JPH01123136A - 発光分光分析装置 - Google Patents
発光分光分析装置Info
- Publication number
- JPH01123136A JPH01123136A JP28174287A JP28174287A JPH01123136A JP H01123136 A JPH01123136 A JP H01123136A JP 28174287 A JP28174287 A JP 28174287A JP 28174287 A JP28174287 A JP 28174287A JP H01123136 A JPH01123136 A JP H01123136A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- light
- glow discharge
- mirror
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ、産業上の利用分野
本発明はグロー放電発光分光分析装置に関する。
口、従来の技術
発光分光分析法は光源として火花放電を用いるもの、プ
ラズマ炎を用いるもの、グロー放電管を用いるらの等が
ある。これらの発光分析法のうち、火花放電とかプラズ
マ炎を光源とする方法は光源が四方開放下にあるため光
源の回りに複数台の分光光度計を配置し、同時に広い波
長範囲のスペクトル測定を行い得るようにしている。即
ち分光光度計は一つの分光素子でカバーできる波長が限
られており、それより広い波長範囲で測定を行う必要が
あるときは分光素子を交換するようにしている。このた
め同時に広い波長範囲の測定を行う必要があるときは、
複数の分光光度計を光源の周囲に配置して測定を行うの
である。
ラズマ炎を用いるもの、グロー放電管を用いるらの等が
ある。これらの発光分析法のうち、火花放電とかプラズ
マ炎を光源とする方法は光源が四方開放下にあるため光
源の回りに複数台の分光光度計を配置し、同時に広い波
長範囲のスペクトル測定を行い得るようにしている。即
ち分光光度計は一つの分光素子でカバーできる波長が限
られており、それより広い波長範囲で測定を行う必要が
あるときは分光素子を交換するようにしている。このた
め同時に広い波長範囲の測定を行う必要があるときは、
複数の分光光度計を光源の周囲に配置して測定を行うの
である。
ハ１発明が解決しようとする問題点
所がグロー放電管を光源とする発光分析法では、グロー
１’１ｍ管が筒状で、筒袖方向にだけ光を取出せるよう
になっているため、グ「１−放電管の管軸の延長上に一
台の分光光度計が置けるだけで、光源の周囲に複数の分
光光度計を配置すると云った方法を用いることができず
、従って同時に広い波長範囲のスペクトル測定を行うこ
とができなかった。
１’１ｍ管が筒状で、筒袖方向にだけ光を取出せるよう
になっているため、グ「１−放電管の管軸の延長上に一
台の分光光度計が置けるだけで、光源の周囲に複数の分
光光度計を配置すると云った方法を用いることができず
、従って同時に広い波長範囲のスペクトル測定を行うこ
とができなかった。
本発明はグロー放電管を用いる分析方法で同時に広い波
長範囲の測定を可能にしようとするものである。
長範囲の測定を可能にしようとするものである。
二１問題点解決のための手段
グロー放電管の陽極筒を保持する管本体から管軸方向に
突設されている光取出筒の先端と側面に夫々先取出窓を
設け、上記光取出筒内で上記側面の窓に対向して中央が
透孔になっている鏡を上記光取出筒の筒軸に対して傾け
て取付け、光取出筒の筒袖延長」二と光取出筒の側面窓
を通って筒軸と交わる線−りとに夫々分光光度計を配置
した。
突設されている光取出筒の先端と側面に夫々先取出窓を
設け、上記光取出筒内で上記側面の窓に対向して中央が
透孔になっている鏡を上記光取出筒の筒軸に対して傾け
て取付け、光取出筒の筒袖延長」二と光取出筒の側面窓
を通って筒軸と交わる線−りとに夫々分光光度計を配置
した。
ホ６作用
”発光分光分析用光源のグ「１−放電管は管軸上の一端
に試料を置いてこれを陰極とし、管軸と同軸的に筒状の
陽極を配置し、この陽極筒を通して陰極とは反対側の端
から管軸方向に光を取出すようになっている。グロー放
電の発光は゛陽極筒の中で行われているため、光は陽極
筒の筒軸つまり放電管の管軸方向にしか取出せない。本
発明では放電管の管軸」−に中央に透孔を設けた鏡を斜
めに置き管軸方向の光束のうち中心部は鏡の中央透孔を
通して従来と同様グロー放電管の管端から管軸方向に出
射させ、鏡に当った光は 側方に反射させて管側の窓か
ら出射させるようにしたから、グロー放電管の管軸延長
上と、管軸と交わる方向の二方向に分光光度計を配置す
ることができるようになった。
に試料を置いてこれを陰極とし、管軸と同軸的に筒状の
陽極を配置し、この陽極筒を通して陰極とは反対側の端
から管軸方向に光を取出すようになっている。グロー放
電の発光は゛陽極筒の中で行われているため、光は陽極
筒の筒軸つまり放電管の管軸方向にしか取出せない。本
発明では放電管の管軸」−に中央に透孔を設けた鏡を斜
めに置き管軸方向の光束のうち中心部は鏡の中央透孔を
通して従来と同様グロー放電管の管端から管軸方向に出
射させ、鏡に当った光は 側方に反射させて管側の窓か
ら出射させるようにしたから、グロー放電管の管軸延長
上と、管軸と交わる方向の二方向に分光光度計を配置す
ることができるようになった。
へ、実施例
図に本発明の一実施例のグロー放電管を示す。
１は管本体で絶縁体で作られた筒状体であり、筒状の陽
極２を保持している。陽極筒２の外面と管本体ｌとの間
には隙間３が設けである、ガス吸引口５がこの隙間に開
「１している。４は試料で気密を保って管本体ｌの端面
に圧接されており、陽極筒２の筒端面と試料の管本体内
に向う面との間には隙間ｇが設けである。試料４はグロ
ー放電管の陰極となる。管本体ｌの試料が圧接される端
とは反対側の端近くの側面にガス吸引口６が開口してい
る。管本体ｌの試料とは反対側の端に光取出し筒８が取
付けられ、この筒端には石英のレンズ７が取付けである
。この筒端近（に設けられた開口からグロー放電管内に
アルゴンガスが適当な流量で供給されており、このアル
ゴンガスはガス吸引ｒ：１５ ＋ ６を通して排気ポン
プで吸引され、グロー放電管内は低圧のアルゴンガスで
満たされている。光取出筒の筒端近くの側面に窓９が設
けられ、この窓には石英が嵌着しである。光取出筒８内
には窓９に対向して斜めに凹面鏡ｌＯが保持されている
。この凹面鏡は中央が透孔１１になっている。
極２を保持している。陽極筒２の外面と管本体ｌとの間
には隙間３が設けである、ガス吸引口５がこの隙間に開
「１している。４は試料で気密を保って管本体ｌの端面
に圧接されており、陽極筒２の筒端面と試料の管本体内
に向う面との間には隙間ｇが設けである。試料４はグロ
ー放電管の陰極となる。管本体ｌの試料が圧接される端
とは反対側の端近くの側面にガス吸引口６が開口してい
る。管本体ｌの試料とは反対側の端に光取出し筒８が取
付けられ、この筒端には石英のレンズ７が取付けである
。この筒端近（に設けられた開口からグロー放電管内に
アルゴンガスが適当な流量で供給されており、このアル
ゴンガスはガス吸引ｒ：１５ ＋ ６を通して排気ポン
プで吸引され、グロー放電管内は低圧のアルゴンガスで
満たされている。光取出筒の筒端近くの側面に窓９が設
けられ、この窓には石英が嵌着しである。光取出筒８内
には窓９に対向して斜めに凹面鏡ｌＯが保持されている
。この凹面鏡は中央が透孔１１になっている。
陽極２と試料４間に電圧を印加すると両者間にグロー放
電が起り、試料面はイオン衝撃を受けて試料構成原子が
揮散せしめられ、グロー放電域内で発光する。この発光
は陽極２の筒内で行われ、矢印のように光が放射される
。この光のうち鏡１０の中央孔を通った光はレンズ７を
通してグロー放電管の管外に出射し、第１分光器Ｍ１の
入口スリット上に集光せしめられる。他方！！１０に当
った光は光取出筒の筒袖とは直角の方向に反射され、窓
９から出射して第２分光３ Ｍ ２の大すロスリット、
１−に集光せしめられる。第１分光器Ｍ１は例えば１１
０ｎｍ〜５００ｎｍの波長範囲をカバーし、第２分光器
Ｍ２は波長５００〜８００ｎｍの範囲をカバーするよう
にしである。
電が起り、試料面はイオン衝撃を受けて試料構成原子が
揮散せしめられ、グロー放電域内で発光する。この発光
は陽極２の筒内で行われ、矢印のように光が放射される
。この光のうち鏡１０の中央孔を通った光はレンズ７を
通してグロー放電管の管外に出射し、第１分光器Ｍ１の
入口スリット上に集光せしめられる。他方！！１０に当
った光は光取出筒の筒袖とは直角の方向に反射され、窓
９から出射して第２分光３ Ｍ ２の大すロスリット、
１−に集光せしめられる。第１分光器Ｍ１は例えば１１
０ｎｍ〜５００ｎｍの波長範囲をカバーし、第２分光器
Ｍ２は波長５００〜８００ｎｍの範囲をカバーするよう
にしである。
上述実施例では鏡１０は凹面鏡であるが、これは平面鏡
でもよく、その場合には窓９に嵌める窓板をレンズにす
る。なお鏡１０を凹面鏡にしておくと、反射された光は
集束されるので光束が細くなり、窓９は小さな窓でよい
と云う利点がある。
でもよく、その場合には窓９に嵌める窓板をレンズにす
る。なお鏡１０を凹面鏡にしておくと、反射された光は
集束されるので光束が細くなり、窓９は小さな窓でよい
と云う利点がある。
またグロー放電により、て飛散せしめられる試料成分の
原子はグ［１−放電管内面に付着するが、光取出し筒８
の光取出し側の筒端からグロー放電管内にガスを供給し
ているので、管内には光取出筒８の光取出し端から試料
に向ってアルゴンガスの流れがあり、試料からの飛散物
質がＴｊ、ｌＯやレンズ７窓９等に付着してこれらを汚
染すると云うようなことは起らない。
原子はグ［１−放電管内面に付着するが、光取出し筒８
の光取出し側の筒端からグロー放電管内にガスを供給し
ているので、管内には光取出筒８の光取出し端から試料
に向ってアルゴンガスの流れがあり、試料からの飛散物
質がＴｊ、ｌＯやレンズ７窓９等に付着してこれらを汚
染すると云うようなことは起らない。
ト、効果
本発明によればグロー放電管から複数方向に光が取出せ
るので、同時に複数台の分光光度計を働かせることがで
き、−度に広い波長範囲の測定が可能となってグロー放
電管を用いる発光分光分析の能率が著しく向上する。
るので、同時に複数台の分光光度計を働かせることがで
き、−度に広い波長範囲の測定が可能となってグロー放
電管を用いる発光分光分析の能率が著しく向上する。
図面は本発明の一実施例におけるグロー放電管の縦断側
面図である。 １・・・管本体、２・・・陽極、４・・・試料、８・・
・光取出し管、９・・・窓、ＩＯ・・・鏡、１１・・・
鏡１０の中央透孔、Ｍｌ、Ｍ２・・・分光器。 代理人 弁理士 縣 浩 介
面図である。 １・・・管本体、２・・・陽極、４・・・試料、８・・
・光取出し管、９・・・窓、ＩＯ・・・鏡、１１・・・
鏡１０の中央透孔、Ｍｌ、Ｍ２・・・分光器。 代理人 弁理士 縣 浩 介
Claims (1)
- グロー放電管の陽極筒を保持する管本体から試料とは反
対側に突設されている光取出筒の先端と側面に夫々光取
出窓を設け、上記光取出筒内で上記側面の窓に対向して
一部が透光領域になっている鏡を上記光取出筒の筒軸に
対して傾けて取付け、光取出し筒の筒軸延長上と光取出
筒の側面窓を通って筒軸と交わる線上とに夫々分光器を
配置できるようにした発光分光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28174287A JPH01123136A (ja) | 1987-11-06 | 1987-11-06 | 発光分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28174287A JPH01123136A (ja) | 1987-11-06 | 1987-11-06 | 発光分光分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01123136A true JPH01123136A (ja) | 1989-05-16 |
Family
ID=17643351
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28174287A Pending JPH01123136A (ja) | 1987-11-06 | 1987-11-06 | 発光分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01123136A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002524732A (ja) * | 1998-09-04 | 2002-08-06 | ジェネレーション・テクノロジー・リサーチ・ピーティーワイ・リミテッド | 石炭用に適したレーザ誘起イオン化分光器 |
| JP2008267829A (ja) * | 2007-04-16 | 2008-11-06 | Horiba Ltd | 測定方法、測定装置およびエピタキシャル基板 |
-
1987
- 1987-11-06 JP JP28174287A patent/JPH01123136A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002524732A (ja) * | 1998-09-04 | 2002-08-06 | ジェネレーション・テクノロジー・リサーチ・ピーティーワイ・リミテッド | 石炭用に適したレーザ誘起イオン化分光器 |
| JP2008267829A (ja) * | 2007-04-16 | 2008-11-06 | Horiba Ltd | 測定方法、測定装置およびエピタキシャル基板 |
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