JPH05215662A - 粒度分布測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】微粒子群に照射されたレーザ光の回折パターン
に基づいて、この微粒子群の粒度分布を測定する粒度分
布測定装置に関し、光学的調整を容易化する。 【構成】所定の原点を中心として同心的に複数に分割さ
れ、及び／又は所定の原点を中心として角度２π／ｎ
（ｎは３以上の正の整数）だけ回転する毎に回転前のパ
ターンと一致する複数に分割された受光面を有し、これ
ら複数の受光面で０次光を受光する第１の光センサ４６
と一体的に移動される第２の光センサ５４と、この第２
の光センサ５４の受光面上に、第１の光センサ４６の受
光面と同一もしくは該受光面と共役な面に形成される０
次光のスポットを結像させる結像光学系と、受光光学系
又は第１および第２の光センサを光軸方向及び／又は光
軸と直交する方向に相対的に移動させる調整機構５６と
を備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、微粒子群に照射された
レーザ光の回折パターンに基づいて、この微粒子群の粒
度分布を測定する粒度分布測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】レーザ光を例えば自動車の燃料噴霧等の
微粒子群に照射し、この微粒子群により回折されたレー
ザ光の回折パターンの光強度分布に基づいてこの微粒子
群の粒度分布を測定する装置が従来から知られている。
この粒度分布測定装置には、レーザ光源から発せられた
レーザ光を微粒子群に照射する照射光学系と、この微粒
子群により回折されない０次光を除いた回折光を受光す
る円環形状光センサと、微粒子群を通過したレーザ光を
この円環形状光センサに導き、微粒子群による回折パタ
ーンを円環形状光センサの受光面に形成するための受光
光学系とが備えられている。

【０００３】この回折パターンは微粒子群により回折さ
れない０次光のスポットを中心とする同心円的なパター
ンであるため、同心の円環形状光センサを用いてその回
折されたレーザ光を受光し、その結果得られた回折パタ
ーンを公知の方法で解析し、粒度分布が求められること
となる。上記粒度分布測定装置において、正確な粒度分
布を求めるためには、受光光学系の光軸上に円環形状光
センサの受光面の中心を配置すると共に、この円環形状
光センサの受光面が受光光学系の焦点面に配置されるこ
とが必要となる。ところが、受光光学系を固定するため
の架台を極めて厳重に製作した場合を除き、妥当なコス
トで製作した場合、受光光学系の光軸がずれることが考
えられ、これにより受光光学系の光軸と円環形状光セン
サの中心とがずれたり、受光光学系の焦点面に円環形状
光センサの受光面が配置されないこととなるおそれがあ
る。このような場合は、回折パターンの中心が円環形状
光センサの中心と一致せず、または受光光学系の焦点面
と円環形状光センサの受光面が受光できないため、正確
な粒度分布が求められない。

【０００４】この受光光学系と円環形状光センサとの間
の相対的な位置のずれを調整し、この両者を光学的に正
しい位置に合わせて正確な粒度分布を測定する方法とし
て、上記円環形状光センサの中心部を穿孔し、この穿孔
部の光路上の後方所定位置に配置された光強度検出器に
よって０次光の光強度を測定し、この測定値が最大光強
度を示したときをもって受光光学系と円環形状光センサ
との間の光学的位置の調整が行われたとする方法が提案
されている（特開昭６２−１００６３７号公報参照。）

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、受光光学系
と円環形状光センサとの間の相対的位置のずれとして
は、正しい光軸に対して直交方向のずれと、光軸方向の
ずれとが考慮されなければならない。光軸に対する直交
方向のずれについて、図７を参照して説明する。図７
は、従来の粒度分布測定装置における、受光光学系と円
環形状光センサとの位置関係を示す模式図である。

【０００６】上記従来技術では、円環形状光センサ１０
の穿孔部１２を通った０次光は光センサの受光面１４に
入射してその光強度が測定され、この光強度が最大のと
きに受光光学系の位置が正しい位置になったと判断され
ている。しかし、同図に示すように、円環形状センサ１
０に対する受光光学系の相対位置が実線で示す正しい位
置１６に配置されたときと、受光光学系が正しい位置１
６から相対的に下方にずれたときの位置１８（二点鎖線
で示す位置）とでは、受光面１４に入射される０次光の
光強度は等しくなり、受光光学系が位置１８に配置され
ても受光光学系と円環形状光センサとの間の相対的位置
関係は正しく調整されたものと判断される。このため、
上記従来の装置では受光光学系と円環形状光センサとの
間の高精度な位置合わせは困難であり、したがって、粒
度分布の正確な測定ができないおそれが生じることとな
る。この問題は、穿孔部１２の大きさを極めて小さくす
ると共に、円環形状光センサ１０の幅（穿孔部１２の光
軸２０方向の長さ）を無限小にしたときにだけ解決する
ものであるが、この条件を達成することは容易ではな
い。

【０００７】なお、円環形状センサ１０の幅を無限小に
することに代えて、図８に示すように、円環形状光セン
サ１０の穿孔部１２側をナイフエッジ状に形成しても上
記問題は解決されるが、受光面１４で受光された入射光
の光強度に基づいて判断される受光光学系の位置が、正
しい位置に対してどちらの方向にずれているかというこ
とについては、受光光学系（または、円環形状光セン
サ）を移動させてみないと判断できないという不便があ
る。

【０００８】また受光光学系と円環形状センサ１０とが
相対的に光軸方向にずれると、円環形状光センサ１０上
に正しい回折パターンが形成されず、粒度分布が正確に
求められないという問題が生じるが、この光軸方向のず
れが生じたときは、受光面１４で受光される０次光の像
がぼけるだけであって、受光面１４に受光される０次光
の光強度は変化せず、したがって、上記従来の装置で
は、光軸方向のずれは判断できないこととなり、この光
軸方向のずれをなくすためには、光学系を所定位置に極
めて強固に保持する必要があり、装置全体が大型化する
という問題がある。

【０００９】本発明は、上記事情に鑑み、受光光学系と
円環形状光センサとの間の相対位置が光学的に正しい位
置からずれたときに、容易かつ正確に正しい位置に調整
することができ、これにより高精度な粒度分布測定を行
うことのできる粒度分布測定装置を提供することを目的
とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の第１の粒度分布測定装置は、光軸と直交する方向の
相対的位置のずれを調整するためのものであり、レーザ
光源と、該レーザ光源から発せられたレーザ光を微粒子
群に照射する照射光学系と、前記微粒子群による、０次
光を除く回折光を受光する第１の光センサと、前記微粒
子群による回折パターンが前記第１の光センサの受光面
に形成されるように前記微粒子群を通過したレーザ光を
前記第１の光センサに導く受光光学系と、前記第１の光
センサにより受光された回折パターンに基づいて前記微
粒子群の粒度分布を求める演算手段とを備えた粒度分布
測定装置において、 （１）所定の原点を中心として角度２π／ｎ（ｎは３以
上の正の整数）だけ回転する毎に回転前のパターンと一
致するように複数に分割された受光面で前記０次光を受
光する、前記第１の光センサと一体的に移動される第２
の光センサ （２）該第２の光センサの受光面上に、前記第１の光セ
ンサの受光面と同一もしくは共役な平面に形成される前
記０次光のスポットの像を結像させる結像光学系と、前
記受光光学系又は前記第１および第２の光センサを光軸
方向および該光軸と直交する方向に相対的に移動させる
調整機構を備えたことを特徴とするものである。

【００１１】また、本発明の第２の粒度分布測定装置
は、光軸方向の相対的位置のずれを調整するためのもの
であり、 （３）所定の原点を中心として同心的に複数に分割され
た受光面を有し、前記第１の光センサと一体的に移動さ
れる第２の光センサ （４）該第２の光センサの受光面上に、前記第１の光セ
ンサの受光面と同一もしくは共役な面に形成される前記
０次光のスポットを結像させる結像光学系 （５）前記受光光学系と前記第１および第２の光センサ
を光軸方向に相対的に移動させる調整機構を備えたこと
を特徴とするものである。

【００１２】また本発明の第３の粒度分布測定装置は、
上記第１の粒度分布測定装置と第２の粒度分布測定装置
の双方の特徴を兼ね備え、これにより光軸と交わる方向
と光軸方向との双方のずれを調整可能としたものであ
る。即ち本発明の第３の粒度分布測定装置は、 （６）所定の原点を中心として同心的に複数に分割され
ると共に、該所定の原点を中心として角度２π／ｎ（ｎ
は３以上の正の整数）だけ回転する毎に回転前のパター
ンと一致するように複数に分割された受光面を有しこれ
ら複数の受光面で前記０次光を受光する、前記第１の光
センサと一体的に移動される第２の光センサ （７）該第２の光センサの受光面上に、前記第１の光セ
ンサの受光面と同一もしくは該受光面と共役な面に形成
される前記０次光のスポットを結像させる結像光学系、 （８）前記受光光学系又は前記第１および第２の光セン
サを光軸方向および該光軸と直交する方向に相対的に移
動させる調整機構を備えたことを特徴とするものであ
る。

【００１３】

【作用】上記第１の粒度分布測定装置において、受光光
学系と第１の光センサとが光軸と直交する方向に相対的
にずれたとき、すなわち、受光光学系の光軸と第１の光
センサの受光面の中心とが一致していないときは、第２
の光センサの各受光面で受光される０次光の受光強度が
全ては一致しないため、第２の光センサによる受光信号
を参照しながらこれらの受光強度を一致させるように調
整機構により両者の位置関係を調整することによって、
光軸と直交する方向の相対的ずれを無くすことができ
る。ここで、上下２つのグループに分けたときの受光信
号を参照して上下方向のずれを、左右２つのグループに
分けたときの受光信号を参照して左右のずれを調整でき
るように、上記扇状受光面を、上下または左右のグルー
プに分割できるように、例えば４つに分割することが好
ましい。

【００１４】また上記第２の粒度分布測定装置におい
て、受光光学系と第１の光センサとが光軸方向に相対的
にずれたとき、すなわち、上記受光光学系の焦点面と第
１の光センサの受光面とが一致していないときは、第２
の光センサの受光面における０次光スポットの像の面積
は、一致しているときの面積に比べ拡大する。したがっ
て、同心的に複数に分割された受光面を有する第２の光
センサによる受光信号をモニタしながらその面積を最小
にするように調整機構により両者の位置関係を調整する
ことによって、光軸方向の相対的ずれを無くすことがで
き、受光光学系の焦点面と第１の光センサの受光面とを
一致させることができる。これにより微粒子群の正確な
粒度分布が測定されることとなる。

【００１５】また、上記第３の粒度分布測定装置は、上
記第１の粒度分布測定装置と上記第２の粒度分布測定装
置との双方の特徴を備えたものであるため、光軸と直交
する方向、及び光軸方向の双方についてそのずれを調整
することができる。

【００１６】

【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例につ
いて説明する。図１は、発明の第１実施例に係る粒度分
布測定装置２８の概略構成図である。レーザ光源３０か
ら射出されたレーザ光３２は、ピンホール板３４ａを含
む照射光学系３４により平行光とされ、粒状分布測定時
には例えば自動車の燃料噴霧等の微粒子群に３６照射さ
れる。この微粒子群３６に照射されたレーザ光３２はそ
の一部が微粒子群３６により回折された後、受光レンズ
３８により集光され、その一部はビームスプリッタ４０
により反射され、例えばＣＣＤ等の光センサアレイ４２
の受光面に照射される。この光センサ４２の出力信号は
演算回路４４に入力される。このビームスプリッタ４０
及び光センサ４２の作用については後述する。

【００１７】一方、ビームスプリッタ４０を透過したレ
ーザ光は円環形状光センサ４６の受光面に照射され、微
粒子群３６による回折像のパターンがこの円環形状光セ
ンサ４６により受光される。この回折パターンは円環形
状光センサ４６により電気信号に変換され、この電気信
号は演算回路４４に入力される。この演算回路４４で
は、この回折パターンを表す信号に基づいて、微粒子群
３６の粒度分布が求められる。

【００１８】上記回折パターンは微粒子群３６により回
折されない０次光のスポットを中心とした同心的なパタ
ーンであるため、円環形状光センサ４６の受光面５２の
中心と上記回折パターンの中心とが一致するときにだ
け、正確な粒度分布が求められることとなる。ここで、
本実施例の粒度分布測定装置２８には、円環形状光セン
サ４６の背後の所定距離隔てた位置に光センサ５４が設
けられ、さらに受光レンズ３８を光軸方向（矢印Ａ方
向）に移動させる調整機構５６が設けられるとともに、
円環形状光センサ４６と光センサ５８を光軸と垂直な２
方向、即ち矢印Ｂ方向及び図１の紙面に垂直な方向に移
動させる調整機構５７が設けられている。

【００１９】この光センサ５４の受光面５８は、図２に
示すように、外観形状が円形であり互いに中心角が等し
くなるように４等分された扇状の受光面５８Ａ、５８
Ｂ、５８Ｃ、５８Ｄに分割されている。各受光面５８
Ａ、５８Ｂ、５８Ｃ、５８Ｄに入射されたレーザ光はそ
れぞれ電気信号に変換され、これらの電気信号はそれぞ
れ個別に演算回路４４に入力される。

【００２０】受光面５２の中心５０と光軸４８とが一致
するときは、各受光面５８Ａ、５８Ｂ、５８Ｃ、５８Ｄ
には破線６０で示すように互いに等しい光量の０次光が
入射される。したがって、演算回路４４には各受光面か
らそれぞれ等しい光量を示す電気信号が入力され、受光
面５２の中心５０が光軸４８上に置かれていると判断さ
れる。

【００２１】受光面５２の中心５０が光軸４８上に置か
れていないとき、光センサ５４の各受光面５８Ａ、５８
Ｂ、５８Ｃ、５８Ｄには、例えば図２に１点鎖線６２で
示すように互いに異なる光量の０次光が入射される。し
たがって、演算回路４４には各受光面から互いに異なる
光量を示す電気信号が入力され、受光面５２の中心５０
が光軸４８上に置かれていないと判断される。受光面５
８Ａと５８Ｄとの光量の和と、受光面５８Ｂと５８Ｃと
の光量の和とを比較することにより上下方向のずれが判
断され、受光面５８Ａと５８Ｂとの光量の和と、受光面
５８Ｃと５８Ｄとの光量の和とを比較することにより左
右方向のずれが判断されることとなる。その判断結果を
示す信号は調整機構５７に入力され、受光面５２の中心
５０が光軸４８上に配置されるように光センサ４６，５
４が矢印Ｂ方向及び図１の紙面に垂直な方向に移動され
る。尚、本実施例では受光面５８を４等分したが、受光
面５８を３等分以上に分割した光センサ５４を備えるこ
とにより、光軸に垂直な２方向のずれが判断されること
となる。

【００２２】上記受光面５８Ａ、５８Ｂ、５８Ｃ、５８
Ｄからの信号により円環形状光センサ４６の受光面５２
の中心５０が光軸４８上に置かれているかもしくは光軸
と垂直な方向にずれているかは判断されるが、この方法
では受光レンズ３８の焦点面に円環形状光センサ４６の
受光面５２が配置されているか否かは判断できない。そ
こで、本実施例では、円環形状光センサ４６の受光面５
２が受光レンズ３８の焦光面にあるか否かは、ビームス
プリッタ４０および光センサアレイ４２等により検出さ
れる。この光センサアレイ４２は一次元の光センサアレ
イ、例えばＣＣＤ光センサ等であり、この光センサアレ
イ４２の受光面６６は円環形状光センサ４６の受光面５
２との共役な位置に配置されている。このため、円環形
状センサ４６の受光面５２がレンズ３８の焦光面と一致
していないときは、受光面５２の中心５０には広がった
０次光の像が形成され、受光面６６にも同様に０次光の
広がった像が形成されることになる。

【００２３】そこで受光レンズ３８を、例えば移動可能
範囲内の図１の最も左方に置き、調整機構５６により受
光レンズ３８を右方に移動させながら、演算回路４４に
おいて、図３に示すように、Ｉ（ｒ）の最大値と最小値
との差ΔＤが順次演算され、それが最大値ΔＤｍａｘと
なる受光レンズ３８の位置が記憶される。その後、調整
機構５６により受光レンズ３８がその記憶された位置に
移動され、これにより円環形状光センサ４６の受光面５
２と受光レンズ３８の焦点面とが一致することとなる。

【００２４】上記２つの操作により、円環形状光センサ
４６の受光面５２の中心５０が光軸４８上に置かれると
共に、受光面５２とレンズ３８の焦点面とが一致するた
め、正確な粒度分布が求められることとなる。本実施例
では、受光レンズ３８の移動を自動的に行う構成とした
が、演算回路４４で行われる演算結果を例えばＣＲＴ７
２などに表示させ、作業者がこの結果を見ながら手動で
受光レンズ３８の位置の調整を行うように構成してもよ
い。ここで受光レンズ３８と円環形状光センサ４６との
相対的な位置ずれが光軸と直角な方向に限定されるとき
は、受光レンズ３８の調整機構５８そのものが不要であ
ることはいうまでもない。また光センサ４６，５４の位
置調整についても同様である。

【００２５】以上のようにして光学系が調整されると、
例えば自動車の燃料が噴霧され、その燃料噴霧の粒度分
布が求められるが、このとき光センサ５４により０次光
の光量がモニタされ、この光量が所定値以下となったと
きは、燃料噴霧が濃すぎて多重散乱が生じ、したがって
測定結果に大きな誤差を含む旨作業者に知らせる。これ
により正確な測定を行なうことができる。

【００２６】次に本発明の第２実施例を図４及び図５を
参照して説明する。本実施例の粒度分布測定装置８０の
構成要素のうち、第１実施例の粒度分布測定装置２８の
構成要素と共通するものは同じ参照符号で示し、その説
明は省略する。本実施例の粒度分布測定装置８０は、円
環形状光センサ４６の背後の所定位置に結像レンズ８２
および光センサ８４が設けられ、結像レンズ８２により
円環形状光センサ４６の受光面と同一面上の０次光のス
ポットが光センサ８４の受光面８６に結像されるように
構成されている。この光センサ８４の受光面８６は、図
５に示すように、同心的に分割された複数の受光面を有
している。各受光面８６Ａ〜８６Ｃに入射されたレーザ
光はそれぞれ電気信号に変換され、これらの電気信号は
それぞれ個別に演算回路４４に入力される。

【００２７】円環形状光センサ４６の受光面５２が受光
レンズ３８の焦光面と合致しているときは、光センサ８
４の受光面に結像された０次光のスポットは、図５に破
線９０で示すように中心の受光面８６Ａの全面とその周
囲の受光面８６Ｂの一部に結像されており、円環状光セ
ンサ４６の受光面５２がレンズ３８の焦光面からずれて
いるときは、図５に１点鎖線９２で示すようにそのスポ
ット径が広がった状態となる。光センサ８４の各受光面
８６Ａ，８６Ｂ，８６Ｃに照射された光量を表わす信号
は演算回路４４を経由してＣＲＴ７２に各信号が出力さ
れる。作業者は、この各信号値を見て、例えば受光面８
６Ｂにおける受光光量が最小となるように、調整機構
（図示せず）を手動操作して受光レンズ３８を矢印Ａ方
向に移動させる。これにより受光レンズ３８の焦点面と
光センサ４６の受光面とを一致させることができる。

【００２８】尚、レンズ３８を移動する調整機構を備え
ることに代え、光センサ４６，８４及び結像レンズ８２
を一体的に光軸に沿って移動させる調整機構を備えても
よい。この第２実施例では、光軸のずれの調整を行なう
機構を備えた実施例であるが、この第２実施例における
光センサ８４（図５参照）に代え、図６に示すような、
同心円環状に分解されるとともに扇状にも分割された多
数の受光面９８Ａ〜９８Ｌを有する光センサ９８を配置
し、また、例えば光センサ４６，結像レンズ８２，及び
光センサ８４に代えて配置された光センサ９８を一体的
に光軸方向及び光軸と直角な２方向に移動させる３次元
調整機構を備え、光軸方向のずれ、及び光軸と直角方向
のずれの双方を調整することができるように構成しても
よい。

【００２９】また、上記各実施例では円環形状光センサ
４６の背後に光学系調整用の光センサ５４，８４，９０
を配置したが、円環形状光センサ４６と同一平面上の中
心部にその光センサを配置してもよい。この場合、この
光センサは、円環形状センサ４６の基板と同一の基板上
に形成されていてもよい。

【００３０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の第１の粒
度分布測定装置は、所定の原点を中心として角度２π／
ｎ（ｎは３以上の正の整数）だけ回転する毎に回転前の
パターンと一致するように複数に分割された受光面を有
しこれら複数の受光面で前記０次光を受光する、第１の
光センサと一体的に移動される第２の光センサと、受光
光学系又は第１および第２の光センサを光軸と直交する
方向に相対的に移動させる調整機構とを備えたため、受
光光学系と円環形状光センサとの相対位置が光軸と直交
する方向にずれた場合にこれを容易かつ正確に調整する
ことができる。

【００３１】また本発明の第２の粒度分布測定装置は、
所定の原点を中心として同心的に複数に分割された受光
面を有し第１の光センサと一体的に移動される第２の光
センサと、第２の光センサの受光面上に、第１の光セン
サの受光面と同一もしくは該受光面と共役な面に形成さ
れる０次光を結像させる結像光学系と、受光光学系又は
第１および第２の光センサを光軸方向に相対的に移動さ
せる調整機構とを備えたため、受光光学系と円環形状光
センサとの相対位置が光軸に沿う方向にずれた場合に、
これを容易かつ正確に調整することができる。

【００３２】さらに、本発明の第３の粒度分布測定装置
は、上記第１および第２の粒度分布測定装置の双方の特
徴を備えたものであるため、受光光学系と円環形状光セ
ンサとの相対的な３次元的なずれを容易かつ正確に調整
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係る粒度分布測定装置を
示す概略構成図である。

【図２】本発明の第１実施例に係る粒度分布測定装置の
第２の光センサの受光面を示す図である。

【図３】ビームスプリッタで反射されたレーザ光が光セ
ンサに入射したときの強度分布を示すグラフである。

【図４】本発明の第２実施例に係る粒度分布測定装置を
示す概略構成図である。

【図５】本発明の第２実施例に係る粒度分布測定装置の
第２の光センサの受光面を示す図である。

【図６】本発明の粒度分布測定装置の第２の光センサの
他の例を示す図である。

【図７】従来の粒度分布測定装置における、受光光学系
と円環形状光センサとの位置関係を示す模式図である。

【図８】円環形状光センサの穿孔部側をナイフエッジ状
に形成した状態を示す図である。

【符号の説明】

２８、８０ 粒度分布測定装置 ３０ レーザ光源 ３２ レーザ光 ３４ 照射光学系 ３６ 微粒子群 ３８ 受光レンズ ４０ ビームスプリッタ ４２ 光センサアレイ ５４、８４、９０ 光センサ（第２の光センサ） ４６ 円環形状光センサ（第１の光センサ） ５６、５７ 調整機構 ８２ 結像レンズ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザ光源と、該レーザ光源から発せら
   れたレーザ光を微粒子群に照射する照射光学系と、前記
   微粒子群による、０次光を除く回折光を受光する第１の
   光センサと、前記微粒子群による回折パターンが前記第
   １の光センサの受光面に形成されるように前記微粒子群
   を通過したレーザ光を前記第１の光センサに導く受光光
   学系と、前記第１の光センサにより受光された回折パタ
   ーンに基づいて前記微粒子群の粒度分布を求める演算手
   段とを備えた粒度分布測定装置において、 所定の原点を中心として角度２π／ｎ（ｎは３以上の正
   の整数）だけ回転する毎に回転前のパターンと一致する
   ように複数に分割された受光面を有しこれら複数の受光
   面で前記０次光を受光する、前記第１の光センサと一体
   的に移動される第２の光センサと、前記受光光学系又は
   前記第１および第２の光センサを光軸と直交する方向に
   相対的に移動させる調整機構とを備えたことを特徴とす
   る粒度分布測定装置。
2. 【請求項２】 レーザ光源と、該レーザ光源から発せら
   れたレーザ光を微粒子群に照射する照射光学系と、前記
   微粒子群による、０次光を除く回折光を受光する第１の
   光センサと、前記微粒子群による回折パターンが前記第
   １の光センサの受光面に形成されるように前記微粒子群
   を通過したレーザ光を前記第１の光センサに導く受光光
   学系と、前記第１の光センサにより受光された回折パタ
   ーンに基づいて前記微粒子群の粒度分布を求める演算手
   段とを備えた粒度分布測定装置において、 所定の原点を中心として同心的に複数に分割された受光
   面を有し、前記第１の光センサと一体的に移動される第
   ２の光センサと、前記第２の光センサの受光面上に、前
   記第１の光センサの受光面と同一もしくは該受光面と共
   役平面に形成される前記０次光を結像させる結像光学系
   と、前記受光光学系又は前記第１および第２の光センサ
   を光軸方向に相対的に移動させる調整機構とを備えたこ
   とを特徴とする粒度分布測定装置。
3. 【請求項３】 レーザ光源と、該レーザ光源から発せら
   れたレーザ光を微粒子群に照射する照射光学系と、前記
   微粒子群による、０次光を除く回折光を受光する第１の
   光センサと、前記微粒子群による回折パターンが前記第
   １の光センサの受光面に形成されるように前記微粒子群
   を通過したレーザ光を前記第１の光センサに導く受光光
   学系と、前記第１の光センサにより受光された回折パタ
   ーンに基づいて前記微粒子群の粒度分布を求める演算手
   段とを備えた粒度分布測定装置において、 所定の原点を中心として同心的に複数に分割されると共
   に、該所定の原点を中心として角度２π／ｎ（ｎは３以
   上の正の整数）だけ回転する毎に回転前のパターンと一
   致するように複数に分割された受光面を有しこれら複数
   の受光面で前記０次光を受光する、前記第１の光センサ
   と一体的に移動される第２の光センサと、 該第２の光センサの受光面上に、前記第１の光センサの
   受光面と同一もしくは該受光面と共役な面に形成される
   前記０次光のスポットを結像させる結像光学系と、 前記受光光学系又は前記第１および第２の光センサを光
   軸方向及び該光軸と直交する方向に相対的に移動させる
   調整機構とを備えたことを特徴とする粒度分布測定装
   置。