JPH05258359A - 光情報記録媒体の塗布装置 - Google Patents
光情報記録媒体の塗布装置Info
- Publication number
- JPH05258359A JPH05258359A JP8961192A JP8961192A JPH05258359A JP H05258359 A JPH05258359 A JP H05258359A JP 8961192 A JP8961192 A JP 8961192A JP 8961192 A JP8961192 A JP 8961192A JP H05258359 A JPH05258359 A JP H05258359A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- flat plate
- coating
- generated
- coating device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板の表面に均一な膜厚で塗布膜を形成す
る。 【構成】 中心孔を有する円盤状の基板２と、基板２の
中心孔部を載置して固定したターンテーブル１と、基板
２上部から基板２に塗布液を滴下するディスペンサ４と
によって、滴下した塗布液をターンテーブル１の回転に
よって基板２表面に一様に拡げて塗膜を形成する塗布装
置において、ターンテーブル１の回転軸を遊挿する孔を
設けた平板５を基板２下面部に対向配置し、平板５によ
って負圧を生じる間隙を形成。高速回転時の間隙に生じ
る空気流の作用によって基板の面振れの抑制と内外周部
での平坦化を図る。更に平板５内に発熱体を設けること
により半径方向で温度勾配をもつ雰囲気とし、均一な膜
厚で塗布、成膜を可能とする。
る。 【構成】 中心孔を有する円盤状の基板２と、基板２の
中心孔部を載置して固定したターンテーブル１と、基板
２上部から基板２に塗布液を滴下するディスペンサ４と
によって、滴下した塗布液をターンテーブル１の回転に
よって基板２表面に一様に拡げて塗膜を形成する塗布装
置において、ターンテーブル１の回転軸を遊挿する孔を
設けた平板５を基板２下面部に対向配置し、平板５によ
って負圧を生じる間隙を形成。高速回転時の間隙に生じ
る空気流の作用によって基板の面振れの抑制と内外周部
での平坦化を図る。更に平板５内に発熱体を設けること
により半径方向で温度勾配をもつ雰囲気とし、均一な膜
厚で塗布、成膜を可能とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光情報記録媒体の記録
材料、保護膜、エンハンス膜等の成膜に用いられる光情
報記録媒体の塗布装置に関する。
材料、保護膜、エンハンス膜等の成膜に用いられる光情
報記録媒体の塗布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、有機色素系の材料を用いてヒ
ートモードでの記録を行う光ディスクがよく知られてい
る。この種の光ディスクは記録材料をスピンコート法で
容易に成膜することができるため、安価なコストで作製
可能であり、しかも生産性が優れているという利点を有
している。これらの光ディスクの応用としては、従来の
コンパクトディスク（以下ＣＤと呼ぶ）と互換性がある
記録再生可能なＣＤ−ＷＯディスクが知られている。更
には画像情報、大容量のデータが記録できる直径サイズ
の大きい光ディスクへも応用可能である。
ートモードでの記録を行う光ディスクがよく知られてい
る。この種の光ディスクは記録材料をスピンコート法で
容易に成膜することができるため、安価なコストで作製
可能であり、しかも生産性が優れているという利点を有
している。これらの光ディスクの応用としては、従来の
コンパクトディスク（以下ＣＤと呼ぶ）と互換性がある
記録再生可能なＣＤ−ＷＯディスクが知られている。更
には画像情報、大容量のデータが記録できる直径サイズ
の大きい光ディスクへも応用可能である。
【０００３】ところで、これらの光ディスクの場合、塗
布後の記録膜の絶対膜厚及び膜厚分布がディスクの記録
特性に影響することからｎｍオーダでの精度の高いコー
ティングが要求される。従って記録材料の溶液粘度、滴
下方法及び溶液振り切り時の回転数等の塗布条件が重要
なファクタとなっている。
布後の記録膜の絶対膜厚及び膜厚分布がディスクの記録
特性に影響することからｎｍオーダでの精度の高いコー
ティングが要求される。従って記録材料の溶液粘度、滴
下方法及び溶液振り切り時の回転数等の塗布条件が重要
なファクタとなっている。
【０００４】図５は、従来、一般に用いられる塗布装置
の構造を示した概略図である。図２は、その塗布装置に
おける塗布条件の一例を示した特性図である。図より、
モータ３を１００ｒｐｍ以下の回転数で基板２を回転さ
せ、ディスペンサ４により溶液を内周部に滴下する。そ
の後モータ回転数を上げ、高速回転により溶液の拡散、
乾燥を行っている。この様な薄膜の成膜方法は記録膜に
限定されるものではなく、保護膜、エンハンス膜等のコ
ーティングにも適用できる。
の構造を示した概略図である。図２は、その塗布装置に
おける塗布条件の一例を示した特性図である。図より、
モータ３を１００ｒｐｍ以下の回転数で基板２を回転さ
せ、ディスペンサ４により溶液を内周部に滴下する。そ
の後モータ回転数を上げ、高速回転により溶液の拡散、
乾燥を行っている。この様な薄膜の成膜方法は記録膜に
限定されるものではなく、保護膜、エンハンス膜等のコ
ーティングにも適用できる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】一般に光情報記録媒体
に使用される基板は、ポリカーボネート、アクリル、エ
ポキシ等のプラスチック材である。また基板への記録時
に要求される案内溝、プレピットを予め形成させておく
必要がある。その基板は射出成型法等で作製されるた
め、基板自体が成型歪みを有している。一般にはプロペ
ラ状にねじれた形態となっている。このためスピンコー
トの高速回転時には基板の外周領域で大きな面振れが生
じる。
に使用される基板は、ポリカーボネート、アクリル、エ
ポキシ等のプラスチック材である。また基板への記録時
に要求される案内溝、プレピットを予め形成させておく
必要がある。その基板は射出成型法等で作製されるた
め、基板自体が成型歪みを有している。一般にはプロペ
ラ状にねじれた形態となっている。このためスピンコー
トの高速回転時には基板の外周領域で大きな面振れが生
じる。
【０００６】この高速回転時の基板の面振れ量を低減す
る方法としては、ターンテーブルの直径を大きくし真空
吸着法によって基板を固定する手段がある。しかし、こ
の場合、ターンテーブルの重量が大きくなるため高速回
転時の立上がりが悪く、ターンテーブルと基板の接触部
と非接触部との間で温度差が生じ、半径方向で膜厚むら
が生じる。また、直径３００ｍｍの基板を用いて記録膜
をコーティングする場合には、内外周での遠心力差が大
きくなり、溶媒の蒸発、乾燥時間の差異によって半径方
向での膜厚差が生じ易い。
る方法としては、ターンテーブルの直径を大きくし真空
吸着法によって基板を固定する手段がある。しかし、こ
の場合、ターンテーブルの重量が大きくなるため高速回
転時の立上がりが悪く、ターンテーブルと基板の接触部
と非接触部との間で温度差が生じ、半径方向で膜厚むら
が生じる。また、直径３００ｍｍの基板を用いて記録膜
をコーティングする場合には、内外周での遠心力差が大
きくなり、溶媒の蒸発、乾燥時間の差異によって半径方
向での膜厚差が生じ易い。
【０００７】このように塗布後の膜厚分布は内外周で大
きく差異のあるものとなる他、外周領域の円周方向にお
いても膜厚むらが発生する。特に現行レーザディスクと
同形態のディスクの場合、直径３００ｍｍの基板に対し
プログラム領域は２９０ｍｍである。そのため上記の膜
厚むらが発生した場合には、外周領域で記録が行えない
ディスクが作製されるという欠点を有していた。
きく差異のあるものとなる他、外周領域の円周方向にお
いても膜厚むらが発生する。特に現行レーザディスクと
同形態のディスクの場合、直径３００ｍｍの基板に対し
プログラム領域は２９０ｍｍである。そのため上記の膜
厚むらが発生した場合には、外周領域で記録が行えない
ディスクが作製されるという欠点を有していた。
【０００８】
【課題を解決するための手段】そのため本発明は、中心
孔を有する円盤状の基板と、該基板の中心孔部を載置固
定するターンテーブルと、前記基板上部から基板に塗布
液を滴下するディスペンサとによって、滴下した塗布液
をターンテーブルの回転で前記基板表面に一様に拡げて
塗膜を形成する塗布装置において、前記ターンテーブル
の回転軸を遊挿する孔を設けた平板を前記基板下面部に
対向配置し、該平板によって負圧を生じる間隙を形成し
たものである。更に、前記基板と前記平板の間隙を調節
する前記平板の上下移動機構を設け、更に前記平板に発
熱体を配置し、平板の熱放熱作用によって、前記基板の
半径方向に対し微小温度勾配を有する環境を形成可能と
したことを特徴とする光情報記録媒体の塗布装置であ
る。
孔を有する円盤状の基板と、該基板の中心孔部を載置固
定するターンテーブルと、前記基板上部から基板に塗布
液を滴下するディスペンサとによって、滴下した塗布液
をターンテーブルの回転で前記基板表面に一様に拡げて
塗膜を形成する塗布装置において、前記ターンテーブル
の回転軸を遊挿する孔を設けた平板を前記基板下面部に
対向配置し、該平板によって負圧を生じる間隙を形成し
たものである。更に、前記基板と前記平板の間隙を調節
する前記平板の上下移動機構を設け、更に前記平板に発
熱体を配置し、平板の熱放熱作用によって、前記基板の
半径方向に対し微小温度勾配を有する環境を形成可能と
したことを特徴とする光情報記録媒体の塗布装置であ
る。
【０００９】
【作用】本発明の構成によって、基板と平板間とで生じ
る負圧により基板の外周部が吸引される。この基板と平
板との間に生じる圧力を調節することによって平行状態
が維持される。更に、平板内に抵抗発熱体を設けたた
め、平板の放熱作用によって基板の半径方向に対し微小
の温度勾配を有する環境が形成される。
る負圧により基板の外周部が吸引される。この基板と平
板との間に生じる圧力を調節することによって平行状態
が維持される。更に、平板内に抵抗発熱体を設けたた
め、平板の放熱作用によって基板の半径方向に対し微小
の温度勾配を有する環境が形成される。
【００１０】
【実施例】以下、図面に基づき本発明の一実施例を説明
する。図１は本発明の一実施例における塗布装置を示す
概略図。図２は塗布装置における塗布条件の一例を示す
特性図である。図１のターンテーブル１に中心孔を載置
固定された基板２は図２に示すように、モータ３によっ
て２０ｒｐｍ程度の低速回転で回転される。そして塗布
溶液はディスペンサ４より所定量が基板上に滴下され、
溶液が基板全面に拡がる迄低速で維持されている。この
間、平板５は基板２との接触が起きない間隙約１０ｍｍ
程度に位置している。
する。図１は本発明の一実施例における塗布装置を示す
概略図。図２は塗布装置における塗布条件の一例を示す
特性図である。図１のターンテーブル１に中心孔を載置
固定された基板２は図２に示すように、モータ３によっ
て２０ｒｐｍ程度の低速回転で回転される。そして塗布
溶液はディスペンサ４より所定量が基板上に滴下され、
溶液が基板全面に拡がる迄低速で維持されている。この
間、平板５は基板２との接触が起きない間隙約１０ｍｍ
程度に位置している。
【００１１】次にモータ３はシーケンサの切換えにより
約５０００ｒｐｍの回転数に上げられると同時に、電磁
弁が直結されたエアーシリンダ６によって押し上げられ
る。基板２と平板５の間隙は０.５〜１.０ｍｍの狭間隙
となる様にストロークが設定されている。図３は、本発
明一実施例における塗布装置の平板５の形状と作用を示
す要部説明図である。なお、平板５としては、直径３０
０ｍｍの基板にほぼ合わせて内径１００ｍｍ、外径２９
０ｍｍ程度のアルミ製の板を用いている。
約５０００ｒｐｍの回転数に上げられると同時に、電磁
弁が直結されたエアーシリンダ６によって押し上げられ
る。基板２と平板５の間隙は０.５〜１.０ｍｍの狭間隙
となる様にストロークが設定されている。図３は、本発
明一実施例における塗布装置の平板５の形状と作用を示
す要部説明図である。なお、平板５としては、直径３０
０ｍｍの基板にほぼ合わせて内径１００ｍｍ、外径２９
０ｍｍ程度のアルミ製の板を用いている。
【００１２】基板２が高速に回転している状態では、内
周の孔７より空気が供給され、外周に向かって空気流が
生じ、最外周に吐出される。平板５と基板２の間隙が狭
い場合には、流速が大きくなり負圧となる。この為、基
板２は下方に吸着される現象が生じる。基板２と平板５
との間に生じる圧力差によっては基板２は上方、下方に
勾配を持ってバランスする場合もあるが、空気の圧力値
を適正に調節することで基板２は平板５に対し平行状態
で維持できる。
周の孔７より空気が供給され、外周に向かって空気流が
生じ、最外周に吐出される。平板５と基板２の間隙が狭
い場合には、流速が大きくなり負圧となる。この為、基
板２は下方に吸着される現象が生じる。基板２と平板５
との間に生じる圧力差によっては基板２は上方、下方に
勾配を持ってバランスする場合もあるが、空気の圧力値
を適正に調節することで基板２は平板５に対し平行状態
で維持できる。
【００１３】溶液の拡散、乾燥が終了すると電磁弁が切
換えられ、エアーシリンダ６によって平板５は下方に移
動し、モータ３が停止される。図４は、本発明における
一実施例で、基板２の半径方向に対し温度勾配を設ける
ための平板構造の要部拡大図である。平板５の底面部に
は同心円状の溝が加工されており、それぞれの溝に抵抗
発熱体８が固定されている。各発熱体への印加電圧を変
えることによって、あるいは所望の抵抗発熱体８に通電
することによって半径方向での温度勾配を形成すること
が可能となる。
換えられ、エアーシリンダ６によって平板５は下方に移
動し、モータ３が停止される。図４は、本発明における
一実施例で、基板２の半径方向に対し温度勾配を設ける
ための平板構造の要部拡大図である。平板５の底面部に
は同心円状の溝が加工されており、それぞれの溝に抵抗
発熱体８が固定されている。各発熱体への印加電圧を変
えることによって、あるいは所望の抵抗発熱体８に通電
することによって半径方向での温度勾配を形成すること
が可能となる。
【００１４】
【発明の効果】本発明の塗布装置によって、基板の面振
れを抑制、内外周の平坦化を図ることができ、半径方向
及び円周方向で塗布膜厚を均一にすることができる。
れを抑制、内外周の平坦化を図ることができ、半径方向
及び円周方向で塗布膜厚を均一にすることができる。
【図１】本発明の一実施例における塗布装置を示す概略
図。
図。
【図２】塗布装置における塗布条件の一例を示す特性
図。
図。
【図３】本発明の一実施例における塗布装置の要部説明
図。
図。
【図４】本発明の一実施例における塗布装置の要部拡大
図。
図。
【図５】従来の塗布装置を示す概略図。
１ ターンテーブル ２ 基板 ３ モータ ４ ディスペンサ ５ 平板 ６ エアーシリンダ ７ 内周の孔 ８ 抵抗発熱体
Claims (3)
- 【請求項１】 中心孔を有する円盤状の基板と、該基板
の中心孔部を載置して固定するターンテーブルと、前記
基板上部から基板に塗布液を滴下するディスペンサとに
よって、滴下した塗布液をターンテーブルの回転で前記
基板表面に一様に拡げて塗膜を形成する塗布装置におい
て、前記ターンテーブルの回転軸を遊挿する孔を設けた
平板を前記基板下面部に対向配置し、該平板によって負
圧を生じる間隙を形成することを特徴とする光情報記録
媒体の塗布装置。 - 【請求項２】 前記基板と前記平板の間隙を調節する前
記平板の上下移動機構を有することを特徴とする請求項
１記載の光情報記録媒体の塗布装置。 - 【請求項３】 前記平板に発熱体を配置し、前記基板近
傍下での温度勾配を形成したことを特徴とする請求項１
記載の光情報記録媒体の塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8961192A JPH05258359A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | 光情報記録媒体の塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8961192A JPH05258359A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | 光情報記録媒体の塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05258359A true JPH05258359A (ja) | 1993-10-08 |
Family
ID=13975551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8961192A Withdrawn JPH05258359A (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | 光情報記録媒体の塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05258359A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018505043A (ja) * | 2015-01-15 | 2018-02-22 | エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー | 基材をコーティングするための方法及び装置 |
-
1992
- 1992-03-13 JP JP8961192A patent/JPH05258359A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018505043A (ja) * | 2015-01-15 | 2018-02-22 | エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー | 基材をコーティングするための方法及び装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8088438B2 (en) | Resin layer formation method, resin layer formation device, and disk manufacturing method | |
| US5766354A (en) | Spin-coating device | |
| JPH10249264A (ja) | 保護膜形成装置及び保護膜形成方法 | |
| TW509939B (en) | Manufacture method and apparatus for optical information medium | |
| KR100438700B1 (ko) | 투과층 형성방법, 장치 및 디스크 기판 | |
| JPH05258359A (ja) | 光情報記録媒体の塗布装置 | |
| JPH11121367A (ja) | 塗布膜形成方法及び塗布膜形成装置 | |
| US20050001343A1 (en) | Method for producing multilayer optical recording medium and system for production multilayer optical recording medium | |
| EP1443508A1 (en) | Method of manufacturing multilayer optical recording medium and multilayer optical recording medium | |
| US20040196777A1 (en) | Method and device for manufacturing optical recording medium | |
| JPH10320850A (ja) | 光記録媒体の製造方法 | |
| JP3981625B2 (ja) | 光記録ディスクの製造方法および光記録ディスクの製造システム | |
| CN100374213C (zh) | 液体材料的涂布方法及其树脂层形成法 | |
| JP2002093680A (ja) | フォトレジスト塗布方法及び塗布装置 | |
| JP4087158B2 (ja) | 記録媒体の製造装置、及び記録媒体の製造方法 | |
| JP2569627Y2 (ja) | 光ディスク用基板 | |
| WO2012056616A1 (ja) | 光記録媒体の製造装置及び製造方法 | |
| JP2004073969A (ja) | 平板状の被塗布物の塗布方法および塗布装置 | |
| JP3432872B2 (ja) | 光感光剤塗布装置 | |
| JPH1064119A (ja) | 光ディスクおよびその製造方法 | |
| JPH11110818A (ja) | 光記録媒体 | |
| JPH0997456A (ja) | 光記録媒体の製造方法および製造装置 | |
| JPH05342637A (ja) | 光情報記録媒体の製造方法及びその装置 | |
| JPH1166646A (ja) | 光ディスク製造方法 | |
| JP2007136344A (ja) | スピンコート方法及び装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990518 |