JPH0241564Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0241564Y2 JPH0241564Y2 JP1985133496U JP13349685U JPH0241564Y2 JP H0241564 Y2 JPH0241564 Y2 JP H0241564Y2 JP 1985133496 U JP1985133496 U JP 1985133496U JP 13349685 U JP13349685 U JP 13349685U JP H0241564 Y2 JPH0241564 Y2 JP H0241564Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- cylindrical body
- concave mirror
- plasma light
- closed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 12
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000010186 staining Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
イ 産業上の利用分野
本考案は高周波誘導結合プラズマ発光分光分析
装置におけるプラズマ光源と分光器との結合部の
構造に関するものである。
装置におけるプラズマ光源と分光器との結合部の
構造に関するものである。
ロ 従来の技術
第２図は従来例の構造を示したもので、プラズ
マ光源Ａはトーチ管１に供給された霧状試料を含
むアルゴンガスを高周波コイル２で励起して得ら
れるプラズマ炎３で形成され、この光を集光レン
ズ４によつて分光器５に導入して分光し、各スペ
クトル線の計測を行うものである。この集光レン
ズ４に入射する光量をできるだけ多くするため
に、光源Ａ反対側には凹面鏡が置かれ、また光源
Ａと集光レンズ４との間には一端が集光レンズ４
によつて閉塞され他端が光源Ａに向かつて開口し
た筒体７が設けられていて、この筒体７の閉塞端
付近に設けられた置換ガス供給口８からアルゴン
ガスや窒素ガスのような不活性ガスが供給される
ようになつている。この不活性ガスは分光器５側
がプラズマ炎によつて昇温しないように冷却する
機能と、光源Ａから出た紫外光が途中で大気によ
つて吸収されるのを防止する機能とを持つている
ものであるが、この従来構造には次のような問題
点があつた。
マ光源Ａはトーチ管１に供給された霧状試料を含
むアルゴンガスを高周波コイル２で励起して得ら
れるプラズマ炎３で形成され、この光を集光レン
ズ４によつて分光器５に導入して分光し、各スペ
クトル線の計測を行うものである。この集光レン
ズ４に入射する光量をできるだけ多くするため
に、光源Ａ反対側には凹面鏡が置かれ、また光源
Ａと集光レンズ４との間には一端が集光レンズ４
によつて閉塞され他端が光源Ａに向かつて開口し
た筒体７が設けられていて、この筒体７の閉塞端
付近に設けられた置換ガス供給口８からアルゴン
ガスや窒素ガスのような不活性ガスが供給される
ようになつている。この不活性ガスは分光器５側
がプラズマ炎によつて昇温しないように冷却する
機能と、光源Ａから出た紫外光が途中で大気によ
つて吸収されるのを防止する機能とを持つている
ものであるが、この従来構造には次のような問題
点があつた。
ハ 考案が解決しようとする問題点
すなわち第２図において、光源Ａの背面に設け
る凹面鏡６は温度上昇を防ぐためにプラズマ炎か
ら充分離して配置する必要があるが、そのために
光源Ａから出た紫外光が往復の光路中で大気によ
つて吸収され紫外線領域の感度向上が得られない
と云う問題があつた。また凹面鏡６は大気に曝さ
れているので表面が汚れたり腐蝕したりし易く、
鏡面のクリーニングが困難であるために凹面鏡を
度々交換する必要があつた。本考案はこれらの問
題点を解消することを目的とするものである。
る凹面鏡６は温度上昇を防ぐためにプラズマ炎か
ら充分離して配置する必要があるが、そのために
光源Ａから出た紫外光が往復の光路中で大気によ
つて吸収され紫外線領域の感度向上が得られない
と云う問題があつた。また凹面鏡６は大気に曝さ
れているので表面が汚れたり腐蝕したりし易く、
鏡面のクリーニングが困難であるために凹面鏡を
度々交換する必要があつた。本考案はこれらの問
題点を解消することを目的とするものである。
ニ 問題点解決のための手段
上記の目的を達成するために本考案は、分光器
入口の集光レンズとプラズマ光源間に、一端が集
光レンズで閉塞されプラズマ光源側が開口した筒
体を配設し、筒体の閉塞端付近に置換ガス供給口
を設けると共に、プラズマ光源の上記筒体とは反
対側に、プラズマ光源側が開口し他端が凹面鏡で
閉塞された第２の筒体を配設して、第２の筒体の
閉塞端付近に置換ガス供給口を設けて構成し、上
記凹面鏡を表面が平坦で裏面が凸面となつたレン
ズの裏面に反射膜をコーテイングして形成したも
のである。
入口の集光レンズとプラズマ光源間に、一端が集
光レンズで閉塞されプラズマ光源側が開口した筒
体を配設し、筒体の閉塞端付近に置換ガス供給口
を設けると共に、プラズマ光源の上記筒体とは反
対側に、プラズマ光源側が開口し他端が凹面鏡で
閉塞された第２の筒体を配設して、第２の筒体の
閉塞端付近に置換ガス供給口を設けて構成し、上
記凹面鏡を表面が平坦で裏面が凸面となつたレン
ズの裏面に反射膜をコーテイングして形成したも
のである。
ホ 作用
上記の構成によれば、第２の筒体に流れる置換
ガスによつて凹面鏡の表面を大気から遮断して腐
蝕や汚損から保護できる上に、酸素などによる紫
外線領域の光の吸収を防止して、特に真空紫外域
に分光分析波長を持つ元素の検出感度を向上する
と共に、上記凹面鏡の表面を平坦とすることによ
り、凹面鏡表面のクリーニングを可能にすること
ができる。
ガスによつて凹面鏡の表面を大気から遮断して腐
蝕や汚損から保護できる上に、酸素などによる紫
外線領域の光の吸収を防止して、特に真空紫外域
に分光分析波長を持つ元素の検出感度を向上する
と共に、上記凹面鏡の表面を平坦とすることによ
り、凹面鏡表面のクリーニングを可能にすること
ができる。
ヘ 実施例
第１図は本考案の実施例を示したもので、分光
器５に集光レンズ４とプラズマ光源Ａとの間に筒
体７を設けて置換ガス供給口８から置換ガスを流
すようにした点は第２図の従来例と同じであり、
本考案ではさらにプラズマ光源Ａと凹面鏡６との
間に、凹面鏡６によつて一端が閉塞され他端が光
源Ａに向かつて開口した第２の筒体９を設け、こ
の第２の筒体９の閉塞端付近に置換ガス供給口１
０を設けたものである。こうして光源Ａと凹面鏡
６との間の空気をアルゴンガス、窒素ガスなどの
よつな不活性ガスで置換することにより、光源Ａ
から直接集光レンズ４に入射する光と同様に、凹
面鏡６で反射してから集光レンズ４に入射する光
に対しても、光路中での光の大気による吸収をな
くすことができる。
器５に集光レンズ４とプラズマ光源Ａとの間に筒
体７を設けて置換ガス供給口８から置換ガスを流
すようにした点は第２図の従来例と同じであり、
本考案ではさらにプラズマ光源Ａと凹面鏡６との
間に、凹面鏡６によつて一端が閉塞され他端が光
源Ａに向かつて開口した第２の筒体９を設け、こ
の第２の筒体９の閉塞端付近に置換ガス供給口１
０を設けたものである。こうして光源Ａと凹面鏡
６との間の空気をアルゴンガス、窒素ガスなどの
よつな不活性ガスで置換することにより、光源Ａ
から直接集光レンズ４に入射する光と同様に、凹
面鏡６で反射してから集光レンズ４に入射する光
に対しても、光路中での光の大気による吸収をな
くすことができる。
また本実施例では凹面鏡６として、表面が平坦
面で裏面が凸面となつたレンズ１２を石英ガラス
により形成し、凸面にアルミニウムによる反射膜
１１をコーテイングしたものを用いている。この
ように構成すれば、凹面鏡６の表面は平坦なガラ
ス面となつているので、クリーニングが可能であ
り、凹面鏡の表面が曇つても従来のように取り替
える必要がないという利点がある。
面で裏面が凸面となつたレンズ１２を石英ガラス
により形成し、凸面にアルミニウムによる反射膜
１１をコーテイングしたものを用いている。この
ように構成すれば、凹面鏡６の表面は平坦なガラ
ス面となつているので、クリーニングが可能であ
り、凹面鏡の表面が曇つても従来のように取り替
える必要がないという利点がある。
ト 効果
本考案によれば上述のように、プラズマ光源と
凹面鏡との間にも集光レンズ側と同様、光路を囲
む筒体を配設し、筒体内を不活性ガスで置換する
ようにしたので、光路内での大気による紫外光の
吸収を防止し、真空紫外域におけるスペクトル線
の検出感度を向上することができるという利点が
ある。また、上記凹面鏡の表面を平坦とすること
により、凹面鏡表面のクリーニングを可能とし、
凹面鏡の耐久性を向上させることができる。
凹面鏡との間にも集光レンズ側と同様、光路を囲
む筒体を配設し、筒体内を不活性ガスで置換する
ようにしたので、光路内での大気による紫外光の
吸収を防止し、真空紫外域におけるスペクトル線
の検出感度を向上することができるという利点が
ある。また、上記凹面鏡の表面を平坦とすること
により、凹面鏡表面のクリーニングを可能とし、
凹面鏡の耐久性を向上させることができる。
第１図は本考案装置の一実施例を示す概略断面
図、第２図は従来例の概略断面図である。 Ａ……プラズマ光源、１……トーチ管、２……
高周波コイル、３……プラズマ炎、４……集光レ
ンズ、５……分光器、６……凹面鏡、７……筒
体、８……置換ガス供給口、９……第２の筒体、
１０……置換ガス供給口、１１……反射膜。
図、第２図は従来例の概略断面図である。 Ａ……プラズマ光源、１……トーチ管、２……
高周波コイル、３……プラズマ炎、４……集光レ
ンズ、５……分光器、６……凹面鏡、７……筒
体、８……置換ガス供給口、９……第２の筒体、
１０……置換ガス供給口、１１……反射膜。
Claims (1)
- 分光器入口の集光レンズとプラズマ光源間に、
一端が集光レンズで閉塞されプラズマ光源側が開
口した筒体を配設し、筒体の閉塞端付近に置換ガ
ス供給口を設けると共に、プラズマ光源の上記筒
体とは反対側に、プラズマ光源側が開口し他端が
凹面鏡で閉塞された第２の筒体を配設して、第２
の筒体の閉塞端付近に置換ガス供給口を設け、上
記凹面鏡を、表面が平坦で裏面が凸面となつたレ
ンズの裏面に反射膜をコーテイングして形成して
成る高周波誘導結合プラズマ発光分光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985133496U JPH0241564Y2 (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985133496U JPH0241564Y2 (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6242060U JPS6242060U (ja) | 1987-03-13 |
| JPH0241564Y2 true JPH0241564Y2 (ja) | 1990-11-06 |
Family
ID=31033869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985133496U Expired JPH0241564Y2 (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0241564Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5056592B2 (ja) * | 2008-06-02 | 2012-10-24 | 株式会社島津製作所 | 炎光光度検出器 |
| JP5207369B2 (ja) * | 2008-07-02 | 2013-06-12 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 分析装置 |
| JP4981872B2 (ja) * | 2009-11-02 | 2012-07-25 | 三菱重工業株式会社 | 微量成分計測装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6135960Y2 (ja) * | 1981-05-22 | 1986-10-18 |
-
1985
- 1985-08-30 JP JP1985133496U patent/JPH0241564Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6242060U (ja) | 1987-03-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS60105946A (ja) | 赤外線ガス分析計 | |
| ES2065961T3 (es) | Procedimiento para el acoplamiento optico de un sistema de analisis elemental y un laser de metal liquido en un recipiente de fundicion. | |
| US5874737A (en) | Gas analyzer | |
| JPH0241564Y2 (ja) | ||
| US3810583A (en) | Burners for chemical analysis | |
| US4844612A (en) | Apparatus for the analysis of elements by inductive plasma spectrometry produced by air | |
| Browner et al. | Studies in atomic-fluorescemce spectroscopy—VIII: Atomic fluorescence and atomic absorption of thallium and mercury with electrodeless discharge tubes as sources | |
| US5786887A (en) | Atomic absorption spectrophotometer and atomic absorption spectrochemical analysis | |
| JP2003510845A (ja) | プラズマエッチング工程の終点を検出するための干渉法 | |
| JP2007078460A (ja) | Ｉｃｐ発光分析装置 | |
| JP2001307507A (ja) | 無電極の低圧放電ランプ | |
| Bezur et al. | Platform atomisation in carbon furnace atomic-emission spectrometry | |
| JP2005274523A (ja) | 分光光度計 | |
| Roll et al. | New laser lines in Se II discovered by gain measurements using amplified spontaneous emission | |
| US4395091A (en) | Optical coupling device for use with a plasma emission spectrometer | |
| JPH0339631B2 (ja) | ||
| JPS6135960Y2 (ja) | ||
| Cochran et al. | Device for selective spectral-line modulation atomic absorption spectrometry | |
| JPH0961358A (ja) | 炎光光度検出器 | |
| JPS62157550A (ja) | 燃焼ガスの濃度検出装置 | |
| JPH11271221A (ja) | 赤外線ガス分析計 | |
| JPH0539488Y2 (ja) | ||
| JPH0539487Y2 (ja) | ||
| JPH0524046Y2 (ja) | ||
| JPH01123136A (ja) | 発光分光分析装置 |