JPS58204583A - 封止型レ−ザ管 - Google Patents
封止型レ−ザ管Info
- Publication number
- JPS58204583A JPS58204583A JP8820282A JP8820282A JPS58204583A JP S58204583 A JPS58204583 A JP S58204583A JP 8820282 A JP8820282 A JP 8820282A JP 8820282 A JP8820282 A JP 8820282A JP S58204583 A JPS58204583 A JP S58204583A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- laser
- reservoir
- gas
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は医療用レーザや加り用レーザの分野にハ］いる
ことができる封市型レーザ・Ｈに関するものである。
ことができる封市型レーザ・Ｈに関するものである。
置市型Ｃ０２し〜ザはレーザ・θ中に封入き、／Ｉるガ
スの一種である０ＣＯ２ガスのｉ（７助解離ＪＭ象Ｃ０
２−ＣＯ＋−１０２（す と、１史１υ］現家としてのカス組成の変化（主として
１Ｌ憧における化学反応やスパッタ膜或いは放電・１♀
内壁にＬ・ける吸着なとによる（１）式右辺の０２の消
耗にノ古一つぐ（１）式の右辺方向への解離ヒ・衡状態
の移・肋）の二ＪＭ ！Ａによ−・てぞれそ７１出力と
スｒ命が限＞ｆされる３、前者の防止策として発明者ら
は以前電極触媒の採用を提案した。また後者の解決策と
しては三屯管バラスト付放電管構造が発表されている。
スの一種である０ＣＯ２ガスのｉ（７助解離ＪＭ象Ｃ０
２−ＣＯ＋−１０２（す と、１史１υ］現家としてのカス組成の変化（主として
１Ｌ憧における化学反応やスパッタ膜或いは放電・１♀
内壁にＬ・ける吸着なとによる（１）式右辺の０２の消
耗にノ古一つぐ（１）式の右辺方向への解離ヒ・衡状態
の移・肋）の二ＪＭ ！Ａによ−・てぞれそ７１出力と
スｒ命が限＞ｆされる３、前者の防止策として発明者ら
は以前電極触媒の採用を提案した。また後者の解決策と
しては三屯管バラスト付放電管構造が発表されている。
この両番の組合わせから成る従来の封■］二型レーザ管
の構造を第１図に示す。同図において、１は放ｔＷ 管
であ−）て、内部にＣＯ２，Ｎ２．Ｈｅ、Ｘｅなどのレ
ーザカスが封入されており、Ｃ０２はその一部がＭ離し
てＣｏと０２になっている。２は出力結合鏡、２は全反
射鏡であり、３がレーザ光である。
の構造を第１図に示す。同図において、１は放ｔＷ 管
であ−）て、内部にＣＯ２，Ｎ２．Ｈｅ、Ｘｅなどのレ
ーザカスが封入されており、Ｃ０２はその一部がＭ離し
てＣｏと０２になっている。２は出力結合鏡、２は全反
射鏡であり、３がレーザ光である。
４および４′は覗極用側板であり、′５極用側板４の内
部には触媒作用を有する陰電極５が封入されており、発
明者は以前にＬａＳｒＭｎＯ３やＬ ａ Ｓ ｒ （／
ｏ Ｏ３などのペロブスカイト酸化物撓結体の使用を
実験による動作の確認の上に提案した同じく側板４′に
はｐｔ ロッドなどの陽極５′が封入されている。こＩ
ｌら両′＋ｔｉ ｈ ５及び５′間に直流高市１−Ｅを
１Ｌ諒６によ−）て印ＪＪｎシて放電を行わせる。、Ｃ
ｏ２レーザは冷却するに従って出力も・よび効率が高ま
るので冷Ａ（Ｉ水ジャケット７を設け、冷却水出入［］
８およびぎを設ける。前、１ピしたよ・）に０２の消耗
を第一の原因としてＣＯ２が＃１減し、そね、に応じて
レーザ出力が低−ドしてやがて動作寿命が尽きる。動作
寿命を延長するために管の前魁理、ガス組成の最唾化、
直極付科の選択、同溝令の最適化、などが行われるが積
極的な寿命延反のためにガス溜めの設置を行うと効果的
である。第１図に示す従来例では、同輛三＋１１＋構造
の最外１１１０をガス溜め１０として用いるものであり
、放電・θ１とこのガス溜め１ｏを連絡する通路９とし
て小孔が設けられでいる。触媒電極６と三１Ｆ看構造ガ
ス捕め１ｏの夫々は、そハぞｔＬが別個に月ｊいた時に
（はその有用性が発明者らによ−＋−（も夷、ｊｌｌす
ることがでさた。またこの種の三１１７管構造は故＋５
看・Ｊ曹もり化、堅牢化にも通じる。所が第１図に示す
如き両者の組合はせを実験して与・ると次に述べる欠点
があることが分−）だ。
部には触媒作用を有する陰電極５が封入されており、発
明者は以前にＬａＳｒＭｎＯ３やＬ ａ Ｓ ｒ （／
ｏ Ｏ３などのペロブスカイト酸化物撓結体の使用を
実験による動作の確認の上に提案した同じく側板４′に
はｐｔ ロッドなどの陽極５′が封入されている。こＩ
ｌら両′＋ｔｉ ｈ ５及び５′間に直流高市１−Ｅを
１Ｌ諒６によ−）て印ＪＪｎシて放電を行わせる。、Ｃ
ｏ２レーザは冷却するに従って出力も・よび効率が高ま
るので冷Ａ（Ｉ水ジャケット７を設け、冷却水出入［］
８およびぎを設ける。前、１ピしたよ・）に０２の消耗
を第一の原因としてＣＯ２が＃１減し、そね、に応じて
レーザ出力が低−ドしてやがて動作寿命が尽きる。動作
寿命を延長するために管の前魁理、ガス組成の最唾化、
直極付科の選択、同溝令の最適化、などが行われるが積
極的な寿命延反のためにガス溜めの設置を行うと効果的
である。第１図に示す従来例では、同輛三＋１１＋構造
の最外１１１０をガス溜め１０として用いるものであり
、放電・θ１とこのガス溜め１ｏを連絡する通路９とし
て小孔が設けられでいる。触媒電極６と三１Ｆ看構造ガ
ス捕め１ｏの夫々は、そハぞｔＬが別個に月ｊいた時に
（はその有用性が発明者らによ−＋−（も夷、ｊｌｌす
ることがでさた。またこの種の三１１７管構造は故＋５
看・Ｊ曹もり化、堅牢化にも通じる。所が第１図に示す
如き両者の組合はせを実験して与・ると次に述べる欠点
があることが分−）だ。
め枚重□ｉ′ｉ’ １中のｃｏ２解離′１ミ成′吻であ
るｃｏや０２Ｑｔこの通路を通りガスｌｄめ１ｏに拡散
してし１う。
るｃｏや０２Ｑｔこの通路を通りガスｌｄめ１ｏに拡散
してし１う。
この／こめガス溜め１０中にｔＬ人：１１のＣｏら・よ
び０２ガスが存在してこれらのガスはレーザ発振中成′
市青１内に逆流してレーザ出力を低ドさせる。
び０２ガスが存在してこれらのガスはレーザ発振中成′
市青１内に逆流してレーザ出力を低ドさせる。
即ち通路９によって放′亀管１に連結するガス溜め１ｏ
は触媒電極６の作用の及ばない領域として存在しレーザ
出力を低下させる働きをもつ。
は触媒電極６の作用の及ばない領域として存在しレーザ
出力を低下させる働きをもつ。
第二に、ガス溜め１ｏの内壁はベーキングが困難である
ので不純物ガスの放出諒となり、レーザノ、ｊ命を短縮
する。そもそもガス溜め１ｏは寿命延長の目的のために
設けられたが、実際にはその逆の作用を示している。こ
の種の不純物ガスは１市常ｅｔベーキングによってとる
ことができる。しかし第１図に示す如き多重管構造では
外部から加熱してベーキングを行うのは真空層の熱伝導
率が低いので困難である。一方放電・α１全体を炉中に
入れると放電管窓１１および１１′やその接着剤が簡幌
に而ｔえない。
ので不純物ガスの放出諒となり、レーザノ、ｊ命を短縮
する。そもそもガス溜め１ｏは寿命延長の目的のために
設けられたが、実際にはその逆の作用を示している。こ
の種の不純物ガスは１市常ｅｔベーキングによってとる
ことができる。しかし第１図に示す如き多重管構造では
外部から加熱してベーキングを行うのは真空層の熱伝導
率が低いので困難である。一方放電・α１全体を炉中に
入れると放電管窓１１および１１′やその接着剤が簡幌
に而ｔえない。
イク光明ｉｔこ７１らの入点を除去することを目的と［
２ている。
２ている。
本発明はｌ二ｎＬした第一の解離ガスのガスｅｄめへの
流入現象の防止をし、触媒電極による解離生成ガスＣｏ
および０２の再結合 Ｃｏ−１−，０２−Ｃｏ２ （２）を
より効果的に行なわし、め、放電管中のＣＯ２ガス濃Ｉ
Ｗをより高い１直に絹持させてレーザ出力を」・ａ大さ
せることを目的とする。
流入現象の防止をし、触媒電極による解離生成ガスＣｏ
および０２の再結合 Ｃｏ−１−，０２−Ｃｏ２ （２）を
より効果的に行なわし、め、放電管中のＣＯ２ガス濃Ｉ
Ｗをより高い１直に絹持させてレーザ出力を」・ａ大さ
せることを目的とする。
本発明の一実画クリを第２図に・賀す。同図中第１図と
同行＞４のものは同じものを・Ｊ：、すので説明を香略
する。第１図との走置は枚１ｋ・１臂１とガス溜め１゜
との間の連絡路９が、本実施例では陰極用１１４１１板
４の至近距啼にｒ企ｔ＆ していることである。陰屯極
６はｒＪ虫媒を兼ねているので屏ｉ’ｉ任生１攻イ勿で
あるＣＯや０２濃度は陰惨５附近で６・−１低く、放心
管１内で高い。第１図に小す従来Ｌ＋ｌＪとは一°４す
、ガス溜め１０中番こＣ１比較的Ｃ０２濃吸が副いレー
ザ作用；こ打利なガスかで留めら７しており、放電管１
中のｃｏ２ａ度が吸着などに、Ｌり低ドすると拡散によ
−・て補給が行わｎレーザ看ノ、ｆ命の延長が行われる
のである。
同行＞４のものは同じものを・Ｊ：、すので説明を香略
する。第１図との走置は枚１ｋ・１臂１とガス溜め１゜
との間の連絡路９が、本実施例では陰極用１１４１１板
４の至近距啼にｒ企ｔ＆ していることである。陰屯極
６はｒＪ虫媒を兼ねているので屏ｉ’ｉ任生１攻イ勿で
あるＣＯや０２濃度は陰惨５附近で６・−１低く、放心
管１内で高い。第１図に小す従来Ｌ＋ｌＪとは一°４す
、ガス溜め１０中番こＣ１比較的Ｃ０２濃吸が副いレー
ザ作用；こ打利なガスかで留めら７しており、放電管１
中のｃｏ２ａ度が吸着などに、Ｌり低ドすると拡散によ
−・て補給が行わｎレーザ看ノ、ｆ命の延長が行われる
のである。
１ニ。Ｌ２友施圀し１陰′Ｅｕ極が触媒を兼ねている場
合に−ｐいて述べたが、本発明はこれに限定さノ上るも
の−Ｃはなく、陰屯極とは別個に固体触媒が内蔵されて
いても良く、レーザ′＃１とガス溜め１０を連結−４−
る連結＋＋ｎ路９ｒ１固体触媒の設置位置の近傍に設け
られていれば良い。連結路９ ｋｌ複数本であ−）でも
良い。
合に−ｐいて述べたが、本発明はこれに限定さノ上るも
の−Ｃはなく、陰屯極とは別個に固体触媒が内蔵されて
いても良く、レーザ′＃１とガス溜め１０を連結−４−
る連結＋＋ｎ路９ｒ１固体触媒の設置位置の近傍に設け
られていれば良い。連結路９ ｋｌ複数本であ−）でも
良い。
以Ｆのように本発明は最外側（ｌζガス溜め部を設けｌ
（三ｄｉ看構造の封止型レーザ管の内部に固体触媒を内
被し、最内側の放電管とガス溜め部とが連結直路で連結
されており、その連結通路を固体触媒の近傍に設けたも
ので、触媒によって酸化再結合されたレーザガスがガス
溜めに溜められて、レーザ放直管内で００２ガスの消耗
が発生してもガス溜めからレーザガスの補給かに時打わ
れ、レーザ出力の低下を防止し且置市管動作寿命を延長
させる効果を有する。
（三ｄｉ看構造の封止型レーザ管の内部に固体触媒を内
被し、最内側の放電管とガス溜め部とが連結直路で連結
されており、その連結通路を固体触媒の近傍に設けたも
ので、触媒によって酸化再結合されたレーザガスがガス
溜めに溜められて、レーザ放直管内で００２ガスの消耗
が発生してもガス溜めからレーザガスの補給かに時打わ
れ、レーザ出力の低下を防止し且置市管動作寿命を延長
させる効果を有する。
第１図は従来の封ＩＦ型し−ザ青の構造を示す断面図、
第２図３−Ｌ本″；こ明の一寿殉＋＋＋ｊである封１ト
をレーリ゛青のＥθ１面図である。 １・・・・・ 故、に管、２・・−・・出力結合鏡、２
′・・・・↑反射鏡、３・・・・・・レーザ毘、４，４
′・・・・・′市極月］１、＋１１仮、５・・・・何洪
市惨、６′・・・・陽市惟、６ ・・・・直流、ｔう重
圧″市諒、７ ・・・・・冷却水用ジャケット、８．８
′・・・冷却水出入［］、９・・・・・・ガス溜連結西
路、１０・・・・・ガス溜め５、 ｆ（１９人の氏名 Ｊ［理１− 中 尾 敏 男 ほか
１名第１図
第２図３−Ｌ本″；こ明の一寿殉＋＋＋ｊである封１ト
をレーリ゛青のＥθ１面図である。 １・・・・・ 故、に管、２・・−・・出力結合鏡、２
′・・・・↑反射鏡、３・・・・・・レーザ毘、４，４
′・・・・・′市極月］１、＋１１仮、５・・・・何洪
市惨、６′・・・・陽市惟、６ ・・・・直流、ｔう重
圧″市諒、７ ・・・・・冷却水用ジャケット、８．８
′・・・冷却水出入［］、９・・・・・・ガス溜連結西
路、１０・・・・・ガス溜め５、 ｆ（１９人の氏名 Ｊ［理１− 中 尾 敏 男 ほか
１名第１図
Claims (2)
- （１）両端が置市さイ１フこレーザ放市管と、１］１１
記レーザ放市管の外＋１１１１に設けられた冷肩Ｊ用ジ
ャケットと、前ｔｉＬ冷却用ジャゲットの外ｌ１１１ｊ
に設けらｊｌ′に／ｊガスめ部とを有し、前記レーザ放
市菅とガス蒲め部とが１山路通路を介して連結さｔｌて
おり、前記連結１山路が固体触媒の近１労に設けら、ｔ
ｌていることを特徴とする封止型レーザ管。 - （２）陰電極が固体触媒を兼ねていることを特徴とする
′１．１−許請求の範囲第１項記載の封＋Ｆ型し−リ′
庁、。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8820282A JPS58204583A (ja) | 1982-05-24 | 1982-05-24 | 封止型レ−ザ管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8820282A JPS58204583A (ja) | 1982-05-24 | 1982-05-24 | 封止型レ−ザ管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58204583A true JPS58204583A (ja) | 1983-11-29 |
Family
ID=13936307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8820282A Pending JPS58204583A (ja) | 1982-05-24 | 1982-05-24 | 封止型レ−ザ管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58204583A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011097974A1 (zh) * | 2010-02-10 | 2011-08-18 | 华中科技大学 | 一种气体激光器 |
-
1982
- 1982-05-24 JP JP8820282A patent/JPS58204583A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011097974A1 (zh) * | 2010-02-10 | 2011-08-18 | 华中科技大学 | 一种气体激光器 |
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