JPH05226402A - ワイヤボンディング装置 - Google Patents

ワイヤボンディング装置

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JPH05226402A
JPH05226402A JP4029834A JP2983492A JPH05226402A JP H05226402 A JPH05226402 A JP H05226402A JP 4029834 A JP4029834 A JP 4029834A JP 2983492 A JP2983492 A JP 2983492A JP H05226402 A JPH05226402 A JP H05226402A
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JP
Japan
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wire
glass tube
bonding
gold
tube body
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JP4029834A
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Toru Takizawa
徹 瀧澤
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NEC Corp
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NEC Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】ワイヤボンディングに使用されるワイヤ自体の
曲りを除去して良好なループ形状が得られるワイヤボン
ディング装置を提供する。 【構成】金線２の経路に金線２を挿通可能にするガラス
管２０と、このガラス管２０内の金線２を加熱するヒー
ターコイル２１，温度制御ユニット２２を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置の組立工程に
用いられるワイヤボンディング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３に従来の電気トーチ式のワイヤボン
ディング装置の構成図を示す。図３ではワイヤとして金
線を使用している。金線スプール１より出た金線２は、
テンション機構３，ワイヤガイド４，カットクランプ５
を通った後、ツール７に設けられた細孔から一定の長さ
だけ取出される。この状態でトーチロッド９と金線２の
先端にアーク放電を誘起することにより、金線２の先端
にボール８が形成される。テンション機構３は金線２に
気体を流しバックテンションを与える。
【０００３】このボール８を、ツール７を用いてボンデ
ィングステージ１３上の半導体チップ１１の電極１２に
押圧してボールボンディングすることにより、電極１２
に金線２の一端が接続される。この位置から、ツール７
はアーム駆動部１０により駆動されるボンディングアー
ム６により、例えば図示していないリードフレーム等の
外部端子上に移動し、ツール７を上昇させて金線２をカ
ットクランプ５にてクランプし、ツール７によりウェッ
ジボンディングで金線２を切断し、再びボール８を形成
して前述の動作を繰返す。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来のワイヤボン
ディング装置では、ボンディングツールのＸ，Ｙ，Ｚ軸
の軌跡を制御して良好なワイヤループの形状を得ること
が一般的である。こうしたワイヤボンディング方法は、
特開昭５５−１２７０３１，特開昭５３−２６６６８に
示されている。
【０００５】ところで、近年半導体素子の電極数の増加
に伴い、ボンディングワイヤ長が長くなる傾向にある。
また、隣接するワイヤの間隔も狭くなってきている。こ
うした長ワイヤ、狭ピッチにおいては、ワイヤの曲り
（カール）を極力小さくする必要があるが、ワイヤ長が
長くなるに従い、スプールに巻かれたワイヤ自体の曲り
がボンディング後のワイヤ形状に影響を与えることが問
題となってきている。しかるに従来のワイヤボンディン
グ装置では、ワイヤ自体の曲りを修整してボンディング
することができないという問題があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のワイヤボンディ
ング装置は、ボンディングワイヤの経路にワイヤを挿通
可能にする管体と、この管体内のワイヤを加熱するヒー
ター手段とを備えている。
【０００７】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例のワイヤボンディング装置
の構成図である。本実施例では、ワイヤガイド４とカッ
トクランプ５との間に金線２を挿通可能にしたガラス管
２０と、ガラス管内の金線２を加熱するためのガラス管
２０の外周に巻かれたヒーターコイル２１と、このコイ
ル２１に高周波電流を供給し、かつガラス管内の温度を
制御する温度制御ユニット２２を備えている。
【０００８】ガラス管２０内の温度は金線の場合、３０
０〜８００℃の範囲内に設定される。本実施例では、金
線２は気体を一定の圧力で吹き付ける方法のテンション
機構３により一定の張力を与えられている。この状態で
金線２はガラス管２０内で加熱されるため、アニールさ
れてワイヤ自体の曲りを除去することが可能となる。
尚、ガラス管２０はワイヤ径よりも大きい内径を有し、
出入口部はワイヤに損傷を与えることのない様、曲面部
を有している。上述の構成により、ワイヤ自体の曲りが
除去され、ワイヤ長が長くても良好なループ形状を得る
ことが可能となる。図２は本発明の他の実施例を示す図
で、同図（ａ）は構成図、同図（ｂ）はその部分断面図
である。本実施例では、テンション機構３を金線２が挿
通可能なガラス管２３で構成し、このガラス管２３の外
周部に入口管２６を設けてある。入口管２６には、ガラ
ス管の内部にヒーターを有し気体の通路が確保されたガ
ラス管ヒーター２４が接続され、さらにガラス管ヒータ
ー２４には気体を供給するパイプ２５が接続されてい
る。また、ガラス管ヒーター２４の内部の温度を一定に
制御する温度制御ユニット２２が設けられている。ガラ
ス管２３の内周壁には、ガラス管２３の周方向に沿う環
状の出口部２７が金線スプール１側に向って開口してお
り、入口管２６を通って供給された気体は金線２の周囲
に金線スプール１側への流れを発生させ、金線２に一定
の張力を与えることができる様になっている。本実施例
では、金線２にテンションを与える気体が加熱されてお
り、たとえば銅線の様に酸化しやすいワイヤの場合、気
体として還元ガスを用いることも可能である。
【０００９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ボンディ
ングワイヤの経路にワイヤを挿通可能にする管体と、こ
の管体内のワイヤを加熱するヒーター手段を設けたの
で、ワイヤ自体の曲りをアニール除去しながらワイヤボ
ンディングが可能となるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の構成図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す図で、同図（ａ）は
構成図、同図（ｂ）はその部分断面図である。
【図３】従来のワイヤボンディング装置の構成図であ
る。
【符号の説明】
１ 金線スプール ２ 金線 ３ テンション機構 ４ ワイヤガイド ５ カットクランプ ６ ボンディングアーム ７ ツール ８ ボール ９ トーチロッド １０ アーム駆動部 １１ 半導体チップ １２ 電極 １３ ボンディングステージ ２０ ガラス管 ２１ ヒーターコイル ２２ 温度制御ユニット ２３ ガラス管 ２４ ガラス管ヒーター ２５ パイプ ２６ 入口管 ２７ 出口部

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ワイヤスプールとツールとの間のワイヤ
    経路に、ワイヤに張力を与えるテンション機構を備えた
    ワイヤボンディング装置において、前記ワイヤ経路に前
    記ワイヤを挿通可能にする管体と、この管体内のワイヤ
    を加熱するヒーター手段とを有することを特徴とするワ
    イヤボンディング装置。
  2. 【請求項２】 前記テンション機構は、前記ワイヤを挿
    通可能にする管体と、この管体に接続され挿通されたワ
    イヤに加熱気体を吹きつけるヒーター手段とを備えた請
    求項１記載のワイヤボンディング装置。
JP4029834A 1992-02-18 1992-02-18 ワイヤボンディング装置 Withdrawn JPH05226402A (ja)

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JP4029834A JPH05226402A (ja) 1992-02-18 1992-02-18 ワイヤボンディング装置

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JP4029834A JPH05226402A (ja) 1992-02-18 1992-02-18 ワイヤボンディング装置

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JPH05226402A true JPH05226402A (ja) 1993-09-03

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ID=12287051

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JP4029834A Withdrawn JPH05226402A (ja) 1992-02-18 1992-02-18 ワイヤボンディング装置

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JP (1) JPH05226402A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7926698B2 (en) * 2005-05-03 2011-04-19 Texas Instruments Incorporated Spot heat wirebonding

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7926698B2 (en) * 2005-05-03 2011-04-19 Texas Instruments Incorporated Spot heat wirebonding

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Effective date: 19990518