JPS641948B2 - - Google Patents
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- JPS641948B2 JPS641948B2 JP22040883A JP22040883A JPS641948B2 JP S641948 B2 JPS641948 B2 JP S641948B2 JP 22040883 A JP22040883 A JP 22040883A JP 22040883 A JP22040883 A JP 22040883A JP S641948 B2 JPS641948 B2 JP S641948B2
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- cathode
- mixed gas
- coated
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- laser oscillation
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Links
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- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 14
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 6
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 6
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は封じ切り型のCO2レーザー発振管に関
する。
する。
本発明が適用される封じ切り型のCO2レーザー
発振管はCO2、He、N2等からなる混合ガスを密
閉した管内に循環させ、その放電路において比較
的大電流密度の直流を陽・陰極間に放電してCO2
の荷電粒子を陽極側から陰極側に移動してCO2レ
ーザービームを発振せしめる方式のものである。
発振管はCO2、He、N2等からなる混合ガスを密
閉した管内に循環させ、その放電路において比較
的大電流密度の直流を陽・陰極間に放電してCO2
の荷電粒子を陽極側から陰極側に移動してCO2レ
ーザービームを発振せしめる方式のものである。
しかして、かかる発振方式では、原理的にガス
循環のためのターボフアン等を設置する必要がな
く全体の容積が比較的少くてすみ、また、CO2を
補充しなくてもよいので取扱が容易であり、発振
管の寿命も他の方式のものに較べて長い等の利点
を有するのであるが、反面一方交通的に陽極から
陽極に向つてCO2荷電粒子が移動するものである
から陰極側に混合ガスが比較的濃厚に集結し発振
管全体としてアンバランスな圧力差を生じ、さら
に、CO2の一部がCOに還元されこの結果連続し
て安定した発振が得られず発振効率も低下するこ
とが欠点となつていた。
循環のためのターボフアン等を設置する必要がな
く全体の容積が比較的少くてすみ、また、CO2を
補充しなくてもよいので取扱が容易であり、発振
管の寿命も他の方式のものに較べて長い等の利点
を有するのであるが、反面一方交通的に陽極から
陽極に向つてCO2荷電粒子が移動するものである
から陰極側に混合ガスが比較的濃厚に集結し発振
管全体としてアンバランスな圧力差を生じ、さら
に、CO2の一部がCOに還元されこの結果連続し
て安定した発振が得られず発振効率も低下するこ
とが欠点となつていた。
本発明者は、これが対策として、CO2を陰極側
に滞留させず陽極側に移動させ、また該ガスを冷
却するため曲折した長尺のリターンパスを付設し
たガスリザーバーを設け、さらに発生するCOを
CO2に再生酸化する触媒を該ガスリザーバーに内
蔵したレーザー発振管を提供している。
に滞留させず陽極側に移動させ、また該ガスを冷
却するため曲折した長尺のリターンパスを付設し
たガスリザーバーを設け、さらに発生するCOを
CO2に再生酸化する触媒を該ガスリザーバーに内
蔵したレーザー発振管を提供している。
しかし、その後検討を重ねた結果、ガスリザー
バーに触媒を内蔵すると混合ガスの円滑な流動を
阻害するため好ましくないという問題点があるこ
とが判明したためこれが改善を企図した結果、中
空筒型に形成されている陰極内壁に液状又はペー
スト状等の触媒を塗布・乾燥して触媒膜を形成
し、しかも、陰極本来の機能を損うことのないよ
うに塗布部と不塗布部とが交互にあらわれる如く
構成するもので、触媒の塗布部にCOをCO2に再
生する機能を有せしめるとともに不塗布部におい
て陽極からのCO2荷電粒子を迎え入れて放電を行
わしめる如く工夫されている。
バーに触媒を内蔵すると混合ガスの円滑な流動を
阻害するため好ましくないという問題点があるこ
とが判明したためこれが改善を企図した結果、中
空筒型に形成されている陰極内壁に液状又はペー
スト状等の触媒を塗布・乾燥して触媒膜を形成
し、しかも、陰極本来の機能を損うことのないよ
うに塗布部と不塗布部とが交互にあらわれる如く
構成するもので、触媒の塗布部にCOをCO2に再
生する機能を有せしめるとともに不塗布部におい
て陽極からのCO2荷電粒子を迎え入れて放電を行
わしめる如く工夫されている。
さらに、本願の第２の発明にあつては、ガスリ
ザーバーに付設する曲折した長尺のリターンパス
の代りに該パスと同等以上の冷却効果を奏せしめ
るため強制冷却水路に接してガスリザーバーを配
設する工夫並びに該ガスリザーバーを介して両極
間で放電が行われることを防止するため陰極に近
接するガスリザーバーの端部に穿設される混合ガ
スの流入小孔にコイル状の流入管を取付けて直線
的な放電経路を断つて放電抵抗を生ぜしめる工夫
を夫々付加してなる発明を提供しようとするもの
である。
ザーバーに付設する曲折した長尺のリターンパス
の代りに該パスと同等以上の冷却効果を奏せしめ
るため強制冷却水路に接してガスリザーバーを配
設する工夫並びに該ガスリザーバーを介して両極
間で放電が行われることを防止するため陰極に近
接するガスリザーバーの端部に穿設される混合ガ
スの流入小孔にコイル状の流入管を取付けて直線
的な放電経路を断つて放電抵抗を生ぜしめる工夫
を夫々付加してなる発明を提供しようとするもの
である。
以下図面を参照し実施例に基づいて本発明を説
明する。
明する。
第１図は、本発明装置を示す断面的説明図であ
る。陽極１と陰極２との間には放電路３が介在
し、比較的大電流密度の直流で放電が行われてい
る。管内にはCO2、He、及びN2からなる放電劣
化性の小なる混合ガスが循環し光共振器４，４′
によりCO2レーザービームが発振せしめられる。
CO2は荷電粒子として陰極２に衝突的に移動する
が、この際陰極２側に比較的濃厚に集結する。
る。陽極１と陰極２との間には放電路３が介在
し、比較的大電流密度の直流で放電が行われてい
る。管内にはCO2、He、及びN2からなる放電劣
化性の小なる混合ガスが循環し光共振器４，４′
によりCO2レーザービームが発振せしめられる。
CO2は荷電粒子として陰極２に衝突的に移動する
が、この際陰極２側に比較的濃厚に集結する。
本発明では、放電過程で経済的に増加するCO
をCO2に再生するための酸化触媒が陰極２の内壁
に輪状に塗布されている。そして第２図に示され
る如く塗布部５と不塗布部２ａとが交互にあらわ
れる如く形成される。触媒には、アルミナ担体の
白金・バナジウム系のものが非加熱活性型として
賞用されるが、そのほか加熱活性型の白金，シリ
カ，アルミナ等も使用できる。加熱型の場合、昇
温されている陰極の余熱が利用できる。陰極内壁
に対する塗布は、展延剤等により液状又はペース
ト状等となつた触媒を塗着，乾燥することによつ
てなされる。
をCO2に再生するための酸化触媒が陰極２の内壁
に輪状に塗布されている。そして第２図に示され
る如く塗布部５と不塗布部２ａとが交互にあらわ
れる如く形成される。触媒には、アルミナ担体の
白金・バナジウム系のものが非加熱活性型として
賞用されるが、そのほか加熱活性型の白金，シリ
カ，アルミナ等も使用できる。加熱型の場合、昇
温されている陰極の余熱が利用できる。陰極内壁
に対する塗布は、展延剤等により液状又はペース
ト状等となつた触媒を塗着，乾燥することによつ
てなされる。
次に、本発明では、陰極２付近に比較的濃厚な
状態に集結する混合ガスを陽極１に帰還させるた
めのガスリザーバー７が冷却水通路の外側に接し
て設けられる。６ａ及び６ｂは夫々冷却水の導入
口及び導出口である。
状態に集結する混合ガスを陽極１に帰還させるた
めのガスリザーバー７が冷却水通路の外側に接し
て設けられる。６ａ及び６ｂは夫々冷却水の導入
口及び導出口である。
さらに、ガスリザーバー７の陰極側の端部には
混合ガスをガスリザーバー内に導入するための流
入小孔８が１個又は複数個穿設されている。ま
た、小孔のガスリザーバー内側には該小孔に連接
してコイル状流入管９が取付けられている。一般
に、陽極１と陰極２との間の放電は放電路３にお
いてのみ行われるのが好ましく、他の経路で放電
現象が生じることは混合ガスを徒らに加熱する等
して発振効率を低下せしめ不都合である。このた
め、本発明に係るガスリザーバーは特に陰極側を
開放口に形成せず、穿設した小孔に連接してコイ
ル状流入管９を設け、直線的な放電経路を断ち放
電抵抗を生ぜしめているものである。
混合ガスをガスリザーバー内に導入するための流
入小孔８が１個又は複数個穿設されている。ま
た、小孔のガスリザーバー内側には該小孔に連接
してコイル状流入管９が取付けられている。一般
に、陽極１と陰極２との間の放電は放電路３にお
いてのみ行われるのが好ましく、他の経路で放電
現象が生じることは混合ガスを徒らに加熱する等
して発振効率を低下せしめ不都合である。このた
め、本発明に係るガスリザーバーは特に陰極側を
開放口に形成せず、穿設した小孔に連接してコイ
ル状流入管９を設け、直線的な放電経路を断ち放
電抵抗を生ぜしめているものである。
本発明は以上の如き構成に基づくものであつ
て、混合ガス中のCOをCO2に再生するための酸
化触媒が陰極の内壁に輪状に塗布されて、しか
も、塗布部と不塗布部とが交互にあらわれる如く
形成されるものであるから陰極に流入する混合ガ
ス中のCOは該酸化触媒によりCO2に再生され、
しかも陰極自体はその内壁に不塗布部分を残すた
め本来の機能を全く損うことがなく、放電と再生
とが同時に円滑に行われるものであり、触媒を他
の場所に配置した従来技術に較べ装置容量を格段
に減縮せしめうるもので装置の取扱上も極めて有
用であり、さらに付加して、放電路及び両極を強
制冷却する冷却水の通路の外側に接してガスリザ
ーバーを設けているので、ガスリザーバーを経由
して陰極側から陽極側に帰還する混合ガスを十分
冷却することができて、その結果発振効率を高め
うるものであり、また、陰極側の混合ガスをガス
リザーバーに流入する小孔に連接してコイル状流
入管を取付けた構成となつているので、ガスリザ
ーバーを介する放電経路を断つて放電抵抗を生じ
ることとなり、放電路以外における異常リークに
よる発振効率の低下を阻止しうる等多くの利点を
有し、さらに、装置全体がコンパクトに形成され
て構造が単純化されているので、製作の容易化及
び価格の低廉化が可能であり、この種封じ切り型
の発振管に適用して極めて有用なる発明である。
て、混合ガス中のCOをCO2に再生するための酸
化触媒が陰極の内壁に輪状に塗布されて、しか
も、塗布部と不塗布部とが交互にあらわれる如く
形成されるものであるから陰極に流入する混合ガ
ス中のCOは該酸化触媒によりCO2に再生され、
しかも陰極自体はその内壁に不塗布部分を残すた
め本来の機能を全く損うことがなく、放電と再生
とが同時に円滑に行われるものであり、触媒を他
の場所に配置した従来技術に較べ装置容量を格段
に減縮せしめうるもので装置の取扱上も極めて有
用であり、さらに付加して、放電路及び両極を強
制冷却する冷却水の通路の外側に接してガスリザ
ーバーを設けているので、ガスリザーバーを経由
して陰極側から陽極側に帰還する混合ガスを十分
冷却することができて、その結果発振効率を高め
うるものであり、また、陰極側の混合ガスをガス
リザーバーに流入する小孔に連接してコイル状流
入管を取付けた構成となつているので、ガスリザ
ーバーを介する放電経路を断つて放電抵抗を生じ
ることとなり、放電路以外における異常リークに
よる発振効率の低下を阻止しうる等多くの利点を
有し、さらに、装置全体がコンパクトに形成され
て構造が単純化されているので、製作の容易化及
び価格の低廉化が可能であり、この種封じ切り型
の発振管に適用して極めて有用なる発明である。
第１図は本発明装置を示す断面的説明図、第２
図は陰極部分を示す一部切開の要部斜視図であ
る。 １……陽極、２……陰極、３……放電路、４，
４′……光共振器、５……（触媒）塗布部、２ａ
……（触媒）不塗布部、６……冷却水通路、７…
…ガスリザーバー、８……流入小孔、９……コイ
ル状流入管。
図は陰極部分を示す一部切開の要部斜視図であ
る。 １……陽極、２……陰極、３……放電路、４，
４′……光共振器、５……（触媒）塗布部、２ａ
……（触媒）不塗布部、６……冷却水通路、７…
…ガスリザーバー、８……流入小孔、９……コイ
ル状流入管。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 全体を封じ切り陽極と陰極との間にCO2を含
む混合ガスを介在して放電しレーザービームを発
振せしめるCO2レーザー発振管において、前記陰
極の内壁に輪状に形成される触媒の塗布部と不塗
布部とが交互にあらわれる如く混合ガス中のCO
をCO2に再生する酸化触媒を塗着して構成される
ことを特徴とする封じ切り型のCO2レーザー発振
管。 ２ 全体を封じ切り陽極と陰極との間にCO2を含
む混合ガスを介在して放電しレーザービームを発
振せしめるCO2レーザー発振管において、前記陰
極の内壁に輪状に形成される触媒の塗布部と不塗
布部とが交互にあらわれる如く混合ガス中のCO
をCO2に再生する酸化触媒を塗着するとともに、
放電路及び両極を強制冷却する冷却水の通路の外
側に接して陰極付近に集結した混合ガスを逐次導
入する流入小孔を有するガスリザーバーを設け、
かつ、該ガスリザーバーの内側に該流入小孔に連
接してコイル状流入管を取付けて構成されること
を特徴とする封じ切り型のCO2レーザー発振管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22040883A JPS60113489A (ja) | 1983-11-23 | 1983-11-23 | Ｃｏ↓２レ−ザ−発振管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22040883A JPS60113489A (ja) | 1983-11-23 | 1983-11-23 | Ｃｏ↓２レ−ザ−発振管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60113489A JPS60113489A (ja) | 1985-06-19 |
| JPS641948B2 true JPS641948B2 (ja) | 1989-01-13 |
Family
ID=16750647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22040883A Granted JPS60113489A (ja) | 1983-11-23 | 1983-11-23 | Ｃｏ↓２レ−ザ−発振管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60113489A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05102552A (ja) * | 1991-10-11 | 1993-04-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 封止型炭酸ガスレーザ管 |
-
1983
- 1983-11-23 JP JP22040883A patent/JPS60113489A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60113489A (ja) | 1985-06-19 |
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