JP2009063312A - 粒度分布測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被測定粒子群による回折・散乱光を測定する光検出器3bと、測定光の入射によりその位置情報を出力する光軸センサ5を、測定光の光軸に交差する平面上で移動する共通の支持体(X−Yステージ)4に支持し、計測位置に選択的に交換可能な試料保持/供給手段(試料セル等)1ごとに、光検出器3bと測定光の光軸とが合致している状態での支持体4の座標と、ブランク値を記憶手段6aに記憶しておき、試料保持/供給手段1の選択内容を入力することにより、記憶されている座標位置に支持体4を自動的に移動させ(粗調整)た後、光軸センサ5の出力を用いて光軸の微調整を行う。併せて、ブランク値を読み出して回折・散乱光の空間強度分布の補正に供する。
【選択図】図1
Description
請求項2に係る発明のように、任意の試料保持/供給手段をセットして光軸を合わせた状態で指令を付与することにより、光軸の座標情報とブランク値とが記憶手段に記憶されるので、記憶手段に登録されていない試料保持/供給手段を用いた場合、その登録のための操作が簡単となり、その試料保持/供給手段の2回目以降の使用に際しては、上記と同等の作用効果を奏することができる。
図1は本発明の実施の形態の構成図で、光学的構成を表す模式図とシステム構成を表すブロック図とを併記して示す図である。また、図2は図1におけるX−Yステージ5の正面図(測定光の入射側から見た図)である。
2 照射光学系
2a レーザ光源
2b 集光レンズ
2c 空間フィルタ
2d コリメートレンズ
3 測定光学系
3a 集光レンズ
3b リングディテクタ
4 X−Yステージ
4a 移動機構
5 光軸センサ
6 演算・制御装置
6a 記憶部
Claims (2)
- 被測定粒子群を分散状態で計測位置に供給もしくは保持し、かつ、装置に対して選択的に交換可能な試料保持/供給手段と、その計測位置の被測定粒子群に向けて平行光束からなる測定光を照射する照射光学系と、上記試料保持/供給手段を挟んで上記照射光学系と反対側に配置され、被測定試料群による回折・散乱光を測定する光検出器を含む測定光学系と、その測定光学系による測定結果を用いて被測定粒子群の粒度分布を算出する演算手段を備えた粒度分布測定装置において、
上記光検出器と共通の支持体に支持され、上記測定光の入射によりその光軸の位置情報に係る信号を出力する光軸センサと、上記支持体を上記光軸に交差する平面上で移動させる移動機構と、その移動機構を制御する制御手段と、上記選択的に交換可能な試料保持/供給手段ごとに、それぞれ光軸合致状態における上記支持体の座標情報と上記光検出器の出力のブランク値とをあらかじめ記憶する記憶手段を備え、上記試料保持/供給手段の選択状態でその選択内容を入力することにより、選択されている試料保持/供給手段に対応する座標情報とブランク値を上記記憶手段から読み出し、上記制御手段は、読み出された座標情報に基づいて上記支持体を移動させて光軸位置の粗調整を行った後、上記光軸センサの出力に基づいて光軸位置の微調整を行うとともに、上記演算手段は、読み出されたブランク値を粒度分布の演算に供することを特徴とする粒度分布測定装置。 - 任意の試料保持/供給手段を上記計測位置に設けて光軸位置の微調整をした状態で指令を付与することにより、その時点における上記支持体の座標情報を上記記憶手段に記憶するとともに、上記測定光学系による測定値をブランク値として上記記憶手段に記憶することを特徴とする請求項1に記載の粒度分布測定装置。
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