などがあり、皮膜強度改善あるいは接着性改善のために
はエポキシ樹脂、フェノキシ樹脂などエピクロルヒドリ
ンとビスフェノールAとのポリエーテル、可溶性ナイロ
ン、ポリアルキル(メタ)アクリレート(例えばポリメ
チルメタクリレート、ポリメチルアクリレートなど)と
ポリ(メタ)アクリル酸との共重合体、スチレンと(メ
タ)アクリル酸との共重合体、ポリウレタン、ポリビニ
ルブチラールなどが挙げられる。これらのバインダー
は、(A)重合可能なエチレン性不飽和結合を少なくと
も1個以上有する化合物100重量部に対して通常10
00重量部以下、好ましくは50から200重量部の割
合で配合する。
【0033】上記のような組成比の可視光感光性樹脂組
成物を、適当な溶媒に溶解させた感光液を、スピンコー
ター、ロールコーターあるいはバーコーターなどを用い
ることによって直接基材上に感光膜として形成するか、
またはプラスチックフィルム上に同様な塗工方法を用い
て塗布し溶媒を蒸散した後に別のプラスチックフィルム
にて該感光膜を被覆したドライフィルム状としても使用
可能である。後者の場合、使用時に、被覆用のプラスチ
ックフィルムの内片一方を剥離し任意の基材に該感光膜
を転写することによって用いられる。
【0034】以上のようにして得られた本発明の可視光
感光性樹脂組成物によって形成された感光板(あるいは
フィルム)は、カーボンアーク、高圧水銀灯、キセノン
ランプ、メタルハライドランプ、蛍光ランプ、タングス
テンランプなどの可視光光線源や、ヘリウムカドミウム
レーザ、アルゴンレーザまたはヘリウムネオンレーザな
どの可視レーザビームを照射することにより該露光区域
を架橋重合反応させる。
【0035】次いで、該感光板あるいはフィルムを40
℃から120℃の範囲で加熱処理をし、該光照射部位に
おきるラジカル重合反応を誘起、促進させてもよい。該
感光板(あるいはフィルム)の現像は、感光樹脂層の組
成内容に応じて、該感光性樹脂層を溶解しうる適宜の現
像液を使用して行えばよい。
【0036】
【実施例】次に、実施例により本発明をさらに詳細に説
明する。使用したルテニウムまたはオスミウム錯体は、
「第4版実験化学講座」、第17巻、第229〜234
ページ(1991年)、(丸善株式会社刊)の記載に準
じて合成した。
【0037】実施例1:ポリメチルメタクリレート(ア
ルドリッチ社製、固有粘度1.20)の10重量%メチ
ルエチルケトン溶液2gにペンタエリスリトールトリア
クリレートをポリマーに対して100重量部、ビス(4
−N,N−ジメチルアミノピリジン)ビス(2,2’−
ジピリジル)ルテニウムビス(ヘキサフルオロホスフェ
ート)を5重量部、ジフェニルヨードニウムヘキサフル
オロホスフェートを5重量部を添加して調整した感光液
をスピンコーターを用いて約4μmの厚みにガラス板上
に塗布した感光板に、ビーム径2mmのアルゴンレーザ
(514nm)を照射時間を変えて露光した後、トルエ
ンにて現像を行いレーザビームと同等の大きさの硬化ス
ポット径を与える露光量を感度として測定した結果、
0.4mJ/cm2 であった。
【0038】実施例2:実施例1で用いたビス(4−
N,N−ジメチルアミノピリジン)ビス(2,2’−ジ
ピリジル)ルテニウムビス(ヘキサフルオロホスフェー
ト)を、トリス(2,2’−ジピリジル)オスミウムビ
ス(ヘキサフルオロホスフェート)に変え、実施例1と
同様の操作にて感度を測定した結果、0.5mJ/cm
2 であった。
【0039】実施例3:実施例1で用いたビス(4−
N,N−ジメチルアミノピリジン)ビス(2,2’−ジ
ピリジル)ルテニウムビス(ヘキサフルオロホスフェー
ト)を、トリス(2,2’−ジピリジル)ルテニウムビ
ス(ヘキサフルオロホスフェート)に変え、照射したア
ルゴンレーザの波長を488nmに変え、実施例1と同
様の操作にて感度を測定した結果、0.2mJ/cm2
であった。
【0040】実施例4:実施例1で用いたビス(4−
N,N−ジメチルアミノピリジン)ビス(2,2’−ジ
ピリジル)ルテニウムビス(ヘキサフルオロホスフェー
ト)を、化学式(bpy)2 Os(bpp)Os(bp
y)2 (式中、bpyは2,2’−ジピリジル、bpp
は2,3−ビス(2−ピリジル)ピラジンを表す)で表
される2つのオスミウムを含む錯体化合物に変え、照射
したレーザおよび波長をヘリウムネオンレーザの633
nmに変え、実施例1と同様の操作にて感度を測定した
結果、0.8mJ/cm2 であった。
【0041】実施例5〜10:実施例1で用いたジアリ
ールヨードニウムヘキサフルオロホスフェートを第1表
に示す各種ラジカル重合開始剤に変え、実施例1と同様
の操作にて感度を測定した結果を第1表にまとめた。
【0042】
【表1】
【0043】比較例1:実施例1でビス(4−N,N−
ジメチルアミノピリジン)ビス(2,2’−ジピリジ
ル)ルテニウムビス(ヘキサフルオロホスフェート)を
添加せず、その他は、実施例1と同様の操作にて感度を
測定した結果、1J/cm2 照射しても硬化しなかっ
た。
【0044】比較例2:実施例1でジフェニルヨードニ
ウムヘキサフルオロホスフェートを添加せず、その他
は、実施例1と同様の操作にて感度を測定した結果、1
J/cm2 照射しても硬化しなかった。
【0045】
【発明の効果】本発明における可視光感光性樹脂組成物
は、カーボンアーク、高圧水銀灯、キセノンランプ、メ
タルハライドランプ、蛍光ランプ、タングステンランプ
などの可視光源や、ヘリウムカドミウムレーザ、アルゴ
ンレーザまたはヘリウムネオンレーザなどの可視レーザ
光源によっても、0.2mJ/cm2 から数mJ/cm
2 という高い感度特性を示す。従って、レーザビーム走
査による画像形成材料、また、微妙な干渉縞形成のため
高感度であることが要求されるリップマン型ホログラム
や、大面積化が困難であったレインボーホログラムにお
けるレリーフ型ホログラム記録におけるホログラム記録
用材料などとして幅広い分野に応用可能である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/027

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】(A)重合可能なエチレン性不飽和結合を
    少なくとも1個以上有する化合物、(B)一般式(I)
    で表される金属錯化合物、(C)オニウム塩化合物
    (a)、少なくとも1つのモノ、ジ、あるいはトリハロ
    メチル基により置換された1、3、5−トリアジン誘導
    体(b)、有機過酸化物(c)、から選ばれる少なくと
    も一種のラジカル重合開始剤、上記(A)、(B)、
    (C)よりなる可視光感光性樹脂組成物。一般式(I) 【化1】 (式中、L1 、L2 、L3 、L4 、L5 、L6 は、それ
    ぞれ、窒素原子を少なくとも1つ以上含むアルキル基、
    ヒドロキシ基、アルキルカルボニル基、アルコキシ基、
    アルコキシカルボニル基、ジアルキルアミノ基が置換さ
    れていてもよい芳香環の配位子である。さらに、L1
    2 、L3 、L4 、L5 、L6 は、同一分子または隣接
    分子の配位子と化学結合で結ばれていてもよい。Mは、
    2価のルテニウム、オスミウムを表す。X- はハロゲン
    イオン、BF4 - 、PF6 - 、AsF6 - 、ClO
    4 - 、SbF6 - を示す。)
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JPH01123228A (ja) * 1987-11-09 1989-05-16 Res Dev Corp Of Japan 光重合による導電性高分子のパターン形成法
JPH0248665A (ja) * 1988-08-11 1990-02-19 Fuji Photo Film Co Ltd 水または弱アルカリ水で現像するための平版印刷版
JPH02182701A (ja) * 1988-11-08 1990-07-17 Mead Corp:The 遷移金属配立錯体カチオンとボレートアニオンを含有した感光性組成物及びそれを使用した感光性材料

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JP2830527B2 (ja) 1998-12-02

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