JPH05217198A

JPH05217198A - 光学ヘッド装置

Info

Publication number: JPH05217198A
Application number: JP4020098A
Authority: JP
Inventors: Kunio Yamamiya; 国雄山宮
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1992-02-05
Filing date: 1992-02-05
Publication date: 1993-08-27

Abstract

(57)【要約】【目的】超解像を用いて情報の記録再生を行う光学ヘ
ッド装置において、装置を小型化、軽量化すると共に、
光学部品の取り付け、位置合わせを容易にした装置を提
供することを目的とする。【構成】レーザダイオード（２）と、偏向型非球面レ
ンズ（３）、円錐プリズム（４）、全反射プリズム
（５）、及び光検出器（８）とを共通の基板（１）に設
けて光学部品をユニット化して装置全体の小型化、軽量
化を図った光学ヘッド装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光磁気ディスク等の情
報記録媒体にレーザ光を照射して情報の記録再生を行う
光学ヘッド装置に関するものであり、特に、超解像技術
を利用して記録再生を行う光学ヘッド装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】超解像技術を利用した光学ヘッド装置と
して、例えば特開平２−１２６２２号公報に記載されて
いるものがある。この公報に記載されている装置では、
光源と集光レンズとの間に円錐プリズムを配置して、光
源からの光ビームをリング状のコリメート光束にして、
このリング状の光ビームを集光レンズを介して情報記録
媒体に照射するようにしている。この装置によれば、遮
光帯を用いて光源からの光ビームを分割して超解像を実
現していた光学ヘッド装置にくらべて、光利用率を約
１．５倍程度高めることができる。したがって、光源と
して使用される半導体レーザに要求される出力を低減す
ることができる。

【０００３】また、特開平２−２９２７４２号公報に
は、レーザビームを円形ビームにする光学素子として、
２つの円錐形状のプリズムの底面を合わせてその円錐の
頂点を結ぶ線と光軸とを一致させるようにしたものを光
源と集光レンズとの間に配置した装置が開示されてい
る。このような構成では、円錐プリズムに入射する光束
が小さくてすむため、短焦点のコリメータレンズを使用
することができ、光学ヘッド装置自体を小型化すること
ができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】これらの公報に記載さ
れている超解像技術を利用した光学ヘッド装置では、半
導体レーザ、コリメートレンズ、円錐プリズム、受光素
子等の光学素子がそれぞれ別体で配設されている。この
ため、情報記録再生装置内の光学ヘッドが占める空間が
大きく、装置全体が大型になってしまうと共に、組み立
ての際の各光学素子の位置合わせが複雑であった。ま
た、従来の装置では、フォーカス制御及びトラッキング
制御を行うために、２次元アクチュエータを用いて対物
レンズを駆動しており、光学ヘッドの小型化、軽量化が
図れなかったといった不具合があった。本発明は、この
ような不具合を解決すべく提案されたもので、光学ヘッ
ド装置の小型化、軽量化を図ると共に、組み立ての際に
各光学素子を容易に位置決めすることができる光学ヘッ
ド装置を提供することを目的とするものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段及び作用】上記課題を解決
するために、本発明の光学ヘッド装置は、半導体レーザ
と、該半導体レーザから出射したレーザ光を平行光にす
る第１の光学素子と、この第１の光学素子によって平行
光となったレーザ光を光軸近傍に光線のないレーザ光束
にする第２の光学素子と、このレーザ光束を情報記録媒
体上に集光させる対物レンズと、前記情報記録媒体で反
射された反射ビームを前記対物レンズを介して受光する
光検出器とを具える光学ヘッド装置において、前記半導
体レーザ、第１の光学素子、第２の光学素子、及び光検
出器とを同一の半導体基体に形成したことを特徴とする
ものである。

【０００６】このように、本発明の光学ヘッド装置で
は、半導体レーザと、この半導体レーザから出射された
光ビームを平行光にするための第１の光学手段と、前記
平行光を光軸近傍に光線のないレーザ光束にする第２の
光学手段と、情報記録媒体からの反射光を検出する光検
出器とを共通の半導体基体に形成しているため、光学ヘ
ッド装置全体を小型化、軽量化することができると共
に、組み立てに際してはこれらの素子の位置決めが容易
となる。

【０００７】また、本発明の光学ヘッド装置は、前記半
導体基体内にガルバノミラーを設け、前記光検出器で検
出したトラッキングエラー信号に基づいて前記半導体レ
ーザからの出射光に対する前記ガルバノミラーの角度を
調整するように構成したことを特徴とするものである。

【０００８】このように、ガルバノミラーを用いてトラ
ッキングサーボを行うようにすることにより、従来の装
置で用いていた２次元駆動アクチュエータが不要とな
る。また、ガルバノミラーは半導体基体内に設けるよう
にしているため、装置全体の小型化、軽量化を図ること
ができる。

【０００９】

【実施例】図１（ａ）は本発明の光学ヘッド装置の第１
実施例の構成を示す図である。本実施例の光学ヘッド装
置はシリコン基板１、半導体レーザ２、偏向型非球面レ
ンズ３、円錐プリズム４、全反射プリズム５、光源側に
ホログラムを形成した対物レンズ６、検光子７及び第１
及び第２の光検出器８ａ，８ｂを具えており、光磁気デ
ィスク等の情報記録媒体９にレーザービームを照射し
て、その反射光を検出して情報の記録再生を行うように
構成している。なお、図１において、情報記録媒体９に
形成したトラックの延在方向に平行な方向をＸ方向、こ
のＸ方向に直交する方向をＹ方向とする。

【００１０】シリコン基板１に凹部１ａを形成し、この
凹部１ａの底部に半導体レーザ２を接合により配設す
る。凹部１ａには半導体レーザ２から出射されるレーザ
ビームの進行方向に斜面１ｂを形成し、この斜面１ｂで
レーザビームを上方へ反射させる。斜面１ｂで反射され
たレーザビームの進行方向に偏向型非球面レンズ３をシ
リコン基板１上に凹部１ａに対して橋渡しになるように
接合する。、更に、偏向型非球面レンズ３から出射する
レーザビームの進行方向において、円錐プリズム４、全
反射プリズム５を順に凹部１ａに対して橋渡しになるよ
うに配設する。検光子７は、シリコン基板１の上に全反
射プリズム５の隣にＹ方向に並べて配置し、検光子７の
下のシリコン基板１内にに光検出器８ａ，８ｂをＸ方向
に並べて配設する。第１及び第２の光検出器８ａ，８
ｂは、図１（ｂ）に示すように、それぞれＹ方向の分割
線によって３分割され、さらにＸ方向の分割線によって
２分割されており、計６個の受光領域を具えている。

【００１１】対物レンズ６の光源側の面にはホログラム
６ａを形成する。ホログラム６ａは対物レンズ６をガラ
ス材質で構成したときは例えばエッチング法やプレス法
を用いて対物レンズ６と一体的に成形して作り、対物レ
ンズ６がプラスチック材質である場合は例えばレプリカ
法を用いて形成するようにする。なお、ホログラムは±
１次光にレンズ作用を持たせるようにする。

【００１２】半導体レーザ２から出射されたレーザビー
ムはシリコン基板１の凹部の斜面１ｂで反射されて、偏
向型非球面レンズ３に入射する。このレーザビームは偏
向型非球面レンズ３を介して平行ビームとなり、円錐プ
リズム４に入射し、ここでリング状のビームとなる。こ
のリング状ビームは全反射プリズム５で垂直方向に反射
して、対物レンズ６の光源側の面に形成したホログラム
素子６ａに入射する。このホログラム素子６ａを０次光
で透過した後、対物レンズ６で集光され、光磁気ディス
ク９上に入射する。光磁気ディスク９上の記録領域の磁
化方向に応じてカー回転を受けた戻り光は、対物レンズ
６を通って再びホログラム素子６ａに入射してＹ方向に
回折作用を受け、０次光と±１次光とに分離される。

【００１３】これらの分離された光のうちの＋１次光が
全反射プリズム５に並設した検光子７に入射して、ここ
で偏光分離され、それぞれ第１及び第２の光検出器８
ａ，８ｂで受光されて光電変換によって情報の検出が行
なわれる。このとき、検光子７に入射した＋１次光は、
第１の光検出器８ａでは物体側に、第２の光検出器８ｂ
では像側に焦点を結ぶように構成されており、光磁気デ
ィスク９上でビームスポットが合焦状態にあるとき、第
１及び第２の光検出器８ａ，８ｂ上に形成されるビーム
スポットの大きさが同じになる。

【００１４】このように、本発明の光学ヘッド装置の第
１実施例では、半導体レーザ２、偏向型非球面レンズ
３、円錐プリズム４、全反射プリズム５、検光子７、第
１及び第２の光検出器８ａ，８ｂが同一のシリコン基板
１上に形成されているため、装置の小型化を図ることが
できる。

【００１５】図２は本発明の光学ヘッド装置の第２実施
例の構成を示す図である。なお、以下に述べる第２乃至
第４実施例において、図１（ａ）に示す装置と同様の部
分については同じ符号を付して、その説明は省略する。

【００１６】第２実施例では、コリメート作用を持つ偏
向型非球面レンズ３から出射する平行光を、同一の形状
の円錐プリズムの底面を接合した円錐プリズム１０を用
いて円形ビームにするようにしている。この場合、シリ
コン基板１上にＶ溝１ｃを設け、この中に円錐プリズム
１０の底面を接合した部分を配置して接合するようにす
る。ただし、これだけでは不安定であるため、円錐プリ
ズム１０の一方の頂点を偏向型非球面レンズ３に接触さ
せるようにして安定性を保つ。

【００１７】尚、第１及び第２実施例では、シリコン基
板１に凹部１ａを形成してこの中に半導体レーザ２を配
置し、偏向型非球面レンズ３と円錐プリズム４（１０）
とはこの凹部１ａを橋渡しさせてシリコン基板１上に接
合するようにしているが、光源として面発光レーザを用
い、シリコン基板１内にこの面発光レーザを埋め込むよ
うにしても良い。このように構成することによって、シ
リコン基板１表面に凹部１ａが存在しなくなり、偏向型
非球面レンズ３及び円錐プリズム４（１０）をシリコン
基板１の表面に全面的に接触させて配設することができ
る。このようにするとこれらの素子が安定すると共に、
取り付けが一層容易になる。

【００１８】図３（ａ）は、本発明の光学ヘッド装置の
第３実施例の構成を示す図である。第３実施例の装置は
再生専用装置である。シリコン基板１に凹部を形成する
事なく、基板表面に光源側から順に半導体チップ２、コ
リメータレンズ３、円錐プリズム４、全反射プリズム５
を接合により形成する。コリメータレンズ３及び円錐プ
リズム４には高屈折率をもつ材質を選択し、これらの素
子を低屈折率をもつ中間部材４ａで接合すると共に、こ
の中間部材４ａとコリメータレンズ３との間にホログラ
ム４ｂを形成するようにする。図３（ｂ）に示すよう
に、半導体チップ２には半導体レーザ２ａを設けると共
に、その近傍に光検出器２ｂを一体的に形成する。図３
（ｂ）中、Ａ，Ｂ，Ｃ層はそれぞれ活性層である。半導
体レーザ２ａから出射した光ビームは、コリメータレン
ズ３、中間部材４ａ、円錐プリズム４を介して円形ビー
ムとなって、全反射プリズム５で反射されて光磁気ディ
スク（図示せず）に入射する。光磁気ディスクからの戻
り光は、ホログラム４ｂで回折を受け、例えば＋１次光
を光検出器２ｂ，２ｃで受光するようにする。第３実施
例においても、光学部品の取り付け、位置決めが容易で
あり、円錐プリズム４を安定に配設することができる。

【００１９】この実施例では、半導体レーザ２ａと光検
出器２ｂとを同一の半導体チップに形成しているため、
第１及び第２実施例に示した装置のようにレーザと光検
出器とを別々に作る場合に比べて、エッチング工程が少
なくてすみ、エッチングの角度誤差を調整する必要がな
くなる。第３実施例では、コリメータレンズ３を使用し
てレーザビームを平行ビームにするようにしたが、この
コリメータレンズ３に代えて屈折率分布型レンズを光軸
方向に２つ離間させて設け、これらの屈折率分布型レン
ズの相対向する端面のいずれか一方に、円錐プリズムと
同じ機能をもったホログラムあるいは不透明な矩形の遮
光帯を接合するようにしても良い。この場合、光源側に
配置した第１の屈折率分布型レンズにビーム整形機能を
持たせてこのレンズの出射端面において光ビームを円形
にし、ホログラムあるいは遮光帯に超解像機能をもた
せ、前記第１の屈折率分布型レンズ及び物体側に配置し
た第２の屈折率分布型レンズの組み合わせにより、光ビ
ームが平行光束になるように構成する。

【００２０】図４は、本発明の光学ヘッド装置の第４実
施例の構成を示す図である。この実施例では、偏向型非
球面レンズ３の反射面に、円錐プリズムと同じ作用をも
たらす反射型ホログラム３ａを形成するようにした。従
って、偏向型非球面レンズ３に入射したレーザビーム
は、この反射型ホログラム３ａでリング状の平行光とな
る。又、第４実施例に用いた偏光型非球面レンズ３に代
えて屈折率分布型レンズを配置して、この屈折率分布型
レンズの出射端面に超解像機能を持たせたホログラムを
形成するようにしても良い。この場合、屈折率分布型レ
ンズによって、ビーム整形が行われると共に、半導体レ
ーザ２から出射したレーザビームが平行光束となる。こ
のように構成することによって、第１乃至第３実施例で
設けていた円錐プリズム４（１０）が不要となり、光学
部品点数を減らすことができ、ひいてはシリコン基板１
に形成したユニット部の小型化、軽量化を図ることがで
きる。

【００２１】図５（ａ）は、本発明の光学ヘッド装置の
第５実施例の構成を示す図である。この実施例では、シ
リコン基板１１に凹部１１ａを形成して、この凹部１１
ａの底面にレーザーダイオード１２を接合により配設
し、レーザーダイオード１２から出射されるレーザビー
ムが入射する斜面１１ｂにガルバノミラー１３を設けて
いる。このガルバノミラー１３で反射したレーザビーム
を受けてシリコン基板１１上に偏向型非球面レンズ１４
を配置し、更に、偏向型非球面レンズ１４からの出射光
の進行方向にビームスプリッタ１５を設ける。ビームス
プリッタ１５はシリコン基板１１上にマウントする第１
プリズム１５ａと、この第１プリズム１５ａに接合され
る第２プリズム１５ｂと、これら第１プリズム１５ａと
第２プリズム１５ｂとの接合部に設けられ、Ｐ偏光を５
０％透過し、Ｓ偏光を１００％反射させる誘電体多層膜
で構成される偏光膜１５ｃとをもって構成する。また、
第２プリズム１５ｂの入射端面に超解像プリズムと同様
の作用をするホログラム１６を形成する。

【００２２】前記ビームスプリッタ１５の下方のシリコ
ン基板１１の凹部１１ａ内に信号検出用の３分割光検出
器１７ａ，１７ｂと設ける。また、ビームスプリッタ１
５のマウント部の下のシリコン基板１１の表面に前方モ
ニタ用及びガルバノミラー１３の位置検出用の光検出器
１８ａ，１８ｂを形成する。３分割光検出器１７ａ，１
７ｂに相対向するビームスプリッタ１５の下面には、１
／２波長板１９及び偏光ホログラム２０を接合する。
尚、偏光ホログラム２０はその格子方向が光磁気ディス
ク２１を無磁化状態にした場合の戻り光の偏光方向に対
して最適となるようにエッチングあるいはレプリカ法に
より１／２波長板１９の下面にこの波長板と一体的に形
成する。

【００２３】レーザーダイオード１２から出射したレー
ザビームはガルバノミラー１３で反射されて、偏向型非
球面レンズ１４に入射し、平行光となってビームスプリ
ッタ１５に入射する。ビームスプリッタ１５の入射端面
に設けた円錐プリズムと同じ作用をなすホログラム１６
によって、レーザビームはリング状の発散光となり、第
２プリズム１５ｂを介して偏光膜１５ｃに入射する。レ
ーザビームのＰ偏光成分の５０％はこの偏光膜１５ｃを
透過して第１プリズム１５ａに入射し、ここで反射して
光検出器１８ａ及び１８ｂで受光し、この光検出器１８
ａ，１８ｂの出力に応じてレーザーダイオード１２の出
力を制御するようにする。一方、偏光膜１５ｃで反射さ
れた残り５０％のＰ偏光成分と１００％のＳ偏光成分は
第２プリズム１５ｂから出射して対物レンズ２２を介し
て光磁気ディスク２１上で集光され、光磁気ディスク２
１での反射光は、再び対物レンズ２２、第２プリズム１
５ｂを通り、偏光膜１５ｃを透過して第１プリズム１５
ａ、１／２波長板１９を経て偏光ホログラム２０に入射
する。図５（ｂ）に拡大して示すように、偏光ホログラ
ム２０では、Ｓ偏光成分はそのまま透過して第１の光検
出器１７ａで受光し、Ｐ偏光成分は回折させて第２の光
検出器１７ｂで受光するようにする。これら光検出器１
７ａ，１７ｂの出力に基づいて情報信号及び制御信号を
検出する。

【００２４】このように、第５実施例では、各光学素子
を同一の半導体基板に設けることによって第１及び第２
実施例と同様に光学ヘッド装置の小型化、軽量化を図る
とともに、ガルバノミラー１３を半導体基板１内に形成
しているため、トラッキング用のアクチュエータが不要
となり、装置全体をより一層小型軽量化することができ
る。

【００２５】図６は、図５に示した装置におけるガルバ
ノミラー１３の構成を示す断面図である。ここでガルバ
ノミラー１３は、ミラーを回転駆動させるアクチュエー
タを意味するものとする。シリコン基板１１傾斜面１１
ｂに回転軸３２を設け、この回転軸３２を中心に可動部
３１を回動自在に設れている。この可動部３１の表面に
は反射膜３３が形成されておりミラーとして作用する。
可動部３１の裏面には電極３４を設け、一方、シリコン
基板１１の斜面１１ｂに凹部を設けてこの凹部表面にガ
ラス基板３４を形成し、このガラス基板３４の前記電極
３４に対向する部分に対向電極３５ａ，３５ｂを形成す
る。可動部３１の裏面に取り付けた電極３４と対向電極
３５ａとにトラッキングエラー信号に基づいて電圧を印
加すると、これらの電極間に静電引力が発生して、可動
部３１が矢印Ａで示す方向に回動する。逆に、電極３４
と対向電極３５ｂとにトラッキングエラー信号に基づい
て電圧を印加すると、逆に可動部３１は矢印Ｂで示す方
向に回動する。このようにして、トラッキングエラー信
号に応じて可動部３１を回動させて、反射膜３３で反射
するレーザビームの進行方向を変えることによって、情
報記録媒体２１上におけるレーザビームのトラックから
の位置ずれを補正することができる。なお、反射膜３３
に入射するレーザビームの位置は常に同じ位置であるた
め、可動部３１（反射膜３３）の面積が小さくてすみ、
ガルバノミラー１３全体を小型にすることができる。

【００２６】図７は、ガルバノミラーを用いてトラッキ
ング制御を行うようにした光学ヘッド装置の、フォーカ
ス方向における駆動機構を説明するための図である。例
えば図５に示す実施例では、トラッキング制御をガルバ
ノミラーを用いて行っているため、２軸アクチュエータ
は不要となる。

【００２７】図７に示す装置では、半導体ユニット４３
に設けられているレーザダイオードから出射したレーザ
ビームを情報記録媒体４１上に集光する対物レンズ４２
と、情報記録媒体４１からの反射光を半導体ユニット４
３内に設けられた光検出器に収束せしめるホログラム４
４とが一体的に形成されており、円錐プリズム、偏向型
非球面レンズ等のその他の光学部品は半導体ユニット４
３内に一体的に形成されている。光学ヘッド支持部４９
には平行な２本の板バネ４８が上下に取り付けられてお
り、光学ヘッド本体４５の重心位置で光学ヘッド本体４
５を片持ち支持している。光学ヘッド本体４５内には半
導体ユニット４３、ホログラム４４と一体化した対物レ
ンズ４２とが具えられている。この光学ヘッド本体４５
の両側面にはフォーカス制御用駆動コイル４６が取り付
けられており、それぞれのコイル４６の中にはヨーク４
７の一部が挿入されている。またヨーク４７には、コイ
ル４４に対向するように一対の永久磁石５０が設けられ
ており、コイル４６に駆動電流を供給することにより、
板バネ４８の弾性変位で光学ヘッド本体４５全体がフォ
ーカス方向に移動するように構成されている。このよう
に、トラッキングアクチュエータが不要であるため、装
置全体の小型化を図ることができる。

【００２８】図７に示す装置では、光学ヘッド本体４５
の支持部材を板バネ４８で構成したが、ワイヤで支持す
るようにしても良い。また、ホログラム４４を偏向型対
物レンズ４２の入射端面に形成するようにしたが、偏向
面４２ａに形成するようにしも良い。また、対物レンズ
４２とは別体にしてモールド化するようにしても良い。

【００２９】

【発明の効果】上述した通り、本発明の光学ヘッド装置
では、半導体レーザ、円錐プリズム、偏向型非球面レン
ズ、受光素子を同一のシリコン基板に配設するようにし
ているため、光学ヘッドの小型化、軽量化を図ることが
できる。また、光学ヘッドの組み立て時に、光学素子の
調整、位置合わせを容易にかつ精度良く行うことができ
る。また、ガルバノミラーを用いてトラッキング制御を
行う場合には、ガルバノミラーも同一の半導体基板に設
けるようにしているため、装置の小型化を図ることがで
きる。またガルバノミラーに対するレーザビームの入射
位置が常に同じ位置となるため、ガルバノミラーの反射
面が小さくてすみ、部品点数の減少を図って装置全体の
小型化を図ることができる。この場合は、高速アクセス
時にも対物レンズのトラッキング方向における振れを防
止することができると共に、部品点数の減少を図ること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の構成を示す図である。

【図２】本発明の第２実施例の構成を示す図である。

【図３】本発明の第３実施例の構成を示す図である。

【図４】本発明の第４実施例の構成を示す図である。

【図５】本発明の第５実施例の構成を示す図である。

【図６】本発明の第５実施例のガルバノミラーの構成を
示す図である。

【図７】本発明の光学ヘッド装置の駆動機構の一例を示
す図である。

【符号の説明】

１シリコン基板２レーザダイオード３偏向型非球面レンズ４、１０円錐プリズム５全反射プリズム６対物レンズ６ａホログラム７検光子８光検出器９光磁気ディスク１１シリコン基板１２レーザダイオード１３ガルバノミラー１４偏向型非球面レンズ１５ビームスプリッタ１６ホログラム素子１７、１８光検出器１９１／２波長板２０偏光ホログラム２１光磁気ディスク２２対物レンズ

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【手続補正書】

【提出日】平成４年３月１３日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１８】図３（ａ）は、本発明の光学ヘッド装置の
第３実施例の構成を示す図である。第３実施例の装置は
再生専用装置である。シリコン基板１に凹部を形成する
事なく、基板表面に光源側から順に半導体チップ２、コ
リメータレンズ３、円錐プリズム４、全反射プリズム５
を接合により形成する。コリメータレンズ３及び円錐プ
リズム４には高屈折率をもつ材質を選択し、これらの素
子を低屈折率をもつ中間部材４ａで接合すると共に、こ
の中間部材４ａとコリメータレンズ３との間にホログラ
ム４ｂを形成するようにする。図３（ｂ）に示すよう
に、半導体チップ２には半導体レーザ２ａを設けると共
に、その近傍に光検出器２ｂを一体的に形成する。図３
（ｂ）中、Ａ，Ｂ，Ｃ層はそれぞれ活性層である。半導
体レーザ２ａから出射した光ビームは、コリメータレン
ズ３、中間部材４ａ、円錐プリズム４を介して円形ビー
ムとなって、全反射プリズム５で反射されて再生専用デ
ィスク（図示せず）に入射する。再生専用ディスクから
の戻り光は、ホログラム４ｂで回折を受け、例えば＋１
次光を光検出器２ｂ，２ｃで受光するようにする。第３
実施例においても、光学部品の取り付け、位置決めが容
易であり、円錐プリズム４を安定に配設することができ
る。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】半導体レーザと、該半導体レーザから出
射したレーザ光を平行光にする第１の光学素子と、この
第１の光学素子によって平行光となったレーザ光を光軸
近傍に光線のないレーザ光束にする第２の光学素子と、
このレーザ光束を情報記録媒体上に集光させる対物レン
ズと、前記情報記録媒体で反射された反射ビームを前記
対物レンズを介して受光する光検出器とを具える光学ヘ
ッド装置において、前記半導体レーザ、第１の光学素
子、第２の光学素子、及び光検出器とを同一の半導体基
体に形成したことを特徴とする光学ヘッド装置。
【請求項２】請求項１に記載の光学ヘッド装置におい
て、前記半導体基体内にガルバノミラーを設け、前記光
検出器で検出したトラッキングエラー信号に基づいて前
記半導体レーザからの出射光に対する前記ガルバノミラ
ーの角度を調整するように構成したことを特徴とする光
学ヘッド装置。