JPH05261575A - パルスレーザ加工機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】パルスレーザ加工機において、加工開始直後や
終了直前の速度が一定しない時においても、所定の間隔
の穴加工や所定の線幅の切断加工が高精度で正確に行な
え、加工を一時停止して加工位置を移動しその後再び加
工を行なう場合においても、パルスレーザのエネルギを
安定化することにより、正確な穴径の穴加工または正確
な線幅の切断加工が高精度に行なえるようにする。 【構成】本発明に係るパルスレーザ加工機は、ＸＹ加工
テーブル３の移動距離に対応したパルス信号を発生する
ロータリエンコーダ５、このパルス信号をもとに第１の
トリガ用パルス信号をパルスレーザ発振器１に出力する
ジェネレータ１１Ａ、第２のトリガ用パルス信号をパル
スレーザ発振器１に出力するレーザコントローラ１３
Ａ、加工を行う時はジェネレータ１１Ａから出力し加工
を停止する時はレーザコントローラ１３Ａから出力する
よう切換える切換器１６を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、所定の間隔でパルスレ
ーザを照射して被加工物に所定の加工を行うパルスレー
ザ加工機に関する。

【０００２】

【従来の技術】パルスレーザを利用した加工としては、
切断、穴あけ、溶接などの加工方法が、機械、電子、半
導体などの多方面の分野で利用されている。従来のパル
スレーザ加工機の構成を図６を参照しながら説明する。

【０００３】図６に示すように、従来のパルスレーザ加
工機は、パルスレーザを出力するパルスレーザ発振器３
１、被加工物であるワーク３２を搭載し水平面内（Ｘ軸
方向及びＹ軸方向）に移動自在なＸＹ加工テーブル３
３、パルスレーザ発振器３１を上下方向（Ｚ軸方向）に
移動させるためのＺ加工テーブル３４、レーザ発振器３
１でのレーザ出力を供給する電源３５、ＸＹ加工テーブ
ル３３の水平面内（Ｘ軸方向及びＹ軸方向）の移動及び
Ｚ加工テーブル３４の上下方向（Ｚ軸方向）の移動及び
レーザ発振器３１の発振動作などを自動または手動で制
御するメインコントローラ３６により構成される。ま
た、レーザ発振器３１には開閉することによってワーク
３２に照射するパルスレーザをＯＮ／ＯＦＦするビーム
シャッター（図示せず）が内臓されている。このビーム
シャッターは、パルスレーザ発振器３１より放出される
パルスレーザ光のワーク３２上への照射を制御する。即
ちワーク３２を加工する場合にはビームシャッタを開
き、加工しない場合にはビームシャッタを閉じる。

【０００４】以下、上記のようなパルスレーザ加工機を
用いて、１つの穴を１つのパルスで加工できるような微
細な穴を等間隔に加工する穴あけ加工動作について説明
する。まず、あらかじめメインコントローラ３６におい
て、穴をあける位置の加工軌跡をプログラムに登録して
おき、また、パルスレーザの繰返し周波数ｆとＸＹ加工
テーブル３３の送り速度ｖとが目標とする穴の間隔Ｌに
よってＬ＝ｖ／ｆなる式を満たすように設定し登録して
おく。この状態でメインコントローラ３６に登録された
加工軌跡のプログラムを実行すると、これに基づいてビ
ームシャッタの開動作とＸＹ加工テーブル３３の移動と
が行なわれ、パルスレーザがＸＹ加工テーブル３３のＬ
に相当する移動距離毎にワーク３２上に照射され、所定
の間隔を持った穴が加工される。ここでは穴あけ加工を
例にとって説明したが、切断加工の場合には、上記のよ
うなパルスレーザによる照射部分がオーバラップするよ
うにパルスレーザの繰返し周波数ｆとＸＹ加工テーブル
３３の移動速度ｖを設定する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記のような穴あけ加
工を行う場合には、ＸＹ加工テーブル３３の速度は、そ
の移動開始後の加速時あるいは停止前の減速時において
設定された一定の速度ｖよりも遅いため、このような加
速時あるいは減速時に照射されたパルスレーザによって
加工された穴の間隔は目標とした穴の間隔Ｌよりも短く
なる。また、切断の場合には、同様の理由から加工開始
及び終了付近で照射されるパルスレーザの密度が濃くな
り、その結果切断幅が大きくなって加工寸法の精度が低
下する。

【０００６】以上のように、パルスレーザによってワー
ク３２に加工を施す場合、ＸＹ加工テーブル３３の移動
開始直後及び終了直前には所定の間隔の穴加工または所
定の線幅の切断加工を行なうことが困難であった。

【０００７】本発明の第１の目的は、パルスレーザによ
る加工の開始直後及び終了直前においても、所定の間隔
の穴加工または所定の線幅の切断加工が高い精度で正確
に行なうことが可能なパルスレーザ加工機を提供するこ
とである。

【０００８】本発明の第２の目的は、さらに、パルスレ
ーザによる加工を一時停止して加工位置を移動し、その
後再び加工を行なう場合においても、正確な穴径の穴加
工または正確な線幅の切断加工が高い精度で正確に行な
うことが可能なパルスレーザ加工機を提供することであ
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成す
るため、本発明は、パルスレーザを発振するパルスレー
ザ発振器と、被加工物を支持し前記被加工物の加工面に
平行に移動することにより前記パルスレーザによる加工
位置を決定する加工テーブルと、前記被加工物に照射す
る前記パルスレーザをＯＮ／ＯＦＦするビームシャッタ
ーと、前記パルスレーザの発振動作及び前記ビームシャ
ッターによる前記パルスレーザのＯＮ／ＯＦＦ及び前記
加工テーブルの移動を制御するメインコントローラとを
備えたパルスレーザ加工機において、前記加工テーブル
の移動距離に応じたパルス信号を発生するパルス発生手
段と、前記パルス信号をもとに第１のトリガ用パルス信
号を前記パルスレーザ発振器に出力しパルスレーザを発
振させる第１のトリガ手段とを備える。

【００１０】また、上記第２の目的を達成するため、本
発明は、さらに、常に第２のトリガ用パルス信号を出力
する第２のトリガ手段と、前記第１のトリガ手段からの
前記第１のトリガ用パルス信号の出力と前記第２のトリ
ガ手段からの前記第２のトリガ用パルス信号の出力とを
切換える切換手段とを備え、前記切換手段は、前記パル
スレーザによる加工を行う時には前記第１のトリガ手段
からの前記第１のトリガ用パルス信号を前記パルスレー
ザ発振器に出力してパルスレーザを発振させ、前記パル
スレーザによる加工を停止する時には前記第２のトリガ
手段からの前記第２のトリガ用パルス信号を前記パルス
レーザ発振器に出力してパルスレーザを発振させるよう
に切換える。

【００１１】好ましくは、前記パルス発生手段は、前記
加工テーブルを駆動するモータに設置されたロータリエ
ンコーダを含む。

【００１２】また、好ましくは、前記パルス発生手段
は、前記加工テーブルの位置をフィードバックするリニ
アエンコーダを含む。

【００１３】

【作用】上記のように構成した本発明においては、パル
ス発生手段によって加工テーブルの移動距離に応じたパ
ルス信号を発生し、第１のトリガ手段においてこのパル
ス信号をもとに第１のトリガ用パルス信号をパルスレー
ザ発振器に出力しパルスレーザを発振させることによ
り、加工テーブルの移動距離に対応したパルスレーザが
発振され、加工テーブルの移動開始後の加速時あるいは
停止前の減速時における速度が一定しない時において
も、加工テーブルの移動速度に関係なく所定の間隔の穴
加工または所定の線幅の切断加工を高い精度で正確に行
なうことが可能となる。

【００１４】また、第２のトリガ手段によって常に第２
のトリガ用パルス信号を出力しておき、加工を行う時に
は加工テーブルの移動距離に基づく第１のトリガ手段か
らの第１のトリガ用パルス信号をパルスレーザ発振器に
出力してパルスレーザを発振させ、加工を停止する時に
は第２のトリガ手段からの第２のトリガ用パルス信号を
パルスレーザ発振器に出力するように切換手段を切換え
ることにより、第２のトリガ用パルス信号の周波数を加
工テーブルが一定速度の時の第１のトリガ用パルス信号
の周波数と同一にしておけば、加工を一時停止しその間
加工テーブルの速度を変更して移動しその後再び元の条
件で加工を行なう場合においても、パルスレーザ発振器
には常に一定の周波数のトリガ用パルス信号が出力さ
れ、レーザ媒質の熱平衡状態、従ってパルスレーザの出
力エネルギが安定し、正確な穴径の穴加工または正確な
線幅の切断加工が高い精度で行なうことが可能となる。

【００１５】また、パルス発生手段としては、加工テー
ブルの駆動モータに設置されたモータエンコーダか、加
工テーブルの位置をフィードバックするリニアエンコー
ダが好ましく、これによって加工テーブルの移動距離に
応じたパルス信号を容易に発生させることができる。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の一実施例によるパルスレーザ
加工機について図１から図３を参照しながら説明する。
図１は本実施例によるパルスレーザ加工機の構成を示す
図、図２は図１のパルスレーザ加工機のパルスレーザの
発振動作を説明する図である。図１に示すように、本実
施例によるパルスレーザ加工機は、大きく分けてパルス
レーザ加工部５０及びパルスレーザ制御部５１よりな
る。パルスレーザ加工部５０は、パルスレーザを出力す
るパルスレーザ発振器１、被加工物であるワーク２を搭
載し水平面内（Ｘ軸方向及びＹ軸方向）に移動自在なＸ
Ｙ加工テーブル３、ＸＹ加工テーブル３を駆動するモー
タ４、モータ４に設置されＸＹ加工テーブル３の移動距
離に対応したパルス信号を発生するパルス発生手段とし
てのロータリエンコーダ５、パルスレーザ発振器１を上
下方向（Ｚ軸方向）に移動させるためのＺ加工テーブル
６より構成される。また、パルスレーザ制御部５１は、
ロータリエンコーダ５からのパルス信号をもとに第１の
トリガ用パルス信号を設定する第１のトリガ手段として
のジェネレータ１１、装置に電源を供給する電源供給部
１２、供給される電源電圧を制御するレーザコントロー
ラ１３、ジェネレータ１１からの第１のトリガ用パルス
信号に基づき電源供給部１２より供給される電源を所定
のパルスに変換してパルスレーザ発振器１に出力するス
イッチング部１４、ＸＹ加工テーブル３の水平面内（Ｘ
軸方向及びＹ軸方向）の移動及びＺ加工テーブル６の上
下方向（Ｚ軸方向）の移動及びレーザ発振器１の発振動
作などを自動または手動で制御するメインコントローラ
１５により構成される。

【００１７】このような構成においてパルスレーザの発
振動作は次のように行なわれる。まず、図２に示すよう
に、電源供給部１２において交流の外部電源を直流に変
え、レーザコントローラ１３の指令で所定の電圧に設定
する。次に、この直流で設定された電圧をスイッチング
部１４で所定のパルスに変換し、パルスレーザ発振器１
内に送りフラッシュランプ２１に供給するが、このとき
パルスの幅と周波数はジェネレータ１１からの第１のト
リガ用パルス信号に基づいて制御される。パルス状の電
圧を供給されたフラッシュランプ２１はパルス状に発光
し、この光は集光器２２で固体のレーザ媒質２３に供給
され、この光エネルギで励起された電子の誘導放出によ
り、パルスレーザが放出され、２枚のミラーを平行に設
置して構成された共振器２４で増幅され、その一部が外
部、図２においては左方向に放出されワーク２上へ照射
される。ここで放出されたパルスレーザはビームシャッ
タ２５を開閉することによってワーク２上への照射のＯ
Ｎ／ＯＦＦが行われる。即ちワーク２を加工する場合に
はビームシャッタ２５を開き、加工しない場合にはビー
ムシャッタ２５を閉じる。尚、本実施例では固体レーザ
を利用したが、これ以外のレーザ発振方法を利用しても
良いことはいうまでもない。

【００１８】次に、上記のようなパルスレーザ加工機を
用いて、１つの穴を１つのパルスで加工できるような微
細な穴あけ加工動作について説明する。例えば、図３に
示すようなメッシュ状で等間隔に穴あけ加工を行う場
合、あらかじめメインコントローラ１５において、穴を
あける位置の加工軌跡をプログラムに登録しておき、ま
た、パルスレーザの繰返し周波数ｆとＸＹ加工テーブル
３の送り速度ｖとが目標とする穴の間隔ＬによってＬ＝
ｖ／ｆなる式を満たすように設定し登録しておく。この
状態でメインコントローラ１５に登録された加工軌跡の
プログラムを実行すると、これに基づいてビームシャッ
タ２５の開動作とＸＹ加工テーブル３の移動とが行なわ
れ、パルスレーザがＸＹ加工テーブル３のＬに相当する
移動距離毎にワーク２上に照射され、所定の間隔を持っ
た穴が加工される。

【００１９】本実施例においては、上記加工動作を行な
う時、ＸＹ加工テーブル３はモータ４をある速度で回転
させることによって、その回転数に基づいた速度で移動
するが、モータ４に設置されたロータリエンコーダ５か
らはＸＹ加工テーブル３の移動距離に対応したパルス信
号が出力され、ジェネレータ１１に入力される。ジェネ
レータ１１においては、このロータリエンコーダ５から
のパルス信号がメインコントローラ１５からの指令によ
って、決められたパルス毎に間引きされ第１のトリガ用
パルス信号が設定され、スイッチング部１４に入力され
る。以下、図２で説明したのと同様の発振動作が行なわ
れ、パルスレーザの発光及び照射が行われる。このよう
に、ロータリエンコーダ５からのパルス信号がＸＹ加工
テーブル３の移動距離と対応しているので、このパルス
信号をもとにした第１のトリガ用パルス信号に基づいた
パルスレーザのワーク２上への照射を等間隔で行え、Ｘ
Ｙ加工テーブル３の移動開始後の加速時あるいは停止前
の減速時の速度が一定しない時においても、ＸＹ加工テ
ーブル３の移動速度に関係なく等間隔の穴加工が行なえ
る。例えば、ロータリエンコーダ５からのパルス信号が
ＸＹ加工テーブル３の移動距離１μｍに相当する場合、
メインコントローラ１５によってジェネレータ１１から
の第１のトリガ用パルス信号を上記パルス信号の１００
０パルスに１回と設定すると、パルスレーザの出力は１
ｍｍ毎にワーク２上へ照射されることになる。また、ジ
ェネレータ１１はスイッチング部１４へ出力される第１
のトリガ用パルス信号をＯＮ／ＯＦＦする機能を備えて
おり、これをＯＦＦにすれば、パルスレーザの発振動作
を停止して加工を停止したまま加工テーブルのみを移動
させることもできる。

【００２０】また、ロータリエンコーダ５の代わりに、
ＸＹ加工テーブル３の移動方向と平行に設けられたリニ
アエンコーダを用いても良く、この場合においても同様
に等間隔の穴加工が行なえる。

【００２１】本実施例によれば、ＸＹ加工テーブル３の
移動距離に対応したパルス信号をもとに設定された第１
のトリガ用パルス信号をパルスレーザ発振器１に出力し
パルスレーザを発振させるので、ＸＹ加工テーブル３の
移動開始後の加速時あるいは停止前の減速時において
も、加工テーブルの移動速度に関係なく所定の間隔の穴
加工を高い精度で正確に行なうことが可能となる。

【００２２】また、本実施例では穴あけ加工の場合につ
いて説明したが、切断加工の場合にも本実施例を適用で
きる。この場合、上記のようなパルスレーザによる照射
部分がオーバーラップするようにパルスレーザの繰返し
周波数ｆとＸＹ加工テーブル３の移動速度ｖを設定す
る。

【００２３】次に、本発明の他の実施例について説明す
る。例えば、図１の実施例に従って加工を行なった後、
十分大きい距離の間加工を一時停止してＸＹ加工テーブ
ル３を所定の距離移動し、その後再び加工を行なう場
合、図１の実施例に従う方法として、(i)加工停止とと
もにジェネレータ１１からパルスレーザ発振器１への第
１のトリガ用パルス信号の出力をＯＦＦしてパルスレー
ザ発振自体を停止し、加工再開とともにジェネレータ１
１からの第１のトリガ用パルス信号の出力をＯＮする方
法がある。また、これとは別に、(ii)加工停止とともに
パルスレーザ発振器１に内蔵されたビームシャッタ２５
を閉じてワーク２上へのパルスレーザの照射を機械的に
遮断し、加工能率を上げるため加工を一時停止する部分
においてＸＹ加工テーブル３の送り速度を上げる方法も
考えられる。

【００２４】上記の２つの方法のうち、(i)のようにパ
ルスレーザ発振器１からのパルスレーザの発振自体を停
止すると、加工を一時停止している間にレーザ媒質の熱
平衡状態がくずれパルスレーザの出力エネルギが減少
し、再び加工を開始する時の穴径または線幅が一般的に
小さくなり、精度の高い加工が困難となる。また、(ii)
のようにビームシャッタによってパルスレーザの照射を
機械的に遮断した場合、加工を一時停止する部分におい
て加工能率を上げるためにＸＹ加工テーブル３の送り速
度を上げると、この間のレーザの発振周波数が上がり、
レーザ媒質の熱平衡状態がくずれパルスレーザ発振器１
からのパルスレーザのエネルギが増加し、再び加工を開
始する時の穴径または線幅が一般的に大きくなり、やは
り精度の高い加工が困難となる。

【００２５】本実施例は、上記のような問題を解決する
ためのものである。以下、図４及び図５を参照しながら
本実施例によるパルスレーザ加工機について説明する。
図４に示すように、本実施例によるパルスレーザ加工機
におけるパルスレーザ加工部５０は図１の実施例と同一
の構成である。また、パルスレーザ制御部５１Ａは、ロ
ータリエンコーダ５からのパルス信号をもとに第１のト
リガ用パルス信号を出力する第１のトリガ手段としての
ジェネレータ１１Ａ、装置に電源を供給する電源供給部
１２、供給される電源電圧を制御し第２のトリガ用パル
ス信号を設定する内部ジェネレータを備えた第２のトリ
ガ手段としてのレーザコントローラ１３Ａ、ジェネレー
タ１１Ａからの第１のトリガ用パルス信号とレーザコン
トローラ１３Ａからの第２のトリガ用パルス信号とを切
換える切換手段としての切換器１６、切換器１６から入
力される第１のトリガ用パルス信号または第２のトリガ
用パルス信号に基づき電源供給部１２より供給される電
源を所定のパルスに変換してパルスレーザ発振器１に出
力するスイッチング部１４、ＸＹ加工テーブル３の水平
面内（Ｘ軸方向及びＹ軸方向）の移動及びＺ加工テーブ
ル６の上下方向（Ｚ軸方向）の移動及びレーザ発振器１
の発振動作などを自動または手動で制御するメインコン
トローラ１５により構成される。尚、ジェネレータ１１
Ａは第１のトリガ用パルス信号出力のＯＮ／ＯＦＦの切
換え機能を備えておらず、スイッチング部１４へのトリ
ガ用パルス信号出力のＯＮ／ＯＦＦの切換機能は切換器
１６に備えられている。

【００２６】次に、本実施例によるパルスレーザ加工機
を用いた穴あけ加工動作について説明する。例えば、図
５のように等間隔の穴あけ加工を２列行ない、しかも各
列の間の距離（図中Ｙ軸方向の間隔）が穴の間隔（図中
Ｘ軸方向の間隔）より十分大きい場合を考える。この場
合、Ａ→ＢあるいはＣ→Ｄの工程では各穴加工は次のよ
うに行なわれる。即ち、図４において、図１の実施例と
同様にしてロータリエンコーダ５からジェネレータ１１
Ａにパルス信号が入力され、これをもとにジェネレータ
１１Ａで設定された第１のトリガ用パルス信号が、切換
機１６を介してスイッチング部１４に入力される。それ
以後は図１の実施例と同様にして発振動作が行なわれ、
パルスレーザの発光及び照射が行われる。

【００２７】また、Ｂ→Ｃの工程では下記の要領でパル
スレーザによる加工を一時停止してＸＹ加工テーブル３
を移動する。即ち、レーザコントローラ１３Ａからの第
２のトリガ用パルス信号の発振周波数をＡ→Ｂの工程に
おけるＸＹ加工テーブル３が一定速度の時の第１のトリ
ガ用パルス信号の周波数と同一周波数に設定しておき、
切換機１６によってスイッチング部１４に入力されるト
リガ用パルス信号を上記ジェネレータ１１Ａからの第１
のトリガ用パルス信号からレーザコントローラ１３Ａか
らの第２のトリガ用パルス信号に切換える。これによ
り、Ｂ→Ｃの工程においては、レーザコントローラ１３
Ａからの第２のトリガ用パルス信号に基づいてそれ以後
の発振動作がＡ→ＢあるいはＣ→Ｄの工程と同様に行な
われ、パルスレーザの発光及び照射が行われる。従っ
て、Ａ→ＢあるいはＣ→Ｄの工程とＢ→Ｃの工程の両方
においてパルスレーザ発振器は常に同一周波数で発振す
ることになるので、Ｂ→Ｃの工程でＸＹ加工テーブル３
の移動速度を変えても（増加しても）、レーザ媒質２３
（図２参照）の熱平衡状態、即ちパルスレーザの出力エ
ネルギが安定し、正確な穴径の穴加工が行なえる。

【００２８】また、Ａ→Ｂの工程に入る前から、レーザ
コントローラ１３Ａからの第２のトリガ用パルス信号に
よってパルスレーザ発振器１を発振させておけば、Ａ→
Ｂの工程を開始する時点からレーザ媒質２３（図２参
照）の熱平衡状態が安定し、パルスレーザの出力エネル
ギが安定した状態で穴加工が行なえ、寸法精度が高くな
るなど、テーブルの移動が伴わない場合にも適用でき
る。

【００２９】また、本実施例においても、ロータリエン
コーダ５の代わりに、ＸＹ加工テーブル３の移動方向と
平行に設けられたリニアエンコーダを用いても良く、こ
の場合においても同様に正確な穴径の穴加工が行なえ
る。

【００３０】本実施例によれば、加工を行う時にはＸＹ
加工テーブル３の移動距離に基づく第１のトリガ用パル
ス信号をパルスレーザ発振器１に出力してパルスレーザ
を発振させ、加工を一時停止する時には第２のトリガ用
パルス信号をパルスレーザ発振器に出力するように切換
器１６を切換えるので、パルスレーザ発振器１には常に
一定の周波数のトリガ用パルス信号が出力され、レーザ
媒質の熱平衡状態、従ってパルスレーザの出力エネルギ
が安定し、正確な穴径の穴加工が高い精度で行なうこと
が可能となる。

【００３１】本実施例も切断加工に適用することがで
き、この場合にも、上記と同様の効果が得られる。

【００３２】

【発明の効果】本発明によれば、加工テーブルの移動距
離に対応した第１のトリガ用パルス信号によってパルス
レーザを発振させるので、パルスレーザによる加工の開
始直後及び終了直前においても、加工テーブルの移動速
度に関係なく所定の間隔の穴加工または所定の線幅の切
断加工を高い精度で正確に行なうことができる。

【００３３】また、パルスレーザによる加工を一時停止
して加工位置を移動し、その後再び加工を行なう場合に
おいて、加工を行う時には第１のトリガ用パルス信号に
よって、また、加工を一時停止する時には第２のトリガ
用パルス信号によってパルスレーザを発振させるように
切換手段を切換えるので、パルスレーザ発振器には常に
一定の周波数のトリガ用パルス信号が出力され、レーザ
媒質の熱平衡状態、即ちパルスレーザの出力エネルギが
安定し、正確な穴径の穴加工または正確な線幅の切断加
工が高い精度で行なうことができる。

【００３４】また、パルス発生手段として、モータエン
コーダかリニアエンコーダを使用することによって、加
工テーブルの移動距離に応じたパルス信号を容易に発生
させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例によるパルスレーザ加工機の
構成を示す図である。

【図２】図１に示したパルスレーザ加工機のパルスレー
ザの発振動作を説明する図である。

【図３】図１に示したパルスレーザ加工機による穴あけ
加工の一例を示す図である。

【図４】本発明の他の実施例によるパルスレーザ加工機
の構成を示す図である。

【図５】図４に示したパルスレーザ加工機による穴あけ
加工の一例を示す図である。

【図６】従来のパルスレーザ加工機の構成を示す図であ
る。

【符号の説明】

１ パルスレーザ発振器 ２ ワーク ３ ＸＹ加工テーブル ４ モータ ５ ロータリエンコーダ １１，１１Ａ ジェネレータ １３，１３Ａ レーザコントローラ １４ スイッチング部 １５ メインコントローラ １６ 切換器 ２５ ビームシャッター ５０ パルスレーザ加工部 ５１，５１Ａ パルスレーザ制御部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 下村 義昭 茨城県土浦市神立町650番地 日立建機株 式会社土浦工場内 (72)発明者 桜井 茂行 茨城県土浦市神立町650番地 日立建機株 式会社土浦工場内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 パルスレーザを発振するパルスレーザ発
   振器と、被加工物を支持し前記被加工物の加工面に平行
   に移動することにより前記パルスレーザによる加工位置
   を決定する加工テーブルと、前記被加工物に照射する前
   記パルスレーザをＯＮ／ＯＦＦするビームシャッター
   と、前記パルスレーザの発振動作及び前記ビームシャッ
   ターによる前記パルスレーザのＯＮ／ＯＦＦ及び前記加
   工テーブルの移動を制御するメインコントローラとを備
   えたパルスレーザ加工機において、前記加工テーブルの
   移動距離に応じたパルス信号を発生するパルス発生手段
   と、前記パルス信号をもとに第１のトリガ用パルス信号
   を前記パルスレーザ発振器に出力しパルスレーザを発振
   させる第１のトリガ手段とを備えたことを特徴とするパ
   ルスレーザ加工機。
2. 【請求項２】 さらに、常に第２のトリガ用パルス信号
   を出力する第２のトリガ手段と、前記第１のトリガ手段
   からの前記第１のトリガ用パルス信号の出力と前記第２
   のトリガ手段からの前記第２のトリガ用パルス信号の出
   力とを切換える切換手段とを備え、前記切換手段は、前
   記パルスレーザによる加工を行う時には前記第１のトリ
   ガ手段からの前記第１のトリガ用パルス信号を前記パル
   スレーザ発振器に出力してパルスレーザを発振させ、前
   記パルスレーザによる加工を停止する時には前記第２の
   トリガ手段からの前記第２のトリガ用パルス信号を前記
   パルスレーザ発振器に出力してパルスレーザを発振させ
   るように切換えることを特徴とする請求項１記載のパル
   スレーザ加工機。
3. 【請求項３】 前記パルス発生手段は、前記加工テーブ
   ルを駆動するモータに設置されたロータリエンコーダを
   含むことを特徴とする請求項１または２記載のパルスレ
   ーザ加工機。
4. 【請求項４】 前記パルス発生手段は、前記加工テーブ
   ルの位置をフィードバックするリニアエンコーダを含む
   ことを特徴とする請求項１または２記載のパルスレーザ
   加工機。