JPH05223770A - 熱伝導式絶対湿度センサ - Google Patents
熱伝導式絶対湿度センサInfo
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- JPH05223770A JPH05223770A JP4025096A JP2509692A JPH05223770A JP H05223770 A JPH05223770 A JP H05223770A JP 4025096 A JP4025096 A JP 4025096A JP 2509692 A JP2509692 A JP 2509692A JP H05223770 A JPH05223770 A JP H05223770A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定雰囲気と基準雰囲気との熱特性の均衡を
保つことで、正確な湿度検知が行える熱伝導式絶対湿度
センサを提供する。 【構成】 湿度を測定しようとする測定雰囲気１００に
晒された感熱抵抗素子１と、所定の湿度を有する基準雰
囲気２００に晒された感熱抵抗素子２とを備え、感熱抵
抗素子１および２は実質的に同一の抵抗特性を有するも
のであって、感熱抵抗素子１および２それぞれに等しい
電流量の電流を流し、感熱抵抗素子１および２を自己発
熱させ、感熱抵抗素子１および２の上昇温度差による感
熱抵抗素子１および２の抵抗値差に基づいて測定雰囲気
１００の湿度を検出する熱伝導式絶対湿度センサにおい
て、感熱抵抗素子１および２が同一面上に形成されたセ
ラミックから成る基板１１と、基板１１に焼結接合さ
れ、測定雰囲気１００および基準雰囲気２００が湿度同
一のときに同一熱特性となるように測定雰囲気１００お
よび基準雰囲気２００を規定する、セラミックから成る
容器である枠１２、１３および蓋１４、１５とを有する
保つことで、正確な湿度検知が行える熱伝導式絶対湿度
センサを提供する。 【構成】 湿度を測定しようとする測定雰囲気１００に
晒された感熱抵抗素子１と、所定の湿度を有する基準雰
囲気２００に晒された感熱抵抗素子２とを備え、感熱抵
抗素子１および２は実質的に同一の抵抗特性を有するも
のであって、感熱抵抗素子１および２それぞれに等しい
電流量の電流を流し、感熱抵抗素子１および２を自己発
熱させ、感熱抵抗素子１および２の上昇温度差による感
熱抵抗素子１および２の抵抗値差に基づいて測定雰囲気
１００の湿度を検出する熱伝導式絶対湿度センサにおい
て、感熱抵抗素子１および２が同一面上に形成されたセ
ラミックから成る基板１１と、基板１１に焼結接合さ
れ、測定雰囲気１００および基準雰囲気２００が湿度同
一のときに同一熱特性となるように測定雰囲気１００お
よび基準雰囲気２００を規定する、セラミックから成る
容器である枠１２、１３および蓋１４、１５とを有する
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、感熱抵抗素子を用い
て、空調器、除湿器、調理器、栽培ハウス等の雰囲気の
水蒸気量を検出する熱伝導式絶対湿度センサに関するも
のである。
て、空調器、除湿器、調理器、栽培ハウス等の雰囲気の
水蒸気量を検出する熱伝導式絶対湿度センサに関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】近年、空調器、除湿器、調理器、栽培ハ
ウス等での絶対あるいは相対湿度の検出制御の要求が高
まっている。この要求に応えるため種々の方式の湿度セ
ンサが提案されている。
ウス等での絶対あるいは相対湿度の検出制御の要求が高
まっている。この要求に応えるため種々の方式の湿度セ
ンサが提案されている。
【０００３】図４は、従来の熱伝導式絶対湿度センサの
構造を示す断面図である。図４において、従来の熱伝導
式絶対湿度センサは、感熱抵抗素子１´および２´と、
感熱抵抗素子１´および２´の端子９をそれぞれ支持す
るステム８と、湿度を測定しようとする大気（測定雰囲
気）に連通する通気孔７１が設けられ、感熱抵抗素子１
´を支持するステム８を覆うキャップ７ａと、感熱抵抗
素子２´を支持するステム８を覆うキャップ７ｂとを有
する。キャップ７ｂは、極低温（−４０℃）にてステム
８にかぶせられることにより、感熱抵抗素子２´を乾燥
空気（基準雰囲気）中に封入するものである。このよう
に、キャップ７ａとステム８、および、キャップ７ｂと
ステム８で、それぞれ、測定雰囲気および基準雰囲気を
規定する筐体部が形成されている。
構造を示す断面図である。図４において、従来の熱伝導
式絶対湿度センサは、感熱抵抗素子１´および２´と、
感熱抵抗素子１´および２´の端子９をそれぞれ支持す
るステム８と、湿度を測定しようとする大気（測定雰囲
気）に連通する通気孔７１が設けられ、感熱抵抗素子１
´を支持するステム８を覆うキャップ７ａと、感熱抵抗
素子２´を支持するステム８を覆うキャップ７ｂとを有
する。キャップ７ｂは、極低温（−４０℃）にてステム
８にかぶせられることにより、感熱抵抗素子２´を乾燥
空気（基準雰囲気）中に封入するものである。このよう
に、キャップ７ａとステム８、および、キャップ７ｂと
ステム８で、それぞれ、測定雰囲気および基準雰囲気を
規定する筐体部が形成されている。
【０００４】図５は、この熱伝導式絶対湿度センサを含
む電気回路図である。図５において、感熱抵抗素子１´
（Ｒht）と感熱抵抗素子２´（Ｒt ）、固定抵抗Ｒ1 、
Ｒ2、Ｒ3 および保護抵抗Ｒs （ただし、白金抵抗のよ
うに正特性の温度特性を持つ感熱抵抗素子の場合は保護
抵抗Ｒs は必要無い。）により、ホイートストンブリッ
ジが構成される。ただしＲhtとＲt 、および、Ｒ1 とＲ
2 の温度−抵抗特性は等しくなければならない。感熱抵
抗素子２´は、乾燥雰囲気中に封入されており、感熱抵
抗素子１は、大気中にさらされている。いま、感熱抵抗
素子１´および２´に、印加電圧Ｖinが印加されると、
感熱抵抗素子１´および２´は自己発熱をし、周囲温度
よりも高くなる。感熱抵抗素子１´および２´の温度
は、感熱抵抗素子１´および２´に加わる電力と感熱抵
抗素子１´および２´の熱放散により決定されるが、大
気中に水蒸気が含まれていると、水蒸気が含まれていな
い場合に対して、水蒸気の熱伝導が作用して熱放散が大
きくなるため、感熱抵抗素子１´の温度は、感熱抵抗素
子２´よりも低くなる。このため、固定抵抗Ｒ3 の両端
に電位差が、即ち、出力電圧Ｖout が湿度信号として検
出される。このように、感熱抵抗素子１´および２´の
上昇温度差による抵抗値差に基づいて大気中の絶対湿度
を検出することができる。
む電気回路図である。図５において、感熱抵抗素子１´
（Ｒht）と感熱抵抗素子２´（Ｒt ）、固定抵抗Ｒ1 、
Ｒ2、Ｒ3 および保護抵抗Ｒs （ただし、白金抵抗のよ
うに正特性の温度特性を持つ感熱抵抗素子の場合は保護
抵抗Ｒs は必要無い。）により、ホイートストンブリッ
ジが構成される。ただしＲhtとＲt 、および、Ｒ1 とＲ
2 の温度−抵抗特性は等しくなければならない。感熱抵
抗素子２´は、乾燥雰囲気中に封入されており、感熱抵
抗素子１は、大気中にさらされている。いま、感熱抵抗
素子１´および２´に、印加電圧Ｖinが印加されると、
感熱抵抗素子１´および２´は自己発熱をし、周囲温度
よりも高くなる。感熱抵抗素子１´および２´の温度
は、感熱抵抗素子１´および２´に加わる電力と感熱抵
抗素子１´および２´の熱放散により決定されるが、大
気中に水蒸気が含まれていると、水蒸気が含まれていな
い場合に対して、水蒸気の熱伝導が作用して熱放散が大
きくなるため、感熱抵抗素子１´の温度は、感熱抵抗素
子２´よりも低くなる。このため、固定抵抗Ｒ3 の両端
に電位差が、即ち、出力電圧Ｖout が湿度信号として検
出される。このように、感熱抵抗素子１´および２´の
上昇温度差による抵抗値差に基づいて大気中の絶対湿度
を検出することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、感熱抵
抗素子１´および２´の筐体部は、異なる部品で構成さ
れており、筐体部どおしは点接触となっている。このた
め、測定雰囲気と基準雰囲気との熱特性が不均一とな
り、感熱抵抗素子１´および２は、その湿度差以外の要
因で上昇温度差が生じ、正確な湿度検知が行えないとい
う問題点がある。
抗素子１´および２´の筐体部は、異なる部品で構成さ
れており、筐体部どおしは点接触となっている。このた
め、測定雰囲気と基準雰囲気との熱特性が不均一とな
り、感熱抵抗素子１´および２は、その湿度差以外の要
因で上昇温度差が生じ、正確な湿度検知が行えないとい
う問題点がある。
【０００６】また、感熱抵抗素子１´および２´の特性
が揃うように、センサを維持、選別することは容易では
なく、感熱抵抗素子１´および２´の特性のずれは、温
度ドリフトや試料間の特性バラツキの原因となるという
問題点がある。
が揃うように、センサを維持、選別することは容易では
なく、感熱抵抗素子１´および２´の特性のずれは、温
度ドリフトや試料間の特性バラツキの原因となるという
問題点がある。
【０００７】本発明の課題は、測定雰囲気と基準雰囲気
との熱特性の均衡を保つことで、正確な湿度検知が行え
る熱伝導式絶対湿度センサを提供することである。
との熱特性の均衡を保つことで、正確な湿度検知が行え
る熱伝導式絶対湿度センサを提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、湿度を
測定しようとする測定雰囲気に晒された第１の感熱抵抗
素子と、所定の湿度を有する基準雰囲気に晒された第２
の感熱抵抗素子とを備え、該第１および第２の感熱抵抗
素子は実質的に同一の抵抗特性を有するものであって、
前記第１および第２の感熱抵抗素子それぞれに等しい電
流量の電流を流し、該第１および第２の感熱抵抗素子を
自己発熱させ、該第１および第２の感熱抵抗素子の上昇
温度差による該第１および第２の感熱抵抗素子の抵抗値
差に基づいて前記測定雰囲気の湿度を検出する熱伝導式
絶対湿度センサにおいて、前記第１および第２の感熱抵
抗素子が同一面上に形成されたセラミックから成る基板
と、該基板に焼結接合され、前記測定雰囲気および前記
基準雰囲気が湿度同一のときに同一熱特性となるように
該測定雰囲気および該基準雰囲気を規定する、セラミッ
クから成る容器とを有することを特徴とする熱伝導式絶
対湿度センサが得られる。
測定しようとする測定雰囲気に晒された第１の感熱抵抗
素子と、所定の湿度を有する基準雰囲気に晒された第２
の感熱抵抗素子とを備え、該第１および第２の感熱抵抗
素子は実質的に同一の抵抗特性を有するものであって、
前記第１および第２の感熱抵抗素子それぞれに等しい電
流量の電流を流し、該第１および第２の感熱抵抗素子を
自己発熱させ、該第１および第２の感熱抵抗素子の上昇
温度差による該第１および第２の感熱抵抗素子の抵抗値
差に基づいて前記測定雰囲気の湿度を検出する熱伝導式
絶対湿度センサにおいて、前記第１および第２の感熱抵
抗素子が同一面上に形成されたセラミックから成る基板
と、該基板に焼結接合され、前記測定雰囲気および前記
基準雰囲気が湿度同一のときに同一熱特性となるように
該測定雰囲気および該基準雰囲気を規定する、セラミッ
クから成る容器とを有することを特徴とする熱伝導式絶
対湿度センサが得られる。
【０００９】さらに、本発明によれば、湿度を測定しよ
うとする測定雰囲気に晒された第１の感熱抵抗素子と、
所定の湿度を有する基準雰囲気に晒された第２の感熱抵
抗素子と、２つの固定抵抗素子とを備え、該第１および
第２の感熱抵抗素子と該２つの固定抵抗素子とはそれぞ
れ実質的に同一の抵抗特性を有するものであって、前記
第１および第２の感熱抵抗素子は互いに直列接続された
ブリッジ回路を有し、前記互いに直列接続された第１お
よび第２の感熱抵抗素子の両端に電圧を印加して、該第
１および第２の感熱抵抗素子を自己発熱させ、該第１お
よび第２の感熱抵抗素子の上昇温度差による該第１およ
び第２の感熱抵抗素子の抵抗値差に基づいて前記測定雰
囲気の湿度を検出する熱伝導式絶対湿度センサにおい
て、前記第１および第２の感熱抵抗素子が同一面上に形
成されたセラミックから成る基板と、該基板に焼結接合
され、前記測定雰囲気および前記基準雰囲気が湿度同一
のときに同一熱特性とするように該測定雰囲気および該
基準雰囲気を規定する、セラミックから成る容器とを有
し、前記基板および該容器のうち一方には、前記２つの
固定抵抗素子が形成されていることを特徴とする熱伝導
式絶対湿度センサが得られる。
うとする測定雰囲気に晒された第１の感熱抵抗素子と、
所定の湿度を有する基準雰囲気に晒された第２の感熱抵
抗素子と、２つの固定抵抗素子とを備え、該第１および
第２の感熱抵抗素子と該２つの固定抵抗素子とはそれぞ
れ実質的に同一の抵抗特性を有するものであって、前記
第１および第２の感熱抵抗素子は互いに直列接続された
ブリッジ回路を有し、前記互いに直列接続された第１お
よび第２の感熱抵抗素子の両端に電圧を印加して、該第
１および第２の感熱抵抗素子を自己発熱させ、該第１お
よび第２の感熱抵抗素子の上昇温度差による該第１およ
び第２の感熱抵抗素子の抵抗値差に基づいて前記測定雰
囲気の湿度を検出する熱伝導式絶対湿度センサにおい
て、前記第１および第２の感熱抵抗素子が同一面上に形
成されたセラミックから成る基板と、該基板に焼結接合
され、前記測定雰囲気および前記基準雰囲気が湿度同一
のときに同一熱特性とするように該測定雰囲気および該
基準雰囲気を規定する、セラミックから成る容器とを有
し、前記基板および該容器のうち一方には、前記２つの
固定抵抗素子が形成されていることを特徴とする熱伝導
式絶対湿度センサが得られる。
【００１０】即ち、本発明においては、感熱抵抗素子１
（測定雰囲気用）、感熱抵抗素子２（基準雰囲気用）を
金属あるいはセラミック基板の同一面上で構成（保持）
し、測定雰囲気を規定する感熱抵抗素子１の筐体部と、
基準雰囲気を規定する感熱抵抗素子２を乾燥封入するた
めの筐体部との全てを、セラミック（金属）にて一体焼
結することにより構成することで、測定雰囲気および基
準雰囲気の熱特性を均一にし、感熱抵抗素子１、２の熱
特性を揃える。さらに、固定抵抗Ｒ1 およびＲ2 も同一
面上に同一ペーストを印刷する等、厚膜技術にて形成す
ることによって固定抵抗Ｒ1 、Ｒ2 の微少な温度特性も
揃え、また小型化も図る。これによって、特性の安定
性、温度ドリフト、試料間の特性バラツキを改善し小型
化することを目的とする。また、厚膜技術にて構成でき
るため自動化による組立によって全体を構成する。
（測定雰囲気用）、感熱抵抗素子２（基準雰囲気用）を
金属あるいはセラミック基板の同一面上で構成（保持）
し、測定雰囲気を規定する感熱抵抗素子１の筐体部と、
基準雰囲気を規定する感熱抵抗素子２を乾燥封入するた
めの筐体部との全てを、セラミック（金属）にて一体焼
結することにより構成することで、測定雰囲気および基
準雰囲気の熱特性を均一にし、感熱抵抗素子１、２の熱
特性を揃える。さらに、固定抵抗Ｒ1 およびＲ2 も同一
面上に同一ペーストを印刷する等、厚膜技術にて形成す
ることによって固定抵抗Ｒ1 、Ｒ2 の微少な温度特性も
揃え、また小型化も図る。これによって、特性の安定
性、温度ドリフト、試料間の特性バラツキを改善し小型
化することを目的とする。また、厚膜技術にて構成でき
るため自動化による組立によって全体を構成する。
【００１１】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の一実施例に
よる熱伝導式絶対湿度センサを説明する。
よる熱伝導式絶対湿度センサを説明する。
【００１２】図１および図２は、本実施例による熱伝導
式絶対湿度センサの斜視図および要部の分解斜視図であ
る。図１および図２において、本センサは、ＡｌＮから
成る筐体１０を有する。筐体１０は、基板１１と、基板
１１の上下に配された枠１２および枠１３と、さらにそ
の上下に配された蓋１４および蓋１５とを有する。枠１
２および１３と蓋１４および１５とを総称して容器と呼
ぶ。基板１１、枠１２および枠１３、蓋１４および蓋１
５は、微粒子からなるＡｌＮ粉末を厚膜成形手段（印
刷、ドクターブレード、押しだし成形等）により成形し
たものである。また、基板１１には、実質的に同一の抵
抗特性を有する感熱抵抗素子１および感熱抵抗素子２
と、それぞれの両端に電気的に接続したパターンとが形
成されている。感熱抵抗素子１および感熱抵抗素子２
は、Ｐｔペーストが矩形状に印刷されたものである。ま
た、蓋１４および蓋１５には、通気孔１４１および通気
孔１５１が形成されている。
式絶対湿度センサの斜視図および要部の分解斜視図であ
る。図１および図２において、本センサは、ＡｌＮから
成る筐体１０を有する。筐体１０は、基板１１と、基板
１１の上下に配された枠１２および枠１３と、さらにそ
の上下に配された蓋１４および蓋１５とを有する。枠１
２および１３と蓋１４および１５とを総称して容器と呼
ぶ。基板１１、枠１２および枠１３、蓋１４および蓋１
５は、微粒子からなるＡｌＮ粉末を厚膜成形手段（印
刷、ドクターブレード、押しだし成形等）により成形し
たものである。また、基板１１には、実質的に同一の抵
抗特性を有する感熱抵抗素子１および感熱抵抗素子２
と、それぞれの両端に電気的に接続したパターンとが形
成されている。感熱抵抗素子１および感熱抵抗素子２
は、Ｐｔペーストが矩形状に印刷されたものである。ま
た、蓋１４および蓋１５には、通気孔１４１および通気
孔１５１が形成されている。
【００１３】本実施例による熱伝導式絶対湿度センサ
を、その製造方法に即して、さらに詳細に説明する。
を、その製造方法に即して、さらに詳細に説明する。
【００１４】蓋１４、枠１２、基板１１、枠１３およ
び蓋１５を重ね合わせ、熱プレスを施して１６００〜１
７００℃にて焼結する。尚、感熱抵抗素子２は、公知の
手段により乾燥封入させる。
び蓋１５を重ね合わせ、熱プレスを施して１６００〜１
７００℃にて焼結する。尚、感熱抵抗素子２は、公知の
手段により乾燥封入させる。
【００１５】筐体１０の蓋１４上に、抵抗３および抵
抗４と、それぞれの一端に電気的に接続したパターン
と、それぞれの他端に電気的にそれぞれ接続した２つの
パターンとを形成する。即ち、抵抗３、抵抗４およびパ
ターンを、厚膜印刷により形成して６００〜１０００℃
にて焼結する。尚、抵抗３および抵抗４は、実質的に同
一の抵抗特性を有する。
抗４と、それぞれの一端に電気的に接続したパターン
と、それぞれの他端に電気的にそれぞれ接続した２つの
パターンとを形成する。即ち、抵抗３、抵抗４およびパ
ターンを、厚膜印刷により形成して６００〜１０００℃
にて焼結する。尚、抵抗３および抵抗４は、実質的に同
一の抵抗特性を有する。
【００１６】感熱抵抗素子１の一端と感熱抵抗素子２
の一端との間、感熱抵抗素子１の他端と抵抗３の他端と
の間および感熱抵抗素子２の他端と抵抗４の他端との間
を、ワイヤ６のワイヤボンディング（半田付け等、他の
手段でもよい。）により電気的に接合する。
の一端との間、感熱抵抗素子１の他端と抵抗３の他端と
の間および感熱抵抗素子２の他端と抵抗４の他端との間
を、ワイヤ６のワイヤボンディング（半田付け等、他の
手段でもよい。）により電気的に接合する。
【００１７】以上のようにして、熱伝導式絶対湿度セン
サが製造された。
サが製造された。
【００１８】図３は、製造された熱伝導式絶対湿度セン
サのＡ−Ａ断面図である。図３において、本センサは、
感熱抵抗素子１が晒された測定雰囲気（大気）１００
と、感熱抵抗素子２が晒された基準雰囲気（乾燥空気）
２００とをそれぞれ規定している。
サのＡ−Ａ断面図である。図３において、本センサは、
感熱抵抗素子１が晒された測定雰囲気（大気）１００
と、感熱抵抗素子２が晒された基準雰囲気（乾燥空気）
２００とをそれぞれ規定している。
【００１９】得られた熱伝導式絶対湿度センサを、図５
に示す電気回路に組み込んだ。図５において、Ｒhtは感
熱抵抗素子１、Ｒt は感熱抵抗素子２、固定抵抗Ｒ1 は
抵抗３、Ｒ2 は抵抗４である。尚、図中、保護抵抗Ｒs
が含まれているが、本実施例においては感熱抵抗素子１
および２が白金抵抗であるため不要である。
に示す電気回路に組み込んだ。図５において、Ｒhtは感
熱抵抗素子１、Ｒt は感熱抵抗素子２、固定抵抗Ｒ1 は
抵抗３、Ｒ2 は抵抗４である。尚、図中、保護抵抗Ｒs
が含まれているが、本実施例においては感熱抵抗素子１
および２が白金抵抗であるため不要である。
【００２０】次に、本発明による熱伝導式絶対湿度セン
サの温度特性を測定した。測定結果を図６に示す。尚、
ブリッジバランスは２０℃においてとった。温度特性
は、任意の試料によって得られ、また、安定性は測定誤
差以内であった。
サの温度特性を測定した。測定結果を図６に示す。尚、
ブリッジバランスは２０℃においてとった。温度特性
は、任意の試料によって得られ、また、安定性は測定誤
差以内であった。
【００２１】尚、本実施例においては、基板および容器
は、セラミックにより構成されているが、測定雰囲気お
よび該基準雰囲気の熱特性が湿度以外の要因において同
一となればよく、例えば、電気的絶縁処理を施した金属
により構成してもよい。
は、セラミックにより構成されているが、測定雰囲気お
よび該基準雰囲気の熱特性が湿度以外の要因において同
一となればよく、例えば、電気的絶縁処理を施した金属
により構成してもよい。
【００２２】また、本実施例においては、ホイーストン
回路を用いたが、第１および第２の感熱抵抗素子は実質
的に同一の抵抗特性を有するものであって、第１および
第２の感熱抵抗素子の上昇温度差による第１および第２
の感熱抵抗素子の抵抗値差に基づいて測定雰囲気の湿度
を検出できる他の電気回路を構成してもよい。
回路を用いたが、第１および第２の感熱抵抗素子は実質
的に同一の抵抗特性を有するものであって、第１および
第２の感熱抵抗素子の上昇温度差による第１および第２
の感熱抵抗素子の抵抗値差に基づいて測定雰囲気の湿度
を検出できる他の電気回路を構成してもよい。
【００２３】
【発明の効果】本発明による熱伝導式絶対湿度センサ
は、第１および第２の感熱抵抗素子が同一面上に形成さ
れたセラミックから成る基板と、この基板に焼結接合さ
れ、測定雰囲気および基準雰囲気が湿度同一のときに同
一熱特性となるように測定雰囲気および基準雰囲気を規
定する、セラミックから成る容器とを有するため、測定
雰囲気と基準雰囲気との熱特性が均一となり、正確な湿
度検知が行える。このため、温度ドリフト、試料間の特
性バラツキ等を防止できる。
は、第１および第２の感熱抵抗素子が同一面上に形成さ
れたセラミックから成る基板と、この基板に焼結接合さ
れ、測定雰囲気および基準雰囲気が湿度同一のときに同
一熱特性となるように測定雰囲気および基準雰囲気を規
定する、セラミックから成る容器とを有するため、測定
雰囲気と基準雰囲気との熱特性が均一となり、正確な湿
度検知が行える。このため、温度ドリフト、試料間の特
性バラツキ等を防止できる。
【００２４】また、基板および容器のうち一方には、ブ
リッジ回路に用いられる２つの固定抵抗素子が形成され
ているため、溶接や人手による組立作業が不要であり、
工業的生産性に優れているばかりか、電気回路の殆んど
を含むため、湿度検出システムを簡素とすることができ
る。
リッジ回路に用いられる２つの固定抵抗素子が形成され
ているため、溶接や人手による組立作業が不要であり、
工業的生産性に優れているばかりか、電気回路の殆んど
を含むため、湿度検出システムを簡素とすることができ
る。
【図１】本発明の一実施例による熱伝導式絶対湿度セン
サの斜視図である。
サの斜視図である。
【図２】図１に示す熱伝導式絶対湿度センサの要部の分
解斜視図である。
解斜視図である。
【図３】図１に示す熱伝導式絶対湿度センサの断面図で
ある。
ある。
【図４】従来例による熱伝導式絶対湿度センサの断面図
である。
である。
【図５】本発明および従来例による熱伝導式絶対湿度セ
ンサが用いられる電気回路図である。
ンサが用いられる電気回路図である。
【図６】本発明による熱伝導式絶対湿度センサの温度特
性を示す図である。
性を示す図である。
１、１´、２、２´ 感熱抵抗素子 ３、４ 固定抵抗素子 ６ ワイヤ ７ａ、７ｂ キャップ ８ ステム ９ 端子 １０ 筐体 １１ 基板 １２、１３ 枠 １４、１５ 蓋 １００ 測定雰囲気 ２００ 基準雰囲気 １４１、１５１ 通気孔 Ｖin 印加電圧 Ｖout 出力電圧 Ｒht、Ｒt 感熱抵抗 Ｒ1 、Ｒ2 、Ｒ3 固定抵抗 Ｒs 保護抵抗
フロントページの続き (72)発明者 岩田 伸一 宮城県仙台市太白区郡山六丁目７番１号 株式会社トーキン内
Claims (2)
- 【請求項１】 湿度を測定しようとする測定雰囲気に晒
された第１の感熱抵抗素子と、所定の湿度を有する基準
雰囲気に晒された第２の感熱抵抗素子とを備え、該第１
および第２の感熱抵抗素子は実質的に同一の抵抗特性を
有するものであって、前記第１および第２の感熱抵抗素
子それぞれに等しい電流量の電流を流し、該第１および
第２の感熱抵抗素子を自己発熱させ、該第１および第２
の感熱抵抗素子の上昇温度差による該第１および第２の
感熱抵抗素子の抵抗値差に基づいて前記測定雰囲気の湿
度を検出する熱伝導式絶対湿度センサにおいて、前記第
１および第２の感熱抵抗素子が同一面上に形成されたセ
ラミックから成る基板と、該基板に焼結接合され、前記
測定雰囲気および前記基準雰囲気が湿度同一のときに同
一熱特性となるように該測定雰囲気および該基準雰囲気
を規定する、セラミックから成る容器とを有することを
特徴とする熱伝導式絶対湿度センサ。 - 【請求項２】 湿度を測定しようとする測定雰囲気に晒
された第１の感熱抵抗素子と、所定の湿度を有する基準
雰囲気に晒された第２の感熱抵抗素子と、２つの固定抵
抗素子とを備え、該第１および第２の感熱抵抗素子と該
２つの固定抵抗素子とはそれぞれ実質的に同一の抵抗特
性を有するものであって、前記第１および第２の感熱抵
抗素子は互いに直列接続されたブリッジ回路を有し、前
記互いに直列接続された第１および第２の感熱抵抗素子
の両端に電圧を印加して、該第１および第２の感熱抵抗
素子を自己発熱させ、該第１および第２の感熱抵抗素子
の上昇温度差による該第１および第２の感熱抵抗素子の
抵抗値差に基づいて前記測定雰囲気の湿度を検出する熱
伝導式絶対湿度センサにおいて、前記第１および第２の
感熱抵抗素子が同一面上に形成されたセラミックから成
る基板と、該基板に焼結接合され、前記測定雰囲気およ
び前記基準雰囲気が湿度同一のときに同一熱特性とする
ように該測定雰囲気および該基準雰囲気を規定する、セ
ラミックから成る容器とを有し、前記基板および該容器
のうち一方には、前記２つの固定抵抗素子が形成されて
いることを特徴とする熱伝導式絶対湿度センサ。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP04025096A JP3106324B2 (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | 熱伝導式絶対湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04025096A JP3106324B2 (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | 熱伝導式絶対湿度センサ |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05223770A true JPH05223770A (ja) | 1993-08-31 |
| JP3106324B2 JP3106324B2 (ja) | 2000-11-06 |
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ID=12156402
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04025096A Expired - Fee Related JP3106324B2 (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | 熱伝導式絶対湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3106324B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996021146A1 (fr) * | 1994-12-29 | 1996-07-11 | Tokin Corporation | Detecteur d'humidite |
| KR100396661B1 (ko) * | 2000-11-21 | 2003-09-02 | 엘지전자 주식회사 | 볼로메트릭 습도센서 및 이를 이용한 전자렌지용습도센서의 장착구조 |
| FR2846746A1 (fr) * | 2002-11-02 | 2004-05-07 | Draeger Medical Ag | Cuvette de gaz a mesurer destinee a un dispositif de mesure de la concentration d'un gaz paramagnetique |
| JP2013213811A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-17 | Nxp Bv | ガスセンサを有する集積回路 |
-
1992
- 1992-02-12 JP JP04025096A patent/JP3106324B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996021146A1 (fr) * | 1994-12-29 | 1996-07-11 | Tokin Corporation | Detecteur d'humidite |
| US5837884A (en) * | 1994-12-29 | 1998-11-17 | Tokin Corporation | Humidity sensor using temperature sensing resistor controlled to be at constant temperature of more than 150° C. |
| KR100396661B1 (ko) * | 2000-11-21 | 2003-09-02 | 엘지전자 주식회사 | 볼로메트릭 습도센서 및 이를 이용한 전자렌지용습도센서의 장착구조 |
| FR2846746A1 (fr) * | 2002-11-02 | 2004-05-07 | Draeger Medical Ag | Cuvette de gaz a mesurer destinee a un dispositif de mesure de la concentration d'un gaz paramagnetique |
| JP2013213811A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-17 | Nxp Bv | ガスセンサを有する集積回路 |
| US9263500B2 (en) | 2012-03-30 | 2016-02-16 | Ams International Ag | Integrated circuit comprising a gas sensor |
| US9865647B2 (en) | 2012-03-30 | 2018-01-09 | Ams International Ag | Integrated circuit comprising a gas sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3106324B2 (ja) | 2000-11-06 |
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