JPH05267435A - 静電吸着装置 - Google Patents
静電吸着装置Info
- Publication number
- JPH05267435A JPH05267435A JP6186592A JP6186592A JPH05267435A JP H05267435 A JPH05267435 A JP H05267435A JP 6186592 A JP6186592 A JP 6186592A JP 6186592 A JP6186592 A JP 6186592A JP H05267435 A JPH05267435 A JP H05267435A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- resistance
- sintered body
- insulating film
- sic sintered
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
電吸着装置において、ゲ−ト酸化膜等の絶縁膜の耐圧劣
化を防止するのに好適な装置を提供することにある。 【構成】タングステン電極10にSiC焼結体11をろ
う材により接合して静電吸着装置を構成し、さらに、S
iC焼結体11と直流電源12の間に外部可変抵抗13
を設け、SiC焼結体11の温度変化による抵抗変化、
ウエハ1の抵抗により異なるエッチング処理中にウエハ
1を流れる電流を外部可変抵抗13の抵抗値を変化して
補正するようにする。または、SiC焼結体11への印
加電圧を設定値までリニア−または複数回のステップ状
に変化して補正するようにする。 【効果】ゲ−ト酸化膜等の絶縁膜に耐圧劣化を生じるこ
となく処理できる。
Description
されるウエハを静電吸着力により支持する静電吸着装置
に係り、特にウエハ表面のゲ−ト酸化膜等の絶縁膜の耐
圧劣化を防止するのに好適な静電吸着装置に関する。
2−264638号公報や京都セラミック技術資料など
に記載のように、静電吸着用の絶縁膜としてAl2O3焼
結膜あるいはCaTiO3の焼結膜を適用することが提
案されている。
ング処理されるウエハを載置する電極に適用する場合を
考えると、次のような解決すべき課題がある。エッチン
グ処理中に絶縁膜を介してウエハを流れる電流は、同一
の印加電圧においても電極温度および処理されるウエハ
の抵抗によって異なり、特に電極温度を高温にして処理
する場合あるいは抵抗が絶縁膜に対して低いウエハを処
理する場合において、印加電圧をオンした際に多大な電
流が流れ、ウエハ表面にあるゲ−ト酸化膜等の絶縁膜に
耐圧劣化を生じる恐れがあった。
の耐圧劣化を防止できる信頼性の高い静電吸着装置を提
供することにある。
に、静電吸着用の絶縁膜と直流電源の間に外部可変抵抗
を設け、温度変化による絶縁膜の抵抗変化および処理さ
れるウエハの抵抗の違いに応じて外部可変抵抗の抵抗値
を設定するようにし、または、ウエハ吸着開始時の絶縁
膜への印加電圧を設定値までリニア−または複数回のス
テップ状に変化するようにしたものである。
縁膜の抵抗と処理されるウエハの抵抗と外部可変抵抗の
抵抗の和で決まり、前者の二つは電極温度とウエハの種
類によって変化するが、外部可変抵抗の抵抗を任意に設
定することによりこの和を自由に変化することが可能と
なり、エッチング処理中のウエハに多大の電流が流れて
ゲ−ト酸化膜等の絶縁膜に耐圧劣化を生じることを防止
する。
に絶縁膜へ印加される電圧によっても決まり、前述した
ように印加電圧を設定値までリニア−または複数回のス
テップ状に変化することにより同様の効果が得られる。
磁場マイクロ波エッチング装置の構成を図1により説明
する。ウエハ1のエッチングは、放電管2内に導入した
プロセスガス3をマイクロ波4とソレノイド5による磁
場の相互作用によりプラズマ6化し、さらに、下部電極
7に高周波電源8により高周波を印加してウエハ1に入
射するイオンのエネルギ−を制御しながら行う。ウエハ
1のエッチングが終了すると、ウエハ1はウエハ押し上
げ装置9の作動により下部電極7から搬送装置(図示省
略)に渡された後、該搬送装置により他の場所に搬送さ
れる。また、下部電極7上にはタングステン電極10に
SiC焼結体11をろう材により接合して構成した静電
吸着電極が固定されており、さらに、下部電極7と直流
電源12の間には外部可変抵抗13が設けてあり、スイ
ッチ14をオン,オフすることによりSiC焼結体11
に電圧を印加できるようにしてある。
は、スイッチ14をオンしてSiC焼結体11とウエハ
1間に直流電源12により直流電圧を印加した後、前述
した方法によりプラズマ6を生成することにより生じる
静電吸着力によりウエハ1を支持した状態で、マスフロ
−コントローラ−15を開いてHeガス16をウエハ1
裏面に導入することにより行う。また、下部電極7はサ
−キュレ−タ−17により冷媒18を循環することによ
り温度調節されている。
抗値の変化方法について説明する。まず、電極温度が変
化した場合について図2、図3により説明する。エッチ
ング処理中にウエハ1を流れる電流は、印加電圧をオン
した際にピ−クを持ち、その後SiC焼結体11の抵抗
R1と静電容量Cの積で表わされる時定数を有する一次
遅れ曲線に沿って定常値に近ずくように変化する。ま
た、SiC焼結体11の抵抗R1は、温度の上昇ととも
に低くなるために、例えば点線で示すように電極温度−
60℃の場合ではピ-ク時の電流が約10mAであるの
に対して実線で示すように20℃の場合では約30mA
と3倍に増加し、この電流により、ウエハ1表面にある
ゲ−ト酸化膜等の絶縁膜に耐圧劣化を生じる恐れがあ
る。しかし、本発明では外部可変抵抗13の抵抗R2を
電極温度の設定値すなわちサ−キュレ−ター17により
循環される冷媒18の設定温度が高温になるにつれて高
くすることにより、上記電流のピ−ク値を任意に調整す
ることが可能となりゲ−ト酸化膜等の絶縁膜の耐圧劣化
を防止できる。さらに、電極温度が高い場合においても
印加電圧を高くしてウエハ1を支持する吸着力を向上で
き、SiC焼結体11を広い温度範囲で適用することも
可能となる。
いて図4、図5により説明する。ウエハ1の抵抗R3
は、例えば裏面にSiO2膜等の絶縁膜が有る場合と無
い場合で異なり、前者の場合ではウエハ1の抵抗R3は
SiC焼結体11の抵抗R1に比べて高く、エッチング
処理中にウエハ1を流れる電流は点線で示すようにピ-
ク値で約3mAであるが、後者の場合では逆にSiC焼
結体11の抵抗R1の方が高くなり、電流は実線で示す
ようにピ-ク値で約30mAに増加し、ウエハ1表面に
あるゲ−ト酸化膜等の絶縁膜に耐圧劣化を生じる恐れが
ある。しかし、本発明では外部可変抵抗13の抵抗R2
をウエハ1の抵抗が低くなるにつれて高くすることによ
り、上記電流のピ−ク値を任意に調整することが可能と
なりゲ−ト酸化膜等の絶縁膜の耐圧劣化を防止できる。
さらに、ウエハ1の抵抗が低い場合においても印加電圧
を高くしてウエハ1を支持する吸着力を向上でき、Si
C焼結体11をすべてのウエハ1について適用すること
も可能となる。
R2をエッチング処理中一定としたが、ウエハ1を流れ
る電流が耐圧劣化に対して問題になるのは印加電圧をオ
ンした際の短時間であり、この間だけ外部可変抵抗13
を介してSiC焼結体11に電圧が印加されるようにタ
イマ−等を用いて回路を構成しても、同様の効果が得ら
れることは明らかである。
の電圧印加方法を図4,図6、図7により説明する。実
線で示すように、従来の方法によりSiC焼結体11に
1000Vの電圧を印加した場合にウエハ1を流れる電
流はピ-ク値で約30mAであるのに対し、直流電源1
2の出力電圧が時間とともに可変にできる構成とし、点
線で示すように印加電圧を例えば500Vから1000
Vまでリニア−に変化して印加した場合では、電流は約
3mAのピ−ク値を生じた後1000V印加した場合の
定常値まで増加するだけであり、吸着開始時のピ−ク電
流に起因したゲ−ト酸化膜等の絶縁膜の耐圧劣化を防止
できる。また、印加電圧を設定値まで複数回のステップ
状に変化するようにしても、同様の効果が得られるのは
明らかである。
膜に耐圧劣化を生じることのない信頼性の高い静電吸着
装置を提供することができる。
置の全体構成図である。
る。
変抵抗の抵抗値の変化に関する説明図である。
る。
部可変抵抗の抵抗値の変化に関する説明図である。
に関する説明図である。
に関する説明図である。
抵抗。
Claims (4)
- 【請求項1】プラズマにより処理されるウエハを絶縁膜
との間に発生させた静電吸着力により支持する静電吸着
装置において、前記絶縁膜を流れる電流を補正するよう
に構成したことを特徴とする静電吸着装置。 - 【請求項2】前記静電吸着装置において、前記絶縁膜と
電源との間に可変抵抗を設けたことを特徴とする請求項
1記載の静電吸着装置。 - 【請求項3】前記可変抵抗は、電極温度の設定値に応じ
ての抵抗値を設定、又はウエハの種類に応じて抵抗値を
設定することを特徴とする請求項2記載の静電吸着装
置。 - 【請求項4】前記電源は、電源による吸着開始時の絶縁
膜への印加電圧を設定値までリニア−または複数回のス
テップ状に変化させることを特徴とする請求項2記載静
電吸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6186592A JP2663785B2 (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | 静電吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6186592A JP2663785B2 (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | 静電吸着装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05267435A true JPH05267435A (ja) | 1993-10-15 |
JP2663785B2 JP2663785B2 (ja) | 1997-10-15 |
Family
ID=13183447
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6186592A Expired - Lifetime JP2663785B2 (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | 静電吸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2663785B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012174978A (ja) * | 2011-02-23 | 2012-09-10 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63135113A (ja) * | 1986-11-27 | 1988-06-07 | 松下電器産業株式会社 | コ−ヒ−メ−カ− |
JPH03194948A (ja) * | 1989-12-22 | 1991-08-26 | Tokyo Electron Ltd | 静電チャック |
-
1992
- 1992-03-18 JP JP6186592A patent/JP2663785B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63135113A (ja) * | 1986-11-27 | 1988-06-07 | 松下電器産業株式会社 | コ−ヒ−メ−カ− |
JPH03194948A (ja) * | 1989-12-22 | 1991-08-26 | Tokyo Electron Ltd | 静電チャック |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012174978A (ja) * | 2011-02-23 | 2012-09-10 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2663785B2 (ja) | 1997-10-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5935373A (en) | Plasma processing apparatus | |
KR100823808B1 (ko) | 기판의 플라즈마 처리에서 손상을 제거하기 위한 플라즈마처리 방법 및 장치 | |
US6849154B2 (en) | Plasma etching apparatus | |
JP4101299B2 (ja) | ウェハ昇降システムによるウェハ放電制御 | |
KR19980064696A (ko) | 반도체 제조를 위한 마그네트론 스퍼터링 시스템 및 제조 방법 | |
JPH1014266A (ja) | 静電チャック装置及び静電チャックを用いたウエハの保持方法及び静電チャックからのウエハの脱着方法 | |
JP2663785B2 (ja) | 静電吸着装置 | |
JP2586768B2 (ja) | 静電吸着装置 | |
KR100305134B1 (ko) | 에칭방법 | |
US6898065B2 (en) | Method and apparatus for operating an electrostatic chuck in a semiconductor substrate processing system | |
JPH06169008A (ja) | 静電チャック装置および静電チャック方法 | |
JPH08213362A (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | |
JPH07106317A (ja) | 試料台 | |
JPH0786383A (ja) | 静電吸着装置及び方法 | |
JPH09330974A (ja) | 静電吸着電極 | |
JPH08203990A (ja) | 静電吸着装置 | |
JPH10209126A (ja) | プラズマエッチング装置 | |
JPH09199578A (ja) | 静電吸着電極およびそれを用いたプラズマ処理装置 | |
KR100390210B1 (ko) | 반도체 소자의 에칭 공정 제어 방법 | |
KR100491190B1 (ko) | 웨이퍼처리시스템에서반도체웨이퍼를클램핑하고디클램핑하는방법과장치 | |
JPH11307514A (ja) | プラズマ処理装置及び方法 | |
JPH0344028A (ja) | プラズマエッチング装置 | |
JPH08203989A (ja) | 静電吸着装置及び方法 | |
JPH11260803A (ja) | ウェハ温度の制御方法 | |
JPH06163463A (ja) | プラズマ処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080620 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080620 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090620 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100620 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100620 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110620 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110620 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120620 Year of fee payment: 15 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120620 Year of fee payment: 15 |