JPS642892B2 - - Google Patents
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- JPS642892B2 JPS642892B2 JP20807782A JP20807782A JPS642892B2 JP S642892 B2 JPS642892 B2 JP S642892B2 JP 20807782 A JP20807782 A JP 20807782A JP 20807782 A JP20807782 A JP 20807782A JP S642892 B2 JPS642892 B2 JP S642892B2
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
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- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/021—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or particular reflectors
-
- G—PHYSICS
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- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0216—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using light concentrators or collectors or condensers
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- G—PHYSICS
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は発光分光分析装置に関する。
従来、発光分光分析装置を用いて元素分析を行
なう場合、分析対象元素が硫黄、隣、炭素、臭素
等であるときには、これらの元素の発光スペクト
ルはいわゆる真空紫外領域スペクトルであるので
酸素の存在下では酸素によるスペクトルの吸収が
起り、分析感度が得られない。このため、上記の
ような元素を分析対象とする場合には発光分光分
析装置の分光器として真空型のものを適用し、分
光器のハウジング内を真空ポンプで真空引きする
とともに、光源から分光器までの光路間に存在す
る空気をアルゴンガスで置換するようにしてい
る。
なう場合、分析対象元素が硫黄、隣、炭素、臭素
等であるときには、これらの元素の発光スペクト
ルはいわゆる真空紫外領域スペクトルであるので
酸素の存在下では酸素によるスペクトルの吸収が
起り、分析感度が得られない。このため、上記の
ような元素を分析対象とする場合には発光分光分
析装置の分光器として真空型のものを適用し、分
光器のハウジング内を真空ポンプで真空引きする
とともに、光源から分光器までの光路間に存在す
る空気をアルゴンガスで置換するようにしてい
る。
ところで、真空型分光器を備えた発光分光分析
装置においては、真空ポンプの油蒸気がハウジン
グ内に侵入し、この油蒸気が、ハウジング内への
入射光の窓を構成する透光部材の表面に付着して
油膜を形成し、この油膜が入射光により光反応を
起こして光束の通過を阻み、分析感度を低下させ
る、という問題がある。
装置においては、真空ポンプの油蒸気がハウジン
グ内に侵入し、この油蒸気が、ハウジング内への
入射光の窓を構成する透光部材の表面に付着して
油膜を形成し、この油膜が入射光により光反応を
起こして光束の通過を阻み、分析感度を低下させ
る、という問題がある。
これに対しては、実公昭42−1982号公報に示さ
れているように、ハウジングの開口部に配置すべ
き窓板をスライド自在の平板の孔に取り付け、ハ
ウジングの気密状態を阻害することなく、窓板を
外部に引き出せるようにしたものがある。この開
口部の構造によれば、装置の稼働を停止させるこ
となく、窓板の洗浄を行うことが可能で、分析感
度を低下させずに分析を続行することができる。
れているように、ハウジングの開口部に配置すべ
き窓板をスライド自在の平板の孔に取り付け、ハ
ウジングの気密状態を阻害することなく、窓板を
外部に引き出せるようにしたものがある。この開
口部の構造によれば、装置の稼働を停止させるこ
となく、窓板の洗浄を行うことが可能で、分析感
度を低下させずに分析を続行することができる。
しかしながら、上記のような開口部の構造は、
入射光の窓を構成する透光部材な平坦な板体であ
る場合に適用しうるものであつて、透光部材が集
光レンズのようなレンズである場合には、以下に
述べるような理由で、レンズを動かすことには問
題があり、前記開口部の構造をそのまま適用する
ことは難しい。
入射光の窓を構成する透光部材な平坦な板体であ
る場合に適用しうるものであつて、透光部材が集
光レンズのようなレンズである場合には、以下に
述べるような理由で、レンズを動かすことには問
題があり、前記開口部の構造をそのまま適用する
ことは難しい。
すなわち、従来の発光分光分析装置で、試料の
発光を効果的に分光器に導くために、その光路上
に集光レンズと入射スリツトとを配設したものが
ある。このような装置では、分光器に対して入射
スリツトと集光レンズとの光軸を合わせておく必
要がある。ここで、レンズを動かすことにより、
レンズの光軸が入射スリツトに対してずれると、
試料の発光が分光器に到達しなくなるので、レン
ズを動かすのは好ましくない。
発光を効果的に分光器に導くために、その光路上
に集光レンズと入射スリツトとを配設したものが
ある。このような装置では、分光器に対して入射
スリツトと集光レンズとの光軸を合わせておく必
要がある。ここで、レンズを動かすことにより、
レンズの光軸が入射スリツトに対してずれると、
試料の発光が分光器に到達しなくなるので、レン
ズを動かすのは好ましくない。
本発明は、上記のようにハウジング内の入射ス
リツトに対応して開口部に集光レンズを設けた発
光分光分析装置における問題点に対処したもので
あつて、その第一の目的とするところは、集光レ
ンズを動かさずにその汚れを防止し、長期間にわ
たつて分析感度を高水準に維持する点にある。
リツトに対応して開口部に集光レンズを設けた発
光分光分析装置における問題点に対処したもので
あつて、その第一の目的とするところは、集光レ
ンズを動かさずにその汚れを防止し、長期間にわ
たつて分析感度を高水準に維持する点にある。
そして、本発明は、上記第一の目的を達成する
ために、集光レンズの内側に、開口部を気密に閉
鎖する石英ガラス製の平面板をハウジングに対し
て摺動可能に設けた。
ために、集光レンズの内側に、開口部を気密に閉
鎖する石英ガラス製の平面板をハウジングに対し
て摺動可能に設けた。
本発明の第２の目的は、集光レンズの内側に石
英ガラスの平面板を設けた場合の問題点、すなわ
ち両者間に空気が閉じ込められて、この空気中に
含まれる酸素によるスペクトル吸収で分析感度が
低下することを防止する点にある。
英ガラスの平面板を設けた場合の問題点、すなわ
ち両者間に空気が閉じ込められて、この空気中に
含まれる酸素によるスペクトル吸収で分析感度が
低下することを防止する点にある。
本発明は、この第２の目的を達成するために、
開口部の周壁に連通孔を形成し、この連通孔によ
り集光レンズと平面板との間の空間がカバー内に
通じるようにした。
開口部の周壁に連通孔を形成し、この連通孔によ
り集光レンズと平面板との間の空間がカバー内に
通じるようにした。
以下、本発明の構成を実施例について、図面に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
第１図は本発明の発光分光分析装置１を一部省
略して示す正面断面図、第２図は第１図の要部拡
大断面図である。第１図において、２は試料、３
は試料２を励起して発光させるための電極、４は
試料２から発光された光を分光する真空型の分光
器である。この分光器４は、ハウジング５の開口
部５ａに集光レンズ６が取付けられるとともに、
ハウジング５内に、スリツト７、回折格子８およ
び検出器９，９…が配置されている。また１０
は、分光器４のハウジング５内を真空引きする真
空ポンプ、１１は試料２と電極３を覆いその開放
端が前記ハウジング５に連結されたカバーであ
る。１２は石英ガラス製の平面板で、この平面板
１２は第２図に示すようにハウジング５内にあつ
て集光レンズ６と入射スリツト７との間に位置
し、ハウジング５に対して上下に摺動可能に設け
られている。そして、ハウジング５の前記開口部
５ａをパツキン１３とで閉鎖し、ハウジング５内
の気密性を保持している。１１ａはカバー１１に
設けられたガス導入口、５ｂはハウジング５の開
口部５ａの周壁に形成した連通孔であり、ガス導
入口１１ａからカバー１１内にアルゴンガスが導
入すると、その一部はカバー１１からハウジング
５の連通孔５ｂに流入する。従つてカバー１１内
ならびに集光レンズ６と平面板１２との間にそれ
ぞれ存在する空気は排出されてアルゴンガスに置
換される。なお、１４は集光レンズ６をハウジン
グ５に固定するためのパツキンである。
略して示す正面断面図、第２図は第１図の要部拡
大断面図である。第１図において、２は試料、３
は試料２を励起して発光させるための電極、４は
試料２から発光された光を分光する真空型の分光
器である。この分光器４は、ハウジング５の開口
部５ａに集光レンズ６が取付けられるとともに、
ハウジング５内に、スリツト７、回折格子８およ
び検出器９，９…が配置されている。また１０
は、分光器４のハウジング５内を真空引きする真
空ポンプ、１１は試料２と電極３を覆いその開放
端が前記ハウジング５に連結されたカバーであ
る。１２は石英ガラス製の平面板で、この平面板
１２は第２図に示すようにハウジング５内にあつ
て集光レンズ６と入射スリツト７との間に位置
し、ハウジング５に対して上下に摺動可能に設け
られている。そして、ハウジング５の前記開口部
５ａをパツキン１３とで閉鎖し、ハウジング５内
の気密性を保持している。１１ａはカバー１１に
設けられたガス導入口、５ｂはハウジング５の開
口部５ａの周壁に形成した連通孔であり、ガス導
入口１１ａからカバー１１内にアルゴンガスが導
入すると、その一部はカバー１１からハウジング
５の連通孔５ｂに流入する。従つてカバー１１内
ならびに集光レンズ６と平面板１２との間にそれ
ぞれ存在する空気は排出されてアルゴンガスに置
換される。なお、１４は集光レンズ６をハウジン
グ５に固定するためのパツキンである。
分光器４のハウジング５内を真空ポンプ１０で
真空引きする際には真空ポンプ１０から微量の油
蒸気がハウジング５内に侵入し、ハウジング５の
内壁や平面板１２に付着するが、ハウジング５の
開口部５ａは平面板１２で閉鎖されているので、
集光レンズ６の油付着は生じない。この状態で試
料１を発光させると、放射された光はカバー１１
内を通過して集光レンズ６で集光され、開口部５
ａ、平面板１２、スリツト７を順次通過して回折
格子６に導びかれ、この回折格子６で元素特有の
スペクトルに分光されて検出器９，９…で検出さ
れる。集光レンズ６を通過する光が長時間にわた
る場合には平面板１２のうち光の照射部分１２ａ
に存在する油のみが光反応を起して分析感度が低
下してくる。その際には平面板１２をハウジング
５の外部から上方又は下方に移動させて、光反応
を生じていない場所を新たに設定する。これによ
つて分析感度は再び元の状態に回復する。この様
に、分析感度が低下すれば適宜平面板１２を摺動
して光反応を起していない照射部分１２ａを次々
と設定すれば長期間にわたつて分析が続行でき
る。
真空引きする際には真空ポンプ１０から微量の油
蒸気がハウジング５内に侵入し、ハウジング５の
内壁や平面板１２に付着するが、ハウジング５の
開口部５ａは平面板１２で閉鎖されているので、
集光レンズ６の油付着は生じない。この状態で試
料１を発光させると、放射された光はカバー１１
内を通過して集光レンズ６で集光され、開口部５
ａ、平面板１２、スリツト７を順次通過して回折
格子６に導びかれ、この回折格子６で元素特有の
スペクトルに分光されて検出器９，９…で検出さ
れる。集光レンズ６を通過する光が長時間にわた
る場合には平面板１２のうち光の照射部分１２ａ
に存在する油のみが光反応を起して分析感度が低
下してくる。その際には平面板１２をハウジング
５の外部から上方又は下方に移動させて、光反応
を生じていない場所を新たに設定する。これによ
つて分析感度は再び元の状態に回復する。この様
に、分析感度が低下すれば適宜平面板１２を摺動
して光反応を起していない照射部分１２ａを次々
と設定すれば長期間にわたつて分析が続行でき
る。
以上説明したように、本発明によれば、集光レ
ンズの内側に石英ガラス製の平面板を設けたの
で、集光レンズの表面には油蒸気が付着すること
がなく、集光レンズ自体を動かさずに集光レンズ
の汚れを防止することができる。
ンズの内側に石英ガラス製の平面板を設けたの
で、集光レンズの表面には油蒸気が付着すること
がなく、集光レンズ自体を動かさずに集光レンズ
の汚れを防止することができる。
一方、石英ガラス製の平面板には油膜が形成さ
れ、その一部は入射光による光反応で重合して光
路を阻むことになるが、平面板は摺動可能である
から、この平面板を適宜摺動させることにより光
反応部分を光路から外すことができ、これによつ
て、分析感度を長期間にわたつて高水準に維持す
ることができる。
れ、その一部は入射光による光反応で重合して光
路を阻むことになるが、平面板は摺動可能である
から、この平面板を適宜摺動させることにより光
反応部分を光路から外すことができ、これによつ
て、分析感度を長期間にわたつて高水準に維持す
ることができる。
さらに、ハウジングの開口部は、集光レンズと
石英ガラスの平面板との二重構造となるが、両者
間に存在する空気は、カバー内にアルゴンガスを
導入する際、連通孔を通じてカバー内に流出し、
アルゴンガスに置換されるから、残留酸素による
スペクトルの吸収が起こらず、所要の分析感度が
得られる。
石英ガラスの平面板との二重構造となるが、両者
間に存在する空気は、カバー内にアルゴンガスを
導入する際、連通孔を通じてカバー内に流出し、
アルゴンガスに置換されるから、残留酸素による
スペクトルの吸収が起こらず、所要の分析感度が
得られる。
図面は本発明の実施例を示し、第１図は発光分
光分析装置を一部省略して示す正面断面図、第２
図は第１図の要部拡大断面図である。 １……発光分光分析装置、４……真空型分光
器、５……ハウジング、５ａ……開口部、６……
集光レンズ、７……入射スリツト、１２……平面
板。
光分析装置を一部省略して示す正面断面図、第２
図は第１図の要部拡大断面図である。 １……発光分光分析装置、４……真空型分光
器、５……ハウジング、５ａ……開口部、６……
集光レンズ、７……入射スリツト、１２……平面
板。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 真空型分光器のハウジングに設けられた開口
部に集光レンズを取り付け、ハウジング内には前
記集光レンズに対応した入射スリツトを設け、ハ
ウジングの前記開口部の外側に、試料と電極とを
覆うカバーを連結した発光分光分析装置におい
て、 前記集光レンズの内側に、開口部を気密に閉鎖
する石英ガラス製の平面板を前記ハウジングに対
して摺動可能に設け、開口部の周壁には、カバー
内から集光レンズと平面板との間の空間に通じる
連通孔を形成したことを特徴とする発光分光分析
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20807782A JPS5997039A (ja) | 1982-11-26 | 1982-11-26 | 発光分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20807782A JPS5997039A (ja) | 1982-11-26 | 1982-11-26 | 発光分光分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5997039A JPS5997039A (ja) | 1984-06-04 |
| JPS642892B2 true JPS642892B2 (ja) | 1989-01-19 |
Family
ID=16550257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20807782A Granted JPS5997039A (ja) | 1982-11-26 | 1982-11-26 | 発光分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5997039A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62125454U (ja) * | 1986-01-30 | 1987-08-10 | ||
| US4875773A (en) * | 1988-05-06 | 1989-10-24 | Milton Roy Company | Optical system for a multidetector array spectrograph |
| US4966458A (en) * | 1988-05-06 | 1990-10-30 | Milton Roy Company | Optical system for a multidetector array spectrograph |
-
1982
- 1982-11-26 JP JP20807782A patent/JPS5997039A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5997039A (ja) | 1984-06-04 |
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