JPH0241564Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0241564Y2 JPH0241564Y2 JP1985133496U JP13349685U JPH0241564Y2 JP H0241564 Y2 JPH0241564 Y2 JP H0241564Y2 JP 1985133496 U JP1985133496 U JP 1985133496U JP 13349685 U JP13349685 U JP 13349685U JP H0241564 Y2 JPH0241564 Y2 JP H0241564Y2
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- Japan
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- light source
- cylindrical body
- concave mirror
- plasma light
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- Prior art date
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- Expired
Links
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Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
イ 産業上の利用分野
本考案は高周波誘導結合プラズマ発光分光分析
装置におけるプラズマ光源と分光器との結合部の
構造に関するものである。
装置におけるプラズマ光源と分光器との結合部の
構造に関するものである。
ロ 従来の技術
第2図は従来例の構造を示したもので、プラズ
マ光源Aはトーチ管1に供給された霧状試料を含
むアルゴンガスを高周波コイル2で励起して得ら
れるプラズマ炎3で形成され、この光を集光レン
ズ4によつて分光器5に導入して分光し、各スペ
クトル線の計測を行うものである。この集光レン
ズ4に入射する光量をできるだけ多くするため
に、光源A反対側には凹面鏡が置かれ、また光源
Aと集光レンズ4との間には一端が集光レンズ4
によつて閉塞され他端が光源Aに向かつて開口し
た筒体7が設けられていて、この筒体7の閉塞端
付近に設けられた置換ガス供給口8からアルゴン
ガスや窒素ガスのような不活性ガスが供給される
ようになつている。この不活性ガスは分光器5側
がプラズマ炎によつて昇温しないように冷却する
機能と、光源Aから出た紫外光が途中で大気によ
つて吸収されるのを防止する機能とを持つている
ものであるが、この従来構造には次のような問題
点があつた。
マ光源Aはトーチ管1に供給された霧状試料を含
むアルゴンガスを高周波コイル2で励起して得ら
れるプラズマ炎3で形成され、この光を集光レン
ズ4によつて分光器5に導入して分光し、各スペ
クトル線の計測を行うものである。この集光レン
ズ4に入射する光量をできるだけ多くするため
に、光源A反対側には凹面鏡が置かれ、また光源
Aと集光レンズ4との間には一端が集光レンズ4
によつて閉塞され他端が光源Aに向かつて開口し
た筒体7が設けられていて、この筒体7の閉塞端
付近に設けられた置換ガス供給口8からアルゴン
ガスや窒素ガスのような不活性ガスが供給される
ようになつている。この不活性ガスは分光器5側
がプラズマ炎によつて昇温しないように冷却する
機能と、光源Aから出た紫外光が途中で大気によ
つて吸収されるのを防止する機能とを持つている
ものであるが、この従来構造には次のような問題
点があつた。
ハ 考案が解決しようとする問題点
すなわち第2図において、光源Aの背面に設け
る凹面鏡6は温度上昇を防ぐためにプラズマ炎か
ら充分離して配置する必要があるが、そのために
光源Aから出た紫外光が往復の光路中で大気によ
つて吸収され紫外線領域の感度向上が得られない
と云う問題があつた。また凹面鏡6は大気に曝さ
れているので表面が汚れたり腐蝕したりし易く、
鏡面のクリーニングが困難であるために凹面鏡を
度々交換する必要があつた。本考案はこれらの問
題点を解消することを目的とするものである。
る凹面鏡6は温度上昇を防ぐためにプラズマ炎か
ら充分離して配置する必要があるが、そのために
光源Aから出た紫外光が往復の光路中で大気によ
つて吸収され紫外線領域の感度向上が得られない
と云う問題があつた。また凹面鏡6は大気に曝さ
れているので表面が汚れたり腐蝕したりし易く、
鏡面のクリーニングが困難であるために凹面鏡を
度々交換する必要があつた。本考案はこれらの問
題点を解消することを目的とするものである。
ニ 問題点解決のための手段
上記の目的を達成するために本考案は、分光器
入口の集光レンズとプラズマ光源間に、一端が集
光レンズで閉塞されプラズマ光源側が開口した筒
体を配設し、筒体の閉塞端付近に置換ガス供給口
を設けると共に、プラズマ光源の上記筒体とは反
対側に、プラズマ光源側が開口し他端が凹面鏡で
閉塞された第2の筒体を配設して、第2の筒体の
閉塞端付近に置換ガス供給口を設けて構成し、上
記凹面鏡を表面が平坦で裏面が凸面となつたレン
ズの裏面に反射膜をコーテイングして形成したも
のである。
入口の集光レンズとプラズマ光源間に、一端が集
光レンズで閉塞されプラズマ光源側が開口した筒
体を配設し、筒体の閉塞端付近に置換ガス供給口
を設けると共に、プラズマ光源の上記筒体とは反
対側に、プラズマ光源側が開口し他端が凹面鏡で
閉塞された第2の筒体を配設して、第2の筒体の
閉塞端付近に置換ガス供給口を設けて構成し、上
記凹面鏡を表面が平坦で裏面が凸面となつたレン
ズの裏面に反射膜をコーテイングして形成したも
のである。
ホ 作用
上記の構成によれば、第2の筒体に流れる置換
ガスによつて凹面鏡の表面を大気から遮断して腐
蝕や汚損から保護できる上に、酸素などによる紫
外線領域の光の吸収を防止して、特に真空紫外域
に分光分析波長を持つ元素の検出感度を向上する
と共に、上記凹面鏡の表面を平坦とすることによ
り、凹面鏡表面のクリーニングを可能にすること
ができる。
ガスによつて凹面鏡の表面を大気から遮断して腐
蝕や汚損から保護できる上に、酸素などによる紫
外線領域の光の吸収を防止して、特に真空紫外域
に分光分析波長を持つ元素の検出感度を向上する
と共に、上記凹面鏡の表面を平坦とすることによ
り、凹面鏡表面のクリーニングを可能にすること
ができる。
ヘ 実施例
第1図は本考案の実施例を示したもので、分光
器5に集光レンズ4とプラズマ光源Aとの間に筒
体7を設けて置換ガス供給口8から置換ガスを流
すようにした点は第2図の従来例と同じであり、
本考案ではさらにプラズマ光源Aと凹面鏡6との
間に、凹面鏡6によつて一端が閉塞され他端が光
源Aに向かつて開口した第2の筒体9を設け、こ
の第2の筒体9の閉塞端付近に置換ガス供給口1
0を設けたものである。こうして光源Aと凹面鏡
6との間の空気をアルゴンガス、窒素ガスなどの
よつな不活性ガスで置換することにより、光源A
から直接集光レンズ4に入射する光と同様に、凹
面鏡6で反射してから集光レンズ4に入射する光
に対しても、光路中での光の大気による吸収をな
くすことができる。
器5に集光レンズ4とプラズマ光源Aとの間に筒
体7を設けて置換ガス供給口8から置換ガスを流
すようにした点は第2図の従来例と同じであり、
本考案ではさらにプラズマ光源Aと凹面鏡6との
間に、凹面鏡6によつて一端が閉塞され他端が光
源Aに向かつて開口した第2の筒体9を設け、こ
の第2の筒体9の閉塞端付近に置換ガス供給口1
0を設けたものである。こうして光源Aと凹面鏡
6との間の空気をアルゴンガス、窒素ガスなどの
よつな不活性ガスで置換することにより、光源A
から直接集光レンズ4に入射する光と同様に、凹
面鏡6で反射してから集光レンズ4に入射する光
に対しても、光路中での光の大気による吸収をな
くすことができる。
また本実施例では凹面鏡6として、表面が平坦
面で裏面が凸面となつたレンズ12を石英ガラス
により形成し、凸面にアルミニウムによる反射膜
11をコーテイングしたものを用いている。この
ように構成すれば、凹面鏡6の表面は平坦なガラ
ス面となつているので、クリーニングが可能であ
り、凹面鏡の表面が曇つても従来のように取り替
える必要がないという利点がある。
面で裏面が凸面となつたレンズ12を石英ガラス
により形成し、凸面にアルミニウムによる反射膜
11をコーテイングしたものを用いている。この
ように構成すれば、凹面鏡6の表面は平坦なガラ
ス面となつているので、クリーニングが可能であ
り、凹面鏡の表面が曇つても従来のように取り替
える必要がないという利点がある。
ト 効果
本考案によれば上述のように、プラズマ光源と
凹面鏡との間にも集光レンズ側と同様、光路を囲
む筒体を配設し、筒体内を不活性ガスで置換する
ようにしたので、光路内での大気による紫外光の
吸収を防止し、真空紫外域におけるスペクトル線
の検出感度を向上することができるという利点が
ある。また、上記凹面鏡の表面を平坦とすること
により、凹面鏡表面のクリーニングを可能とし、
凹面鏡の耐久性を向上させることができる。
凹面鏡との間にも集光レンズ側と同様、光路を囲
む筒体を配設し、筒体内を不活性ガスで置換する
ようにしたので、光路内での大気による紫外光の
吸収を防止し、真空紫外域におけるスペクトル線
の検出感度を向上することができるという利点が
ある。また、上記凹面鏡の表面を平坦とすること
により、凹面鏡表面のクリーニングを可能とし、
凹面鏡の耐久性を向上させることができる。
第1図は本考案装置の一実施例を示す概略断面
図、第2図は従来例の概略断面図である。 A……プラズマ光源、1……トーチ管、2……
高周波コイル、3……プラズマ炎、4……集光レ
ンズ、5……分光器、6……凹面鏡、7……筒
体、8……置換ガス供給口、9……第2の筒体、
10……置換ガス供給口、11……反射膜。
図、第2図は従来例の概略断面図である。 A……プラズマ光源、1……トーチ管、2……
高周波コイル、3……プラズマ炎、4……集光レ
ンズ、5……分光器、6……凹面鏡、7……筒
体、8……置換ガス供給口、9……第2の筒体、
10……置換ガス供給口、11……反射膜。
Claims (1)
- 分光器入口の集光レンズとプラズマ光源間に、
一端が集光レンズで閉塞されプラズマ光源側が開
口した筒体を配設し、筒体の閉塞端付近に置換ガ
ス供給口を設けると共に、プラズマ光源の上記筒
体とは反対側に、プラズマ光源側が開口し他端が
凹面鏡で閉塞された第2の筒体を配設して、第2
の筒体の閉塞端付近に置換ガス供給口を設け、上
記凹面鏡を、表面が平坦で裏面が凸面となつたレ
ンズの裏面に反射膜をコーテイングして形成して
成る高周波誘導結合プラズマ発光分光分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985133496U JPH0241564Y2 (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985133496U JPH0241564Y2 (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6242060U JPS6242060U (ja) | 1987-03-13 |
JPH0241564Y2 true JPH0241564Y2 (ja) | 1990-11-06 |
Family
ID=31033869
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1985133496U Expired JPH0241564Y2 (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0241564Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5056592B2 (ja) * | 2008-06-02 | 2012-10-24 | 株式会社島津製作所 | 炎光光度検出器 |
JP5207369B2 (ja) * | 2008-07-02 | 2013-06-12 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 分析装置 |
JP4981872B2 (ja) * | 2009-11-02 | 2012-07-25 | 三菱重工業株式会社 | 微量成分計測装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6135960Y2 (ja) * | 1981-05-22 | 1986-10-18 |
-
1985
- 1985-08-30 JP JP1985133496U patent/JPH0241564Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6242060U (ja) | 1987-03-13 |
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