JPH0524046Y2 - - Google Patents
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- JPH0524046Y2 JPH0524046Y2 JP10820286U JP10820286U JPH0524046Y2 JP H0524046 Y2 JPH0524046 Y2 JP H0524046Y2 JP 10820286 U JP10820286 U JP 10820286U JP 10820286 U JP10820286 U JP 10820286U JP H0524046 Y2 JPH0524046 Y2 JP H0524046Y2
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- argon gas
- plasma torch
- mechanical shutter
- light
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 2
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 claims 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 36
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 23
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 18
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 10
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000004993 emission spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
本考案は、ICP発光分析装置に関する。
(ロ) 従来技術とその問題点
一般に、ICP発光分析装置では、溶液化された
試料をプラズマトーチに導入して試料を発光さ
せ、試料から放射された光を分光器で各元素のス
ペクトル光に分光した後、各スペクトル光の強度
を測定して試料に含まれる各元素の定性、定量を
行なう。
試料をプラズマトーチに導入して試料を発光さ
せ、試料から放射された光を分光器で各元素のス
ペクトル光に分光した後、各スペクトル光の強度
を測定して試料に含まれる各元素の定性、定量を
行なう。
ところで、分析対象となる元素が硫黄、燐、炭
素、臭素等である場合には、これらの元素の発光
スペクトルは、その波長が200Å以下のいわゆる
真空紫外領域にあるから、酸素の存在下では酸素
によるスペクトルの吸収が起こり、充分な分析感
度が得られなくなる。そのため、上記のような元
素を分析対象とする場合には、分光器内部を真空
引きとするとともに、分光器の集光レンズとプラ
ズマトーチとの間に光導管を設け、この光導管に
アルゴンガスを流してその間に存在する空気をア
ルゴンガスで置換するようにしている。
素、臭素等である場合には、これらの元素の発光
スペクトルは、その波長が200Å以下のいわゆる
真空紫外領域にあるから、酸素の存在下では酸素
によるスペクトルの吸収が起こり、充分な分析感
度が得られなくなる。そのため、上記のような元
素を分析対象とする場合には、分光器内部を真空
引きとするとともに、分光器の集光レンズとプラ
ズマトーチとの間に光導管を設け、この光導管に
アルゴンガスを流してその間に存在する空気をア
ルゴンガスで置換するようにしている。
この種の装置において、複数の試料と連続的に
分析する場合、各試料をプラズマトーチで発光さ
せてスペクトル強度を測定する時間は、実質上10
〜20秒程度であるが、試料導入系が大きな時定数
をもつために、これを安定化させるまでに70〜80
秒程度の時間がかかつていた。従来は、その間も
常に光導管に高価なアルゴンガスを3/min程
度流し続けているために、アルゴンガスの消費量
が多くなり、ランニングコストが高くなる一因と
なつていた。
分析する場合、各試料をプラズマトーチで発光さ
せてスペクトル強度を測定する時間は、実質上10
〜20秒程度であるが、試料導入系が大きな時定数
をもつために、これを安定化させるまでに70〜80
秒程度の時間がかかつていた。従来は、その間も
常に光導管に高価なアルゴンガスを3/min程
度流し続けているために、アルゴンガスの消費量
が多くなり、ランニングコストが高くなる一因と
なつていた。
また、従来の装置では、光導管にアルゴンガス
を流してるものの、依然としてプラズマトーチか
らの飛散粒子が集光レンズに付着して汚染される
難点があつた。さらに、分光器内部を真空引きす
るには油拡散ポンプなどが使用されるが、この場
合に、油蒸気が真空室内に侵入し、これが集光レ
ンズの真空室側の表面に付着する。この付着した
油膜は、プラズマトーチからの紫外線に長時間照
射されると光反応を起こして硬化し、これがプラ
ズマトーチで発光された光を吸収するなどの障害
となり、分析感度の低下を招くなどの不具合があ
つた。
を流してるものの、依然としてプラズマトーチか
らの飛散粒子が集光レンズに付着して汚染される
難点があつた。さらに、分光器内部を真空引きす
るには油拡散ポンプなどが使用されるが、この場
合に、油蒸気が真空室内に侵入し、これが集光レ
ンズの真空室側の表面に付着する。この付着した
油膜は、プラズマトーチからの紫外線に長時間照
射されると光反応を起こして硬化し、これがプラ
ズマトーチで発光された光を吸収するなどの障害
となり、分析感度の低下を招くなどの不具合があ
つた。
本考案は、このような事情に鑑みてなされたも
のであつて、アルゴンガスの消費量を少なくして
ランニングコストを下げ、しかも、分析感度を長
時間に渡り良好に維持できるようにすることを目
的とする。
のであつて、アルゴンガスの消費量を少なくして
ランニングコストを下げ、しかも、分析感度を長
時間に渡り良好に維持できるようにすることを目
的とする。
(ハ) 問題点を解決するための手段
本考案のICP発光分析装置では、上記の目的を
達成するために、プラズマトーチと分光器の集光
レンズとの間に設けられたガスパージ兼光導入用
の光導管に、この光導管のガス排出側開口部を開
閉するメカニカルシヤツタを設けた構成とした。
達成するために、プラズマトーチと分光器の集光
レンズとの間に設けられたガスパージ兼光導入用
の光導管に、この光導管のガス排出側開口部を開
閉するメカニカルシヤツタを設けた構成とした。
(ニ) 作用
本考案の装置では、各試料をプラズマトーチで
発光させてスペクトル強度を測定する際にのみメ
カニカルシヤツタを開放し、それ以外の時にはメ
カニカルシヤツタを閉じておく。メカニカルシヤ
ツタを閉じた場合には、アルゴンガスの流量が少
なくても光導管内がこのガスで充分に置換され
る。しかも、試料の測定時間に比べて試料導入系
を安定化させる時間の方がはるかに長いので、ア
ルゴンガスの消費量は全体として大幅に減少す
る。しかも、集光レンズが飛散粒子で汚染される
頻度がそれだけ少なくなり、しかも、集光レンズ
の表面に付着する油の紫外線による硬化が少なく
なるので、分析感度が長期に渡つて良好に維持さ
れる。
発光させてスペクトル強度を測定する際にのみメ
カニカルシヤツタを開放し、それ以外の時にはメ
カニカルシヤツタを閉じておく。メカニカルシヤ
ツタを閉じた場合には、アルゴンガスの流量が少
なくても光導管内がこのガスで充分に置換され
る。しかも、試料の測定時間に比べて試料導入系
を安定化させる時間の方がはるかに長いので、ア
ルゴンガスの消費量は全体として大幅に減少す
る。しかも、集光レンズが飛散粒子で汚染される
頻度がそれだけ少なくなり、しかも、集光レンズ
の表面に付着する油の紫外線による硬化が少なく
なるので、分析感度が長期に渡つて良好に維持さ
れる。
(ホ) 実施例
第1図は、本考案の実施例に係るICP発光分析
装置の要部断面図である。同図において、符号1
はICP発光分析装置の全体を示し、2はプラズ
マ、4は溶液化された試料をプラズマ発光させる
プラズマトーチ、6は高周波磁界を発生するため
の誘導コイルである。あた、8は分光器を構成す
る真空室で、この真空室8内に試料からの放射光
を各元素のスペクトル光に分光する分光結晶や光
検出器(いずれも図示省略)が配置される。10
は真空室8の外壁に取り付けられた集光レンズ、
12はプラズマトーチ4と集光レンズ10との間
に設けられたガスパージ兼光導入用の光導管であ
る。そして、この光導管12のガス排出側開口部
14に、この開口部14を開閉するメカニカルシ
ヤツタ16が設けられている。上記のメカニカル
シヤツタ16としては、たとえば、カメラのレン
ズシヤツタと同じ構成のものを適用することがで
きる。なお、このメカニカルシヤツタ16は、全
閉した状態においてアルゴンガスが微量流れるよ
うに中央に微小孔18が形成されるように構成さ
れている。20はアルゴンガス導入口、22はメ
カニカルシヤツタ16を開閉するモータ等の駆動
手段、24はアルゴンガスの流路を開閉する開閉
弁である。
装置の要部断面図である。同図において、符号1
はICP発光分析装置の全体を示し、2はプラズ
マ、4は溶液化された試料をプラズマ発光させる
プラズマトーチ、6は高周波磁界を発生するため
の誘導コイルである。あた、8は分光器を構成す
る真空室で、この真空室8内に試料からの放射光
を各元素のスペクトル光に分光する分光結晶や光
検出器(いずれも図示省略)が配置される。10
は真空室8の外壁に取り付けられた集光レンズ、
12はプラズマトーチ4と集光レンズ10との間
に設けられたガスパージ兼光導入用の光導管であ
る。そして、この光導管12のガス排出側開口部
14に、この開口部14を開閉するメカニカルシ
ヤツタ16が設けられている。上記のメカニカル
シヤツタ16としては、たとえば、カメラのレン
ズシヤツタと同じ構成のものを適用することがで
きる。なお、このメカニカルシヤツタ16は、全
閉した状態においてアルゴンガスが微量流れるよ
うに中央に微小孔18が形成されるように構成さ
れている。20はアルゴンガス導入口、22はメ
カニカルシヤツタ16を開閉するモータ等の駆動
手段、24はアルゴンガスの流路を開閉する開閉
弁である。
したがつて、この実施例のICP発光分析装置1
では、第2図に示すよういに、各試料をプラズマ
トーチで発光させてスペクトル強度を測定する場
合にのみ図外のCPUから駆動部22と開閉弁2
4とに制御信号をそれぞれ与えてメカニカルシヤ
ツタ16を開放するとともに、開閉弁24を開い
てアルゴンガスの流量を多くする。これにより、
プラズマトーチ4で発光された試料からの放射光
は、メカニカルシヤツタ16、光導管12を通過
して集光レンズ10で集光される。このとき、光
導管12内はアルゴンガスで満たされているの
で、真空紫外領域にある波長のスペクトル光であ
つても空気で吸収されることはない。そして、集
光レンズ10て集光された光は、分光結晶で各元
素の波長のスペクトル光に分光された後、各元素
のスペクトル強度が測定される。その場合の測定
時間は、実質上10〜20秒程度である。
では、第2図に示すよういに、各試料をプラズマ
トーチで発光させてスペクトル強度を測定する場
合にのみ図外のCPUから駆動部22と開閉弁2
4とに制御信号をそれぞれ与えてメカニカルシヤ
ツタ16を開放するとともに、開閉弁24を開い
てアルゴンガスの流量を多くする。これにより、
プラズマトーチ4で発光された試料からの放射光
は、メカニカルシヤツタ16、光導管12を通過
して集光レンズ10で集光される。このとき、光
導管12内はアルゴンガスで満たされているの
で、真空紫外領域にある波長のスペクトル光であ
つても空気で吸収されることはない。そして、集
光レンズ10て集光された光は、分光結晶で各元
素の波長のスペクトル光に分光された後、各元素
のスペクトル強度が測定される。その場合の測定
時間は、実質上10〜20秒程度である。
一方、測定時以外には駆動部22と開閉弁24
とに制御信号をそれぞれ与えてメカニカルシヤツ
タ16を閉じるとともに、開閉弁24も閉じてア
ルゴンガスの流量を微量にする。一つの試料を測
定してから次の試料を測定するまでには、まず、
純水等のリンス液で試料導入系をクリーニングし
た後、次の測定試料をリンス液として試料導入系
に導いて試料導入系を安定化させるが、その間に
要する時間は70〜80秒程度となる。この期間中は
メカニカルシヤツタ16が終始閉じており、微小
孔18から僅かにアルゴンガスが噴出している。
しかも、試料の測定時間に比べて試料導入系を安
定化させる時間の方がはるかに長いので、アルゴ
ンガスの消費量は全体として大幅に減少する。し
かも、集光レンズ10がプラズマトーチ4からの
飛散粒子で汚染されることが少なくなり、さら
に、集光レンズ10に付着した油に紫外線が照射
される頻度がそれだけ少なくなるので、油の硬化
が少なくなるので、分析感度が長期に渡つて良好
に維持される。
とに制御信号をそれぞれ与えてメカニカルシヤツ
タ16を閉じるとともに、開閉弁24も閉じてア
ルゴンガスの流量を微量にする。一つの試料を測
定してから次の試料を測定するまでには、まず、
純水等のリンス液で試料導入系をクリーニングし
た後、次の測定試料をリンス液として試料導入系
に導いて試料導入系を安定化させるが、その間に
要する時間は70〜80秒程度となる。この期間中は
メカニカルシヤツタ16が終始閉じており、微小
孔18から僅かにアルゴンガスが噴出している。
しかも、試料の測定時間に比べて試料導入系を安
定化させる時間の方がはるかに長いので、アルゴ
ンガスの消費量は全体として大幅に減少する。し
かも、集光レンズ10がプラズマトーチ4からの
飛散粒子で汚染されることが少なくなり、さら
に、集光レンズ10に付着した油に紫外線が照射
される頻度がそれだけ少なくなるので、油の硬化
が少なくなるので、分析感度が長期に渡つて良好
に維持される。
(ヘ) 効果
以上のように本考案によれば、試料分析時のみ
メカニカルシヤツタを解放すればよいので、全体
としてアルゴンガスの消費量が少なくなり、ラン
ニングコストを低減することができる。しかも、
分析感度を長時間に渡つて良好に維持できるよう
になる等の優れた効果が発揮される。
メカニカルシヤツタを解放すればよいので、全体
としてアルゴンガスの消費量が少なくなり、ラン
ニングコストを低減することができる。しかも、
分析感度を長時間に渡つて良好に維持できるよう
になる等の優れた効果が発揮される。
図面は本考案の実施例を示すもので、第1図は
ICP発光分析装置の要部断面図、第2図はICP発
光分析時のアルゴンガス流量とシヤツタの開閉の
タイミングチヤートである。 1……ICP発光分析装置、4……プラズマトー
チ、10……集光レンズ、16……メカニカルシ
ヤツタ。
ICP発光分析装置の要部断面図、第2図はICP発
光分析時のアルゴンガス流量とシヤツタの開閉の
タイミングチヤートである。 1……ICP発光分析装置、4……プラズマトー
チ、10……集光レンズ、16……メカニカルシ
ヤツタ。
Claims (1)
- プラズマトーチと分光器の集光レンズとの間に
設けられたガスパージ兼光導入用の光導管に、こ
の光導管のガス排出側開口部を開閉するメカニカ
ルシヤツタを設けたことを特徴とするICP発光分
析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10820286U JPH0524046Y2 (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10820286U JPH0524046Y2 (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6314145U JPS6314145U (ja) | 1988-01-29 |
JPH0524046Y2 true JPH0524046Y2 (ja) | 1993-06-18 |
Family
ID=30985178
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10820286U Expired - Lifetime JPH0524046Y2 (ja) | 1986-07-15 | 1986-07-15 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0524046Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4612936B2 (ja) * | 2000-06-30 | 2011-01-12 | 三菱化学メディエンス株式会社 | 薄層クロマトグラフ用の水素炎光度分析器及び水素炎光度分析方法 |
-
1986
- 1986-07-15 JP JP10820286U patent/JPH0524046Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6314145U (ja) | 1988-01-29 |
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