JPH04112521U - 圧電共振子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 スプリアス特性及びマザー基板から圧電共振
子を切り出す際のカット性に優れ、かつ、材料費の安価
な圧電共振子を得る。 【構成】 圧電体基板１の表裏面全面に振動電極２ａ，
２ｂを設ける。さらに、振動電極２ａ，２ｂの中央部に
導電性ペースト３ａ，３ｂを塗布して乾燥固化する。振
動電極２ａと２ｂの間には基本振動である広がり振動モ
ードの振動が生じ、導電性ペースト３ａ，３ｂによって
寄生振動（厚み縦振動）が抑圧される。以上の構造の圧
電共振子がマザー基板から切り出される場合、カッター
は導電性ペースト３ａ，３ｂをカットしなくてすむの
で、マザー基板を早いカットスピードで効率良くカット
できる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、フィルタや発振子等に使用される拡がり振動モードを利用した圧電 共振子に関する。

【０００２】

【従来の技術と課題】

１００〜８００ＫＨｚの周波数帯域で用いられる圧電共振子の一つとして、拡 がり振動モードを利用した圧電共振子が知られている。 ところで、この種の圧電共振子においては、基本振動である拡がり振動以外に 寄生振動である厚み縦振動も励振され、フィルタや発振子を構成した場合にスプ リアス特性を劣化させる原因となっていた。このため、従来は、特願昭６３−１ ９０４１３号公報記載のように圧電共振子の表裏面のうち少なくともいずれか一 方の全面に導電性又は絶縁性ペーストを塗布することによって、厚み縦振動を抑 圧してスプリアスレベルを低減していた。

【０００３】 ところが、この圧電共振子がマザー基板から切り出される場合、前記ペースト が振動電極を設けたマザー基板の少なくともいずれか一方の表裏面全面に塗布さ れているため、ペーストも同時にカットしなければならず、カッターに負荷がか かり、カットスピードが遅いという問題点があった。そして、カットスピードを 早くするためにカッターの回転数をアップさせると、カットスピードは早くなる が、カット時に圧電共振子のカット面に欠けが生じ易くなる。また、圧電共振子 の全面にペーストを塗布していたため、その分材料費がアップするという問題点 もあった。

【０００４】 そこで、本考案の課題は、スプリアス特性及びマザー基板から切り出される際 のカット性に優れ、かつ、材料費の安価な圧電共振子を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】 以上の課題を解決するため、本考案に係る圧電共振子は、圧電基板の表裏面に 設けた振動電極の少なくともいずれか一方の表面に、導電性又は絶縁性ペースト を圧電基板の四辺の端部を残して塗布したことを特徴とする。

【０００６】

【作用】

導電性又は絶縁性ペーストを、圧電基板の表裏面に設けた振動電極のうち少な くともいずれか一方の表面に前記圧電基板の四辺の端部を残して塗布したため、 マザー基板から圧電共振子を切り出す際に、ペーストをカットしなくてすみ、そ の分カットスピードが早くなる。また、前記ペーストの塗布により振動電極に質 量が付加された状態となり、厚み縦振動がこの付加質量によって抑圧され、この 圧電共振子をフィルタや発振子等として使用するには十分な程度にまでスプリア スレベルが低減される。しかも、基本振動である拡がり振動は圧電基板の面積方 向の振動であるため、前記付加質量は基本振動にあまり影響を与えない。特に、 導電性又は絶縁性ペーストを、基本振動の節（振幅の最小点）である振動電極の 中央部に塗布すれば、付加質量による基本振動への影響はさらに減少する。

【０００７】

【実施例】

以下、本考案に係る圧電共振子の一実施例について添付図面を参照して説明す る。 図１及び図２に示すように、圧電基板１は表裏面全面に振動電極２ａ，２ｂが 設けられている。この振動電極２ａと２ｂの間に拡がり振動モードの振動が生じ る。圧電基板１の材料にはPb(ZrTi)O₃，PbTiO₃等のセラミックス基板等が使用さ れる。振動電極２ａ，２ｂにはAg，Ag−Pd等が使用される。振動電極２ａ，２ｂ の中央部には導電性ペースト３ａ，３ｂが塗布され、乾燥固化されている。導電 性ペースト３ａ，３ｂの材料には、例えばエポキシ系樹脂中にAg粉末が含有され ているものが使用される。この導電性ペースト３ａ，３ｂはそれぞれ振動電極２ ａ，２ｂに対して付加質量となる。従って、この付加質量によって寄生振動であ る厚み縦振動が抑圧され、スプリアスレベルが低減される。

【０００８】 図３は本実施例の圧電共振子のスプリアス特性を示すグラフである。図４及び 図５は、振動電極の全面にペーストを塗布した圧電共振子のスプリアス特性及び 振動電極にペーストを塗布する前の圧電共振子のスプリアス特性を示す。これら のグラフを比較して明らかなように、本実施例の圧電共振子の４ＭＨｚ以上の厚 み縦振動モードによる寄生振動は、振動電極の全面にペーストを塗布した場合と 比較すれば若干多いが、実用上フィルタや発振子等として使用するには十分な程 度にまで抑圧されており、スプリアスレベルは十分低減されている。

【０００９】 なお、導電性ペースト３ａ，３ｂは、圧電基板１の表裏面のいずれか一方の面 の面積（即ち、振動電極２ａあるいは振動電極２ｂの面積）の１／４程度を被覆 していれば十分にスプリアスレベルの低減効果が得られる。 以上の構造の圧電共振子は、マザー基板に設けた振動電極２ａ，２ｂの中央部 に導電性ペースト３ａ，３ｂが塗布された後、マザー基板から切り出される。こ のとき、カッターは導電性ペースト３ａ，３ｂをカットしなくてすむので、カッ トスピードを早くして効率良くマザー基板をカットできる。

【００１０】 なお、本考案に係る圧電共振子は前記実施例に限定するものではなく、その要 旨の範囲内で種々に変形することができる。 前記実施例においては、圧電共振子の表裏面に導電性ペーストを塗布した場合 を説明したが、表裏面のいずれか一方にのみ導電性ペーストを塗布するものであ ってもよい。さらに、前記実施例は振動電極に導電性ペーストを塗布した例であ るが、導電性ペーストを介さず、振動電極に直接信号を入出力するように構成す れば、絶縁性ペーストを用いることもできる。

【００１１】

【考案の効果】

以上の説明で明らかなように、本考案によれば、導電性又は絶縁性ペーストを 、圧電基板の表裏面に設けた振動電極のうち少なくともいずれか一方の表面に前 記圧電基板の四辺の端部を残して塗布したので、マザー基板から圧電共振子を切 り出す際に、ペーストをカットしなくてすみ、早いカットスピードでマザー基板 から圧電共振子を効率良く切り出すことができる。しかも、ペーストを塗布する 面積が小さくなるので、ペースト使用量を削減できる。また、スプリアスレベル も、この圧電共振子をフィルタや発振子等として使用するのに十分な程度まで低 減されているので、スプリアス特性及びカット性に優れ、かつ、材料費の安価な 圧電共振子が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る圧電共振子の一実施例を示す垂直
断面図。

【図２】図１に示した圧電共振子の平面図。

【図３】図１に示した圧電共振子のスプリアス特性を示
すグラフ。

【図４】振動電極の全面にペーストを塗布した圧電共振
子のスプリアス特性を示すグラフ。

【図５】振動電極にペーストを塗布する前の圧電共振子
のスプリアス特性を示すグラフ。

【符号の説明】

１…圧電基板 ２ａ，２ｂ…振動電極 ３ａ，３ｂ…導電性ペースト

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電基板の表裏面に振動電極を設け、拡
   がり振動モードで振動する圧電共振子において、前記振
   動電極の少なくともいずれか一方の表面に、導電性又は
   絶縁性ペーストを前記圧電基板の四辺の端部を残して塗
   布したことを特徴とする圧電共振子。