JPH0521542A - マーキング装置 - Google Patents
マーキング装置Info
- Publication number
- JPH0521542A JPH0521542A JP17081691A JP17081691A JPH0521542A JP H0521542 A JPH0521542 A JP H0521542A JP 17081691 A JP17081691 A JP 17081691A JP 17081691 A JP17081691 A JP 17081691A JP H0521542 A JPH0521542 A JP H0521542A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shape
- wafer
- pellet
- contact
- ink
- Prior art date
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- Pending
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】電気的特性の検査、或るいは外観検査の結果不
良と判断されたペレットに不良のマーキングを行うため
のインクカートリッヂの針先１とウェーハ３は従来ほ点
で接触したのを、本発明では針先がウェーハと面で接触
するよう針先がカッティングされている。 【効果】針先がウェーハと面で接する形状のため、ペレ
ット上のマーキングのサイズが大きくなる。そのため自
動認識が容易となる。
良と判断されたペレットに不良のマーキングを行うため
のインクカートリッヂの針先１とウェーハ３は従来ほ点
で接触したのを、本発明では針先がウェーハと面で接触
するよう針先がカッティングされている。 【効果】針先がウェーハと面で接する形状のため、ペレ
ット上のマーキングのサイズが大きくなる。そのため自
動認識が容易となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マーキング装置に関
し、特にＰ／Ｗ工程、或るいは、検査工程で用いられる
不良ペレットにマーキングする為のマーキング装置のイ
ンクカートリッジに関する。
し、特にＰ／Ｗ工程、或るいは、検査工程で用いられる
不良ペレットにマーキングする為のマーキング装置のイ
ンクカートリッジに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置製造の後工程である、ペレッ
トのマウント工程では、半導体装置の電気的特性を測定
するＰ／Ｗ検査工程或るいは、外観検査工程で、不良品
と判定された結果、不良マーキングを施された不良ペレ
ットが、画像認識技術により、自動良否認識され、良品
ペレットのみ、フレーム１にマウントされる。
トのマウント工程では、半導体装置の電気的特性を測定
するＰ／Ｗ検査工程或るいは、外観検査工程で、不良品
と判定された結果、不良マーキングを施された不良ペレ
ットが、画像認識技術により、自動良否認識され、良品
ペレットのみ、フレーム１にマウントされる。
【０００３】又、不良ペレットのマーキングサイズは前
記マウント工程の画像認識技術より、チップ面積の３０
％程度以上あることが要求されている。この為、同マー
キングは、スクラッチキズや、レーザーマーキングを用
いず、これらマーキングサイズより、比較的大きなマー
キングサイズが得られるインクでのマーキングを行なっ
ている。マーキング装置は、図３に示す様なカートリッ
ヂ構造であり、２はカートリッヂ本体で針先１の形は円
柱状で、材質はアクリル等が用いられ、ウェーハ３と
は、点で接触する様につくられている。
記マウント工程の画像認識技術より、チップ面積の３０
％程度以上あることが要求されている。この為、同マー
キングは、スクラッチキズや、レーザーマーキングを用
いず、これらマーキングサイズより、比較的大きなマー
キングサイズが得られるインクでのマーキングを行なっ
ている。マーキング装置は、図３に示す様なカートリッ
ヂ構造であり、２はカートリッヂ本体で針先１の形は円
柱状で、材質はアクリル等が用いられ、ウェーハ３と
は、点で接触する様につくられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】半導体装置の中でも、
特に集積回路では、システムの１チップ化が進行してい
る為、ペレットのサイズが年々大きくなる傾向がみられ
る。
特に集積回路では、システムの１チップ化が進行してい
る為、ペレットのサイズが年々大きくなる傾向がみられ
る。
【０００５】この様な大きなペレットでは、インクカー
トリッヂの針先とウェーハが点でしか接触しない為、不
良ペレット上のインクの面積と、ペレットの面積の比率
が３０％未満となり、マウンターで、良品ペレットと不
良ペレットの自動認識が出来なくなるという問題があ
る。
トリッヂの針先とウェーハが点でしか接触しない為、不
良ペレット上のインクの面積と、ペレットの面積の比率
が３０％未満となり、マウンターで、良品ペレットと不
良ペレットの自動認識が出来なくなるという問題があ
る。
【０００６】この対策の為、カートリッヂの針先の直径
を大きくすることが考えられているが、現在の技術で
は、針先の直径が０．６ｍｍを越えると、インクがカー
トリッヂからぼた落ちし、良品ペレットにもマーキング
されてしまうという不具合があった。
を大きくすることが考えられているが、現在の技術で
は、針先の直径が０．６ｍｍを越えると、インクがカー
トリッヂからぼた落ちし、良品ペレットにもマーキング
されてしまうという不具合があった。
【０００７】本発明の目的は、インクがカートリッヂか
らばた落ちすることなく、ペレット上にサイズの大きい
マーキングを行うことができ、ペレットの良品，不良品
の自動認識が容易となるマーキング装置を提供すること
にある。
らばた落ちすることなく、ペレット上にサイズの大きい
マーキングを行うことができ、ペレットの良品，不良品
の自動認識が容易となるマーキング装置を提供すること
にある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のマーキング装置
のインクカートリッヂの針先は、従来円柱形であってウ
ェーハ面と点接触したのに対し、先端をウェーハの面と
平行になる様に面状にする。
のインクカートリッヂの針先は、従来円柱形であってウ
ェーハ面と点接触したのに対し、先端をウェーハの面と
平行になる様に面状にする。
【０００９】
【作用】従来、ウェーハに対し、インクカートリッヂの
先端が点で接触していたのに対し、本発明のインクカー
トリッヂでは、先端を面状にしている為、ウェーハとの
接触面積が広くなる為、ペレット上のインクの付着面積
を拡大することが可能となる。
先端が点で接触していたのに対し、本発明のインクカー
トリッヂでは、先端を面状にしている為、ウェーハとの
接触面積が広くなる為、ペレット上のインクの付着面積
を拡大することが可能となる。
【００１０】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例のインクカートリッヂの針
先とウェーハの関係を示す断面図及び針先の形状を示す
断面図である。
る。図１は本発明の一実施例のインクカートリッヂの針
先とウェーハの関係を示す断面図及び針先の形状を示す
断面図である。
【００１１】図１（ａ）に示すように円柱状の針先１
を、ウェーハ３と平行になる様に面状に切断した場合で
ある。ウェーハ３と接する針先１の形状は、図１（ｂ）
に示す様に楕円となっているので、マークした場合イン
クの付着面積を大きくできる。
を、ウェーハ３と平行になる様に面状に切断した場合で
ある。ウェーハ３と接する針先１の形状は、図１（ｂ）
に示す様に楕円となっているので、マークした場合イン
クの付着面積を大きくできる。
【００１２】図２は本発明の他の実施例のインクカート
リッヂの針先とウェーハ接触状態を示す断面図及び針先
の形状を示す断面図である。
リッヂの針先とウェーハ接触状態を示す断面図及び針先
の形状を示す断面図である。
【００１３】この実施例では、針の形状を、四角柱にし
ている為、ウェーハと接する面の形状は図２（ｂ）に示
す様に、長方形となる為、第１の実施例より更に、ウェ
ーハとの接触面積が大きくなる為、ペレット上のインク
の付着面積が広くなるという利点を有する。
ている為、ウェーハと接する面の形状は図２（ｂ）に示
す様に、長方形となる為、第１の実施例より更に、ウェ
ーハとの接触面積が大きくなる為、ペレット上のインク
の付着面積が広くなるという利点を有する。
【００１４】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明のマーキング
装置のインクカートリッヂの針先は、針先が、ウェーハ
と面で接する形状の為、ペレット上のマーキングのサイ
ズが大きくなる。この為、従来、不良と良品ペレットが
自動認識により自動判定されなかったペレットでも、マ
ウンターでの自動認識が可能となる。
装置のインクカートリッヂの針先は、針先が、ウェーハ
と面で接する形状の為、ペレット上のマーキングのサイ
ズが大きくなる。この為、従来、不良と良品ペレットが
自動認識により自動判定されなかったペレットでも、マ
ウンターでの自動認識が可能となる。
【図１】本発明の一実施例のインクカートリッヂの針先
とウェーハの関係を示す断面図及び針先の接触面の形を
示す断面図である。
とウェーハの関係を示す断面図及び針先の接触面の形を
示す断面図である。
【図２】本発明の他の実施例のインクカートリッヂの針
先とウェーハの関係を示す断面図及び針先の接触面の形
を示す断面図である。
先とウェーハの関係を示す断面図及び針先の接触面の形
を示す断面図である。
【図３】従来のマーキング装置のインクカートリッヂの
針先とウェーハの関係を示す断面図である。
針先とウェーハの関係を示す断面図である。
１ 針先 ２ インクカートリッヂの本体 ３ ウェーハ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 半導体装置の電気的特性の検査、或るい
は、外観検査の結果、不良と判断されたペレットに不良
のマーキングを行なう為のマーキング装置に於いて、前
記マーキング装置のインクカートリッヂがマーキングの
際、不良ペレットと接する該インクカートリッヂの針先
の形状が、ペレットと面で接する形状を有することを特
徴とするマーキング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17081691A JPH0521542A (ja) | 1991-07-11 | 1991-07-11 | マーキング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17081691A JPH0521542A (ja) | 1991-07-11 | 1991-07-11 | マーキング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0521542A true JPH0521542A (ja) | 1993-01-29 |
Family
ID=15911867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17081691A Pending JPH0521542A (ja) | 1991-07-11 | 1991-07-11 | マーキング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0521542A (ja) |
-
1991
- 1991-07-11 JP JP17081691A patent/JPH0521542A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000118 |