JPH05208898A - 高温超伝導部材の製造方法 - Google Patents

高温超伝導部材の製造方法

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JPH05208898A
JPH05208898A JP4177771A JP17777192A JPH05208898A JP H05208898 A JPH05208898 A JP H05208898A JP 4177771 A JP4177771 A JP 4177771A JP 17777192 A JP17777192 A JP 17777192A JP H05208898 A JPH05208898 A JP H05208898A
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layer
high temperature
oxide
temperature
melted
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JP4177771A
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Gerhard Dr Hofer
ホーフアー ゲルハルト
Wilhelm Dr Kleinlein
クラインライン ウイルヘルム
Eckhardt Hoenig
ヘーニツヒ エクハルト
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Siemens AG
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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10N60/01Manufacture or treatment
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    • H10N60/0661Processes performed after copper oxide formation, e.g. patterning

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  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
  • Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 安定し亀裂が無く組織化された層を支持体上
に形成する高温超伝導部材の製造方法及びこの方法に基
づく部材を提供する。 【構成】 支持体上に酸化物が予じめ組織化されて塗布
され、この層が急速に融解され再び急速に冷却され、そ
れにより再融解された層が更に逆反応及び方向性再結晶
のために熱処理される。層はYBa2 Cu36.5+x
ら形成され、Y2BaCuO5 を含まない。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、高温超伝導体を形成
し化学式YBa2 Cu36.5+x を有する酸化物から成
る層が支持体上に塗布され、そしてこの層が高温超伝導
セラミックへ変換されるような、組織化された高温超伝
導部材の製造方法に関する。
【0002】またこの発明は、高温超伝導セラミックか
ら成る層を支持する支持体を備える高温超伝導部材にも
関する。
【0003】
【従来の技術】この種の超伝導セラミックは、できるだ
け大きい電流容量を有するときには緻密でありかつ組織
化されている。セラミックの組織化は個々のクリスタリ
ットが結晶学的に整列させられているということを意味
し、その際整列は斜方晶のc軸により決定される。大き
い電流容量の場合にはc軸は通電方向と直交する。
【0004】材料を一致融解する場合には公知のように
(例えばクルツ(W. Kurz )、ザーム(P.R. Sahm )の
著書「整列させて凝固した共融材料、製造方法、特性及
び現場複合材料の利用(Gerichtet erstarrte eutektis
che Wertstoffe,Herstellung,Eigenschaften und Anwen
dungen von In-Situ-Verbundwerkstoffen )」シュプリ
ンゲル出版社、ベルリン、1975年参照)組織化が融
液の緩慢な凝固により行われ、その際急傾斜の温度勾配
が融液/固体の境界面に対し垂直に維持される。その際
最大の粒子成長速度の方向が温度勾配の方向と一致す
る。
【0005】YBa2 Cu36.5+x (以下で「12
3」とも呼ぶ)は緩慢な擬似等温処理実施の場合に一致
融解の前提を満たさない。その代わりに第1の包晶点で
部分融解が下記の反応に基づき行われる。 YBa2 Cu36.5+x → Y2 BaCuO5 +融液
(L1 ) その際生じるいわゆる「緑色相」Y2 BaCuO5 (以
下で「211」とも呼ぶ)は凝固の際非常に緩慢にしか
再び初期相「123」へ反応して戻らない。一般に実験
結果によれば「211」粒子は凝固したセラミックの組
織中に残り、この粒子が「123」マトリックス中に亀
裂発生従って電流容量の制限を招くおそれがある。
【0006】ナガヤほかの講演(題名「レーザ融解法に
よる高臨界温度酸化物超伝導体の急速凝固(Rapid Soli
dification of High-TC Oxide Superconductor by a La
serMelting Method)」1990年応用超伝導会議、ス
ノーマスヴィレッジ、コロラド、1990年9月24〜
28日から、融液を含む「123」の急速な加熱及び冷
却の際にY23 が形成され、従って「緑色相」も抑制
されることが知られている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】この発明の課題は、安
定し亀裂が無く組織化された層の形成を保証する高温超
伝導部材の製造方法を提供することにある。更にこの種
の部材を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】第1の課題はこの発明に
基づき、支持体上に酸化物が予じめ組織化されて塗布さ
れ、この層が急速に融解され再び急速に冷却され、それ
により再融解された層が更に逆反応及び方向性再結晶の
ために熱処理されることにより解決される。
【0009】支持体は銀又はニッケル又は他の高融点金
属から成ることができる。
【0010】逆反応は次の反応式により記述できる。 Y23 +凝固した融液(L2 ) → YBa2 Cu3
6.5+x
【0011】
【作用効果】この発明は次の知見により優れている。 −緻密な高温超伝導セラミック層が融解処理により得ら
れる。 −亀裂を発生させる「211」相を防止するために、1
00K/min以上の温度変化速度による急速な再融解
処理が必要である。 −組織化は支持体上での出発酸化物の予備組織化及び逆
反応の際の方向性再結晶により得られる。
【0012】この発明に基づく方法によれば、製造され
た部材は微細亀裂を有せず、また調節された組織のゆえ
に大きい電流容量を有するという長所が得られる。
【0013】例えば酸化物が支持体上に磁界中で電気泳
動法により塗布される。それによりクリスタリットが電
気泳動法中に磁界により整列させられることに帰因する
組織化が得られる。磁界方向の選択によりどの方向にク
リスタリットを整列させるべきかを決定できるので有利
である。
【0014】例えば予じめ組織化された層は、次の処理
のために安定性を高めるために焼結することができる。
【0015】予じめ組織化して塗布され場合によっては
焼結された層を例えばわざとその厚さにわたり完全には
融解しないようにすることができる。不完全な融解は組
織化され整列させられた材料が引き続き存在することを
保証する。この整列させられた材料は融解されなかった
残部である。続いての逆反応及び融液の再結晶の際に組
織化され融解されなかった残部が結晶核として働き、逆
反応及び融解された材料からの再結晶の際に所望のよう
に組織化された材料がエピタキシアル成長の場合のよう
に成長することをもたらす。
【0016】その際この方向性再結晶は、常にできるだ
け結晶学的c軸に対し垂直に向けなければならない例え
ば時間的に可変の又は一定の温度勾配により促進され
る。温度勾配に基づき一層良好な組織化が得られる。
【0017】前記電気泳動法により調節されたクリスタ
リットの予備組織化及びそれに関連する最も有利な温度
勾配の方向は、選択的に部材中の後の通電方向へ又はこ
の方向に対し垂直に向けることができる。
【0018】帯状部材から磁界を発生させるためのコイ
ルを成形する場合には、発生する磁界がクリスタリット
のc軸に対し直交するときに比較的大きい電流容量が得
られる。その際幾何学的理由からc軸は帯状の部材の表
面と直交しなければならず(巻かれたコイルではクリス
タリットのc軸がコイルの軸線の方向へ向く)、それゆ
えに温度勾配の方向に対して後の通電方向を選ぶべきで
ある。
【0019】しかし後の電流方向に対し垂直なかつ帯状
部材の表面に対し垂直な温度勾配の方向づけは技術的に
比較的簡単に実施できる。この場合にはc軸が帯状部材
の表面上に存在する。この種の部材は大電流導体として
使用するために適している。
【0020】例えば電気泳動法により被覆され予じめ組
織化された層は、擬似2元平衡状態図上の共晶点(「1
23」+3BaCuO2 +CuO)以上かつ第1の包晶
点(「123」)以下の温度のもとで焼結される。例え
ば出発粉末の化学量論的組成は比較的早くほぼ共融混合
物の方向へ移動させられる。それにより前記温度範囲で
は「123」とも呼ばれる所望の相YBa2 Cu3
6.5+x 以外は液相だけが安定しており、しかし「21
1」とも呼ばれる緑色相Y2 BaCuO5 は安定してい
ない。液相は焼結過程を促進する。共晶点は900°C
であり、第1の包晶点は1000°Cである。
【0021】層は例えば第2の包晶点以上の温度のもと
で急速に融解される。それにより融液中には液相のほか
にY23 だけが存在するという長所が得られる。融液
はこの高い温度のもとで全く「211」を有しない。急
速な加熱及び冷却により、「211」が安定である第1
の包晶点と第2の包晶点との間の温度範囲を「211」
が生じえないほど速やかに通過する。等温条件の場合に
は第1の包晶点は1000°Cであり第2の包晶点は1
200°Cである。
【0022】例えば第2の包晶点以上での滞留時間は短
く例えば数秒の範囲である。それにより凝固の後に含ま
れる組織は非常に微細である。逆反応及び方向性再結晶
のために、大きい境界面積による高反応性出発材料が準
備されるという長所が得られる。
【0023】融解の直後に冷却が行われる。融液は例え
ば室温(約20°C)まで急速に冷却される。急速な冷
却は冷却ガスにより促進でき、温度変化速度は例えば1
00K/min以上とすることができる。
【0024】例えば層は共晶点の付近かつ第1の包晶点
以下の温度のもとで例えば炉中で熱処理される。その際
次の逆反応 Y23 +L2 → YBa2 Cu36.5+x 及び方向性再結晶が進行する。結晶核としての融解され
なかった残部を出発点として、「123」粒子が温度勾
配の方向へかつ「123」のc軸に対し垂直に成長す
る。
【0025】この熱処理後にゆっくりと冷却される。そ
れにより熱応力が少ししか残らず亀裂発生を招かないと
いう長所が得られる。
【0026】例えば「123」相の斜方晶構造が完全に
発達できるように、所定の温度領域で温度が非常にゆっ
くり低下させられる。この温度領域は例えば700°C
ないし400°Cとすることができ、温度変化速度は例
えば20K/hとすることができる。
【0027】熱処理の際の炉雰囲気は例えば酸素を富化
することができる。それによりYBa2 Cu36.5+x
ただしx≒0.4の最適な酸素含有量が比較的速やかに
達成されるという長所が得られる。
【0028】例えば層は高強度レーザにより融解され
る。この種のレーザ例えばパルスNd−YAGレーザに
より十分に大きい温度変化速度が得られるので、「21
1」が発生するおそれがない。温度変化速度は例えば1
00K/minとすることができる。
【0029】もし電流容量の改善が磁界の存在中に必要
となる場合には、層に例えば高エネルギー粒子例えば酸
素イオン又はヨウ素イオンを照射することができ、それ
により磁束管のためのピン止め中心が第2種の超伝導体
中に発生する。同じ効果を「123」粒子中の極めて微
細に分散させられた析出微粒子によっても得ることがで
きる。
【0030】この発明に基づく高温超伝導部材の製造方
法により、組織化されかつ「211」酸化物いわゆる緑
色相から成る包有物に帰因することができ電流容量を損
なう微細亀裂を有しない高温超伝導部材を製造できると
いう長所が得られる。
【0031】高温超伝導セラミックから成る層を支持す
る支持体を備える高温超伝導部材を提供するという第2
の課題はこの発明に基づき、「123」酸化物すなわち
YBa2 Cu36.5+x から成る層が形成されかつ「2
11」酸化物Y2 BaCuO5 を含まないことにより解
決される。
【0032】緑色相とも呼ばれる「211」酸化物は微
細亀裂をもたらすおそれがある。
【0033】イットリウムは希土類金属の元素により置
き替えることができる。
【0034】
【実施例】次にこの発明に基づく方法を図1に示す平衡
状態図により説明する。
【0035】図1は(1/2)Y23 −BaO−Cu
O系の擬似2元平衡状態図を示す。縦軸上には温度が°
Cで記入されている。領域1ではY23 +2Y2 Ba
24 及び「211」から成る混合物が存在し、ここで
「211」は酸化物Y2 BaCuO5 を示す。領域2で
は「211」及び「123」から成る混合物が存在し、
ここで「123」は超伝導相YBa2 Cu36.5+x
示す。領域3では3BaCuO2 +CuO及び「12
3」から成る混合物が存在する。横軸上の「123」を
通る垂直な線に沿って相「123」は安定である。領域
4では「123」及び液Lが安定である。領域5では液
Lだけが安定である。共晶点6では領域5の大きさはゼ
ロに等しい。領域7では相「211」及び液Lが安定で
ある。領域8では相Y23 及び液Lが安定である。
【0036】第1の包晶点9では純粋な相「123」が
「211」及び第1の液L1 へ分解する。第2の包晶点
10では純粋な相「211」がY23 及び第2の液L
2 へ分解する。
【0037】高温超伝導部材の製造方法は破線11上を
進行し、領域3からしかしながら「123」相のすぐそ
ばで始まる。組織化されて支持体上に塗布された出発粉
末は「123」並びに3BaCuO2 +CuOの痕跡を
含む。
【0038】例えば塗布に続く焼結工程は共晶点6付近
かつ第1の包晶点9以下の温度のもとで領域4中で行わ
れる。
【0039】領域3から初めて領域8へ従って第2の包
晶点10以上への急速な融解が行われる。その際加熱及
び冷却の際の特に領域7の通過は、加熱の際の従属分解
反応「123」 → 「211」+L、及び冷却の際の
生成反応Y23 +L →「211」が動的に抑制され
るほど速やかに行われる。
【0040】最後にこの発明に基づく方法によれば、逆
反応及び方向性再結晶のために熱処理工程が領域4内で
又は領域3の上側範囲内で行われるが、前記のように焼
結は共晶点6付近でかつ第1の包晶点9以下で行われ
る。
【0041】それによりこの発明に基づき製造された高
温超伝導体は専ら所望の「123」酸化物から形成さ
れ、粒子境界上の銅酸塩による微細亀裂又は汚染の原因
となる「211」酸化物又はその二次生成物を含まな
い。それにより大きい電流容量及び高い安定性を有する
高温超伝導体が支持体と関連して得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(1/2)Y23 −BaO−CuO系の擬似
2元平衡状態図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 39/24 ZAA B 8728−4M (72)発明者 エクハルト ヘーニツヒ ドイツ連邦共和国 8520 エルランゲン パルムシユトラーセ 1 アー

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 高温超伝導体を形成する酸化物から成る
    層が支持体上に塗布され、この層が高温超伝導セラミッ
    クへ変換されるような、組織化された高温超伝導部材の
    製造方法において、支持体上に酸化物が予じめ組織化さ
    れて塗布され、この層が急速に融解され再び急速に冷却
    され、それにより再融解された層が更に逆反応及び方向
    性再結晶のために熱処理されることを特徴とする高温超
    伝導部材の製造方法。
  2. 【請求項2】 支持体上に酸化物が磁界中で電気泳動法
    により塗布されることを特徴とする請求項1記載の方
    法。
  3. 【請求項3】 組織化された層が焼結されることを特徴
    とする請求項1又は2記載の方法。
  4. 【請求項4】 層がその厚さにわたり完全には融解され
    ないことを特徴とする請求項1ないし3の一つに記載の
    方法。
  5. 【請求項5】 層が、時間的に変化するか又は一定であ
    り結晶学的c軸に対し直角に向いた温度勾配のもとで組
    織化されることを特徴とする請求項1ないし4の一つに
    記載の方法。
  6. 【請求項6】 層が部材中の後の通電方向に向いた温度
    勾配のもとで組織化されることを特徴とする請求項5記
    載の方法。
  7. 【請求項7】 層が部材中の後の通電方向に対し直角に
    向いた温度勾配のもとで組織化されることを特徴とする
    請求項5記載の方法。
  8. 【請求項8】 層が平衡状態での共晶点(6)付近の温
    度以上かつ第1の包晶点(9)以下の温度のもとで焼結
    されることを特徴とする請求項3ないし7の一つに記載
    の方法。
  9. 【請求項9】 層が第2の包晶点(10)以上の温度の
    もとで融解されることを特徴とする請求項1ないし8の
    一つに記載の方法。
  10. 【請求項10】 温度が短時間だけ第2の包晶点以上に
    保持されることを特徴とする請求項9記載の方法。
  11. 【請求項11】 層が急速に室温まで冷却されることを
    特徴とする請求項1ないし10の一つに記載の方法。
  12. 【請求項12】 層が平衡状態の共晶点(6)付近の温
    度以上かつ第1の包晶点(9)以下の温度のもとで再結
    晶のために熱処理されることを特徴とする請求項1ない
    し11の一つに記載の方法。
  13. 【請求項13】 層が高強度レーザにより融解されるこ
    とを特徴とする請求項1ないし12の一つに記載の方
    法。
  14. 【請求項14】 層が冷却ガスにより急速に再び冷却さ
    れることを特徴とする請求項1ないし13の一つに記載
    の方法。
  15. 【請求項15】 層が再結晶熱処理後に高エネルギーの
    重イオンを照射されることを特徴とする請求項1ないし
    14の一つに記載の方法。
  16. 【請求項16】 層が「123」酸化物すなわちYBa
    2 Cu36.5+x から形成され、「211」酸化物すな
    わちY2 BaCuO5 を含まないことを特徴とする高温
    超伝導セラミックから成る層を支持する支持体を備えた
    高温超伝導部材。
JP4177771A 1991-06-14 1992-06-12 高温超伝導部材の製造方法 Withdrawn JPH05208898A (ja)

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