JP2019044249A - アライメント装置、および、成膜装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施形態に係るアライメント装置およびそれを備える成膜装置を、図面に基づき説明する。同一もしくは対応する部材を複数有する場合、図面中にa、bなどの添え字を付与しているが、特定の部材を指す場合を除いて、a、bなどの添え字を省略して説明する。
本発明にかかるアライメント装置を用いたアライメント方法について、図7および図8を参照して説明する。図7は、撮像装置14として高倍率CCDカメラと低倍率CCDカメラを設置した場合の、本発明にかかるアライメントシーケンスを示すフローチャートである。まず、基板5が、ゲートバルブ15から不図示のロボットハンドに搭載して搬入され、受け爪26上に載置され、図8(a)の状態となる(S101)。
本発明にかかるアライメント装置1を用いた基板5とマスク6とのアライメントが完了すると、成膜工程を含むデバイスの製造工程が実施される。ここでは、本実施形態の成膜装置を用いた電子デバイスの製造方法の一例として有機EL装置の製造方法を説明する。
図11に、電子デバイス製造装置の一例示す。図11に示すように、複数の成膜装置111〜114と、搬送室110と、を有する。搬送室110内には、基板5を保持し搬送する搬送ロボット119が設けられている。搬送ロボット119は、例えば、多関節アームに、基板を保持するロボットハンドが取り付けられた構造をもつロボットであり、各成膜室への基板5の搬入/搬出を行う。製造装置は、成膜装置を4つ以上有していても良いし、他の処理を行う処理室がさらに連結されていても良い。各成膜装置として、本発明にかかる成膜装置を好適に用いることができる。
6 マスク
8 基板保持部
9 マスク保持部
10 Z昇降スライダ
11 回転並進機構
12 基板保持シャフト
13 Z昇降ベース
25 保持ベース
26 受け爪
27 クランプ
28 クランプユニット
32 クランプスライダ
34 駆動シャフト
36 電動シリンダ
Claims (12)
- マスクを載置するマスク保持部と、
矩形の基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部を前記マスク保持部に対して相対的に移動させる駆動部と、
を有するアライメント装置であって、
前記基板保持部は、互いに対向する、複数の受け爪と複数のクランプとを備え、前記受け爪と前記クランプとの間で前記基板の互いに対向する2辺の縁部を挟持する構成を有しており、
前記受け爪および前記クランプの基板を挟持する面は、基板の挟持された辺と対向する辺側が高くなるように傾斜し、前記受け爪の、前記基板を挟持する面と前記基板の挟持された辺と対向する辺側の側面とが曲面でつながっていることを特徴とするアライメント装置。 - 前記曲面の前記基板の中心線と直交する方向の断面形状は、半径が1mm以上10mm以下の円弧であることを特徴とする請求項1に記載のアライメント装置。
- 前記受け爪は複数の曲面の凸部で前記基板を挟持することを特徴とする請求項1または2に記載のアライメント装置。
- 前記基板保持部に保持された基板の位置と前記マスク保持部に保持されたマスクの位置とを取得する位置取得手段をさらに有しており、
前記駆動部は、前記位置取得手段で取得した前記基板の位置と前記マスクの位置とに応じて、前記基板保持部を前記マスク保持部に対して相対的に移動させることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のアライメント装置。 - 前記受け爪および前記クランプは、前記矩形の基板の長辺に沿って配設されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のアライメント方装置。
- 成膜チャンバと、
前記成膜チャンバの内部に設けられた、矩形の基板を保持する基板保持部およびマスクを保持するマスク保持部と、
前記マスク保持部と前記基板保持部との相対位置を制御する制御部と、
を有する成膜装置であって、
前記基板保持部は、互いに対向する、複数の受け爪と複数のクランプとを備え、前記受け爪と前記クランプとの間で前記基板の互いに対向する2辺の縁部を挟持する構成を有しており、
前記受け爪および前記クランプの基板を挟持する面は、前記基板の挟持された辺と対向する辺側が高くなるように傾斜し、前記受け爪の、前記基板を挟持する面と前記基板の挟持された辺と対向する辺側の側面とが曲面でつながっていることを特徴とする成膜装置。 - 前記曲面の前記基板の中心線と直交する方向の断面形状は、半径が1mm以上10mm以下の円弧であることを特徴とする請求項6に記載の成膜装置。
- 前記受け爪は、複数の曲面の凸部で前記基板を挟持することを特徴とする請求項6または7に記載の成膜装置。
- 前記基板保持部に保持された基板の位置と前記マスク保持部に保持されたマスクの位置とを取得する位置取得手段をさらに有しており、
前記駆動部は、前記位置取得手段で取得した前記基板の位置と前記マスクの位置とに応じて、前記基板保持部を前記マスク保持部に対して相対的に移動させることを特徴とする請求項6から8のいずれか1項に記載の成膜装置。 - 複数の前記受け爪および前記クランプは、前記矩形の基板の長辺に沿って配設されていることを特徴とする請求項6から9のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記基板に成膜するための成膜源が設置されることを特徴とする請求項6から10のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記成膜源が蒸着源であることを特徴とする請求項11に記載の成膜装置。
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WO2022196017A1 (ja) * | 2021-03-18 | 2022-09-22 | 東レエンジニアリング株式会社 | 基板保持装置 |
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