JPH05204934A - 生産管理装置 - Google Patents
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- JPH05204934A JPH05204934A JP3424592A JP3424592A JPH05204934A JP H05204934 A JPH05204934 A JP H05204934A JP 3424592 A JP3424592 A JP 3424592A JP 3424592 A JP3424592 A JP 3424592A JP H05204934 A JPH05204934 A JP H05204934A
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Landscapes
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体装置の製造等の管理をする生産管理装
置（システム）において、作業条件はレシピの形では入
力せず、作業条件の指示はレシピの形で行うことができ
るようにする。 【構成】 各種作業について使用装置をキーワードとし
て各作業条件に与えられたレシピＩＤを記憶するレシピ
ＩＤ記憶手段を有し、各作業の種類、使用装置、条件に
ついてのデータが入力されると上記レシピＩＤ記憶手段
からそのデータに対応したレシピＩＤが読み出され、作
業条件が使用装置をキーワードとするレシピＩＤにより
指示されるようにする。
置（システム）において、作業条件はレシピの形では入
力せず、作業条件の指示はレシピの形で行うことができ
るようにする。 【構成】 各種作業について使用装置をキーワードとし
て各作業条件に与えられたレシピＩＤを記憶するレシピ
ＩＤ記憶手段を有し、各作業の種類、使用装置、条件に
ついてのデータが入力されると上記レシピＩＤ記憶手段
からそのデータに対応したレシピＩＤが読み出され、作
業条件が使用装置をキーワードとするレシピＩＤにより
指示されるようにする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、生産管理装置、特に一
連の多数の作業により行われる生産の各作業の種類、使
用装置、条件を、予め入力されたデータに従って指示し
ないしは制御する生産管理装置に関する。
連の多数の作業により行われる生産の各作業の種類、使
用装置、条件を、予め入力されたデータに従って指示し
ないしは制御する生産管理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造、特に半導体ウェハ段
階での製造は、コンピュータを使用した生産管理装置に
よる管理の下で行われている。即ち、生産管理装置は、
一連の多数の作業により行われる生産の各作業の種類、
使用装置、条件を、予め入力されたデータに従って指示
しないしは制御する働きを持ち、クリーンルーム内にお
ける半導体装置の製造を管理する。
階での製造は、コンピュータを使用した生産管理装置に
よる管理の下で行われている。即ち、生産管理装置は、
一連の多数の作業により行われる生産の各作業の種類、
使用装置、条件を、予め入力されたデータに従って指示
しないしは制御する働きを持ち、クリーンルーム内にお
ける半導体装置の製造を管理する。
【０００３】そして、設計エンジニアは、従来、各作業
の種類、使用装置、条件をレシピの形で生産管理装置に
入力していた。例えば、拡散を拡散装置Ａで行う場合、
その装置Ａによる存在し得る各種拡散条件（拡散温度、
拡散時間、雰囲気等）についてレシピＩＤ（アイデンテ
ィティ）を設定しておき、レシピの形で作業条件の指示
をするのである。
の種類、使用装置、条件をレシピの形で生産管理装置に
入力していた。例えば、拡散を拡散装置Ａで行う場合、
その装置Ａによる存在し得る各種拡散条件（拡散温度、
拡散時間、雰囲気等）についてレシピＩＤ（アイデンテ
ィティ）を設定しておき、レシピの形で作業条件の指示
をするのである。
【０００４】より具体的に説明すると、拡散装置Ａにお
いて、拡散温度１０００℃、拡散時間２０分、雰囲気Ｎ
2 ガスの作業条件を例えばレシピ１とし、拡散温度１０
５０℃、拡散時間２０分、雰囲気Ｎ2 ガスの作業条件を
レシピ２とするというように各作業条件毎に異なるレシ
ピＩＤを与え、レシピＩＤによって指示をするのであ
る。このように、レシピＩＤにより指示するようにする
ことを作業条件指示のレシピ化というが、レシピ化をす
るのはクリーンルーム内で作業する作業者によって作業
がやり易いからである。というのは、例えばレシピＩＤ
に対応したボタンを押すというような簡単で判断の介在
する余地の少ない形で作業を行えるからである。また、
拡散装置等の装置に対する生産管理装置による直接制御
もレシピＩＤによって行うことができる。
いて、拡散温度１０００℃、拡散時間２０分、雰囲気Ｎ
2 ガスの作業条件を例えばレシピ１とし、拡散温度１０
５０℃、拡散時間２０分、雰囲気Ｎ2 ガスの作業条件を
レシピ２とするというように各作業条件毎に異なるレシ
ピＩＤを与え、レシピＩＤによって指示をするのであ
る。このように、レシピＩＤにより指示するようにする
ことを作業条件指示のレシピ化というが、レシピ化をす
るのはクリーンルーム内で作業する作業者によって作業
がやり易いからである。というのは、例えばレシピＩＤ
に対応したボタンを押すというような簡単で判断の介在
する余地の少ない形で作業を行えるからである。また、
拡散装置等の装置に対する生産管理装置による直接制御
もレシピＩＤによって行うことができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、設計エンジ
ニアにとって一連の作業をレシピの形で生産管理装置に
入力することを義務づけられることは、好ましいことで
はない。というのは、自分の設計した各作業に関してレ
シピに精通していなければならず、精通していない場合
には常に自己の設定しようとする作業条件と対応するレ
シピを探し出しそれを入力しなければならず、入力のた
めに神経をすり減らすからである。そして、レシピを探
し出す作業は単純な作業なので、ミスが起き易く、ミス
により自己の設計した条件と異なる作業条件が入力され
てしまうことが起り得た。そして、かかるレシピ指定の
誤りがあれば、誤った作業指示が為され、半導体装置の
汚染、大量不良、半導体製造装置の汚染等最悪の事態が
生じる虞れがあった。
ニアにとって一連の作業をレシピの形で生産管理装置に
入力することを義務づけられることは、好ましいことで
はない。というのは、自分の設計した各作業に関してレ
シピに精通していなければならず、精通していない場合
には常に自己の設定しようとする作業条件と対応するレ
シピを探し出しそれを入力しなければならず、入力のた
めに神経をすり減らすからである。そして、レシピを探
し出す作業は単純な作業なので、ミスが起き易く、ミス
により自己の設計した条件と異なる作業条件が入力され
てしまうことが起り得た。そして、かかるレシピ指定の
誤りがあれば、誤った作業指示が為され、半導体装置の
汚染、大量不良、半導体製造装置の汚染等最悪の事態が
生じる虞れがあった。
【０００６】本発明はこのような問題点を解決すべく為
されたものであり、作業条件はレシピの形では入力せ
ず、作業条件の指示はレシピの形で行うことのできる新
規な生産管理装置を提供することを目的とする。
されたものであり、作業条件はレシピの形では入力せ
ず、作業条件の指示はレシピの形で行うことのできる新
規な生産管理装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明生産管理装置は、
各種作業について使用装置をキーワードとして各作業条
件に与えられたレシピＩＤを記憶するレシピＩＤ記憶手
段を少なくとも有し、上記各作業の種類、使用装置、条
件についてのデータが入力されるとレシピＩＤ記憶手段
からそのデータに対応したレシピＩＤが読み出され、作
業条件が使用装置をキーワードとするレシピＩＤにより
指示ないし制御されるようにしたことを特徴とする。
各種作業について使用装置をキーワードとして各作業条
件に与えられたレシピＩＤを記憶するレシピＩＤ記憶手
段を少なくとも有し、上記各作業の種類、使用装置、条
件についてのデータが入力されるとレシピＩＤ記憶手段
からそのデータに対応したレシピＩＤが読み出され、作
業条件が使用装置をキーワードとするレシピＩＤにより
指示ないし制御されるようにしたことを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明生産管理装置によれば、作業条件のレシ
ピ化をレシピＩＤ記憶手段に照合することによって生産
管理装置内部で行うことができる。従って、エンジニア
は作業条件の設定をその作業条件のままの形で生産管理
装置に入力するという形で行うことができ、レシピ指定
の誤りによる誤った作業条件の指示の生じる虞れをなく
すことができる。
ピ化をレシピＩＤ記憶手段に照合することによって生産
管理装置内部で行うことができる。従って、エンジニア
は作業条件の設定をその作業条件のままの形で生産管理
装置に入力するという形で行うことができ、レシピ指定
の誤りによる誤った作業条件の指示の生じる虞れをなく
すことができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明生産管理装置を図示実施例に従
って詳細に説明する。図１は本発明生産管理装置の一つ
の実施例を示す構成図、図２は該生産管理装置の動作を
示すフローチャートである。図において、１はエンジニ
ア用のＣＰＵ搭載端末で、例えばワークステーションか
らなり、図において、１は記憶手段で、エンジニアが一
連の作業の順序（フロー）、各作業の条件、作業をする
装置名等についてのデータを入力をするときはこのＣＰ
Ｕ搭載端末１を通じて行う。Ｄ１は入力データ（プロセ
ス情報）の一例の一部を示す。尚、半導体装置を製造す
るための一連の作業は、いくつかのまとまりに分けら
れ、複数の作業からなる各まとまりが工程と称され、各
工程にそれぞれに工程ＩＤ（アイデンティティ）番号が
与えられている。このようにするのは、工業簿記等に便
利だからである。
って詳細に説明する。図１は本発明生産管理装置の一つ
の実施例を示す構成図、図２は該生産管理装置の動作を
示すフローチャートである。図において、１はエンジニ
ア用のＣＰＵ搭載端末で、例えばワークステーションか
らなり、図において、１は記憶手段で、エンジニアが一
連の作業の順序（フロー）、各作業の条件、作業をする
装置名等についてのデータを入力をするときはこのＣＰ
Ｕ搭載端末１を通じて行う。Ｄ１は入力データ（プロセ
ス情報）の一例の一部を示す。尚、半導体装置を製造す
るための一連の作業は、いくつかのまとまりに分けら
れ、複数の作業からなる各まとまりが工程と称され、各
工程にそれぞれに工程ＩＤ（アイデンティティ）番号が
与えられている。このようにするのは、工業簿記等に便
利だからである。
【００１０】この入力データＤ１は図から明らかなよう
に、本生産管理装置においては従来とは異なり、各作業
の作業条件のレシピ化が為されていない。即ち、エンジ
ニアは作業条件をレシピ化することなく入力するように
なっている。２は生産管理装置のホストコンピュータ、
３はそのデータベースのうちの特にワークステーション
１に入力されたデータをそのまま一時的に保存しておく
部分で、未だレシピ化前の状態でデータを保存するの
で、本明細書では未レシピ化データ保存部ということと
する。尚、ホストコンピュータ２等とワークステーショ
ン１とを一つのコンピュータとして一体化した形で生産
管理装置を構成することもできる。
に、本生産管理装置においては従来とは異なり、各作業
の作業条件のレシピ化が為されていない。即ち、エンジ
ニアは作業条件をレシピ化することなく入力するように
なっている。２は生産管理装置のホストコンピュータ、
３はそのデータベースのうちの特にワークステーション
１に入力されたデータをそのまま一時的に保存しておく
部分で、未だレシピ化前の状態でデータを保存するの
で、本明細書では未レシピ化データ保存部ということと
する。尚、ホストコンピュータ２等とワークステーショ
ン１とを一つのコンピュータとして一体化した形で生産
管理装置を構成することもできる。
【００１１】４は生産管理装置のホストコンピュータ２
のデータベースのうち作業条件をレシピ化した状態でデ
ータを一時的に記憶する部分で、本明細書ではレシピ化
データ保存部ということとする。Ｄ２はレシピ化された
データを示す。５はレシピ化のためのデータ処理をする
レシピ管理システムで、コンピュータからなる。６は作
業を行うところの使用装置をキーワードとして各作業条
件とそれに対応するレシピＩＤを記憶するレシピＩＤ記
憶手段である。Ｄ３はその作業条件とレシピＩＤとの対
応を示すレシピ表である。７は作業者用の作業条件表示
による作業指示を主として行う端末、８は作業に使用す
る装置（例えば装置Ａ）である。
のデータベースのうち作業条件をレシピ化した状態でデ
ータを一時的に記憶する部分で、本明細書ではレシピ化
データ保存部ということとする。Ｄ２はレシピ化された
データを示す。５はレシピ化のためのデータ処理をする
レシピ管理システムで、コンピュータからなる。６は作
業を行うところの使用装置をキーワードとして各作業条
件とそれに対応するレシピＩＤを記憶するレシピＩＤ記
憶手段である。Ｄ３はその作業条件とレシピＩＤとの対
応を示すレシピ表である。７は作業者用の作業条件表示
による作業指示を主として行う端末、８は作業に使用す
る装置（例えば装置Ａ）である。
【００１２】次に、図２に従って作業フロー、条件の登
録動作について説明する。エンジニアが設計した一連の
作業のフロー、各作業の作業条件及び使用装置に関する
データ、例えばＤ１をワークステーション１を通して生
産管理装置に入力する。入力されたデータはホストコン
ピュータ２の未レシピ化データ保存部３に一時的に記憶
される。
録動作について説明する。エンジニアが設計した一連の
作業のフロー、各作業の作業条件及び使用装置に関する
データ、例えばＤ１をワークステーション１を通して生
産管理装置に入力する。入力されたデータはホストコン
ピュータ２の未レシピ化データ保存部３に一時的に記憶
される。
【００１３】次に、ワークステーション１によってその
未レシピ化データ保存部３に記憶されたデータをレシピ
化したうえでレシピ化データ保存部４へ移行する旨の指
令が為される。すると、未レシピ化データ保存部３に保
存されたデータがレシピ管理システム５に送られ、レシ
ピＩＤ記憶手段（レシピ管理データベース）６に記憶さ
れたレシピ表Ｄ３を照合することにより作業条件に対応
するレシピＩＤを読み出して順次レシピ化データ保存部
４に移行する。即ち、レシピ化するのである。
未レシピ化データ保存部３に記憶されたデータをレシピ
化したうえでレシピ化データ保存部４へ移行する旨の指
令が為される。すると、未レシピ化データ保存部３に保
存されたデータがレシピ管理システム５に送られ、レシ
ピＩＤ記憶手段（レシピ管理データベース）６に記憶さ
れたレシピ表Ｄ３を照合することにより作業条件に対応
するレシピＩＤを読み出して順次レシピ化データ保存部
４に移行する。即ち、レシピ化するのである。
【００１４】次に、すべての作業について情報のレシピ
化できたか否かを判定し、Ｙｅｓという判定結果が得ら
れた場合にはその旨の表示をエンジニア用のワークステ
ーション１のディスプレイ上に行う。そして、これによ
って登録が完了する。Ｎｏという判定結果が得られた場
合にはレシピかできなかった作業のすべてをエンジニア
用ワークステーション１のディスプレイに表示する。次
に、このままで良いか否かの意思の表示を促し、Ｎｏで
あるならば入力したプロセスデータの内容の修正（プロ
セス修正）を行う。すると、その修正されたデータにつ
いてレシピ化されることになる。
化できたか否かを判定し、Ｙｅｓという判定結果が得ら
れた場合にはその旨の表示をエンジニア用のワークステ
ーション１のディスプレイ上に行う。そして、これによ
って登録が完了する。Ｎｏという判定結果が得られた場
合にはレシピかできなかった作業のすべてをエンジニア
用ワークステーション１のディスプレイに表示する。次
に、このままで良いか否かの意思の表示を促し、Ｎｏで
あるならば入力したプロセスデータの内容の修正（プロ
セス修正）を行う。すると、その修正されたデータにつ
いてレシピ化されることになる。
【００１５】このままで良いか否かについての意思表示
の内容がＹｅｓであれば、すべての作業について（レシ
ピ化できるものはレシピ化したうえで）レシピ化データ
保存部分４に移行する。ところで、レシピ化できないケ
ースの一つには、例えばエンジニアが誤って作業条件を
入力した場合がある。具体的には、拡散温度の条件を１
０５０℃と入力すべきところをエンジニアが誤って１０
５℃と入力してしまったが、拡散温度が１０５℃という
条件は普通あり得ない温度であるのでレシピＩＤが用意
されていない場合がそれである。このようにレシピ化で
きなかった場合には、エンジニア用のワークステーショ
ン１のディスプレイに表示されるので、エンジニアはそ
の表示から誤りに気が付くことができ得るのである。こ
の場合には当然に入力したデータの誤った部分について
の修正がエンジニアにより行われることになる。
の内容がＹｅｓであれば、すべての作業について（レシ
ピ化できるものはレシピ化したうえで）レシピ化データ
保存部分４に移行する。ところで、レシピ化できないケ
ースの一つには、例えばエンジニアが誤って作業条件を
入力した場合がある。具体的には、拡散温度の条件を１
０５０℃と入力すべきところをエンジニアが誤って１０
５℃と入力してしまったが、拡散温度が１０５℃という
条件は普通あり得ない温度であるのでレシピＩＤが用意
されていない場合がそれである。このようにレシピ化で
きなかった場合には、エンジニア用のワークステーショ
ン１のディスプレイに表示されるので、エンジニアはそ
の表示から誤りに気が付くことができ得るのである。こ
の場合には当然に入力したデータの誤った部分について
の修正がエンジニアにより行われることになる。
【００１６】尚、エンジニアの入力が誤っていなくても
レシピ化できない場合もある。例えば、拡散温度が１０
００℃についても１０５０℃についてもレシピＩＤが用
意されているがその中間の温度に関してレシピＩＤがレ
シピ表中にない場合において、エンジニアが１０２５℃
の温度で拡散を行うように設計し、入力した場合がそれ
である。このような場合には、その作業条件の指示はレ
シピ化しない状態で行えば良いのである。
レシピ化できない場合もある。例えば、拡散温度が１０
００℃についても１０５０℃についてもレシピＩＤが用
意されているがその中間の温度に関してレシピＩＤがレ
シピ表中にない場合において、エンジニアが１０２５℃
の温度で拡散を行うように設計し、入力した場合がそれ
である。このような場合には、その作業条件の指示はレ
シピ化しない状態で行えば良いのである。
【００１７】尚、レシピ化についてもっと具体的に説明
する。未レシピ化データ保存部分３に保存されるデータ
は、図１のＤ１に示すデータ形式の形になっている。し
かし、レシピ管理システム５においてはキーワードとな
る装置名を筆頭にして条件が示された下記のような形式
にされる。この表は工程１についてのみ抜粋している。 装置Ａ 条件１−１−１ 条件１−１−２ 条件１−１
−３ 装置Ｂ 条件１−２−１ 条件１−２−２ 条件１−２
−３ 装置Ｃ 条件１−３−１ 条件１−３−２ 条件１−３
−３ 装置Ｄ 条件１−４−１ 条件１−４−２ 条件１−４
−３ そして、先ずこの表のうちの、装置Ａ 条件１−１−１
条件１−１−２ 条件１−１−３というデータと、レ
シピ管理データベース６に記憶されているレシピ表Ｄ３
のうちの装置Ａのレシピ１の条件１−１ 条件１−２
条件１−３というデータとを比較する。
する。未レシピ化データ保存部分３に保存されるデータ
は、図１のＤ１に示すデータ形式の形になっている。し
かし、レシピ管理システム５においてはキーワードとな
る装置名を筆頭にして条件が示された下記のような形式
にされる。この表は工程１についてのみ抜粋している。 装置Ａ 条件１−１−１ 条件１−１−２ 条件１−１
−３ 装置Ｂ 条件１−２−１ 条件１−２−２ 条件１−２
−３ 装置Ｃ 条件１−３−１ 条件１−３−２ 条件１−３
−３ 装置Ｄ 条件１−４−１ 条件１−４−２ 条件１−４
−３ そして、先ずこの表のうちの、装置Ａ 条件１−１−１
条件１−１−２ 条件１−１−３というデータと、レ
シピ管理データベース６に記憶されているレシピ表Ｄ３
のうちの装置Ａのレシピ１の条件１−１ 条件１−２
条件１−３というデータとを比較する。
【００１８】もし、比較の結果が同一であれば、作業１
−１を行う装置Ａについてはレシピ１を返す。これによ
りレシピ化されるである。もし、同一でなければ次のレ
シピ２との比較を行うというように同一条件のレシピを
探し出す。前述のように探し出せない場合もあるが、探
し出せない場合にはそのことを示すフラグがレシピに代
えて返される。このフラグは例えばレシピ管理システム
５のデータベース６等に一時保存されると共に、その作
業名も保存される。
−１を行う装置Ａについてはレシピ１を返す。これによ
りレシピ化されるである。もし、同一でなければ次のレ
シピ２との比較を行うというように同一条件のレシピを
探し出す。前述のように探し出せない場合もあるが、探
し出せない場合にはそのことを示すフラグがレシピに代
えて返される。このフラグは例えばレシピ管理システム
５のデータベース６等に一時保存されると共に、その作
業名も保存される。
【００１９】そして、全部の作業についてレシピ化処理
が終了すると（レシピ化できなかったものを除き）、そ
のできなかった作業名、作業条件及び装置がワークステ
ーション１のディスプレイに表示され、指示待ち状態に
なること前述のとおりである。
が終了すると（レシピ化できなかったものを除き）、そ
のできなかった作業名、作業条件及び装置がワークステ
ーション１のディスプレイに表示され、指示待ち状態に
なること前述のとおりである。
【００２０】ところで、図２に示す登録が終了すると、
登録されたデータは、作業者用端末７のディスプレイ８
により適宜表示される。また、そのデータをＳＥＣＳ
（セミコンダクタ エクイップメント コミュニケーシ
ョン スタンダーズ）を使った自動化装置Ａに対しての
コントロールに用いることもできる。即ち、レシピのシ
ステムから装置への直接ダウンロードによる作業自動実
施ができ得る。但し、レシピ化されていない作業につい
ては作業者用端末７のディスプレイによる作業指示がで
きるが、装置８の自動的コントロールはできない。
登録されたデータは、作業者用端末７のディスプレイ８
により適宜表示される。また、そのデータをＳＥＣＳ
（セミコンダクタ エクイップメント コミュニケーシ
ョン スタンダーズ）を使った自動化装置Ａに対しての
コントロールに用いることもできる。即ち、レシピのシ
ステムから装置への直接ダウンロードによる作業自動実
施ができ得る。但し、レシピ化されていない作業につい
ては作業者用端末７のディスプレイによる作業指示がで
きるが、装置８の自動的コントロールはできない。
【００２１】このような生産管理装置によれば、作業条
件のレシピ化を、入力された作業条件をレシピＩＤ記憶
手段に照合することによって生産管理装置内部で行うこ
とができる。従って、エンジニアは作業条件の設定を、
その作業条件そのままの形で生産管理装置に入力するこ
とによって行うことができ、レシピ指定の誤りによる誤
った作業条件の指示、制御が為される虞れをなくすこと
ができる。
件のレシピ化を、入力された作業条件をレシピＩＤ記憶
手段に照合することによって生産管理装置内部で行うこ
とができる。従って、エンジニアは作業条件の設定を、
その作業条件そのままの形で生産管理装置に入力するこ
とによって行うことができ、レシピ指定の誤りによる誤
った作業条件の指示、制御が為される虞れをなくすこと
ができる。
【００２２】
【発明の効果】本発明生産管理装置は、一連の多数の作
業により行われる生産の各作業の種類、使用装置、条件
を、予め入力されたデータに従って指示しないしは制御
する生産管理装置において、各種作業について使用装置
をキーワードとして各作業条件に与えられたレシピＩＤ
を記憶するレシピＩＤ記憶手段を少なくとも有し、上記
各作業の種類、使用装置、条件についてのデータが入力
されるとレシピＩＤからそのデータに対応したレシピＩ
Ｄが読み出され、作業条件が使用装置をキーワードとす
るレシピＩＤにより指示、制御されるようにしたことを
特徴とするものである。従って、本発明生産管理装置に
よれば、入力された作業条件のレシピ化をレシピＩＤ記
憶手段に照合することによって生産管理装置内部で自動
的に行うことができる。従って、エンジニアは作業条件
の設定をその作業条件そのままで生産管理装置に入力す
るという形で行うことができ、レシピ指定の誤りによっ
て誤った作業条件の指示が為されるという虞れをなくす
ことができる。
業により行われる生産の各作業の種類、使用装置、条件
を、予め入力されたデータに従って指示しないしは制御
する生産管理装置において、各種作業について使用装置
をキーワードとして各作業条件に与えられたレシピＩＤ
を記憶するレシピＩＤ記憶手段を少なくとも有し、上記
各作業の種類、使用装置、条件についてのデータが入力
されるとレシピＩＤからそのデータに対応したレシピＩ
Ｄが読み出され、作業条件が使用装置をキーワードとす
るレシピＩＤにより指示、制御されるようにしたことを
特徴とするものである。従って、本発明生産管理装置に
よれば、入力された作業条件のレシピ化をレシピＩＤ記
憶手段に照合することによって生産管理装置内部で自動
的に行うことができる。従って、エンジニアは作業条件
の設定をその作業条件そのままで生産管理装置に入力す
るという形で行うことができ、レシピ指定の誤りによっ
て誤った作業条件の指示が為されるという虞れをなくす
ことができる。
【図１】本発明生産管理装置の一つの実施例を示す構成
図である。
図である。
【図２】図１の生産管理装置の一連の作業の登録動作を
示すフローチャートである。
示すフローチャートである。
６ レシピＩＤ記憶手段
Claims (1)
- 【請求項１】 一連の多数の作業により行われる生産の
各作業の種類、使用装置、条件を、予め入力されたデー
タに従って指示しないしは制御する生産管理装置におい
て、 各種作業について使用装置をキーワードとして各作業条
件に与えられたレシピＩＤを記憶するレシピＩＤ記憶手
段を少なくとも有し、 上記各作業の種類、使用装置、条件についてのデータが
入力される上記とレシピＩＤ記憶手段からそのデータに
対応したレシピＩＤが読み出され、作業条件が使用装置
をキーワードとするレシピＩＤにより指示ないし制御さ
れるようにしたことを特徴とする生産管理装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3424592A JPH05204934A (ja) | 1992-01-25 | 1992-01-25 | 生産管理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3424592A JPH05204934A (ja) | 1992-01-25 | 1992-01-25 | 生産管理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05204934A true JPH05204934A (ja) | 1993-08-13 |
Family
ID=12408779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3424592A Pending JPH05204934A (ja) | 1992-01-25 | 1992-01-25 | 生産管理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05204934A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004281719A (ja) * | 2003-03-17 | 2004-10-07 | Meidensha Corp | ライブラリ展開テーブルの制御装置 |
-
1992
- 1992-01-25 JP JP3424592A patent/JPH05204934A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004281719A (ja) * | 2003-03-17 | 2004-10-07 | Meidensha Corp | ライブラリ展開テーブルの制御装置 |
| JP4513270B2 (ja) * | 2003-03-17 | 2010-07-28 | 株式会社明電舎 | ライブラリ展開テーブルの制御装置 |
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