JPH05218533A - 封止型炭酸ガスレーザ管 - Google Patents
封止型炭酸ガスレーザ管Info
- Publication number
- JPH05218533A JPH05218533A JP1660392A JP1660392A JPH05218533A JP H05218533 A JPH05218533 A JP H05218533A JP 1660392 A JP1660392 A JP 1660392A JP 1660392 A JP1660392 A JP 1660392A JP H05218533 A JPH05218533 A JP H05218533A
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- JP
- Japan
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- tube
- discharge
- carbon dioxide
- anode
- path
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 放電抵抗を下げずに陽極へのガス拡散の効率
を上げることができる封止型炭酸ガスレーザ管を提供す
る。 【構成】 封止用ガラス管内１７に充填された炭酸ガス
および陰極部１３に装着された固体酸化触媒により再生
された炭酸ガスは、放電管１１中の放電路を経て陽極１
８方向に拡散するとともに複数のリターンパス３８を経
て陽極１８まで拡散する。リターンパス３８の本数が増
加するに従って、炭酸ガスの拡散は容易となるが、各リ
ターンパス３８の放電抵抗は放電路の放電抵抗により十
分大きくしてあるので、放電は放電路のみを経て行われ
る。
を上げることができる封止型炭酸ガスレーザ管を提供す
る。 【構成】 封止用ガラス管内１７に充填された炭酸ガス
および陰極部１３に装着された固体酸化触媒により再生
された炭酸ガスは、放電管１１中の放電路を経て陽極１
８方向に拡散するとともに複数のリターンパス３８を経
て陽極１８まで拡散する。リターンパス３８の本数が増
加するに従って、炭酸ガスの拡散は容易となるが、各リ
ターンパス３８の放電抵抗は放電路の放電抵抗により十
分大きくしてあるので、放電は放電路のみを経て行われ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は二重構造にされている冷
却部と冷却部両端から伸延する非冷却部とを有し、中央
部に陽極が設けられている放電管がガス封止用ガラス管
内に封止されている封止型炭酸ガスレーザに関する。
却部と冷却部両端から伸延する非冷却部とを有し、中央
部に陽極が設けられている放電管がガス封止用ガラス管
内に封止されている封止型炭酸ガスレーザに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、封止型炭酸ガスレーザ管は、放電
により、充填されている炭酸ガスが一酸化炭素と酸素と
に解離すると、出力が低下することが分っている。この
出力低下を防止するために固体酸化触媒およびリターン
パスを用いる方法が提案されている。
により、充填されている炭酸ガスが一酸化炭素と酸素と
に解離すると、出力が低下することが分っている。この
出力低下を防止するために固体酸化触媒およびリターン
パスを用いる方法が提案されている。
【０００３】図３（ａ），（ｂ）のものは本出願人の出
願による特開平３−２６６４８２号公報記載の発明の一
実施例を示す図である。
願による特開平３−２６６４８２号公報記載の発明の一
実施例を示す図である。
【０００４】両端にミラー１５を備え、炭酸ガスを含む
混合ガスが封止されたガラス管１７の中に、長細い二重
管構造の放電管１１を配設し、放電管１１のほぼ中央に
陽極１８を、両端にそれぞれ陰極１３を設けている。両
陰極と放電管の両端との各間隔から陽極方向に放電管内
で混合ガスの拡散を生ぜしめるようにするとともに、陽
極導出管２５にガラス細管からなるリターンパス２８を
接続し、陽極近傍における混合ガスの不足を常時補充し
うるようにしたものである。さらに両陰極内側に生成Ｃ
ＯをＣＯ2に再生する固体触媒成型筒２０を内蔵し、放
電に伴い加熱される陰極１３から輻射熱を受けて活性が
維持でき、固体触媒成型筒２０の大部分が放電路１４と
平行しているため放電による衝撃も緩和されるように構
成されたものである。
混合ガスが封止されたガラス管１７の中に、長細い二重
管構造の放電管１１を配設し、放電管１１のほぼ中央に
陽極１８を、両端にそれぞれ陰極１３を設けている。両
陰極と放電管の両端との各間隔から陽極方向に放電管内
で混合ガスの拡散を生ぜしめるようにするとともに、陽
極導出管２５にガラス細管からなるリターンパス２８を
接続し、陽極近傍における混合ガスの不足を常時補充し
うるようにしたものである。さらに両陰極内側に生成Ｃ
ＯをＣＯ2に再生する固体触媒成型筒２０を内蔵し、放
電に伴い加熱される陰極１３から輻射熱を受けて活性が
維持でき、固体触媒成型筒２０の大部分が放電路１４と
平行しているため放電による衝撃も緩和されるように構
成されたものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の封止型
炭酸ガスレーザ管は、ガラス細管からなるリターンパス
を設けているが、複数本設けていないため効率が十分高
いとは言えなかった。ガラス細管を大径のものにすれば
陽極へのガス拡散の効率は上るが、放電がリターンパス
を介してバイパスされる危険があり、それも困難であ
る。
炭酸ガスレーザ管は、ガラス細管からなるリターンパス
を設けているが、複数本設けていないため効率が十分高
いとは言えなかった。ガラス細管を大径のものにすれば
陽極へのガス拡散の効率は上るが、放電がリターンパス
を介してバイパスされる危険があり、それも困難であ
る。
【０００６】本発明は、上記欠点に鑑み、放電抵抗を下
げずに陽極へのガス拡散の効率を上げることがきる封止
型炭酸ガスレーザ管を提供することを目的とする。
げずに陽極へのガス拡散の効率を上げることがきる封止
型炭酸ガスレーザ管を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の封止型炭酸ガス
レーザ管は、二重管構造の放電管と、放電管の両端にそ
れぞれ装着された陰極と、陰極の近辺に装着された固体
酸化触媒と、陰極および固体酸化触媒が装着された放電
管の外部であるリザーバおよび放電管内部の放電路とを
陰極を介してガスが往来できるような状態で密閉空間と
し、前記密閉空間に炭酸ガスを含む混合ガスを封止して
いる封止用ガラス管と、放電管の中央部の放電路の脇に
設けられた陽極をリザーバから隔離して封止用ガラス管
外に導出する陽極導出管部とを有する封止型炭酸ガスレ
ーザ管であって、一端が前記リザーバ内に開放され、他
端が前記陽極導出管部に接続され、前記リザーバ内の炭
酸ガスを前記陽極導出管部に流入可能にするように配設
されたそれぞれガラス細管からなる複数のリターンパス
であって、前記陽極からリターンパスを経て前記陰極に
至る経路の放電抵抗が、前記陽極から前記放電路を経て
前記陰極に至る経路の放電抵抗より大となる管径および
管長にそれぞれされている複数のリターンパスを有す
る。
レーザ管は、二重管構造の放電管と、放電管の両端にそ
れぞれ装着された陰極と、陰極の近辺に装着された固体
酸化触媒と、陰極および固体酸化触媒が装着された放電
管の外部であるリザーバおよび放電管内部の放電路とを
陰極を介してガスが往来できるような状態で密閉空間と
し、前記密閉空間に炭酸ガスを含む混合ガスを封止して
いる封止用ガラス管と、放電管の中央部の放電路の脇に
設けられた陽極をリザーバから隔離して封止用ガラス管
外に導出する陽極導出管部とを有する封止型炭酸ガスレ
ーザ管であって、一端が前記リザーバ内に開放され、他
端が前記陽極導出管部に接続され、前記リザーバ内の炭
酸ガスを前記陽極導出管部に流入可能にするように配設
されたそれぞれガラス細管からなる複数のリターンパス
であって、前記陽極からリターンパスを経て前記陰極に
至る経路の放電抵抗が、前記陽極から前記放電路を経て
前記陰極に至る経路の放電抵抗より大となる管径および
管長にそれぞれされている複数のリターンパスを有す
る。
【０００８】また、前記複数のリターンパスは、それぞ
れ一端が前記陰極近辺のガス封止用ガラス管に接続さ
れ、ガス封止用ガラス管の外側を通り、他端が前記陽極
導出管部に接続されているのが好ましい。さらに、前記
複数のリターンパスは、前記一端がそれぞれ陽極近辺の
封止用ガラス管内で開放されているのも好ましい。
れ一端が前記陰極近辺のガス封止用ガラス管に接続さ
れ、ガス封止用ガラス管の外側を通り、他端が前記陽極
導出管部に接続されているのが好ましい。さらに、前記
複数のリターンパスは、前記一端がそれぞれ陽極近辺の
封止用ガラス管内で開放されているのも好ましい。
【０００９】
【作用】封止用ガラス管内に充填された炭酸ガスおよび
陰極部に装着された固体酸化触媒により再生された炭酸
ガスは、放電路を経て陽極方向に拡散するとともに複数
のリターンパスを経て陽極まで拡散する。リターンパス
の本数が増加するに従って、炭酸ガスの拡散は容易とな
るが、各リターンパスの放電抵抗は放電路の放電抵抗よ
り十分大きくしてあるので、放電は放電路のみを経て行
われる。
陰極部に装着された固体酸化触媒により再生された炭酸
ガスは、放電路を経て陽極方向に拡散するとともに複数
のリターンパスを経て陽極まで拡散する。リターンパス
の本数が増加するに従って、炭酸ガスの拡散は容易とな
るが、各リターンパスの放電抵抗は放電路の放電抵抗よ
り十分大きくしてあるので、放電は放電路のみを経て行
われる。
【００１０】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
説明する。図１は本発明の封止型炭酸ガスレーザ管の第
１実施例を示した構成図である。
説明する。図１は本発明の封止型炭酸ガスレーザ管の第
１実施例を示した構成図である。
【００１１】両端にミラー１５を備え、炭酸ガスを含む
混合ガスが封止されたガラス管１７の中に、長細い二重
管構造の放電管１１を配設し、放電管１１のほぼ中央に
陽極１８を、両端にそれぞれ陰極１３を設けている。両
陰極と放電管の両端との各間隔から陽極方向に放電管内
で混合ガスの拡散を生ぜしめるように構成するととも
に、封止用ガラス管１７の両陰極１３近辺と陽極導出管
部２５とをそれぞれ細いガラス管であるリターンパス３
８で連絡して、陽極近傍における混合ガスの不足を常時
補充しうるようにしたものである。なお、リターンパス
３８の放電抵抗は放電管１１の放電抵抗より十分大きく
なるように細く作成されている。またリターンパス３８
は複数配置されているので合計の断面積は大きくなり、
混合ガスの拡散がより容易になる利点がある。また、リ
ターンパス３８を封止用ガラス管１７内にストレートに
延ばし陰極近辺に開放端を配置してもよい。
混合ガスが封止されたガラス管１７の中に、長細い二重
管構造の放電管１１を配設し、放電管１１のほぼ中央に
陽極１８を、両端にそれぞれ陰極１３を設けている。両
陰極と放電管の両端との各間隔から陽極方向に放電管内
で混合ガスの拡散を生ぜしめるように構成するととも
に、封止用ガラス管１７の両陰極１３近辺と陽極導出管
部２５とをそれぞれ細いガラス管であるリターンパス３
８で連絡して、陽極近傍における混合ガスの不足を常時
補充しうるようにしたものである。なお、リターンパス
３８の放電抵抗は放電管１１の放電抵抗より十分大きく
なるように細く作成されている。またリターンパス３８
は複数配置されているので合計の断面積は大きくなり、
混合ガスの拡散がより容易になる利点がある。また、リ
ターンパス３８を封止用ガラス管１７内にストレートに
延ばし陰極近辺に開放端を配置してもよい。
【００１２】次に図２（ａ），（ｂ）を参照して本発明
の封止型炭酸ガスレーザ管の第２の実施例について説明
する。図２（ａ）は本実施例を示す断面図、図２（ｂ）
は図２（ａ）のリターンパス近辺の拡大断面図である。
なお、図２（ａ）において、（ ）内の数字は寸法を示
し単位はｍｍである。放電管１１は、中央にある二重管
構造の冷却部と、陰極１３近辺にあり二重管構造となっ
ていない非冷却部とからなっている。放電管１１の外壁
と封止用ガラス管１７との間はリザーバ２９と呼ばれ、
炭酸ガスを含むレーザ用混合ガス（例、ＣＯ2 ６％，
Ｎ2 １４％，Ｈｅ ７８％，Ｘｅ ２％の混合ガス）
が充満している。リザーバ２９内の炭酸ガスは放電管１
１の非冷却部と陰極１３との間隙を経て、放電管１１の
放電路１４内の炭酸ガスと混合すると共に、ガラス細管
からなるリターンパス４８を経て陽極導出管部２５内へ
も拡散する。また、陽極１８から放電路１４を経て陰極
１３に到る経路の放電抵抗より、陽極１８からリターン
パス４８を経て陰極１３に到る経路の放電抵抗が大きく
なるようにリターンパス４８の形状が定められている。
これは放電が放電路１４を通ってのみ行われるようにす
るためである。本実施例では各リターンパス４８の寸法
は全長約４００ｍｍ、外径６ｍｍ、内厚１ｍｍとした。
リザーバ２９内おけるリターンパス４８の開放端は両陰
極から等間隔となるように中央部に配置し、ガス拡散が
等しくなるようにした。リターンパス４８は封止用ガラ
ス管１７に内蔵されているため、障害物に当ることがな
い利点がある。
の封止型炭酸ガスレーザ管の第２の実施例について説明
する。図２（ａ）は本実施例を示す断面図、図２（ｂ）
は図２（ａ）のリターンパス近辺の拡大断面図である。
なお、図２（ａ）において、（ ）内の数字は寸法を示
し単位はｍｍである。放電管１１は、中央にある二重管
構造の冷却部と、陰極１３近辺にあり二重管構造となっ
ていない非冷却部とからなっている。放電管１１の外壁
と封止用ガラス管１７との間はリザーバ２９と呼ばれ、
炭酸ガスを含むレーザ用混合ガス（例、ＣＯ2 ６％，
Ｎ2 １４％，Ｈｅ ７８％，Ｘｅ ２％の混合ガス）
が充満している。リザーバ２９内の炭酸ガスは放電管１
１の非冷却部と陰極１３との間隙を経て、放電管１１の
放電路１４内の炭酸ガスと混合すると共に、ガラス細管
からなるリターンパス４８を経て陽極導出管部２５内へ
も拡散する。また、陽極１８から放電路１４を経て陰極
１３に到る経路の放電抵抗より、陽極１８からリターン
パス４８を経て陰極１３に到る経路の放電抵抗が大きく
なるようにリターンパス４８の形状が定められている。
これは放電が放電路１４を通ってのみ行われるようにす
るためである。本実施例では各リターンパス４８の寸法
は全長約４００ｍｍ、外径６ｍｍ、内厚１ｍｍとした。
リザーバ２９内おけるリターンパス４８の開放端は両陰
極から等間隔となるように中央部に配置し、ガス拡散が
等しくなるようにした。リターンパス４８は封止用ガラ
ス管１７に内蔵されているため、障害物に当ることがな
い利点がある。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、陽極部へ
の炭酸ガスの拡散のためにリターンパスを複数設けて拡
散散路を広くしているとともに各リターンパスの放電抵
抗は放電路のものより十分大きくしてあることにより、
放電は放電路のみを通じて行われる一方、炭酸ガス拡散
が放電路とリターンパスとの２つの経路で効率よく拡散
するので、陽極部への炭酸ガス補給が十分となり、ひい
てはレーザを能率よく出力することができる効果があ
る。
の炭酸ガスの拡散のためにリターンパスを複数設けて拡
散散路を広くしているとともに各リターンパスの放電抵
抗は放電路のものより十分大きくしてあることにより、
放電は放電路のみを通じて行われる一方、炭酸ガス拡散
が放電路とリターンパスとの２つの経路で効率よく拡散
するので、陽極部への炭酸ガス補給が十分となり、ひい
てはレーザを能率よく出力することができる効果があ
る。
【図１】本発明の封止型炭酸ガスレーザ管の第１の実施
例を示す断面図である。
例を示す断面図である。
【図２】（ａ）は本発明の第２の実施例を示す断面図で
ある。（ｂ）は（ａ）で示されるリターンパス近辺を示
す拡大断面図である。
ある。（ｂ）は（ａ）で示されるリターンパス近辺を示
す拡大断面図である。
【図３】（ａ）は従来例を示す部分断面平面図である。
（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ断面図である。
（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ断面図である。
１１ 放電管 １３ 陰極 １４ 放電路 １５ ミラー １７ 封止用ガラス管 １８ 陽極 ２５ 陽極導出管部 ３８，４８ リターンパス
Claims (3)
- 【請求項１】 二重管構造の放電管と、放電管の両端に
それぞれ装着された陰極と、陰極の近辺に装着された固
体酸化触媒と、陰極および固体酸化触媒が装着された放
電管の外部であるリザーバおよび放電管内部の放電路と
を陰極を介してガスが往来できるような状態で密閉空間
とし、前記密閉空間に炭酸ガスを含む混合ガスを封止し
ている封止用ガラス管と、放電管の中央部の放電路の脇
に設けられた陽極をリザーバから隔離して封止用ガラス
管外に導出する陽極導出管部とを有する封止型炭酸ガス
レーザ管において、 一端が前記理リザーバ内に開放され、他端が前記陽極導
出管部に接続され、前記リザーバ内の炭酸ガスを前記陽
極導出管部に流入可能にするように配設されたそれぞれ
ガラス細管からなる複数のリターンパスであって、前記
陽極からリターンパスを経て前記陰極に至る経路の放電
抵抗が、前記陽極から前記放電路を経て前記陰極に至る
経路の放電抵抗より大となる管径および管長にそれぞれ
されている複数のリターンパスを有することを特徴とす
る封止型炭酸ガスレーザ管。 - 【請求項２】 前記複数のリターンパスは、それぞれ一
端が前記陰極付近のガス封止用ガラス管に接続され、ガ
ス封止用ガラス管の外側を通り、他端が前記陽極導出管
部に接続された請求項１記載の封止型炭酸ガスレーザ
管。 - 【請求項３】前記複数のリターンパスは、前記一端がそ
れぞれ陽極近辺の封止用ガラス管内で開放されている請
求項１記載の封止型炭酸ガスレーザ管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1660392A JPH05218533A (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 封止型炭酸ガスレーザ管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1660392A JPH05218533A (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 封止型炭酸ガスレーザ管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05218533A true JPH05218533A (ja) | 1993-08-27 |
Family
ID=11920879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1660392A Pending JPH05218533A (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 封止型炭酸ガスレーザ管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05218533A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106711741A (zh) * | 2016-12-06 | 2017-05-24 | 沧州沃福激光科技有限公司 | 一种轴快流二氧化碳激光器的放电管 |
-
1992
- 1992-01-31 JP JP1660392A patent/JPH05218533A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106711741A (zh) * | 2016-12-06 | 2017-05-24 | 沧州沃福激光科技有限公司 | 一种轴快流二氧化碳激光器的放电管 |
| CN106711741B (zh) * | 2016-12-06 | 2023-09-08 | 沧州沃福激光科技有限公司 | 一种轴快流二氧化碳激光器的放电管 |
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