JPS6135960Y2 - - Google Patents
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- JPS6135960Y2 JPS6135960Y2 JP1981074838U JP7483881U JPS6135960Y2 JP S6135960 Y2 JPS6135960 Y2 JP S6135960Y2 JP 1981074838 U JP1981074838 U JP 1981074838U JP 7483881 U JP7483881 U JP 7483881U JP S6135960 Y2 JPS6135960 Y2 JP S6135960Y2
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- spectrometer
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Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Optical Measuring Cells (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はプラズマ光源を用いた発光分光分析装
置に関する。
置に関する。
真空紫外領域のスペクトル線を用いる場合分光
器内を真空にするが、プラズマ光源を用いる発光
分析では光源は一般に外気中に置かれる。さらに
プラズマ炎がきわめて高温であるため光源を分光
器の入射窓に近接して設置することは困難であ
る。このため光源から分光器入射窓に至る途中の
空気特に空気中の酸素によつて短波長域の紫外線
が著るしく吸収されるこのため、従来プラズマ光
源を用いた発光分光分析装置で真空紫外域の分光
分析ができる装置はなかつた。
器内を真空にするが、プラズマ光源を用いる発光
分析では光源は一般に外気中に置かれる。さらに
プラズマ炎がきわめて高温であるため光源を分光
器の入射窓に近接して設置することは困難であ
る。このため光源から分光器入射窓に至る途中の
空気特に空気中の酸素によつて短波長域の紫外線
が著るしく吸収されるこのため、従来プラズマ光
源を用いた発光分光分析装置で真空紫外域の分光
分析ができる装置はなかつた。
本考案はプラズマ光源を用いて真空紫外域にお
ける発光分光分析を可能にすることを目的として
なされた。本考案は分光器の入射窓とプラズマ炎
とのに管を設置し、この管の分光器側から光源側
に向つて不活性ガスを流通させ、この管内の不活
性ガス雰囲気をプラズマ炎から分光器に入射する
測定用光の入射光路とするようにした発光分光分
析装置を提供するものである。この構成によれば
分光器の入射窓とプラズマ炎との間には相当の距
離ができ、かつ不活性ガスが流れているのでプラ
ズマ炎と分光器との間の熱的遮断は完全であり、
しかも光源と分光器との間の光路は不活性ガス雰
囲気であるから酸素によつて強い吸収を受ける真
空紫外域の波長の光の吸収も殆んどなく、分光器
の入射窓をプラズマ炎のそばに配置したのと全く
同じ効果が得られる。以下実施例によつて本考案
を説明する。
ける発光分光分析を可能にすることを目的として
なされた。本考案は分光器の入射窓とプラズマ炎
とのに管を設置し、この管の分光器側から光源側
に向つて不活性ガスを流通させ、この管内の不活
性ガス雰囲気をプラズマ炎から分光器に入射する
測定用光の入射光路とするようにした発光分光分
析装置を提供するものである。この構成によれば
分光器の入射窓とプラズマ炎との間には相当の距
離ができ、かつ不活性ガスが流れているのでプラ
ズマ炎と分光器との間の熱的遮断は完全であり、
しかも光源と分光器との間の光路は不活性ガス雰
囲気であるから酸素によつて強い吸収を受ける真
空紫外域の波長の光の吸収も殆んどなく、分光器
の入射窓をプラズマ炎のそばに配置したのと全く
同じ効果が得られる。以下実施例によつて本考案
を説明する。
図面は本考案の一実施例を示す。１は分光器本
体で内部は排気されている。２は石英レンズの光
入射窓であり、Ｇは回折格子、Ｐ１〜Ｐ４はスペ
クトル焦点面上の任意波長位置に配置された光検
出器、Ｓは測光回路でＤはプリンタその他の表示
装置である。３はプラズマトーチ管で中に試料導
入管４が挿入してありプラズマ形成用のアルゴン
ガスが供給されている。５は外套管で多量（10
／min）の不活性ガスとしてアルゴンガスが供
給されており、外套管５を冷却すると共に形成さ
れるプラズマ炎の周りにアルゴンのカーテンを形
成して空気とプラズマ炎との間を遮断を行つてい
る。６はプラズマを発生させる高周波コイルでＦ
がプラズマ炎である。プラズマ炎は約10000゜Ｋ
の高温であり、外套管５によつてアルゴンガスを
送つていてもプラズマ炎に近接させる部品は充分
な耐熱性を要する。分光器１においては入射光
束の光軸であり、プラズマ炎Ｆはその先端付近が
この光軸上に位置するようにセツトされている。
光入射窓の石英レンズ２の外側には光軸と共軸
的に金属筒７が取付けてあり、この筒の取付部付
近にはアルゴンガス供給管８が接続してある。筒
７の先端には石英管９が嵌挿してあつて、この石
英管９の先端がプラズマ炎Ｆの近くまで延長して
ある。管８から供給されたアルゴンガスは筒７及
び石英管９内の空気を追出しこれらの管内をアル
ゴンで充してアルゴン雰囲気の光路を形成する。
体で内部は排気されている。２は石英レンズの光
入射窓であり、Ｇは回折格子、Ｐ１〜Ｐ４はスペ
クトル焦点面上の任意波長位置に配置された光検
出器、Ｓは測光回路でＤはプリンタその他の表示
装置である。３はプラズマトーチ管で中に試料導
入管４が挿入してありプラズマ形成用のアルゴン
ガスが供給されている。５は外套管で多量（10
／min）の不活性ガスとしてアルゴンガスが供
給されており、外套管５を冷却すると共に形成さ
れるプラズマ炎の周りにアルゴンのカーテンを形
成して空気とプラズマ炎との間を遮断を行つてい
る。６はプラズマを発生させる高周波コイルでＦ
がプラズマ炎である。プラズマ炎は約10000゜Ｋ
の高温であり、外套管５によつてアルゴンガスを
送つていてもプラズマ炎に近接させる部品は充分
な耐熱性を要する。分光器１においては入射光
束の光軸であり、プラズマ炎Ｆはその先端付近が
この光軸上に位置するようにセツトされている。
光入射窓の石英レンズ２の外側には光軸と共軸
的に金属筒７が取付けてあり、この筒の取付部付
近にはアルゴンガス供給管８が接続してある。筒
７の先端には石英管９が嵌挿してあつて、この石
英管９の先端がプラズマ炎Ｆの近くまで延長して
ある。管８から供給されたアルゴンガスは筒７及
び石英管９内の空気を追出しこれらの管内をアル
ゴンで充してアルゴン雰囲気の光路を形成する。
本考案発光分光分析装置は上述したような構成
で真空分光器とプラズマ炎との間の入射光路を不
活性ガス雰囲気としたから光源と分光器との間が
離れていても真空紫外域の波長の光の吸収は殆ん
どなく、分光器がプラズマ炎の高温により加熱さ
れると云うトラブルも起らず、プラズマ光源を用
いた真空紫外域の発光分光分析が可能となつた。
例えば従来鉄鋼材料における燐、硫黄の分光的検
出定量には適当な方法がなく、燐については普通
紫外域の2136Åの線を用いていたが感度が低く硫
黄については普通紫外から可視域にかけて適当な
輝線がなく分光的検出、定量は甚だ困難であつ
た。分光法は試料が微量で足り迅速に結果が得ら
れるので工程管理において特に有効な方法である
が、本考案によれば燐の1782.9Åの線を用いて鋼
中の0.001％の定量感度が得られ、硫黄について
も1807.3Aの線を用いて分光的検出定量が可能と
なつた。
で真空分光器とプラズマ炎との間の入射光路を不
活性ガス雰囲気としたから光源と分光器との間が
離れていても真空紫外域の波長の光の吸収は殆ん
どなく、分光器がプラズマ炎の高温により加熱さ
れると云うトラブルも起らず、プラズマ光源を用
いた真空紫外域の発光分光分析が可能となつた。
例えば従来鉄鋼材料における燐、硫黄の分光的検
出定量には適当な方法がなく、燐については普通
紫外域の2136Åの線を用いていたが感度が低く硫
黄については普通紫外から可視域にかけて適当な
輝線がなく分光的検出、定量は甚だ困難であつ
た。分光法は試料が微量で足り迅速に結果が得ら
れるので工程管理において特に有効な方法である
が、本考案によれば燐の1782.9Åの線を用いて鋼
中の0.001％の定量感度が得られ、硫黄について
も1807.3Aの線を用いて分光的検出定量が可能と
なつた。
図面は本考案の一実施例の要部を示す側面図で
ある。 １……分光器、２……光入射窓の石英レンズ、
３……プラズマトーチ管、４……試料導入管、５
……外套管、６……高周波コイル、７……筒、８
……アルゴン供給管、９……石英管。
ある。 １……分光器、２……光入射窓の石英レンズ、
３……プラズマトーチ管、４……試料導入管、５
……外套管、６……高周波コイル、７……筒、８
……アルゴン供給管、９……石英管。
Claims (1)
- プラズマ光源と真空分光器の光入射窓との間に
耐熱管を配置し、この管に分光器の側からプラズ
マ光源の側へ向けて不活性ガスを流通させるよう
にした発光分光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981074838U JPS6135960Y2 (ja) | 1981-05-22 | 1981-05-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981074838U JPS6135960Y2 (ja) | 1981-05-22 | 1981-05-22 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57186851U JPS57186851U (ja) | 1982-11-27 |
| JPS6135960Y2 true JPS6135960Y2 (ja) | 1986-10-18 |
Family
ID=29870598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1981074838U Expired JPS6135960Y2 (ja) | 1981-05-22 | 1981-05-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6135960Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0241564Y2 (ja) * | 1985-08-30 | 1990-11-06 | ||
| JPH06100543B2 (ja) * | 1985-10-31 | 1994-12-12 | 株式会社島津製作所 | 発光分光分析装置 |
-
1981
- 1981-05-22 JP JP1981074838U patent/JPS6135960Y2/ja not_active Expired
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| AMERICAN CHEMICAL SOCIETY=1978 * |
| ANALYTICA CHIMICA ACTA=1972 * |
| APPLIED SPECTROSCOPY=1980 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57186851U (ja) | 1982-11-27 |
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