JPH05267970A - 圧電共振子の周波数調整方法 - Google Patents
圧電共振子の周波数調整方法Info
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- JPH05267970A JPH05267970A JP6008892A JP6008892A JPH05267970A JP H05267970 A JPH05267970 A JP H05267970A JP 6008892 A JP6008892 A JP 6008892A JP 6008892 A JP6008892 A JP 6008892A JP H05267970 A JPH05267970 A JP H05267970A
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- Japan
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- piezoelectric resonator
- piezoelectric substrate
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- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 圧電基板１１の両主面に１対の対向した振動
電極１２ａ、１３ａを形成し、これら振動電極１２ａ、
１３ａ上又はその近傍に塩化エチレン系溶剤には溶け、
アセトン系溶剤には溶けない一般式が下記の化１ 【化１】 で表わされるフェノールノボラック型エポキシ樹脂の質
量付加膜１４ａ、１４ｂを形成することにより、圧電基
板１１の振動数を調整する圧電共振子の周波数調整方
法。 【効果】 質量付加膜１４ａ、１４ｂを塩化エチレン系
溶剤を用いて容易に除去することができ、このため質量
付加膜１４ａ、１４ｂの厚さを自由に調整することがで
き、従来不良品として扱われていた圧電共振子を再生す
ることができるので歩留まりが向上し、製造コストの低
減を図ることができる。
電極１２ａ、１３ａを形成し、これら振動電極１２ａ、
１３ａ上又はその近傍に塩化エチレン系溶剤には溶け、
アセトン系溶剤には溶けない一般式が下記の化１ 【化１】 で表わされるフェノールノボラック型エポキシ樹脂の質
量付加膜１４ａ、１４ｂを形成することにより、圧電基
板１１の振動数を調整する圧電共振子の周波数調整方
法。 【効果】 質量付加膜１４ａ、１４ｂを塩化エチレン系
溶剤を用いて容易に除去することができ、このため質量
付加膜１４ａ、１４ｂの厚さを自由に調整することがで
き、従来不良品として扱われていた圧電共振子を再生す
ることができるので歩留まりが向上し、製造コストの低
減を図ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は圧電共振子の周波数調整
方法に関し、より詳細にはエネルギー閉じ込め型圧電共
振子の周波数調整方法に関するものである。
方法に関し、より詳細にはエネルギー閉じ込め型圧電共
振子の周波数調整方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１は従来のエネルギー閉じ込め型厚み
すべり圧電共振子を示しており、（ａ）は正面図、
（ｂ）は側面図である。図中１１は圧電基板を示してお
り、圧電基板１１の両主面には、互いに対向する振動電
極１２ａ、１３ａが形成され、振動電極１２ａ、１３ａ
の両端部から取り付け電極１２ｂ、１３ｂが接続形成さ
れており、これら取り付け電極１２ｂ、１３ｂは振動電
極１２ａ、１３ａと電気的に接続されて圧電共振子が構
成されている。
すべり圧電共振子を示しており、（ａ）は正面図、
（ｂ）は側面図である。図中１１は圧電基板を示してお
り、圧電基板１１の両主面には、互いに対向する振動電
極１２ａ、１３ａが形成され、振動電極１２ａ、１３ａ
の両端部から取り付け電極１２ｂ、１３ｂが接続形成さ
れており、これら取り付け電極１２ｂ、１３ｂは振動電
極１２ａ、１３ａと電気的に接続されて圧電共振子が構
成されている。
【０００３】図１に示したような圧電共振子の共振周波
数ｆｒは厚みすべりモードの周波数定数をＮ15とした場
合、下記の数１式で与えられる。
数ｆｒは厚みすべりモードの周波数定数をＮ15とした場
合、下記の数１式で与えられる。
【０００４】
【数１】 ｆｒ＝Ｎ15／ｔ（ｔ：圧電共振子の厚み） 従って、所望の共振周波数ｆｒを得るにはｔを調整して
やる必要がある。ｔが大きく、所望の共振周波数ｆｒよ
り得られた共振周波数ｆｒが小さくなりすぎた場合、所
望の共振周波数ｆｒを得るためには圧電共振子の厚みｔ
を小さくしてやればよく、そのためには圧電共振子の研
磨を行なっていた。
やる必要がある。ｔが大きく、所望の共振周波数ｆｒよ
り得られた共振周波数ｆｒが小さくなりすぎた場合、所
望の共振周波数ｆｒを得るためには圧電共振子の厚みｔ
を小さくしてやればよく、そのためには圧電共振子の研
磨を行なっていた。
【０００５】一方、ｔが小さく共振周波数ｆｒより得ら
れた共振周波数ｆｒが大きくなりすぎた場合、所望の共
振周波数ｆｒを得るためには圧電共振子の厚みｔを大き
くする必要がある。そのためには振動電極又はその近傍
に質量付加膜を取り付ける方法が取られおり、図２はこ
のような圧電共振子の１例を示しており、（ａ）は正面
図、（ｂ）は側面図である。図中１１は圧電基板を示し
ており、圧電基板１１の両主面には、互いに対向する振
動電極１２ａ、１３ａが形成され、振動電極１２ａ、１
３ａの両端部からは取り付け電極１２ｂ、１３ｂが接続
形成されており、これら取り付け電極１２ｂ、１３ｂは
振動電極１２ａ、１３ａと電気的に接続されている。ま
た振動電極１２ａの上面又はその近傍、振動電極１３ａ
の下面又はその近傍にはそれぞれ質量付加膜１４ａ、１
４ｂが形成されて圧電共振子が構成されている。
れた共振周波数ｆｒが大きくなりすぎた場合、所望の共
振周波数ｆｒを得るためには圧電共振子の厚みｔを大き
くする必要がある。そのためには振動電極又はその近傍
に質量付加膜を取り付ける方法が取られおり、図２はこ
のような圧電共振子の１例を示しており、（ａ）は正面
図、（ｂ）は側面図である。図中１１は圧電基板を示し
ており、圧電基板１１の両主面には、互いに対向する振
動電極１２ａ、１３ａが形成され、振動電極１２ａ、１
３ａの両端部からは取り付け電極１２ｂ、１３ｂが接続
形成されており、これら取り付け電極１２ｂ、１３ｂは
振動電極１２ａ、１３ａと電気的に接続されている。ま
た振動電極１２ａの上面又はその近傍、振動電極１３ａ
の下面又はその近傍にはそれぞれ質量付加膜１４ａ、１
４ｂが形成されて圧電共振子が構成されている。
【０００６】また、一般に圧電共振子を製造する場合、
有機溶剤で洗浄する工程があるため質量付加膜１４ａ、
１４ｂには有機溶剤に安定な材料が用いられている。
有機溶剤で洗浄する工程があるため質量付加膜１４ａ、
１４ｂには有機溶剤に安定な材料が用いられている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記した図２に示した
ような質量付加膜１４ａ、１４ｂが取り付けられた圧電
共振子において、質量付加膜１４ａ、１４ｂの厚さｔ0
を小さくし過ぎて、所望の共振周波数ｆｒより大きい共
振周波数ｆｒが得られた場合、所望の共振周波数ｆｒを
得るためには質量付加膜１４ａ、１４ｂの厚さｔ0 を大
きくする必要があり、そのためには更に質量付加膜１４
ａ、１４ｂを塗布形成すれば良かった。
ような質量付加膜１４ａ、１４ｂが取り付けられた圧電
共振子において、質量付加膜１４ａ、１４ｂの厚さｔ0
を小さくし過ぎて、所望の共振周波数ｆｒより大きい共
振周波数ｆｒが得られた場合、所望の共振周波数ｆｒを
得るためには質量付加膜１４ａ、１４ｂの厚さｔ0 を大
きくする必要があり、そのためには更に質量付加膜１４
ａ、１４ｂを塗布形成すれば良かった。
【０００８】しかしながら、質量付加膜１４ａ、１４ｂ
の厚さｔ0 を大きくし過ぎて、所望の共振周波数ｆｒよ
り小さい共振周波数ｆｒが得られた場合、所望の共振周
波数ｆｒを得るためには質量付加膜１４ａ、１４ｂの厚
さｔ0 を小さくする必要がある。そのためには質量付加
膜１４ａ、１４ｂを一旦除去し、再び所望の質量付加膜
１４ａ、１４ｂの厚さｔ0 に塗布すれば良いが、後工程
である有機溶剤による洗浄を考慮し、質量付加膜１４
ａ、１４ｂの材料として有機溶剤に安定な材料が使われ
ているため、質量付加膜１４ａ、１４ｂを容易に除去す
ることができなかった。従って、このような圧電共振子
は不良品として取り扱われ、歩留まりが低下し、製造コ
ストが高くなるという課題があった。
の厚さｔ0 を大きくし過ぎて、所望の共振周波数ｆｒよ
り小さい共振周波数ｆｒが得られた場合、所望の共振周
波数ｆｒを得るためには質量付加膜１４ａ、１４ｂの厚
さｔ0 を小さくする必要がある。そのためには質量付加
膜１４ａ、１４ｂを一旦除去し、再び所望の質量付加膜
１４ａ、１４ｂの厚さｔ0 に塗布すれば良いが、後工程
である有機溶剤による洗浄を考慮し、質量付加膜１４
ａ、１４ｂの材料として有機溶剤に安定な材料が使われ
ているため、質量付加膜１４ａ、１４ｂを容易に除去す
ることができなかった。従って、このような圧電共振子
は不良品として取り扱われ、歩留まりが低下し、製造コ
ストが高くなるという課題があった。
【０００９】本発明はこのような課題に鑑み発明された
ものであって、質量付加膜を容易に除去することがで
き、このため質量付加膜の厚さを自由に調整することが
でき、従来不良品として扱われていた圧電共振子を再生
することができ、歩留まりが向上し、製造コストの低減
を図ることができる圧電共振子の周波数調整方法を提供
することを目的としている。
ものであって、質量付加膜を容易に除去することがで
き、このため質量付加膜の厚さを自由に調整することが
でき、従来不良品として扱われていた圧電共振子を再生
することができ、歩留まりが向上し、製造コストの低減
を図ることができる圧電共振子の周波数調整方法を提供
することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ため本発明に係る圧電共振子の周波数調整方法は、圧電
基板の両主面に１対の対向電極を形成し、これら対向電
極上又はその近傍に塩化エチレン系溶剤には溶け、アセ
トン系溶剤には溶けない一般式が下記の化１
ため本発明に係る圧電共振子の周波数調整方法は、圧電
基板の両主面に１対の対向電極を形成し、これら対向電
極上又はその近傍に塩化エチレン系溶剤には溶け、アセ
トン系溶剤には溶けない一般式が下記の化１
【００１１】
【化１】
【００１２】で表わされるフェノールノボラック型エポ
キシ樹脂の質量付加膜を形成することにより、前記圧電
基板の振動数を調整することを特徴としている。
キシ樹脂の質量付加膜を形成することにより、前記圧電
基板の振動数を調整することを特徴としている。
【００１３】
【作用】上記した構成によれば、圧電基板の両主面に１
対の対向電極を形成し、これら対向電極上又はその近傍
に塩化エチレン系溶剤には溶け、アセトン系溶剤には溶
けない一般式が下記の化１
対の対向電極を形成し、これら対向電極上又はその近傍
に塩化エチレン系溶剤には溶け、アセトン系溶剤には溶
けない一般式が下記の化１
【００１４】
【化１】
【００１５】で表わされるフェノールノボラック型エポ
キシ樹脂の質量付加膜を形成するので、該質量付加膜の
厚さが大きすぎる場合には前記塩化エチレン系溶剤によ
り前記質量付加膜を溶かして除去し、再度質量付加膜を
形成してやればよい。従って、質量付加膜の厚さｔ0 を
自由に調整することが可能となるので、前記圧電基板の
振動数を自由に調整することが可能となり、共振周波数
ｆｒを容易に調整することが可能となる。
キシ樹脂の質量付加膜を形成するので、該質量付加膜の
厚さが大きすぎる場合には前記塩化エチレン系溶剤によ
り前記質量付加膜を溶かして除去し、再度質量付加膜を
形成してやればよい。従って、質量付加膜の厚さｔ0 を
自由に調整することが可能となるので、前記圧電基板の
振動数を自由に調整することが可能となり、共振周波数
ｆｒを容易に調整することが可能となる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明に係る圧電共振子の周波数調整
方法の実施例を図面に基づいて説明する。圧電共振子の
共振周波数を調整するためには質量付加膜を形成すれば
よく、本実施例に係る圧電共振子の構造は図２に示した
従来のものと基本的には同様の構造をとっている。相違
点は質量付加膜１４ａ、１４ｂの形成材料として塩化エ
チレン系溶剤には溶け、アセトン系溶剤には溶けない一
般式が下記の化１
方法の実施例を図面に基づいて説明する。圧電共振子の
共振周波数を調整するためには質量付加膜を形成すれば
よく、本実施例に係る圧電共振子の構造は図２に示した
従来のものと基本的には同様の構造をとっている。相違
点は質量付加膜１４ａ、１４ｂの形成材料として塩化エ
チレン系溶剤には溶け、アセトン系溶剤には溶けない一
般式が下記の化１
【００１７】
【化１】
【００１８】で表わされるフェノールノボラック型エポ
キシ樹脂を用いている点である。
キシ樹脂を用いている点である。
【００１９】従って、前記エポキシ系樹脂からなる質量
付加膜１４ａ、１４ｂを形成することにより、質量付加
膜１４ａ、１４ｂの厚さｔ0 を自由に調整することが可
能となるので、圧電基板１１の振動数も自由に調整する
ことが可能となり、所望の共振周波数ｆｒを容易に得る
ことができる。
付加膜１４ａ、１４ｂを形成することにより、質量付加
膜１４ａ、１４ｂの厚さｔ0 を自由に調整することが可
能となるので、圧電基板１１の振動数も自由に調整する
ことが可能となり、所望の共振周波数ｆｒを容易に得る
ことができる。
【００２０】つまり、質量付加膜１４ａ、１４ｂの厚さ
ｔ0 を大きくし過ぎて、所望の共振周波数ｆｒより小さ
い共振周波数ｆｒが得られた場合、前記エポキシ系樹脂
からなる質量付加膜１４ａ、１４ｂを塩化エチレン系溶
剤で溶かして一旦取り除き、再び前記エポキシ系樹脂か
らなる質量付加膜１４ａ、１４ｂを所望の厚さｔ0 にな
るように塗布形成することにより所望の共振周波数ｆｒ
を得ることができる。このことは所望の共振周波数ｆｒ
を得ることができるまで、何度でも前記エポキシ系樹脂
からなる質量付加膜１４ａ、１４ｂの厚さｔ0 を変化さ
せることができることを意味している。
ｔ0 を大きくし過ぎて、所望の共振周波数ｆｒより小さ
い共振周波数ｆｒが得られた場合、前記エポキシ系樹脂
からなる質量付加膜１４ａ、１４ｂを塩化エチレン系溶
剤で溶かして一旦取り除き、再び前記エポキシ系樹脂か
らなる質量付加膜１４ａ、１４ｂを所望の厚さｔ0 にな
るように塗布形成することにより所望の共振周波数ｆｒ
を得ることができる。このことは所望の共振周波数ｆｒ
を得ることができるまで、何度でも前記エポキシ系樹脂
からなる質量付加膜１４ａ、１４ｂの厚さｔ0 を変化さ
せることができることを意味している。
【００２１】従って、所望の共振周波数ｆｒより小さい
共振周波数ｆｒが得られた場合に従来不良品として扱わ
れていた圧電共振子を再生することができ、歩留まりが
向上し、製造コストの低減を図ることができる。
共振周波数ｆｒが得られた場合に従来不良品として扱わ
れていた圧電共振子を再生することができ、歩留まりが
向上し、製造コストの低減を図ることができる。
【００２２】また、前記エポキシ系樹脂はアセトン系の
有機溶剤には溶けないのでアセトン系有機溶剤で洗浄す
る後工程において質量付加膜１４ａ、１４ｂは安定であ
る。
有機溶剤には溶けないのでアセトン系有機溶剤で洗浄す
る後工程において質量付加膜１４ａ、１４ｂは安定であ
る。
【００２３】
【発明の効果】以上詳述したように本発明に係る圧電共
振子の周波数調整方法あっては、圧電基板の両主面に１
対の対向電極を形成し、これら対向電極上又はその近傍
に塩化エチレン系溶剤には溶け、アセトン系溶剤には溶
けない一般式が下記の化１
振子の周波数調整方法あっては、圧電基板の両主面に１
対の対向電極を形成し、これら対向電極上又はその近傍
に塩化エチレン系溶剤には溶け、アセトン系溶剤には溶
けない一般式が下記の化１
【００２４】
【化１】
【００２５】で表わされるフェノールノボラック型エポ
キシ樹脂の質量付加膜を形成するので、該質量付加膜の
厚さｔ0 を自由に調整することが可能となり、圧電基板
の共振周波数を自由に調整することができ、所望の共振
周波数ｆｒを容易に得ることができる。従って、所望の
共振周波数ｆｒより小さい共振周波数ｆｒが得られた場
合に従来不良品として扱われていた圧電共振子を再生す
ることができるので歩留まりが向上し、製造コストの低
減を図ることができる。
キシ樹脂の質量付加膜を形成するので、該質量付加膜の
厚さｔ0 を自由に調整することが可能となり、圧電基板
の共振周波数を自由に調整することができ、所望の共振
周波数ｆｒを容易に得ることができる。従って、所望の
共振周波数ｆｒより小さい共振周波数ｆｒが得られた場
合に従来不良品として扱われていた圧電共振子を再生す
ることができるので歩留まりが向上し、製造コストの低
減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のエネルギー閉じ込め型厚みすべり圧電共
振子を示しており、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図で
ある。
振子を示しており、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図で
ある。
【図２】従来及び本発明に係る質量付加膜が取り付けら
れた圧電共振子を示しており、（ａ）は正面図、（ｂ）
は側面図である。
れた圧電共振子を示しており、（ａ）は正面図、（ｂ）
は側面図である。
１１ 基板 １２ａ、１３ａ 振動電極 １４ａ、１４ｂ 質量付加膜
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電基板の両主面に１対の対向電極を形
成し、これら対向電極上又はその近傍に塩化エチレン系
溶剤には溶け、アセトン系溶剤には溶けない一般式が下
記の化１ 【化１】 で表わされるフェノールノボラック型エポキシ樹脂の質
量付加膜を形成することにより、前記圧電基板の振動数
を調整することを特徴とする圧電共振子の周波数調整方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6008892A JPH05267970A (ja) | 1992-03-17 | 1992-03-17 | 圧電共振子の周波数調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6008892A JPH05267970A (ja) | 1992-03-17 | 1992-03-17 | 圧電共振子の周波数調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05267970A true JPH05267970A (ja) | 1993-10-15 |
Family
ID=13131990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6008892A Pending JPH05267970A (ja) | 1992-03-17 | 1992-03-17 | 圧電共振子の周波数調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05267970A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003052928A1 (de) * | 2001-12-19 | 2003-06-26 | Infineon Technologies Ag | Piezoelektrischer schwingkreis, verfahren zu dessen herstellung und filteranordnung |
-
1992
- 1992-03-17 JP JP6008892A patent/JPH05267970A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003052928A1 (de) * | 2001-12-19 | 2003-06-26 | Infineon Technologies Ag | Piezoelektrischer schwingkreis, verfahren zu dessen herstellung und filteranordnung |
| US7455786B2 (en) | 2001-12-19 | 2008-11-25 | Avago Technologies Wireless Ip | Piezoelectric oscillating circuit, method for manufacturing the same and filter arrangement |
| US8365372B2 (en) | 2001-12-19 | 2013-02-05 | Contria San Limited Liability Company | Piezoelectric oscillating circuit, method for manufacturing the same and filter arrangement |
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