JPH05241172A - 金属ライン付透明電極 - Google Patents
金属ライン付透明電極Info
- Publication number
- JPH05241172A JPH05241172A JP4313892A JP4313892A JPH05241172A JP H05241172 A JPH05241172 A JP H05241172A JP 4313892 A JP4313892 A JP 4313892A JP 4313892 A JP4313892 A JP 4313892A JP H05241172 A JPH05241172 A JP H05241172A
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- JP
- Japan
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- transparent electrode
- ito
- resinate
- metal line
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- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 透明電極の抵抗を下げるためＩＴＯ(酸化イ
ンジウム、酸化錫の混合物)上に金属ラインを有する金
属ライン付透明電極において、貴金属レジネートインク
を印刷、焼成してなる金属ラインと下地ＩＴＯ間の接着
強度を高め、信頼性の高い金属ライン付透明電極を提供
する。 【構成】 ＩＴＯ透明電極３上に金レジネートに有機イ
ンジウムを焼成後の含有量で１〜2.5wt％添加したレジ
ネートインクを、凹版オフセット印刷法でストライプパ
ターン印刷し、その後焼成することで金ライン４を形成
する。
ンジウム、酸化錫の混合物)上に金属ラインを有する金
属ライン付透明電極において、貴金属レジネートインク
を印刷、焼成してなる金属ラインと下地ＩＴＯ間の接着
強度を高め、信頼性の高い金属ライン付透明電極を提供
する。 【構成】 ＩＴＯ透明電極３上に金レジネートに有機イ
ンジウムを焼成後の含有量で１〜2.5wt％添加したレジ
ネートインクを、凹版オフセット印刷法でストライプパ
ターン印刷し、その後焼成することで金ライン４を形成
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は液晶ディスプレイや透明
タッチパネル等に用いられる金属ライン付透明電極に関
するものである。
タッチパネル等に用いられる金属ライン付透明電極に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、液晶ディスプレイは電卓や時計の
表示部からテレビやＯＡ端末ディスプレイ等の高機能表
示デバイスへの応用が展開され、大画面化が進められて
いる。
表示部からテレビやＯＡ端末ディスプレイ等の高機能表
示デバイスへの応用が展開され、大画面化が進められて
いる。
【０００３】従来、液晶ディスプレイ用の信号電極側に
おける透明画素電極は、平滑な面を有する研磨ガラスの
上にまずアルカリイオンの拡散防止のため二酸化珪素
(ＳiＯ2)をコーティングし、この上にスパッタ法等でＩ
ＴＯ(酸化インジウム、酸化錫の混合物)等から成る透明
導電性セラミックスを作製し、これをフォトリソグラフ
ィのパターン技術とＩＴＯのエッチングによって画素電
極を作製していた。
おける透明画素電極は、平滑な面を有する研磨ガラスの
上にまずアルカリイオンの拡散防止のため二酸化珪素
(ＳiＯ2)をコーティングし、この上にスパッタ法等でＩ
ＴＯ(酸化インジウム、酸化錫の混合物)等から成る透明
導電性セラミックスを作製し、これをフォトリソグラフ
ィのパターン技術とＩＴＯのエッチングによって画素電
極を作製していた。
【０００４】しかし、近年高画素密度化が進みＩＴＯの
低抵抗化のために、線幅十数μmの有機金パターンを印
刷法でＩＴＯ上に形成し、これを焼成することで金補助
電極を形成する金属ライン付透明電極が開発されてき
た。
低抵抗化のために、線幅十数μmの有機金パターンを印
刷法でＩＴＯ上に形成し、これを焼成することで金補助
電極を形成する金属ライン付透明電極が開発されてき
た。
【０００５】透明タッチパネルにおいても、低抵抗化の
ために同様の取り組みがなされつつある。
ために同様の取り組みがなされつつある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
有機金、有機白金もしくは有機銀を主成分とした貴金属
レジネートからなるレジネートインクをＩＴＯ上に印刷
法によって形成、焼成した金属ラインの場合、ラビング
(配向膜の配向工程)によって容易にＩＴＯ上から剥離す
る欠点を有していた。
有機金、有機白金もしくは有機銀を主成分とした貴金属
レジネートからなるレジネートインクをＩＴＯ上に印刷
法によって形成、焼成した金属ラインの場合、ラビング
(配向膜の配向工程)によって容易にＩＴＯ上から剥離す
る欠点を有していた。
【０００７】また、透明タッチパネルにおいては繰り返
し使用時での金属ラインの剥離を生じる課題も有してい
た。
し使用時での金属ラインの剥離を生じる課題も有してい
た。
【０００８】本発明は上記課題に鑑み、貴金属ストライ
プと下地ＩＴＯ間の接着強度を大幅に向上させ、液晶デ
ィスプレイにおけるラビング時の剥離強度が高く、また
透明タッチパネルにおける繰り返し使用時の信頼性に優
れた金属ライン付透明電極を提供することを目的とする
ものである。
プと下地ＩＴＯ間の接着強度を大幅に向上させ、液晶デ
ィスプレイにおけるラビング時の剥離強度が高く、また
透明タッチパネルにおける繰り返し使用時の信頼性に優
れた金属ライン付透明電極を提供することを目的とする
ものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は酸化インジウ
ム、酸化錫を主成分とする透明電極上に有機金、有機白
金もしくは有機銀を主成分とした貴金属レジネートに有
機インジウムを少量(例えば１〜2.5wt％)含有したレジ
ネートインク(溶剤成分を少量混合しインク化したもの)
を印刷、焼成し金属ラインを形成したことを特徴とす
る。
ム、酸化錫を主成分とする透明電極上に有機金、有機白
金もしくは有機銀を主成分とした貴金属レジネートに有
機インジウムを少量(例えば１〜2.5wt％)含有したレジ
ネートインク(溶剤成分を少量混合しインク化したもの)
を印刷、焼成し金属ラインを形成したことを特徴とす
る。
【００１０】
【作用】本発明によれば、焼成後の貴金属とＩＴＯとの
接着性を大幅に向上でき、信頼性に優れた金属ライン付
透明電極が得られる。また、有機金、有機白金もしくは
有機銀を主成分とした貴金属レジネートからなるレジネ
ートインクに少量の有機インジウムを混合させることで
抵抗値をほとんど上げることなく、下地ＩＴＯとの接着
性を大幅に向上させることができる。
接着性を大幅に向上でき、信頼性に優れた金属ライン付
透明電極が得られる。また、有機金、有機白金もしくは
有機銀を主成分とした貴金属レジネートからなるレジネ
ートインクに少量の有機インジウムを混合させることで
抵抗値をほとんど上げることなく、下地ＩＴＯとの接着
性を大幅に向上させることができる。
【００１１】
【実施例】以下に本発明の実施例について、図面を参照
しながら説明する。図１は本発明の一実施例における金
属ライン付透明電極の断面図である。図１において、１
はガラス基板、２はＳiＯ2、３はＩＴＯ透明電極、４は
金ラインである。
しながら説明する。図１は本発明の一実施例における金
属ライン付透明電極の断面図である。図１において、１
はガラス基板、２はＳiＯ2、３はＩＴＯ透明電極、４は
金ラインである。
【００１２】以下に液晶用の金属ライン付透明電極の製
造方法を説明する。まず、表面にＳiＯ2をスパッター法
で膜厚50nm程度形成したガラス基板１上にスパッター法
でＩＴＯを膜厚150nm程度形成し、次にフォトリソ法と
ＩＴＯの化学エッチングによって線幅320μm、線間距離
40μmのストライプパターンを作製してＩＴＯ透明電極
３を形成する。
造方法を説明する。まず、表面にＳiＯ2をスパッター法
で膜厚50nm程度形成したガラス基板１上にスパッター法
でＩＴＯを膜厚150nm程度形成し、次にフォトリソ法と
ＩＴＯの化学エッチングによって線幅320μm、線間距離
40μmのストライプパターンを作製してＩＴＯ透明電極
３を形成する。
【００１３】その後、インクとして金レジネート(エヌ・
イー・ケムキャット製Ｓ−90Ｅ−１)にオクチル酸インジ
ウムを焼成後のインジウムの含有量で1.5wt％量だけ添
加、さらにα−テルピテオールを15wt％加えてよく混合
したものを使用した。また、凹版としては石英ガラスに
ドライエッチング(反応性イオンエッチング法)でライン
幅25μm、ピッチ360μm、溝深さ12μmのストライプパタ
ーンを形成したものを用い、ＩＴＯ透明電極３上に凹版
オフセット印刷法で線幅20μm、膜厚３μmのレジネート
インクラインを形成する。
イー・ケムキャット製Ｓ−90Ｅ−１)にオクチル酸インジ
ウムを焼成後のインジウムの含有量で1.5wt％量だけ添
加、さらにα−テルピテオールを15wt％加えてよく混合
したものを使用した。また、凹版としては石英ガラスに
ドライエッチング(反応性イオンエッチング法)でライン
幅25μm、ピッチ360μm、溝深さ12μmのストライプパタ
ーンを形成したものを用い、ＩＴＯ透明電極３上に凹版
オフセット印刷法で線幅20μm、膜厚３μmのレジネート
インクラインを形成する。
【００１４】次に、500℃、15分間、空気中で焼成し、
上記レジストインクの有機成分を分解し、金ライン４
(膜厚0.1μm)を作製する。このようにして形成した金ラ
イン付ＩＴＯの抵抗は、インジウムを含有しない金レジ
ネートインク単体で形成したものと比べ、２％程度の増
加となったが、ラビングでの剥離に対する安定性は大幅
に向上し、ＩＴＯからの剥がれは完全に防げた。
上記レジストインクの有機成分を分解し、金ライン４
(膜厚0.1μm)を作製する。このようにして形成した金ラ
イン付ＩＴＯの抵抗は、インジウムを含有しない金レジ
ネートインク単体で形成したものと比べ、２％程度の増
加となったが、ラビングでの剥離に対する安定性は大幅
に向上し、ＩＴＯからの剥がれは完全に防げた。
【００１５】有機金属レジネートとしては有機金以外に
有機白金、有機銀を主成分とする貴金属レジネートが有
効であった。インジウムの含有量としてはＩＴＯとの接
着性の点から１wt％以上、抵抗値の増加を抑えるために
2.5wt％以下が望ましいことがわかった。なお、インジ
ウムを含有量としては、３wt％以上から急激な抵抗の増
加を示した。
有機白金、有機銀を主成分とする貴金属レジネートが有
効であった。インジウムの含有量としてはＩＴＯとの接
着性の点から１wt％以上、抵抗値の増加を抑えるために
2.5wt％以下が望ましいことがわかった。なお、インジ
ウムを含有量としては、３wt％以上から急激な抵抗の増
加を示した。
【００１６】透明電極をさらに低抵抗化するためには、
第１層のみインジウム混合のレジネートインクを印刷
し、その上に貴金属レジネートのみからなるレジネート
インクを重ね印刷することが有効であった。
第１層のみインジウム混合のレジネートインクを印刷
し、その上に貴金属レジネートのみからなるレジネート
インクを重ね印刷することが有効であった。
【００１７】なお、上記実施例では液晶用透明電極につ
いて説明したが、本発明はこれ以外の透明タッチパネル
等にも応用できる。
いて説明したが、本発明はこれ以外の透明タッチパネル
等にも応用できる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明の金属ライン
付透明電極は、インジウムを少量含んだ貴金属レジネー
トからなるレジネートインクを用いることによって、ラ
イン抵抗をほとんど上げることなく下地のＩＴＯ透明電
極との接着性を大幅に向上でき、従来ラビング時に剥離
していた金属ラインの信頼性を大幅に向上させることが
可能になった。
付透明電極は、インジウムを少量含んだ貴金属レジネー
トからなるレジネートインクを用いることによって、ラ
イン抵抗をほとんど上げることなく下地のＩＴＯ透明電
極との接着性を大幅に向上でき、従来ラビング時に剥離
していた金属ラインの信頼性を大幅に向上させることが
可能になった。
【図１】本発明の一実施例における金属ライン付透明電
極の断面図である。
極の断面図である。
１…ガラス基板、 ２…ＳiＯ2、 ３…ＩＴＯ透明電
極、 ４…金ライン。
極、 ４…金ライン。
Claims (3)
- 【請求項１】 酸化インジウム、酸化錫を主成分とする
透明電極上に有機金、有機白金もしくは有機銀を主成分
とした貴金属レジネートに有機インジウムを少量含有し
たレジネートインクを印刷、焼成し金属ラインを形成し
たことを特徴とする金属ライン付透明電極。 - 【請求項２】 請求項１記載の有機インジウムの含有量
が焼成後の重量比で１〜2.5wt％であることを特徴とす
る金属ライン付透明電極。 - 【請求項３】 請求項１記載の印刷法が凹版オフセット
印刷法であることを特徴とする金属ライン付透明電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4313892A JPH05241172A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 金属ライン付透明電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4313892A JPH05241172A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 金属ライン付透明電極 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05241172A true JPH05241172A (ja) | 1993-09-21 |
Family
ID=12655483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4313892A Pending JPH05241172A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 金属ライン付透明電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05241172A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0714113A1 (en) * | 1994-11-25 | 1996-05-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of producing a substrate for an electron source and method of producing an image-forming apparatus provided with the substrate |
| JPH1069229A (ja) * | 1996-08-28 | 1998-03-10 | Kyocera Corp | 表示素子の製法 |
| KR100516067B1 (ko) * | 1998-08-03 | 2005-11-25 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치용 패널 |
-
1992
- 1992-02-28 JP JP4313892A patent/JPH05241172A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0714113A1 (en) * | 1994-11-25 | 1996-05-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of producing a substrate for an electron source and method of producing an image-forming apparatus provided with the substrate |
| US5996488A (en) * | 1994-11-25 | 1999-12-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Preparation of an electron source by offset printing electrodes having thickness less than 200 nm |
| US6457408B1 (en) | 1994-11-25 | 2002-10-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Producing surface conduction electron emitting device with offset printed electrodes |
| JPH1069229A (ja) * | 1996-08-28 | 1998-03-10 | Kyocera Corp | 表示素子の製法 |
| KR100516067B1 (ko) * | 1998-08-03 | 2005-11-25 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치용 패널 |
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