JPH0522834Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、光源から分光器へ光線を導く真空
通路の遮断用ゲート弁に関するものである。

このようなゲート弁は、例えば超高真空に維持
される電子加速器からシンクロトロン放射される
光線を分光器に導いてこれから分光された紫外線
単色光を半導体などの試料に照射し、これによつ
て試料の光電子放射スペクトルまたは発光スペク
トルを求め、それに基いて試料物質の電子構造を
探求する実験装置などに広く使用される。この際
に分光器および試料は気密室の中に配置され、気
密室は電子加速器から分岐するダクトに気密的に
連結され、気密室及びダクトの中も超高真空に維
持される。従つて、ダクトは真空通路を形成し、
この真空通路中に光線の光路が含まれている。

このような実験装置においては、閉弁時に真空
通路を気密的に遮断するようなゲート弁がダクト
に取付けられる。このゲート弁は、例えばこのよ
うな実験を効果的に行なうために是非とも必要な
光軸合わせすなわち分光器から射出される単色光
の光軸と試料の中心とを正確に一致させる作業を
行なう際に作動される。従来この光軸合わせは、
紫外線が肉眼で見えないため分光器からの０次光
（鏡面反射によつて分光器から射出される可視光）
を使用して行なわれている。すなわち、ゲート弁
を閉じて気密室側と電子加速器側とを気密的に遮
断した状態で分光器を収容した気密室の中に試料
を配置し、気密室を超高真空に排気した後、ゲー
ト弁を開いて電子加速器からの光線によつて光軸
合わせが行なわれる。

従つてこの場合にはゲート弁の開閉及び気密室
の排気という複雑な操作が必要であるばかりでな
く、超高真空内の作動を大気中から達成するため
の高価で複雑な操作を必要とし、また光軸合わせ
には時間がかかるという問題点があつた。さら
に、シンクロトロン放射光の生成のためには多大
な電子加速器の運転費用が必要となり、経費の点
でも光軸合わせ操作は莫大なものとなつていた。

そこで、この考案の目的は、上述したような従
来のゲート弁の使用に伴う問題点を解決して光軸
合わせを簡単にできるようにした新規なゲート弁
を提供することにある。

この目的の達成のために、この考案によれば、
光源から分光器へ光線を導く真空通路を遮断する
ため、真空通路を環状に包囲する弁座と、閉弁位
置で弁座に気密接触して真空通路を気密的に遮断
する弁板とを有するゲート弁において、弁板が前
記光線の波長に対して透明な材料で形成された窓
部分を備え、閉弁時にも前記光線が遮断されるこ
となく進行できるように構成したことを特徴とし
ている。

以下図面を参照してさらに説明する。

第４図〜第６図には分光器に通じる真空通路を
遮断するのに用いられる従来型のゲート弁を示
し、ゲート弁１０のハウジング１１は、互に平行
な壁部分１２，１３を有し、これら壁部分１２，
１３には、共通の軸線１４を有し互に対面する開
口１５，１６が形成されている。開口１５のまわ
りの壁部分１２の内面は弁座１７を構成してい
る。弁軸１８は軸線１４に直交する方向（すなわ
ち壁部分１２，１３に平行）に延長し、そしてこ
の方向に移動できる。この弁軸１８はその移動に
伴つて壁部分１２，１３の間の間〓に出入できる
頭部１９を有し、この頭部１９は弁板２０を支持
している。弁板２０は公知のようにリンク２１、
ピン２２、長２３、ばね２４などに作動結合され
ていて、これらの要素の作用によつて弁軸１８
は、第４図の後退位置から前進して第５図に示す
ようにリンク２１がハウジング１１の一部分に当
接するまでは壁部分１２，１３に接触することな
くこれらに平行に移動し、弁軸１８がさらに前進
するときには壁部分１２に平行な配置を保ちなが
らこの壁部分１２の弁座１７に第６図に示すよう
に接触しかつ押付けられる。弁板２０は弁座１７
に対面するようになる位置に０−リングシール２
５を有し、従つて、弁板２０が弁座１７に押付け
られたときに開口１５は気密的に遮断される。上
述したようなゲート弁１０の作動及びこれに関連
する構成の詳細は当業者によく知られているもの
であり、それらの詳しい説明は省略する。

第１図及び第２図にはこの考案の一実施例によ
るゲート弁の要部を示し、第４図〜第６図のゲー
ト弁に対応した部分は同じ符号で示す。

この考案によれば、弁板２０はその中央に詳し
く言えば弁座１７に押付けられたときに軸線１４
と交わる場所に窓部分２６を有している。この窓
部分２６には弁板２０には第１図に示されるよう
な特殊形状の貫通孔２７が形成されている。そし
て窓部分２６には、貫通孔２７を包囲するように
弁板２０に取付けられた０リングシール２８、こ
れに周縁部で接触する透明板２９、０リングシー
ル２８の反対側で透明板２９の周縁部に接触する
環状のシール板３０、及びシール板３０に重ねら
れる環状の締付板３１が順次配置され、締付板３
１をビス３２によつて弁板２０に締付けることに
よつて透明板２９が弁板２０に気密的に固定取付
けされる。このようにして弁板２０には透明材料
で作られた窓部分２６が形成される。

上述のように構成され作動するゲート弁１０
は、例えば第３図に示されるように電子加速器３
３から分岐するダクト３４の中に気密連結で取付
けられる。ダクト３４はその終端で気密室３５に
気密的に接続され、その中に分光器３６が収容さ
れている。このような構成によれば、ゲート弁１
０を開いた状態で電子加速器３３からシンクロト
ロン放射され、ダクト３４の中の光路３７に沿つ
て進む光線は分光器３６に導かれ、概述したよう
な実験が達成できる。以上の点は従来のゲート弁
の場合と同様であるが、この考案のゲート弁１０
を用いた場合には光軸合わせが閉弁時に達成で
き、従つて気密室３５内が真空でないときも達成
できる。すなわち閉弁時に光路３７を進む光線は
透明な材料で作られた弁板２０の窓部分２６を透
過して分光器３６に到着し、これによつて光軸合
わせが達成できる。

上述したことから明らかなように、この考案の
ゲート弁１０は光路３７を含むダクト３４などの
真空通路を遮断するに適し、その弁座１７は真空
通路の一部である開口１５を環状に包囲するよう
に配置される。弁板２０は閉弁時に弁座１７に接
触して０リングシールの作用によつて真空通路を
気密遮断する。弁板２０には窓部分２６が設けら
れ、この窓部分２６の主要構成要素である透明板
２９は詳しく言えば光路３７を進行させるべき光
線の波長に対して透明な材料例えばガラスで形成
される。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案のゲート弁の一実施例の要部
の構成を示す第２図のＢ−Ｂに沿つて矢印方向に
見た拡大部分断面図、第２図はこの考案によるゲ
ート弁の軸線を通る部分垂直断面図、第３図はこ
の考案によるゲート弁を取付けた実験装置を概略
的に示す線図、第４図は従来型のゲート弁の第１
作動位置を示す概略断面図、第５図は第４図のゲ
ート弁の第２作動位置を示す第４図に対応する
図、第６図は第４図のゲート弁の第３作動位置を
示す第４図及び第５図に対応する図である。 図中、１０はゲート弁、１７は弁座、２０は弁
板、２６は窓部分、２９は窓部分に設けた透明な
材料の板、３４は真空通路を囲むダクト、３７は
光路を示す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 光源から分光器へ光線を導く真空通路を遮断す
   るため、真空通路を環状に包囲する弁座と、閉弁
   位置で弁座に気密接触して真空通路を気密的に遮
   断する弁板とを有するゲート弁において、弁板が
   前記光線の波長に対して透明な材料で形成された
   窓部分を備え、よつて閉弁時にも前記光線が遮断
   されることなく進行できるように構成したことを
   特徴とするゲート弁。