JP4049478B2 - クリーンルームへの荷電粒子線装置設置方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム、クリーンルームに設置される電子線描画装置、集束イオンビーム装置、走査電子顕微鏡等、電子線やイオンビーム等の荷電粒子線を利用して描画、加工、観察、測定検査等を行う荷電粒子線装置に係り、クリーンルームへの荷電粒子線装置設置方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体ウエハに微細な回路パターンを形成する半導体装置等の製造プロセスでは、歩留まり向上のために塵埃の発生を防止すること及び半導体ウエハ等への塵埃の付着を極力回避することが必須である。そのために、電子線描画装置、集束イオンビーム装置、走査電子顕微鏡など、半導体製造プロセスで使用される荷電粒子線装置はクリーンルーム内に設置され、これらの荷電粒子線装置を用いた処理や検査は清浄空間内で行われる。
【0003】
図9は、従来のクリーンルームを示す平面模式図である。クリーンルーム100は隔壁101によって外界と区画され、クリーンルーム100の内部には空気清浄機107によって高度に清浄化され、また温度及び湿度が一定に調整された空気が循環するようになっている。また、クリーンルーム100には、装置類の搬入、搬出や作業員の出入りのために使用される出入り口102,103が設けられている。出入り口102,103はそれぞれ二重の扉102a,103aを備えている。クリーンルーム内に設置される荷電粒子線装置をはじめとするプロセス処理装置105a〜105fはこの出入り口102,103を通して搬入あるいは搬出される。
【0004】
上記のように従来は、荷電粒子線装置をクリーンルームの清浄空間内に設置する場合、装置全体を清浄空間内に搬入するため、荷電粒子線装置の搬入時に清浄空間が一時的に清浄空間外の大気にさらされることになる。また、大型の荷電粒子線装置を搬入する場合、配置によっては時間がかかり、その間は装置の移動により清浄空間内に塵埃が発生するため、その周囲では本来の清浄空間内作業を行うことができない。荷電粒子線装置のメンテナンスのために大きな部品の交換などを行う時も同様の不具合がある。また、通常使用時も荷電粒子線装置から発生する塵埃が清浄空間内に拡散する可能性がある。
【0005】
本発明は、このような従来技術の問題点に鑑み、クリーンルームへの設置時や装置のメンテナンス時、あるいは装置動作時に清浄空間の汚染を抑制することのできる、クリーンルームへの荷電粒子線装置設置方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明によるクリーンルームへの荷電粒子線装置設置方法は、隔壁によって外部空間と区画された内部が清浄空間となったクリーンルームに対し、真空排気される試料室と、試料室内に配置された試料に荷電粒子線を照射する手段と、搬送する試料の試料受け入れ部を有する試料搬送機構と、試料像を表示するための画面とを備える荷電粒子線装置を設置するためのクリーンルームへの荷電粒子線装置設置方法であって、隔壁には、試料受け入れ部の位置に対応させて、試料を載置した試料カセットが通過可能な開口面積を有する開口部が、蓋材によって封止されていると共に、荷電粒子線装置とクリーンルームとの間を電気的に連結する電気連結部と、画面をクリーンルーム側から目視可能とするための隔壁透明部とが、開口部とは別に設けられ、蓋材によって封止された開口部に試料受け入れ部を対向させて、荷電粒子線装置を隔壁の外部空間側に配置する工程、開口部を介して試料カセットを荷電粒子線装置の記試料受け入れ部へ搬送するために、開口部を封止する蓋材を取り外す工程、開口部を介して、試料受け入れ部のみをクリーンルーム内部の清浄空間に連通する工程、及び、荷電粒子線装置とクリーンルームとの間を、電気連結部を介して、電気的に連結する工程、を有することを特徴とする。
【0007】
このような工程を有するクリーンルームに設置される本発明のクリーンルームへの荷電粒子線装置設置方法は、その連通工程は、荷電粒子線装置に備えられ、試料受け入れ部と開口部との間の試料搬送経路を気密に包囲するための包囲手段の開放部を、開口部を取り囲む隔壁部分に連結する共に、隔壁の内外を電気的に接続するために隔壁に開口部とは別に設けられている電気連結部を介して、前記荷電粒子線装置と前記クリーンルームとの間とを電気的に連結することによって行うことを特徴とする。
【0008】
本発明によるクリーンルームへの荷電粒子線装置設置方法によれば、荷電粒子線装置は、試料室、荷電粒子線照射手段及び試料搬送機構は隔壁の外部空間側に配置され、試料は隔壁に設けられた開口部を通して清浄空間側から供給されることになる。さらに、荷電粒子線装置の例えば、入出力装置といった装置部が隔壁の清浄空間側に配置される場合であっても、電気連結部を介して隔壁の清浄空間側と外部空間側との間で、より簡単な連結が可能となる。
【0009】
本発明によるクリーンルームへの荷電粒子線装置設置方法によれば、試料室、荷電粒子線照射手段及び試料搬送機構を隔壁の外部空間側に配置し、試料受け入れ部と開口部との間の試料搬送経路の周囲を包囲手段によって気密に包囲することになる。
【0010】
包囲手段は、可撓性部材を適度なばね弾性と粘性減衰性をもつ可撓性部材からなる連結部を含むことが好ましい。
荷電粒子線装置が表示手段を備えている場合には、隔壁に透明部を設け、荷電粒子線装置の表示手段を隔壁の外部空間側に透明部に正対して配置することができる。
【0011】
また、荷電粒子線装置が荷電粒子線装置に対して手動操作を行うための入力手段及び/又は荷電粒子線装置の状態を表示する出力手段を備えている場合には、その入力手段や出力手段を隔壁の清浄空間側に配置することができる。これらの入力手段や出力手段は、隔壁に設けられた電気接続部を介して外部空間側に配置された荷電粒子線装置と電気的に接続される。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
図1は、荷電粒子線装置の一例を示す概略説明図である。電子源やイオン源等の荷電粒子源1より放出された荷電粒子線2は、対物レンズ3により集束されて可動な試料ステージ5に保持された試料4上に照射される。荷電粒子線照射によって試料4から発生した二次電子等の試料信号8は検出器9により検知され、その検出信号に基づいて表示装置10の画面11上に試料像が表示される。真空排気された試料室6にはバルブ16を介して中間室7が接続されており、試料4は搬送機構26によって真空外から中間室7を介して試料室6内に搬送される。
【0014】
図1には試料から発生した二次電子等の試料信号による試料像を表示する荷電粒子線装置を示したが、本発明の対象となる荷電粒子線装置には、試料信号によって試料像を表示することなく、信号処理のみを行う荷電粒子線装置もあるし、特に試料信号を検出しない荷電粒子線装置もある。また、荷電粒子線装置を手動で操作する必要がある場合には、つまみを備えたコンソール12、キーボード13、マウス14などの入力装置を備えることがあるし、正常稼働状態、異常停止状態、待機状態などの装置状態を表示する必要がある場合には表示灯31などの出力装置を備えることがある。
【0015】
図2は、本発明によるクリーンルームの一例の平面模式図である。このクリーンルーム50は、隔壁51によって外部空間と区画され、クリーンルーム50の内部には空気清浄機57によって高度に清浄化され、また温度及び湿度が一定に調整された清浄空気が循環するようになっている。また、クリーンルーム50には、装置類の搬入、搬出や作業員の出入りのために使用される出入り口52,53が設けられている。出入り口52,53はそれぞれ二重の扉52a,53aを備えている。そして、出入り口52,53や隔壁51の隙間を介して外部から塵埃を含んだ空気がクリーンルーム内に流入することがないように、クリーンルーム50内は外部空間に対してわずかに高い圧力に維持されている。
【0016】
本発明のクリーンルーム50においては、クリーンルームに設置される荷電粒子線装置55a,55b,55cは、本体をクリーンルーム50の外部に配設し、試料受け入れ部のみが隔壁51に設けられた開口部(後述する)を介してクリーンルーム内部の清浄空間と接続される。光露光装置、エッチング装置等、荷電粒子線装置以外のプロセス処理装置56a,56b,56cは、従来と同様に出入り口52,53を通して搬入され、クリーンルーム50内の清浄空間に設置される。
【0017】
図3は本発明によるクリーンルーム50の隔壁51の構造を説明する概略図であり、図3(a)は隔壁の一部の正面模式図、図3(b)はそのAA断面模式図である。隔壁51の一部には開口部61a,61b,…が設けられている。また、その開口部61a,61b,…と一定の位置関係をもって透明部62a,62b,…が設けられ、隔壁51の内外を電気的に接続する電気連結部63a,63b,…が設けられている。開口部61a,61b,…は、荷電粒子線装置55a,55b,…の試料受け入れ部の位置に対応して設けられている。透明部62a,62b,…は、隔壁51のその位置に開口を設け、透明板をはめ込むことで形成することができる。透明部62a,62b,…は荷電粒子線装置55a,55b,…の表示装置の位置に対応して設けられ、電気連結部63a,63b,…は荷電粒子線装置55a,55b,…の電気的入出力部に対応して設けられている。
【0018】
開口部61a,61b,…は、使用しない場合、すなわちその外側に荷電粒子線装置を設置しない場合には蓋をされて封止されている。透明部62a,62b,…は、隔壁51のその位置に開口部を設け、その外側に荷電粒子線装置を設置する場合には開口部に透明板をはめ込み、荷電粒子線装置を設置しない場合には開口部を不透明な板材で閉じるようにしてもよい。なお、これらの開口部や透明部、電気連結部は必ずしもクリーンルーム50の隔壁51の全面に設ける必要はなく、隔壁51の一部分に設けるだけでもよい。
【0019】
次に、図4と図5を用いてクリーンルームへの荷電粒子線装置の設置方法の一例について説明する。図4は、クリーンルームへの荷電粒子線装置の設置方法を説明する概略平面図、図5はクリーンルームに設置された荷電粒子線装置をクリーンルームの内側から見た概略図である。
荷電粒子線装置55は、試料カセット置き台20がクリーンルームの清浄空間内となるように隔壁51の開口部61の位置に正対して置かれ、隔壁側連結部19と対応する位置に装置側連結部17が位置する。装置正面から見れば、図5に示すように、隔壁開口部61の位置にカセット置き台20と試料カセット21のみが見える構成となる。
【0020】
荷電粒子線装置55の搬入時は、隔壁51の外側(クリーンルームの清浄空間外の空間)に装置55を搬入後、隔壁開口部61を塞いでいる仮のふたを取り外し、装置側連結部17と隔壁側連結部19を連結矢印25の方向に連結することにより、クリーンルーム内の清浄空間をほとんど清浄空間外大気にさらすことなく装置を設置することができる。このとき、荷電粒子線装置55と隔壁51を連結するための明確に分割された装置側連結部と隔壁側連結部をもたない構造も可能である。またこのような構成により、通常動作時に荷電粒子線装置55から塵埃が発生することがあっても、装置55が発生する塵埃が清浄空間内に拡散することがない。
【0021】
ここで、荷電粒子線装置55の中間室7と試料室6との間で試料の搬送を行う搬送機構26(図1参照)は、一般に真空内にあり隔離されているため、清浄空間外大気にさらされることはないが、試料カセット21と中間室7との間において試料の搬送を行う搬送機構28は大気中に露出して設置されている。そのため、試料カセット21と中間室7との間における試料搬送中に試料が清浄空間外大気にさらされる場合には、搬送機構28の搬送経路を遮蔽物32で清浄空間外大気から遮蔽することにより、試料の搬送機構28を清浄空間内のみに配置することが可能となる。
【0022】
また、荷電粒子線装置55が隔壁51と堅固な部材で保持されると床振動などの外部振動が隔壁51を通して装置55に伝達する。これを避けるため、連結部が適当なばね定数と粘性減衰性をもつ可撓性の部材、例えば蛇腹のようなばね連結部18を備えることにより、外部振動の影響を遮断することができる。また、ばね連結部18を設けると、装置側連結部17と隔壁側連結部19とを連結する時、微妙な位置ずれがある場合でも、この部分で位置ずれを吸収することができるという2次的な効果もある。
【0023】
荷電粒子線装置55が試料像等を表示する表示装置10を有する場合、隔壁51に設けられた隔壁透明部62と正対する位置に表示装置10の画面11を配置することにより、クリーンルームの清浄空間内から透明部62を介して画面11の情報を見ることができるようになる。さらに、荷電粒子線装置55がコンソール12、キーボード13、マウス14、表示灯31などの入出力装置を備える場合、それらの入出力装置を隔壁51の清浄空間側に配置することにより、清浄空間内にいる作業員は装置55との情報交換を行うことができる。この時、入出力装置の信号伝達経路の連結部を隔壁51のある定まった位置に設けた隔壁側電気連結部30と容易に連結できるように、荷電粒子線装置55の特定の位置に装置側電気連結部29を設けることにより、より簡単に連結が可能となる。
【0024】
次に、図4を用いて、試料カセット21と試料室6の試料ステージ5の間で試料を搬送する試料搬送機構の通常の構成例を説明する。試料搬送機構は、試料カセット21と中間室7との間で試料を搬送する搬送機構28と、中間室7と試料室6へ搬送する搬送機構26(図1参照)よりなる。試料4は試料カセット21に複数セットされた状態で、搬送機構の入り口である試料カセット置き台20に設置される。試料は搬送機構28の試料搬送アームで試料カセット21より取り出され、中間室7を大気解放後、バルブ15を開けて中間室7へ送られる。その後バルブ15を閉め、中間室7内の真空引きを行った後、試料室6に連通するバルブ16を開ける。次に、試料は搬送機構26により中間室7から試料室6の試料ステージ5に送られ、その後バルブ16を閉める。試料室6から試料4を搬出する場合は、以上と逆の操作を行う。搬送機構の構成は、中間室を2室設けるなどの別の構成をとることができるが、それらの構成にかかわらず搬送機構を持ちさえすれば、本発明の適用は可能である。 図6は、本発明によるクリーンルームへの荷電粒子線装置の設置方法の他の例を説明する概略平面図である。図6は図4に相当する図であり、図6において図4と同じ機能の部分には図4と同じ番号を付し、重複する説明を省略する。なお、クリーンルーム及びその隔壁は、図2及び図3にて説明したのと同様の構造を有する。
【0025】
この例においては、荷電粒子線装置55は装置側隔壁71と一体の構造をとり、隔壁側隔壁71の装置側連結部17a及び装置側電気連結部29aと隔壁側連結部19及び隔壁側電気連結部30とを連結する。装置側隔壁71は、荷電粒子線装置55に専用の装置一台分の大きさの隔壁であり、クリーンルームの隔壁51と類似の構造を有する。すなわち、装置側隔壁71は、隔壁51の開口部61に相当する位置に開口部61aを有し、隔壁51の透明部62に相当する位置に開口部62aを有する。
【0026】
従って、荷電粒子線装置55と装置側隔壁71を予め連結して組み立てておき、それを搬入して装置側隔壁71をクリーンルーム隔壁51の外側に連結することにより、短時間で荷電粒子線装置55をクリーンルーム50に設置することができる。試料はクリーンルーム50の隔壁51の開口部61と装置側隔壁71の開口部61aを通して搬送機構28,26により試料室6に搬送され、表示装置10の画面11は装置側隔壁71の開口部62a及びクリーンルーム隔壁51の透明部62を介してクリーンルーム内から見ることができる。また、コンソール12、キーボード13、マウス14、表示灯31などの入出力装置も、図4の例の場合と同様に使用することができる。
【0027】
図7及び図8により、本発明の更に他の例について説明する。図7は図2に示したクリーンルーム50の隔壁51の構造の詳細を示し、図7(a)は隔壁51の一部の正面模式図、図7(b)はそのBB断面模式図である。図7に示すように、クリーンルーム50の隔壁51は、荷電粒子線装置の設置が予定される位置に対応して、取り外し可能な可動壁58a,58b,58c,…を有する。
【0028】
図8は、クリーンルームへの荷電粒子線装置の設置方法を説明する概略平面図である。図8は図4及び図6に相当する図であり、図8において図4あるいは図6と同じ機能の部分には図4と同じ番号を付し、重複する説明を省略する。
装置側隔壁81は、図6に示した装置側隔壁71とほぼ同様の構造を有し、荷電粒子線装置55は装置側隔壁81と一体に予め組み立てられて搬入される。装置側隔壁81は、クリーンルーム50の隔壁51に設けられた取り外し可能な可動壁58a,58b,58c,…と同じ寸法であり、開口部61bと透明部62cを有する。開口部61bは荷電粒子線装置の試料出し入れ部に相当する位置に設けられ、試料カセット置き台20が配置される。また、透明部62cは荷電粒子線装置55が備える表示装置10の画面11に正対している。試料側隔壁81には、コンソール12、キーボード13、マウス14、表示灯31などの入出力装置が予め接続されている。
【0029】
クリーンルームへの荷電粒子装置55を設置する際には、予め荷電粒子線装置55と装置側隔壁81とを一体に組み立てたものを例えばクリーンルーム50の隔壁51の可動壁58aの外側に接近して搬入し、そののち可動壁58aを取り外し、装置側連結部17bと隔壁側連結部19aとを連結することにより、可動壁58aを取り外した後のクリーンルーム隔壁51の開口部に装置側隔壁81を取り付ける。クリーンルームに設置された荷電粒子装置55をクリーンルームの内側から見ると、図5に示すように見える。
【0030】
この設置方法の場合、荷電粒子線装置の設置時に一時的にクリーンルームの清浄空間が清浄空間外大気にさらされるものの、その時間を最小にすることが可能である。そして、この場合、装置55と隔壁51とを一体化することにより、連結部を少なくすることができる。図3及び図4あるいは図6で説明した設置方法の場合には、予め定められた隔壁開口部、隔壁透明部、隔壁側電気連結部等の位置により、装置の構成部分の配置に制約が加わるが、図7及び図8に示した設置方法の場合、装置側隔壁81と装置側連結部17b以外の装置の構成部分は比較的自由に配置できるというメリットがある。
【0031】
【発明の効果】
本発明によると、試料搬送機構の入り口をクリーンルームの清浄空間を密閉する隔壁に連結できる構造を有することで、荷電粒子線装置を清浄空間外に置いたままで、清浄空間内で試料を受け渡しすることができるようになる。このことにより、従来の清浄空間内に荷電粒子線装置を設置する場合に比べ、清浄空間を保持したまま装置の搬入及びメンテナンスを行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】荷電粒子線装置の一例の概略説明図。
【図2】本発明によるクリーンルームの一例の平面模式図。
【図3】クリーンルームの隔壁の構造を示す図。
【図4】クリーンルームへの荷電粒子線装置の設置方法を説明する概略平面図。
【図5】クリーンルームに設置された荷電粒子線装置を内側から見た概略図。
【図6】クリーンルームへの荷電粒子線装置の設置方法の他の例を説明する概略平面図。
【図7】クリーンルームの隔壁の構造を示す図。
【図8】クリーンルームへの荷電粒子線装置の設置方法の他の例を説明する概略平面図。
【図9】従来のクリーンルームを示す平面模式図。
【符号の説明】
1…電子源、2…電子線、3…対物レンズ、4…試料、5…試料ステージ、6…試料室、7…中間室、8…二次電子、9…検出器、10…表示装置、11…画面、12…コンソール、13…キーボード、14…マウス、15…バルブ、16…バルブ、17…装置側連結部、18…ばね連結部、19…隔壁側連結部、20…試料カセット置き台、21…試料カセット、25…連結矢印、26…搬送機構、28…試料搬送機構、29…装置側電気連結部、30…隔壁側電気連結部、31…表示灯、32…遮蔽物、50…クリーンルーム、51…隔壁、52,53…出入り口、52a,53a…二重の扉、55…荷電粒子線装置、56…荷電粒子線装置以外のプロセス処理装置、57…空気清浄機、58…可動壁、61…開口部、62…隔壁透明部、71,81…装置側隔壁、100…クリーンルーム、101…隔壁、102,103…出入り口、102a,103a…二重の扉、105a〜105f…プロセス処理装置、107…空気清浄機
Claims (3)
- 隔壁によって外部空間と区画された内部が清浄空間となったクリーンルームに対し、真空排気される試料室と、該試料室内に配置された試料に荷電粒子線を照射する手段と、搬送する試料の試料受け入れ部を有する試料搬送機構と、試料像を表示するための画面とを備える荷電粒子線装置を設置するためのクリーンルームへの荷電粒子線装置設置方法であって、
前記隔壁には、前記試料受け入れ部の位置に対応させて、試料を載置した試料カセットが通過可能な開口面積を有する開口部が、蓋材によって封止されていると共に、前記荷電粒子線装置と前記クリーンルームとの間を電気的に連結する電気連結部と、前記画面を前記クリーンルーム側から目視可能とするための隔壁透明部とが、前記開口部とは別に設けられ、
前記蓋材によって封止された前記開口部に前記試料受け入れ部を対向させて、前記荷電粒子線装置を前記隔壁の外部空間側に配置する工程、
前記開口部を介して試料カセットを前記荷電粒子線装置の前記試料受け入れ部へ搬送するために、前記開口部を封止する蓋材を取り外す工程、
前記開口部を介して、前記試料受け入れ部のみをクリーンルーム内部の清浄空間に連通する工程、及び、
前記荷電粒子線装置と前記クリーンルームとの間を、前記電気連結部を介して、電気的に連結する工程、
を有することを特徴とするクリーンルームへの荷電粒子線装置設置方法。 - 前記連通工程は、前記荷電粒子線装置に備えられ、前記試料受け入れ部と前記開口部との間の試料搬送経路を気密に包囲するための包囲手段の開放部を、前記開口部を取り囲む前記隔壁部分に連結することによって行う
ことを特徴とする請求項1記載のクリーンルームへの荷電粒子線装置設置方法。 - 前記包囲手段は、可撓性部材を適度なばね弾性と粘性減衰性をもつ可撓性部材からなる連結部を含む
ことを特徴とする請求項2記載のクリーンルームへの荷電粒子線装置設置方法。
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