JPH05269654A - 穴内面研磨方法 - Google Patents
穴内面研磨方法Info
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- JPH05269654A JPH05269654A JP6562292A JP6562292A JPH05269654A JP H05269654 A JPH05269654 A JP H05269654A JP 6562292 A JP6562292 A JP 6562292A JP 6562292 A JP6562292 A JP 6562292A JP H05269654 A JPH05269654 A JP H05269654A
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- polishing
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- optical fiber
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 丸棒状をなす硬脆材料に形成された被加工穴
の内周面の表面粗さを中心線平均粗さＲaで０.１μｍ以
下に仕上げることが可能な穴内面研磨方法を提供する。 【構成】 外周側に砥粒１６が保持された複数個の研磨
部材１６を硬脆材料１１に形成された被加工穴１２の内
周面に押し当て、これら研磨部材１６と硬脆材料１１と
を相対的に回転させ、更に前記研磨部材１６と前記被加
工穴１２の内周面との間に加工液１９を供給するように
したことを特徴とするものである。
の内周面の表面粗さを中心線平均粗さＲaで０.１μｍ以
下に仕上げることが可能な穴内面研磨方法を提供する。 【構成】 外周側に砥粒１６が保持された複数個の研磨
部材１６を硬脆材料１１に形成された被加工穴１２の内
周面に押し当て、これら研磨部材１６と硬脆材料１１と
を相対的に回転させ、更に前記研磨部材１６と前記被加
工穴１２の内周面との間に加工液１９を供給するように
したことを特徴とするものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、硬脆材料に形成された
穴の内周面を平滑に仕上げる研磨方法に関し、特に一対
の応力付与部材を挿入するための穴が偏心状態で形成さ
れたクラッド部となる偏波保持光ファイバ用母材に用い
て好適なものである。
穴の内周面を平滑に仕上げる研磨方法に関し、特に一対
の応力付与部材を挿入するための穴が偏心状態で形成さ
れたクラッド部となる偏波保持光ファイバ用母材に用い
て好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】屈折率が段階的に異なるコア部とクラッ
ド部とで構成された単一モード伝送用光ファイバは、コ
ア部の径に対してクラッド部の肉厚が非常に厚くなる傾
向を有する。かかる構造の光ファイバや、中心のコア部
を挾んで複数の応力付与部がコア部の周囲に対称に配置
された偏波モード保持用光ファイバ等を効率良く生産す
るためには、コア部材或いは応力付与部材を挿入するた
めの穴が形成されたクラッド部となる丸棒状の光ファイ
バ用母材を予め用意し、この光ファイバ用母材に対して
コア部或いは応力付与部となる棒状のコア部材或いは応
力付与部材を差し込み、これらを加熱一体化させた後に
線引きする方法が有効であると考えられている。
ド部とで構成された単一モード伝送用光ファイバは、コ
ア部の径に対してクラッド部の肉厚が非常に厚くなる傾
向を有する。かかる構造の光ファイバや、中心のコア部
を挾んで複数の応力付与部がコア部の周囲に対称に配置
された偏波モード保持用光ファイバ等を効率良く生産す
るためには、コア部材或いは応力付与部材を挿入するた
めの穴が形成されたクラッド部となる丸棒状の光ファイ
バ用母材を予め用意し、この光ファイバ用母材に対して
コア部或いは応力付与部となる棒状のコア部材或いは応
力付与部材を差し込み、これらを加熱一体化させた後に
線引きする方法が有効であると考えられている。
【０００３】このような方法で光ファイバを製造する場
合、クラッド部となる光ファイバ用母材に形成されるコ
ア部材或いは応力付与部材を挿入する穴の内周面を予め
平滑にしておかないと、コア部或いは応力付与部となる
棒状のコア部材或いは応力付与部材を差し込んでこれら
を加熱一体化させた際に、コア部とクラッド部との界面
或いは応力付与部とクラッド部との界面に微小な気泡が
混入する結果、これによって得られる光ファイバの伝送
損失が大幅に増大してしまうこととなる。
合、クラッド部となる光ファイバ用母材に形成されるコ
ア部材或いは応力付与部材を挿入する穴の内周面を予め
平滑にしておかないと、コア部或いは応力付与部となる
棒状のコア部材或いは応力付与部材を差し込んでこれら
を加熱一体化させた際に、コア部とクラッド部との界面
或いは応力付与部とクラッド部との界面に微小な気泡が
混入する結果、これによって得られる光ファイバの伝送
損失が大幅に増大してしまうこととなる。
【０００４】このため、クラッド部となる光ファイバ用
母材に形成されたコア部材或いは応力付与部材を挿入す
るための穴の内周面を平滑に仕上げる研磨装置が、特開
平３−７５２３２号公報等で提案されている。
母材に形成されたコア部材或いは応力付与部材を挿入す
るための穴の内周面を平滑に仕上げる研磨装置が、特開
平３−７５２３２号公報等で提案されている。
【０００５】この特開平３−７５２３２号公報に開示さ
れた研磨装置の側面形状を表す図４及びそのＶ−Ｖ矢視
断面構造を表す図５に示すように、ベッド１上に駆動回
転自在に設置されたワークテーブル２には、コア部挿入
用の穴３を形成した円筒状をなす光ファイバ用母材４が
スクロールチャック５を介して垂直上向きに固定されて
いる。又、コラム６に対して昇降可能に設けられた昇降
アーム７の先端部には、光ファイバ用母材４のコア部挿
入用の穴３に差し込まれる研磨ブラシ８を駆動回転自在
に支持するツールチャック９が取り付けられている。
れた研磨装置の側面形状を表す図４及びそのＶ−Ｖ矢視
断面構造を表す図５に示すように、ベッド１上に駆動回
転自在に設置されたワークテーブル２には、コア部挿入
用の穴３を形成した円筒状をなす光ファイバ用母材４が
スクロールチャック５を介して垂直上向きに固定されて
いる。又、コラム６に対して昇降可能に設けられた昇降
アーム７の先端部には、光ファイバ用母材４のコア部挿
入用の穴３に差し込まれる研磨ブラシ８を駆動回転自在
に支持するツールチャック９が取り付けられている。
【０００６】前記ワークテーブル２と同軸をなす研磨ブ
ラシ８には、図示しない無数の研磨砥粒が固定されてお
り、弾性変形を伴ってコア部挿入用の穴３に差し込まれ
る研磨ブラシ８と、ワークテーブル２に装着された光フ
ァイバ用母材４との相対回転運動により、コア部挿入用
の穴３の内周面が平滑に研磨されるようになっている。
ラシ８には、図示しない無数の研磨砥粒が固定されてお
り、弾性変形を伴ってコア部挿入用の穴３に差し込まれ
る研磨ブラシ８と、ワークテーブル２に装着された光フ
ァイバ用母材４との相対回転運動により、コア部挿入用
の穴３の内周面が平滑に研磨されるようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明者らの知見によ
ると、線引き後のコア部とクラッド部との界面に気泡を
発生させないためには、コア部装入用の穴３の内周面の
表面粗さを中心線平均粗さＲaで０.１μｍ以下にするこ
とが望ましい。
ると、線引き後のコア部とクラッド部との界面に気泡を
発生させないためには、コア部装入用の穴３の内周面の
表面粗さを中心線平均粗さＲaで０.１μｍ以下にするこ
とが望ましい。
【０００８】ところが、図４及び図５に示す如き従来の
研磨装置の場合、研磨ブラシ８の弾性変形に伴う加工圧
力だけでは、充分な研磨圧力を発生させることができ
ず、しかも研磨ブラシ８の高速回転に伴って研磨ブラシ
８の軸部自体が剛性不足により振れ回りを起こし、硬脆
材料である石英ガラス等にて形成された光ファイバ用母
材４のコア部挿入用の穴３の内周面の如きものに対して
は、これを充分平滑に仕上げることが難しかった。この
ため、光ファイバ用母材４に掲載されたコア部挿入用の
穴３の内周面を研磨しているのにもかかわらず、線引き
後の光ファイバのコア部とクラッド部との界面に発生す
る気泡を完全に除去しきれず、伝送損失を大幅に少なく
することができない。
研磨装置の場合、研磨ブラシ８の弾性変形に伴う加工圧
力だけでは、充分な研磨圧力を発生させることができ
ず、しかも研磨ブラシ８の高速回転に伴って研磨ブラシ
８の軸部自体が剛性不足により振れ回りを起こし、硬脆
材料である石英ガラス等にて形成された光ファイバ用母
材４のコア部挿入用の穴３の内周面の如きものに対して
は、これを充分平滑に仕上げることが難しかった。この
ため、光ファイバ用母材４に掲載されたコア部挿入用の
穴３の内周面を研磨しているのにもかかわらず、線引き
後の光ファイバのコア部とクラッド部との界面に発生す
る気泡を完全に除去しきれず、伝送損失を大幅に少なく
することができない。
【０００９】
【発明の目的】本発明は、丸棒状をなす硬脆材料に形成
された被加工穴の内周面の表面粗さを中心線平均粗さＲ
aで０.１μｍ以下に仕上げることが可能な穴内面研磨方
法を提供することを目的とする。
された被加工穴の内周面の表面粗さを中心線平均粗さＲ
aで０.１μｍ以下に仕上げることが可能な穴内面研磨方
法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明による穴内面研磨
方法は、外周側に砥粒が保持された複数個の研磨部材を
硬脆材料に形成された被加工穴の内周面に押し当て、こ
れら研磨部材と硬脆材料とを相対的に回転させ、更に前
記研磨部材と前記被加工穴の内周面との間に加工液を供
給するようにしたことを特徴とするものである。
方法は、外周側に砥粒が保持された複数個の研磨部材を
硬脆材料に形成された被加工穴の内周面に押し当て、こ
れら研磨部材と硬脆材料とを相対的に回転させ、更に前
記研磨部材と前記被加工穴の内周面との間に加工液を供
給するようにしたことを特徴とするものである。
【００１１】この場合、研磨部材と硬脆材料とを更に被
加工穴の長手方向に沿って相対的に往復動させることも
有効である。
加工穴の長手方向に沿って相対的に往復動させることも
有効である。
【００１２】
【作用】研磨部材の外周側には砥粒が保持されており、
これら研磨部材の外周側が被加工穴の内周面に押し付け
られた状態で、研磨部材と硬脆材料とを相対的に回転さ
せることにより、被加工穴の内面が研磨される。更に、
これら研磨部材と被加工穴との接触部分には加工液が供
給されるため、研磨部材の外周面に保持された砥粒の目
づまりが起こらず、被加工穴の内周面が効率良く平滑に
研磨される。
これら研磨部材の外周側が被加工穴の内周面に押し付け
られた状態で、研磨部材と硬脆材料とを相対的に回転さ
せることにより、被加工穴の内面が研磨される。更に、
これら研磨部材と被加工穴との接触部分には加工液が供
給されるため、研磨部材の外周面に保持された砥粒の目
づまりが起こらず、被加工穴の内周面が効率良く平滑に
研磨される。
【００１３】
【実施例】本発明による穴内面研磨方法を偏波モード保
持用光ファイバを製造するための二つの応力付与部材装
入用の穴が隣接状態で形成された丸棒状をなす光ファイ
バ用母材に対して応用した研磨装置の一実施例の主要部
の断面構造を表す図１及びそのII−II矢視断面の拡大構
造を表す図２に示すように、光ファイバ用母材１１に形
成されたコア部挿入用の被加工穴１２内に差し込まれる
円筒状をなすスライダ保持筒１３の先端部には、上下一
対の棒状をなすスライダ14a,14bが複数組（図示例では
四組）放射状に取り付けられ、これらスライダ14a,14b
はスライダ保持筒１３に対し当該スライダ保持筒１３の
半径方向（被加工穴１２の内周面と対向する方向）にそ
れぞれ摺動自在に保持されている。又、上下一対のスラ
イダ14a,14bの先端部は、板状をなすホルダ１５を介し
てそれぞれ一体的に連結され、これらホルダ１５には光
ファイバ用母材１１の被加工穴１２の内周面に緊密に当
接し得る外周側に図示しない研磨砥粒を固定した研磨部
材１６がそれぞれ一体的に設けられている。
持用光ファイバを製造するための二つの応力付与部材装
入用の穴が隣接状態で形成された丸棒状をなす光ファイ
バ用母材に対して応用した研磨装置の一実施例の主要部
の断面構造を表す図１及びそのII−II矢視断面の拡大構
造を表す図２に示すように、光ファイバ用母材１１に形
成されたコア部挿入用の被加工穴１２内に差し込まれる
円筒状をなすスライダ保持筒１３の先端部には、上下一
対の棒状をなすスライダ14a,14bが複数組（図示例では
四組）放射状に取り付けられ、これらスライダ14a,14b
はスライダ保持筒１３に対し当該スライダ保持筒１３の
半径方向（被加工穴１２の内周面と対向する方向）にそ
れぞれ摺動自在に保持されている。又、上下一対のスラ
イダ14a,14bの先端部は、板状をなすホルダ１５を介し
てそれぞれ一体的に連結され、これらホルダ１５には光
ファイバ用母材１１の被加工穴１２の内周面に緊密に当
接し得る外周側に図示しない研磨砥粒を固定した研磨部
材１６がそれぞれ一体的に設けられている。
【００１４】なお、上述した研磨部材１６としては、金
属製の本体の少なくとも外周側に研磨布を貼り付けた構
造のものや、ペースト状の砥粒を外周側に塗布したもの
等を採用することが可能である。
属製の本体の少なくとも外周側に研磨布を貼り付けた構
造のものや、ペースト状の砥粒を外周側に塗布したもの
等を採用することが可能である。
【００１５】前記スライダ保持筒１３に対してその長手
方向（図１中、上下方向）に相対移動可能に当該スライ
ダ保持筒１３の中央部に差し込まれる加圧ロッド１７に
は、スライダ14a,14bの基端面（ホルダ１５と反対側の
スライダ14a,14bの端面）と対向する円錐状の加圧部18
a,18bが一体的に形成されており、前記スライダ14a,14b
の基端面は、これら加圧部18a,18bの外周面とそれぞれ
対応した円錐面に形成されている。つまり、加圧ロッド
１７の加圧部18a,18bの周囲には、複数組のスライダ14
a,14bが放射状に配置された状態となっており、この加
圧ロッド１７をスライダ保持筒１３に対してその長手方
向に変位させることにより、光ファイバ用母材１１の被
加工穴１２に対する研磨部材１６の押し付け力を任意に
調整することができる。
方向（図１中、上下方向）に相対移動可能に当該スライ
ダ保持筒１３の中央部に差し込まれる加圧ロッド１７に
は、スライダ14a,14bの基端面（ホルダ１５と反対側の
スライダ14a,14bの端面）と対向する円錐状の加圧部18
a,18bが一体的に形成されており、前記スライダ14a,14b
の基端面は、これら加圧部18a,18bの外周面とそれぞれ
対応した円錐面に形成されている。つまり、加圧ロッド
１７の加圧部18a,18bの周囲には、複数組のスライダ14
a,14bが放射状に配置された状態となっており、この加
圧ロッド１７をスライダ保持筒１３に対してその長手方
向に変位させることにより、光ファイバ用母材１１の被
加工穴１２に対する研磨部材１６の押し付け力を任意に
調整することができる。
【００１６】このため、加圧ロッド１７の基端部（図１
中、上側）とスライダ保持筒１３の基端部（図１中、上
側）との間には、加圧ロッド１７をスライダ保持筒１３
に対してその長手方向に駆動する図示しない加圧ロッド
駆動用アクチュエータが組み込まれており、この加圧ロ
ッド駆動用アクチュエータを作動させて加圧ロッド１７
を図１中、下方に押し込むことにより、加圧部18a,18b
がスライダ14a,14bをホルダ１５及び研磨部材１６と共
に光ファイバ用母材１１の被加工穴１２の径方向外側に
押し拡げ、加圧ロッド１７の駆動力に対応して研磨部材
１６が光ファイバ用母材１１の被加工穴１２の内周面に
押圧される。逆に、加圧ロッド１７を図１中、上方に引
き上げることにより、スライダ14a,14bに対する加圧部1
8a,18bの押圧が開放され、光ファイバ用母材１１の被加
工穴１２に対する研磨部材１６の押圧力をなくすことが
できるようになっている。
中、上側）とスライダ保持筒１３の基端部（図１中、上
側）との間には、加圧ロッド１７をスライダ保持筒１３
に対してその長手方向に駆動する図示しない加圧ロッド
駆動用アクチュエータが組み込まれており、この加圧ロ
ッド駆動用アクチュエータを作動させて加圧ロッド１７
を図１中、下方に押し込むことにより、加圧部18a,18b
がスライダ14a,14bをホルダ１５及び研磨部材１６と共
に光ファイバ用母材１１の被加工穴１２の径方向外側に
押し拡げ、加圧ロッド１７の駆動力に対応して研磨部材
１６が光ファイバ用母材１１の被加工穴１２の内周面に
押圧される。逆に、加圧ロッド１７を図１中、上方に引
き上げることにより、スライダ14a,14bに対する加圧部1
8a,18bの押圧が開放され、光ファイバ用母材１１の被加
工穴１２に対する研磨部材１６の押圧力をなくすことが
できるようになっている。
【００１７】又、前記スライダ保持筒１３の基端部に
は、このスライダ保持筒１３を加圧ロッド１７と共に駆
動回転させる図示しない保持筒回転用駆動モータが組み
付けられ、更にスライダ保持筒１３を加圧ロッド１７と
共にその長手方向に一定のストロークで往復動させる保
持筒往復動用アクチュエータが組み付けられている。そ
して、これら保持筒回転用駆動モータ及び保持筒往復動
用アクチュエータを作動させることにより、研磨部材１
６を被加工穴１２の内周面に沿って旋回させながら図１
中、上下に往復動させるのである。
は、このスライダ保持筒１３を加圧ロッド１７と共に駆
動回転させる図示しない保持筒回転用駆動モータが組み
付けられ、更にスライダ保持筒１３を加圧ロッド１７と
共にその長手方向に一定のストロークで往復動させる保
持筒往復動用アクチュエータが組み付けられている。そ
して、これら保持筒回転用駆動モータ及び保持筒往復動
用アクチュエータを作動させることにより、研磨部材１
６を被加工穴１２の内周面に沿って旋回させながら図１
中、上下に往復動させるのである。
【００１８】なお、本実施例ではスライダ保持筒１３を
旋回させつつ図１中、上下に昇降させるようにしたが、
光ファイバ用母材１１をスライダ保持筒１３に対して回
転させつつ図１中、上下に往復動させるようにしても良
く、少なくとも研磨部材１６と光ファイバ用母材１１と
を相対回転させる必要がある。
旋回させつつ図１中、上下に昇降させるようにしたが、
光ファイバ用母材１１をスライダ保持筒１３に対して回
転させつつ図１中、上下に往復動させるようにしても良
く、少なくとも研磨部材１６と光ファイバ用母材１１と
を相対回転させる必要がある。
【００１９】前記光ファイバ用母材１１の被加工穴１２
の直上には、この被加工穴１２と研磨部材１６との隙間
に加工液１９を供給するための加工液供給管２０の上端
部が図示しないブラケットを介して固定されている。途
中に加工液供給ポンプ２１が介装されたこの加工液供給
管２０の下端は、光ファイバ用母材１１の直下に設けら
れた加工液溜め２２内に固定され、この加工液溜め２２
内に蓄えられた加工液１９が加工液供給ポンプ２１の作
動により、加工液供給管２０を介して光ファイバ用母材
１１の被加工穴１２の上側から、この被加工穴１２と研
磨部材１６との隙間に供給される。
の直上には、この被加工穴１２と研磨部材１６との隙間
に加工液１９を供給するための加工液供給管２０の上端
部が図示しないブラケットを介して固定されている。途
中に加工液供給ポンプ２１が介装されたこの加工液供給
管２０の下端は、光ファイバ用母材１１の直下に設けら
れた加工液溜め２２内に固定され、この加工液溜め２２
内に蓄えられた加工液１９が加工液供給ポンプ２１の作
動により、加工液供給管２０を介して光ファイバ用母材
１１の被加工穴１２の上側から、この被加工穴１２と研
磨部材１６との隙間に供給される。
【００２０】更に、本実施例では被加工穴１２と研磨部
材１６との隙間から流れ落ちる加工液１９を回収する加
工液溜め２２を震盪攪拌装置２３上に設置しており、こ
れによって加工液溜め２２内の加工液１９が均一に攪拌
されるようになっている。
材１６との隙間から流れ落ちる加工液１９を回収する加
工液溜め２２を震盪攪拌装置２３上に設置しており、こ
れによって加工液溜め２２内の加工液１９が均一に攪拌
されるようになっている。
【００２１】なお、本実施例で用いた加工液１９は遊離
砥粒を含むものであるが、研削油や水溶性研削液の他に
単なる水或いはアルコールや溶剤等を採用することも可
能であり、遊離砥粒を含まない加工液を使用する場合に
は上述した震盪攪拌装置２３を設ける必要はない。
砥粒を含むものであるが、研削油や水溶性研削液の他に
単なる水或いはアルコールや溶剤等を採用することも可
能であり、遊離砥粒を含まない加工液を使用する場合に
は上述した震盪攪拌装置２３を設ける必要はない。
【００２２】実際の作業に際しては、まず光ファイバ用
母材１１の被加工穴１２内にスライダ保持筒１３の先端
部をこのスライダ保持筒１３に保持された研磨部材１６
等と共に差し込み、この状態にて、加工液供給ポンプ２
１を駆動し、震盪攪拌装置２３の作動により均一に攪拌
されている加工液溜め２２内の加工液１９を被加工穴１
２に供給し、次いで保持筒回転用駆動モータ及び保持筒
往復動用アクチュエータを作動させ、スライダ保持筒１
３と共に研磨部材１６を被加工穴１２の内周面に沿って
旋回させながら図１中、上下に昇降させる。そして、加
圧ロッド駆動用アクチュエータを作動させて加圧ロッド
１７を図１中、下方に押し込むことにより、研磨部材１
６を被加工穴１２の内周面に所定の押圧力で押し付け、
加工液１９を被加工穴１２の内周面と研磨部材１６との
間に供給しつつ被加工穴１２の内周面全域を順次効率良
く平滑に研磨して行く。
母材１１の被加工穴１２内にスライダ保持筒１３の先端
部をこのスライダ保持筒１３に保持された研磨部材１６
等と共に差し込み、この状態にて、加工液供給ポンプ２
１を駆動し、震盪攪拌装置２３の作動により均一に攪拌
されている加工液溜め２２内の加工液１９を被加工穴１
２に供給し、次いで保持筒回転用駆動モータ及び保持筒
往復動用アクチュエータを作動させ、スライダ保持筒１
３と共に研磨部材１６を被加工穴１２の内周面に沿って
旋回させながら図１中、上下に昇降させる。そして、加
圧ロッド駆動用アクチュエータを作動させて加圧ロッド
１７を図１中、下方に押し込むことにより、研磨部材１
６を被加工穴１２の内周面に所定の押圧力で押し付け、
加工液１９を被加工穴１２の内周面と研磨部材１６との
間に供給しつつ被加工穴１２の内周面全域を順次効率良
く平滑に研磨して行く。
【００２３】被加工穴１２の内周面の加工が終了した場
合には、加圧ロッド駆動用アクチュエータを逆に作動し
て加圧ロッド１７を図１中、上方に引き上げ、スライダ
14a,14bに対する加圧部18a,18bの押圧を開放し、光ファ
イバ用母材１１の被加工穴１２に対する研磨部材１６の
押圧力をなくした後、保持筒回転用駆動モータ及び保持
筒往復動用アクチュエータ及び加工液供給ポンプ２１の
作動を停止し、スライダ保持筒１３をこのスライダ保持
筒１３に保持された研磨部材１６等と共に光ファイバ用
母材１１の被加工穴１２から図１中、上方に引き抜く。
合には、加圧ロッド駆動用アクチュエータを逆に作動し
て加圧ロッド１７を図１中、上方に引き上げ、スライダ
14a,14bに対する加圧部18a,18bの押圧を開放し、光ファ
イバ用母材１１の被加工穴１２に対する研磨部材１６の
押圧力をなくした後、保持筒回転用駆動モータ及び保持
筒往復動用アクチュエータ及び加工液供給ポンプ２１の
作動を停止し、スライダ保持筒１３をこのスライダ保持
筒１３に保持された研磨部材１６等と共に光ファイバ用
母材１１の被加工穴１２から図１中、上方に引き抜く。
【００２４】図１及び図２に示した実施例では、加圧ロ
ッド１７の加圧部18a,18bによりスライダ14a,14bを介し
て光ファイバ用母材１１の被加工穴１２に対する研磨部
材１６の押圧力を調整するようにしたが、より簡略な構
造を採用することも可能である。
ッド１７の加圧部18a,18bによりスライダ14a,14bを介し
て光ファイバ用母材１１の被加工穴１２に対する研磨部
材１６の押圧力を調整するようにしたが、より簡略な構
造を採用することも可能である。
【００２５】このような本発明による穴内面研磨方法を
実現し得る研磨装置の他の一実施例の主要部の断面構造
を表す図３に示すように、光ファイバ用母材１１に形成
されたコア部挿入用の被加工穴１２内に差し込まれる円
筒状をなすスライダ保持筒１３の先端部には、内周側が
円錐面となった楔状断面のスライダ１４が複数組放射状
に取り付けられ、これらスライダ１４はスライダ保持筒
１３に対し当該スライダ保持筒１３の半径方向（被加工
穴１２の内周面と対向する方向）にそれぞれ摺動自在に
保持されている。又、これらスライダ１４の外周側に
は、被加工穴１２の内周面に緊密に当接し得る外周側に
図示しない研磨砥粒を固定した研磨部材１６がそれぞれ
一体的に設けられている。
実現し得る研磨装置の他の一実施例の主要部の断面構造
を表す図３に示すように、光ファイバ用母材１１に形成
されたコア部挿入用の被加工穴１２内に差し込まれる円
筒状をなすスライダ保持筒１３の先端部には、内周側が
円錐面となった楔状断面のスライダ１４が複数組放射状
に取り付けられ、これらスライダ１４はスライダ保持筒
１３に対し当該スライダ保持筒１３の半径方向（被加工
穴１２の内周面と対向する方向）にそれぞれ摺動自在に
保持されている。又、これらスライダ１４の外周側に
は、被加工穴１２の内周面に緊密に当接し得る外周側に
図示しない研磨砥粒を固定した研磨部材１６がそれぞれ
一体的に設けられている。
【００２６】前記スライダ保持筒１３に対してその長手
方向（図１中、上下方向）に相対移動可能に当該スライ
ダ保持筒１３の中央部に差し込まれる加圧ロッド１７に
は、スライダ１４の内周側に形成された円錐面と対応す
る円錐状の加圧部１８が一体的に形成されており、この
加圧ロッド１７をスライダ保持筒１３に対してその長手
方向に変位させることにより、光ファイバ用母材１１の
被加工穴１２に対する研磨部材１６の押し付け力を任意
に調整することができるようになっている。
方向（図１中、上下方向）に相対移動可能に当該スライ
ダ保持筒１３の中央部に差し込まれる加圧ロッド１７に
は、スライダ１４の内周側に形成された円錐面と対応す
る円錐状の加圧部１８が一体的に形成されており、この
加圧ロッド１７をスライダ保持筒１３に対してその長手
方向に変位させることにより、光ファイバ用母材１１の
被加工穴１２に対する研磨部材１６の押し付け力を任意
に調整することができるようになっている。
【００２７】これ以外の加圧ロッド駆動用アクチュエー
タや、保持筒回転用駆動モータ及び保持筒往復動用アク
チュエータ等の構成に関しては、先に説明した実施例と
全く同じで良い。
タや、保持筒回転用駆動モータ及び保持筒往復動用アク
チュエータ等の構成に関しては、先に説明した実施例と
全く同じで良い。
【００２８】このような構成の研磨装置を用いて石英ガ
ラスに形成された中心線平均粗さＲ aが約1.2μｍ,十点
平均粗さＲzが約１０μｍの被加工穴の内周面を研磨し
た結果、この被加工穴の内周面を中心線平均粗さＲaで
約0.06μｍ,十点平均粗さＲzで約0.5μｍにまで仕上げ
ることができ、本発明方法が有効であることを確認でき
た。
ラスに形成された中心線平均粗さＲ aが約1.2μｍ,十点
平均粗さＲzが約１０μｍの被加工穴の内周面を研磨し
た結果、この被加工穴の内周面を中心線平均粗さＲaで
約0.06μｍ,十点平均粗さＲzで約0.5μｍにまで仕上げ
ることができ、本発明方法が有効であることを確認でき
た。
【００２９】なお、本実施例では光ファイバ用母材に形
成された応力付与部材装入用の穴の内周面を研磨する場
合について説明したが、他の硬脆材料に形成された穴の
内面研磨にも当然応用することが可能である。
成された応力付与部材装入用の穴の内周面を研磨する場
合について説明したが、他の硬脆材料に形成された穴の
内面研磨にも当然応用することが可能である。
【００３０】
【発明の効果】本発明の穴内面研磨方法によると、外周
側に砥粒が保持された複数個の研磨部材を被加工穴の内
周面に押し当て、これらを相対的に摺動させつつこれら
の間に加工液を供給するようにしたので、研磨部材の外
周面に保持された砥粒の目づまりが起こらず、硬脆材料
等の丸棒状をなすワークに形成された被加工穴の内周面
の表面粗さを中心線平均粗さＲaで０.１μｍ以下に仕上
げることができる。
側に砥粒が保持された複数個の研磨部材を被加工穴の内
周面に押し当て、これらを相対的に摺動させつつこれら
の間に加工液を供給するようにしたので、研磨部材の外
周面に保持された砥粒の目づまりが起こらず、硬脆材料
等の丸棒状をなすワークに形成された被加工穴の内周面
の表面粗さを中心線平均粗さＲaで０.１μｍ以下に仕上
げることができる。
【図１】本発明による穴内面研磨方法を実現し得る加工
装置の一実施例の主要部の概略構造を表す断面図であ
る。
装置の一実施例の主要部の概略構造を表す断面図であ
る。
【図２】そのII−II矢視断面の拡大図である。
【図３】本発明による穴内面研磨方法を実現し得る加工
装置の他の一実施例の主要部の概略構造を表す断面図で
ある。
装置の他の一実施例の主要部の概略構造を表す断面図で
ある。
【図４】従来の穴内面研磨装置の一例を表す正面図であ
る。
る。
【図５】そのＶ−Ｖ矢視断面図である。
１１は光ファイバ用母材、１２は被加工穴、１３はスラ
イダ保持筒、14a,14bはスライダ、１５はホルダ、１６
は研磨部材、１７は加圧ロッド、18a,18b加圧部、１９
は加工液、２０は加工液供給管、２１は加工液供給ポン
プ、２２は加工液溜め、２３は震盪攪拌装置である。
イダ保持筒、14a,14bはスライダ、１５はホルダ、１６
は研磨部材、１７は加圧ロッド、18a,18b加圧部、１９
は加工液、２０は加工液供給管、２１は加工液供給ポン
プ、２２は加工液溜め、２３は震盪攪拌装置である。
Claims (2)
- 【請求項１】 外周側に砥粒が保持された複数個の研磨
部材を硬脆材料に形成された被加工穴の内周面に押し当
て、これら研磨部材と硬脆材料とを相対的に回転させ、
更に前記研磨部材と前記被加工穴の内周面との間に加工
液を供給するようにしたことを特徴とする穴内面研磨方
法。 - 【請求項２】 研磨部材と硬脆材料とを被加工穴の長手
方向に沿って相対的に往復動させるようにしたことを特
徴とする請求項１に記載した穴内面研磨方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6562292A JPH05269654A (ja) | 1992-03-24 | 1992-03-24 | 穴内面研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6562292A JPH05269654A (ja) | 1992-03-24 | 1992-03-24 | 穴内面研磨方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05269654A true JPH05269654A (ja) | 1993-10-19 |
Family
ID=13292311
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6562292A Pending JPH05269654A (ja) | 1992-03-24 | 1992-03-24 | 穴内面研磨方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05269654A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6375555B1 (en) * | 2000-03-28 | 2002-04-23 | Daisho Seiki Corporation | Vane groove grinding apparatus for compressor cylinder |
| JP2008105171A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-05-08 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、磁気ディスク用ガラス基板研磨装置および磁気ディスクの製造方法 |
| CN102294629A (zh) * | 2011-07-27 | 2011-12-28 | 航天材料及工艺研究所 | 一种c/e复合材料相贯线斜孔加工装置及方法 |
| US8408970B2 (en) | 2006-09-29 | 2013-04-02 | Hoya Corporation | Method of manufacturing glass substrate for magnetic disk, method of manufacturing magnetic disk, and polishing apparatus of glass substrate for magnetic disk |
| DE102014017259A1 (de) * | 2014-11-24 | 2016-05-25 | Kurt Bär | Vorrichtung und Verfahren zum Innenschleifen von Rohren |
| CN117182682A (zh) * | 2023-09-22 | 2023-12-08 | 河北冠都机械有限公司 | 一种铝铸件生产用加工装置 |
-
1992
- 1992-03-24 JP JP6562292A patent/JPH05269654A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6375555B1 (en) * | 2000-03-28 | 2002-04-23 | Daisho Seiki Corporation | Vane groove grinding apparatus for compressor cylinder |
| JP2008105171A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-05-08 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、磁気ディスク用ガラス基板研磨装置および磁気ディスクの製造方法 |
| US8408970B2 (en) | 2006-09-29 | 2013-04-02 | Hoya Corporation | Method of manufacturing glass substrate for magnetic disk, method of manufacturing magnetic disk, and polishing apparatus of glass substrate for magnetic disk |
| CN102294629A (zh) * | 2011-07-27 | 2011-12-28 | 航天材料及工艺研究所 | 一种c/e复合材料相贯线斜孔加工装置及方法 |
| CN102294629B (zh) * | 2011-07-27 | 2015-06-03 | 航天材料及工艺研究所 | 一种c/e复合材料相贯线斜孔加工装置及方法 |
| DE102014017259A1 (de) * | 2014-11-24 | 2016-05-25 | Kurt Bär | Vorrichtung und Verfahren zum Innenschleifen von Rohren |
| CN117182682A (zh) * | 2023-09-22 | 2023-12-08 | 河北冠都机械有限公司 | 一种铝铸件生产用加工装置 |
| CN117182682B (zh) * | 2023-09-22 | 2024-03-29 | 河北冠都机械有限公司 | 一种铝铸件生产用加工装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030218 |