JPH0523568Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、コンパクト・デイスク（Ｃ・Ｄ）の
ようなフイルム（10〜100μm厚）に薄膜を形成す
る成膜装置等において利用可能なフイルムの張力
調整機構に関するものである。

［従来の技術］ 成膜装置をはじめとして、一般にフイルムを保
持するための機構においては、フイルムにしわの
寄らない緊張状態を保つことが肝要である。従来
はこの対策として、フイルム外周を挟持する保持
リングの断面形状を改良してフイルムの張力を持
続させる工夫が主に行われている。

［考案が解決しようとする問題点］ しかし、このような改良工夫によつては、その
取付時にフイルムに与えられる張力を保持する上
では有効となるも、取付後の要因により一旦フイ
ルムが弛緩すると元の緊張状態を復元できないこ
とがある。また、既往のものにはフイルム厚等の
条件に応じてそのフイルム張力を調整できるもの
も見当たらないのが現状である。

本考案は、かかる実情に着目し、保持リングに
セツトした後フイルムに外力や熱が加わることが
あつても、フイルム面をフラツトな緊張状態に保
持することができ、しかもそのフイルム張力を自
在に可変調整できるフイルム張力調整機構を新た
に提供せんとするものである。

［問題点を解決するための手段］ 本考案に係るフイルム張力調整機構は、フイル
ムの外周を挟持する保持リングと、この保持リン
グに保持されたフイルムをその一面から環状に押
えるインナーリングと、このインナーリングと前
記保持リングとの間で該インナーリングと反対側
の面からフイルムを環状に押える昇降自在のアウ
ターリングとを具備するとともに、前記アウター
リングに、該アウターリングをフイルムに付勢す
るバネを付設し、かつこのバネのバネ力を調整自
在に構成してなることを特徴としている。

［作用］ このように構成したものであると、フイルムに
は、保持リングの内周近傍を押えるアウターリン
グの押え力（バネ力）が内側のインナーリングを
支点として、全周から均等に径方向の張力を作用
することになるため、フイルムが外力や加熱によ
り変形したり伸びたりしても、アウターリングの
降下によつてこれを吸収し、インナーリングの内
周でフイルムに弛みを生じることがなくなる。そ
して、この取付状態でのフイルム張力は、アウタ
ーリングがインナーリングを支点として作用する
押え力と釣合うものだから、昇降自在のアウター
リングを付勢するバネのバネ力を可変することで
フイルム張力を自在に調整することができる。

［実施例］ 以下、本考案の一実施例を図面を参照して説明
する。

第１図は、真空成膜装置におけるチヤンバの頂
部に着脱自在に取付けられるフイルムホルダ１に
本考案に係るフイルム張力調整機構を装備した場
合を図示している。

このホルダ１は、ベアリング１０の上に載置さ
れて図示省略しているチヤンバの開口部に回転可
能に装着されている。ホルダ１は、ベアリング１
０のボールガイド上に接触支持される断面Ｌ形の
本体部分２から、内方に鍔状のインナーリング３
を一体に延出したものである。インナーリング３
は、その外周基端部３ｂが水平な平面に形成して
いる一方で、その先端部３ａは上面に環状の凹陥
部４を形成するように一旦下方に屈曲させた後、
先端を上向きに屈曲させるように形成してある。
なお、インナーリング３の先端には適当な円弧面
を形成している。

そして、このインナーリング３における基端部
３ｂの上面にフイルム保持用の保持リング５を取
付けるようにしている。保持リング５は上下一対
の押えリングを締着し、その間にフイルムＦの外
周を挟持して、フイルムＦに適当な張力を与えて
これを緊張状態に保つようにしたものである。こ
の保持リング５は、その外周の適数箇所からイン
ナーリング３の基端部２ａに止め螺子７を挿着し
て該インナーリング３に着脱可能に固定するよう
にしている。そして、フイルムＦはこれを挟持す
る保持リング５と共に反転してインナーリング３
に取付けることで、その上下面の入替が至便に行
なえるものとなつている。なお、保持リング５の
取付部位に当るインナーリング３には前記螺子７
の取付孔８が開けられ、保持リング５をその下面
側からも取着できるようにしている。そして、イ
ンナーリング３の下方にはこの取付孔８を被覆す
るようにＴカバー９を延設している。

また、上記フイルムホルダ１の内周には、断面
門形のアウターリング１１を昇降自在に装入して
いる。このアウターリング１１は、その外周基端
部１１ｂをホルダ１の内周に摺動可能に添接させ
ている一方、該基端部１１ｂとフラツトな頂辺部
１１ｃを介して一体に連設されて垂下されるその
内周先端部１１ａをフイルム面に当接させ、フイ
ルムＦにその自重を負荷して支持するようにして
いる。そして、このアウターリング１１の先端部
１１ａは、その先端に適当な円弧面を形成してい
るとともに先端近傍部を内方に屈曲させて、ホル
ダ１内の取付状態でその先端が前記インナーリン
グ３の凹陥部４と丁度対向するようにしている。
換言すれば、ホルダ１にセツトされたアウターリ
ング１１は、その先端部１１ａがインナーリング
３の凹陥部４にほぼ当接するまでのストロークで
下降変位することができる。そして、このアウタ
ーリング１１は、その先端部１１ａがインナーリ
ング３（ホルダ１）上の保持リング５に緊張状態
で水平に張架されているフイルムＦの上面と環状
に接触してこれを押し下げ、フイルムＦの下面が
固定位置の前記インナーリング３の先端部３ａと
同じく環状に接触して該インナーリング３からの
反力（押上力）を受ける釣合状態の下で、ホルダ
１内のフイルム上に保持される。

そして、このアウターリング１１にフイルムＦ
に対するその押下力を調整するための圧縮バネ１
２を利用した調整機構を付設している。この機構
について詳述すると、まずアウターリング１１に
は前記頂辺部１１ｃで適数箇所テンシヨンピン１
３を植立している。各テンシヨンピン１３は、外
周に螺子を切つた外筒１４を介してアウターリン
グ１１に挿脱自在に嵌装されているとともに、頂
辺部１１ｃの上でその外筒１４に調整ワツシヤ１
５を螺合している。そして、この調整ワツシヤ１
５とテンシヨンピン１３のヘツド１３ａとの間に
前記バネ１２を介在させているとともに、テンシ
ヨンピン１３のヘツド１３ａを、フイルムホルダ
１の上端にスタツドピン１６を介して着脱自在に
蓋着している押え用開口蓋１７の内面に当接規制
させている。かくして、頂辺部１１ｃの上に付設
した圧縮バネ１２はアウターリング１１を下方の
フイルムＦに向けて垂直に付勢することになり、
結局アウターリング１１はフイルムＦに対しその
自重にこのバネ１２のバネ力を加えた押下力をフ
イルム面に与えることになる。そして、このバネ
１２のバネ力の大きさは、その調整ワツシヤ１５
を回転操作し、該調整ワツシヤ１５とテンシヨン
ピンヘツド１３ａとの距離を可変することにより
自在に調整することができる。

なお図示例においては、上述したフイルム張力
調整機構を保有するフイルムホルダ１に、そのフ
イルムＦを加熱し、また成膜時においてこれを回
転させる目的で、その上方から先端にヒータ（熱
媒ジヤケツト）１９と回転蓋２０とを有するワー
ク回転軸１８を係脱自在に係合させている。すな
わち、ワーク回転軸１８の軸心には、該回転軸１
８の内部を通して熱媒を流通するようにしたヒー
タ１９が突設されており、このワーク回転軸１８
を所定位置まで降下させると、ヒータ１９がフイ
ルムＦの上面に接触してこれを直接加熱できるも
のとしている。また、このワーク回転軸１８は回
転機構と昇降機構とを備え（図示省略）、その先
端のヒータ外周にはすべりキー２１を介して摺動
自在に往復動する回転蓋２０を連結している。こ
の回転蓋２０は、ワーク回転軸１８の上方に固設
したカラー２２との間に押え用の圧縮バネ２３を
介装しているとともに、その外周下端に歯付クラ
ツチリング２４を固設している。そして、ワーク
回転軸１８を同心位置のフイルムホルダ１に対し
て降下させると、まずこの歯付クラツチリング２
４がホルダ１の上端に対をなして固設してある歯
付クラツチリング２５と係合し、この状態から更
にワーク回転軸１８を降下させると前記ヒータ１
９がフイルム面に接触すると同時に、歯付クラツ
チリング２４，２５同士が強固に噛合つて、ホル
ダ１を回転蓋２０を介してワーク回転軸１８と同
期回転できるものとしている。

さて、上述したような構成のフイルム張力調整
機構であれば、ホルダ１にフイルムＦを緊張状態
でセツトした後に、その上面にヒータ１９を接触
させることや該ヒータ１９でフイルムＦを加熱す
ることに伴う外力や熱の作用を受けても、フイル
ムＦが変形したり伸びたりして弛みを生じること
がない。すなわち、フイルムＦにはその外周近傍
でアウターリング１１の先端部１１ａからバネ力
等による一定のフイルム押え力ｆが常時付加され
ることになるが、第２図に示すように、この押え
力ｆはその内周のインナーリング３の先端部３ａ
を支点として、フイルムＦを絶えず全周から径方
向に引張る張力Ｔを均等に発生することになるた
め、外力、熱等でフイルムＦに変形や伸びを生じ
ようとしても、これを吸収するようにアウターリ
ング１１が下降して緊張状態が復元されることに
なるからである。

そして、保持リング５に保持されたフイルムＦ
の張力Ｔはいずれにしてもアウターリング１１の
押え力ｆと釣合うものとされるが、この張力調整
機構によると、アウターリング１１に付設する圧
縮バネ１２のバネ力を可変することで、フイルム
張力Ｔをフイルム条件や成膜条件等に合せて自在
に調整することが可能である。すなわち、このも
のでは第３図に示すように、アウターリング１１
の上に立てたテンシヨンピン１３のまわりの外筒
１４と調整ワツシヤ１５とを相対的に螺進退する
操作により、圧縮バネ１２のストロークを増減
し、これによりそのバネ１２のバネ力を簡易に調
整することができるからである。

なお、この実施例に示す機構では、インナーリ
ング３を兼ねるフイルムホルダ１の内周にフリー
にしてアウターリング１１を装入する構造である
から、ホルダ上端の押え用開口蓋１７の脱着操作
を介して保持リング５に挟持されたフイルムＦの
装脱およびその上下面の入替作業が簡便に行なえ
るものである。

以上、主として成膜装置のフイルムホルダに利
用する場合について説明したが、本考案は他の用
途のフイルム保持機構にも同様に利用できるもの
である。また、インナーリング３とアウターリン
グ１１の配置関係やそれらの取付構造、さらにア
ウターリング１１を付勢するバネ１２のセツテイ
ング構造も図示例に限らずその他種々変形可能で
ある。

［考案の効果］ 以上に説明した通り、本考案のフイルム張力調
整機構によれば、保持リングにセツトしたフイル
ムに外力や熱に起因して弛みを生じることがない
上に、フイルム張力を自在に調整できる構造簡単
にして新規有用なる機構を実現することができた
ものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す張力調整機構
等の断面図である。第２図と第３図はその要部の
作用を示す各部分断面図である。 Ｆ……フイルム、１……フイルムホルダ、２…
…ホルダ本体部分、３……インナーリング、４…
…凹陥部、５……保持リング、１１……アウター
リング、１２……圧縮バネ、１３……テンシヨン
ピン、１４……外筒、１５……調整ワツシヤ、１
７……押え用開口蓋、１８……ワーク回転軸、１
９……ヒータ、２０……回転蓋、２４，２５……
歯付クラツチリング。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. フイルムの外周を挟持する保持リングと、この
   保持リングに保持されたフイルムをその一面から
   環状に押えるインナーリングと、このインナーリ
   ングと前記保持リングとの間で該インナーリング
   と反対側の面からフイルムを環状に押える昇降自
   在のアウターリングとを具備するとともに、前記
   アウターリングに、該アウターリングをフイルム
   に付勢するバネを付設し、かつこのバネのバネ力
   を調整自在に構成してなることを特徴とするフイ
   ルム保持機構。