JPH05204926A - 生産管理システム - Google Patents
生産管理システムInfo
- Publication number
- JPH05204926A JPH05204926A JP3424492A JP3424492A JPH05204926A JP H05204926 A JPH05204926 A JP H05204926A JP 3424492 A JP3424492 A JP 3424492A JP 3424492 A JP3424492 A JP 3424492A JP H05204926 A JPH05204926 A JP H05204926A
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- Japan
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- simulator
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- production control
- production
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Landscapes
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 生産管理データを生産管理装置だけでなくシ
ミュレーターにも人手によって入力する面倒さをなく
す。 【構成】 生産管理装置とシミュレーションとを一体化
し、生産管理装置に入力された作業の種類、条件、作業
装置等のデータがシミュレーターにも自動的に取り込ま
れるようにする。
ミュレーターにも人手によって入力する面倒さをなく
す。 【構成】 生産管理装置とシミュレーションとを一体化
し、生産管理装置に入力された作業の種類、条件、作業
装置等のデータがシミュレーターにも自動的に取り込ま
れるようにする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、生産管理システム、特
に作業に関する生産管理用として入力されたデータをシ
ミュレーションにも用いることができる新規な生産管理
システムに関する。
に作業に関する生産管理用として入力されたデータをシ
ミュレーションにも用いることができる新規な生産管理
システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造、特に半導体ウェハ段
階での製造は、コンピュータを使用した生産管理システ
ムによる管理下で行われている。即ち、生産管理システ
ムは、一連の多数の作業により行われる生産の各作業の
種類、条件を予め入力されたデータに従って指示し、な
いしは制御をする働きを持ち、クリーンルーム内におけ
る半導体装置の製造を管理する。
階での製造は、コンピュータを使用した生産管理システ
ムによる管理下で行われている。即ち、生産管理システ
ムは、一連の多数の作業により行われる生産の各作業の
種類、条件を予め入力されたデータに従って指示し、な
いしは制御をする働きを持ち、クリーンルーム内におけ
る半導体装置の製造を管理する。
【０００３】一方、研究開発の効率を高めるあるいは品
質管理技術を開発する等のため、シミュレーターを用い
て実際に行われる生産管理のためのデータによって生産
に関するシミュレーションも行われている。そして、こ
のシミュレーションの精度を高くするためにシミュレー
ターによるシミュレーション結果を、実際の生産によっ
て得られた結果と合致させるべく実際の生産によるシミ
ュレーターへのフィードバックも必要である。
質管理技術を開発する等のため、シミュレーターを用い
て実際に行われる生産管理のためのデータによって生産
に関するシミュレーションも行われている。そして、こ
のシミュレーションの精度を高くするためにシミュレー
ターによるシミュレーション結果を、実際の生産によっ
て得られた結果と合致させるべく実際の生産によるシミ
ュレーターへのフィードバックも必要である。
【０００４】そして、従来において、生産管理システム
とシミュレーターとは完全に独立しており、シミュレー
ターへの一連の作業の種類、作業条件についてのデータ
の入力、同じく生産管理システムへの一連の作業の種
類、作業条件についてのデータの入力、そして実作業に
おける結果のシミュレーターへのフィードバックは例え
ばキーボード入力操作等、人の手により行っていた。
とシミュレーターとは完全に独立しており、シミュレー
ターへの一連の作業の種類、作業条件についてのデータ
の入力、同じく生産管理システムへの一連の作業の種
類、作業条件についてのデータの入力、そして実作業に
おける結果のシミュレーターへのフィードバックは例え
ばキーボード入力操作等、人の手により行っていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、生産管理シ
ステムへの一連の作業の種類、条件についてのデータの
入力とシミュレーターへの一連の作業の種類、条件につ
いてのデータの入力とを別々に行っているので入力操作
量が多いし、また実作業における結果のシミュレーター
へのフィードバックを入力する入力操作量も多い。これ
は人件費の節減を阻む要因となり、当然のことながらＩ
Ｃ、ＬＳＩ等の半導体装置の低価格化を阻む要因とな
る。また、シミュレーション結果を得るのに時間もかか
る。更に、シミュレーターへのデータ入力操作ミスによ
りシミュレーション結果に大きな誤りが生じることもあ
った。
ステムへの一連の作業の種類、条件についてのデータの
入力とシミュレーターへの一連の作業の種類、条件につ
いてのデータの入力とを別々に行っているので入力操作
量が多いし、また実作業における結果のシミュレーター
へのフィードバックを入力する入力操作量も多い。これ
は人件費の節減を阻む要因となり、当然のことながらＩ
Ｃ、ＬＳＩ等の半導体装置の低価格化を阻む要因とな
る。また、シミュレーション結果を得るのに時間もかか
る。更に、シミュレーターへのデータ入力操作ミスによ
りシミュレーション結果に大きな誤りが生じることもあ
った。
【０００６】本発明はこのような問題点を解決すべく為
されたものであり、生産管理用として生産管理装置に入
力するデータをシミュレーターにも入力する特別の入力
作業を不要にすることを目的とする。
されたものであり、生産管理用として生産管理装置に入
力するデータをシミュレーターにも入力する特別の入力
作業を不要にすることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明生産管理システム
は、生産管理装置とシミュレーションとを一体化し、生
産管理装置に入力された作業の種類、条件のデータがシ
ミュレーターにも自動的に取り込まれるようにしたこと
を特徴とする。
は、生産管理装置とシミュレーションとを一体化し、生
産管理装置に入力された作業の種類、条件のデータがシ
ミュレーターにも自動的に取り込まれるようにしたこと
を特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明生産管理システムによれば、生産管理装
置に入力された作業の種類、条件のデータがシミュレー
ターにも自動的に取り込まれるので、生産管理用として
生産管理装置に入力するデータをシミュレーターにも入
力する特別の入力作業が不要になる。従って、人件費節
減になり、また、シミュレーターへのデータ入力操作ミ
スによりシミュレーション結果に大きな誤りが生じるこ
とも避けられる。
置に入力された作業の種類、条件のデータがシミュレー
ターにも自動的に取り込まれるので、生産管理用として
生産管理装置に入力するデータをシミュレーターにも入
力する特別の入力作業が不要になる。従って、人件費節
減になり、また、シミュレーターへのデータ入力操作ミ
スによりシミュレーション結果に大きな誤りが生じるこ
とも避けられる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明生産管理システムを図示実施例
に従って詳細に説明する。図１は本発明生産管理システ
ムの一つの実施例を示す構成図である。図において、１
は生産管理装置で、エンジニアが一連の作業の順序（フ
ロー）、各作業の条件、作業をする装置名等の入力をす
ると、その入力されたデータに基づいて半導体装置を生
産するクリーンルーム内のオペレータに対して行うべき
作業について指示を行う。
に従って詳細に説明する。図１は本発明生産管理システ
ムの一つの実施例を示す構成図である。図において、１
は生産管理装置で、エンジニアが一連の作業の順序（フ
ロー）、各作業の条件、作業をする装置名等の入力をす
ると、その入力されたデータに基づいて半導体装置を生
産するクリーンルーム内のオペレータに対して行うべき
作業について指示を行う。
【００１０】２はシミュレーターで、エンジニアが入力
したデータに基づいてシミュレーションをする。本生産
管理システムは、上記生産管理装置１とシミュレーター
２とを一体化し、生産管理装置１にエンジニアにより入
力されたデータが自動的にシミュレーター２にも入力さ
れ、また生産管理装置１において得られた実作業におけ
る結果（ＩＰＱＣデータ）のシミュレーター２へのフィ
ードバックも自動的に行われるようにしてなるのであ
る。
したデータに基づいてシミュレーションをする。本生産
管理システムは、上記生産管理装置１とシミュレーター
２とを一体化し、生産管理装置１にエンジニアにより入
力されたデータが自動的にシミュレーター２にも入力さ
れ、また生産管理装置１において得られた実作業におけ
る結果（ＩＰＱＣデータ）のシミュレーター２へのフィ
ードバックも自動的に行われるようにしてなるのであ
る。
【００１１】次に、生産管理装置１の構成を具体的に説
明する。３はエンジニアリングワークステーション（生
産管理装置１のエンジニア側の端末）で、エンジニアは
このワークステーション３を通じて生産管理装置１に半
導体装置を製造する一連の作業の種類、作業条件につい
てのデータの入力を行う。４は入力されるデータ（プロ
セス情報）である。尚、多数の作業は複数のまとまりに
分割され、各まとまりは工程と称され、各工程それぞれ
にＩＤ（アイデンティティ）番号が与えられる。このよ
うにするのは、工業簿記等に便利だからである。
明する。３はエンジニアリングワークステーション（生
産管理装置１のエンジニア側の端末）で、エンジニアは
このワークステーション３を通じて生産管理装置１に半
導体装置を製造する一連の作業の種類、作業条件につい
てのデータの入力を行う。４は入力されるデータ（プロ
セス情報）である。尚、多数の作業は複数のまとまりに
分割され、各まとまりは工程と称され、各工程それぞれ
にＩＤ（アイデンティティ）番号が与えられる。このよ
うにするのは、工業簿記等に便利だからである。
【００１２】５は入力されたデータを集中管理するデー
タ管理システム、６はデータ管理システム用データベー
ス、７は生産管理装置１のホストコンピュータ、８は生
産管理用データベースで、種々のデータが格納されてい
るが、プロセスのＩＰＱＣデータもここに格納される。
９は作業者へディスプレイ１０により作業条件の指示を
したり、あるいはＩＰＱＣデータの入力等をする作業者
用の端末である。ところで、生産管理装置１は単に作業
指示するだけでなく特定の装置に対しては直接制御をす
るようになっている場合もある。
タ管理システム、６はデータ管理システム用データベー
ス、７は生産管理装置１のホストコンピュータ、８は生
産管理用データベースで、種々のデータが格納されてい
るが、プロセスのＩＰＱＣデータもここに格納される。
９は作業者へディスプレイ１０により作業条件の指示を
したり、あるいはＩＰＱＣデータの入力等をする作業者
用の端末である。ところで、生産管理装置１は単に作業
指示するだけでなく特定の装置に対しては直接制御をす
るようになっている場合もある。
【００１３】次に、シミュレーター２について説明す
る。１１はシミュレーター用キーワードテーブルで、生
産管理装置１において入力されたデータをシミュレータ
ー２で受けつける言語にするためのテーブルである。即
ち、生産管理装置１に入力されるデータ４は、生産管理
装置によって生産管理するに適する形式にされなければ
ならない。従って、拡散を例に採ると、単に拡散といっ
てもエンジニアやオペレータにとっては一連の流れにお
けるどの拡散かが解らないので、拡散を指示する場合に
は単に拡散及びその条件を示すにとどまらず、「ＸＸＸ
工程」の「○○○作業」の拡散というように入力しなけ
ればならない。
る。１１はシミュレーター用キーワードテーブルで、生
産管理装置１において入力されたデータをシミュレータ
ー２で受けつける言語にするためのテーブルである。即
ち、生産管理装置１に入力されるデータ４は、生産管理
装置によって生産管理するに適する形式にされなければ
ならない。従って、拡散を例に採ると、単に拡散といっ
てもエンジニアやオペレータにとっては一連の流れにお
けるどの拡散かが解らないので、拡散を指示する場合に
は単に拡散及びその条件を示すにとどまらず、「ＸＸＸ
工程」の「○○○作業」の拡散というように入力しなけ
ればならない。
【００１４】それに対して、シミュレーションをする場
合には、拡散をすることと作業条件（温度、時間等）さ
え解れば計算によってシミュレーションができる。従っ
て、シミュレーター２にとって「ＸＸＸ工程」の「○○
○作業」は不要である。そこで、生産管理用のデータの
うちから不要情報を除去することがシミュレーション速
度を高めるうえで好ましいが、その除去をシミュレータ
ー用キーワードテーブル１１を用いて行うのである。
合には、拡散をすることと作業条件（温度、時間等）さ
え解れば計算によってシミュレーションができる。従っ
て、シミュレーター２にとって「ＸＸＸ工程」の「○○
○作業」は不要である。そこで、生産管理用のデータの
うちから不要情報を除去することがシミュレーション速
度を高めるうえで好ましいが、その除去をシミュレータ
ー用キーワードテーブル１１を用いて行うのである。
【００１５】尚、作業条件のなかにはシミュレーター２
側では定義されていないパラメータもあり、それも除去
する必要があるが、それもシミュレーター用キーワード
テーブルが行う。但し、シミュレータ２側と生産管理装
置１側の言語体系が同じであれば必ずしもテーブル１１
は必要でない。１２はシミュレーター用ホストコンピュ
ータ、１３はシミュレータ用データベースである。
側では定義されていないパラメータもあり、それも除去
する必要があるが、それもシミュレーター用キーワード
テーブルが行う。但し、シミュレータ２側と生産管理装
置１側の言語体系が同じであれば必ずしもテーブル１１
は必要でない。１２はシミュレーター用ホストコンピュ
ータ、１３はシミュレータ用データベースである。
【００１６】本生産管理システムは、エンジニアが作業
の流れ、各作業条件、作業装置等をエンジニアリングワ
ークステーション３を通じて生産管理装置１に入力する
と、一旦データ管理システム５によって生産管理装置１
及びシミュレーター２の両方でデータを使用できるよう
にファイルし、データベース６として保存する。そし
て、このデータはそのまま作業装置指示、作業条件指
示、搬送指示等のため作業者用端末９に送られ、そのデ
ィスプレイ１０により表示される。また、生産管理シス
テムのロット・装置の作業履歴情報、不良発生、ロット
のコントロール等についてのデータはデータベース８と
して保存される。
の流れ、各作業条件、作業装置等をエンジニアリングワ
ークステーション３を通じて生産管理装置１に入力する
と、一旦データ管理システム５によって生産管理装置１
及びシミュレーター２の両方でデータを使用できるよう
にファイルし、データベース６として保存する。そし
て、このデータはそのまま作業装置指示、作業条件指
示、搬送指示等のため作業者用端末９に送られ、そのデ
ィスプレイ１０により表示される。また、生産管理シス
テムのロット・装置の作業履歴情報、不良発生、ロット
のコントロール等についてのデータはデータベース８と
して保存される。
【００１７】一方、データベース６として保存された作
業の流れ、各作業条件、作業装置等についてのデータ
は、シミュレーター２のキーワードテーブル１１を通し
てシミュレーターホストコンピュータ１２に送られ、そ
こでシミュレーションが行われる。尚、シミュレーター
２にはデバイス特性のシミュレーションを行うものもあ
れば、プロセスの特性、形状のシミュレーションを行う
ものもあり、その両方を行うものもある。そして、プロ
セスのどの部分についてシミュレーションするかは、エ
ンジニアがワークステーション３を通じて指令を行うこ
とができるようになっている。
業の流れ、各作業条件、作業装置等についてのデータ
は、シミュレーター２のキーワードテーブル１１を通し
てシミュレーターホストコンピュータ１２に送られ、そ
こでシミュレーションが行われる。尚、シミュレーター
２にはデバイス特性のシミュレーションを行うものもあ
れば、プロセスの特性、形状のシミュレーションを行う
ものもあり、その両方を行うものもある。そして、プロ
セスのどの部分についてシミュレーションするかは、エ
ンジニアがワークステーション３を通じて指令を行うこ
とができるようになっている。
【００１８】そして、シミュレーションの結果は、デー
タベース１３に格納される。尚、シミュレーター２によ
るシミュレーション結果と、実作業の結果とが完全に一
致するとは限らず、不一致だとシミュレーション精度は
高くならない。従って、シミュレーション精度を高くす
るために、実作業の結果（ＩＰＱＣ）が作業者用端末９
を通じて入力されると、それがシミュレーター２へフィ
ードバックされるようになっている。また、生産ライン
のＩＰＱＣデータをシミュレーター２にフィードバック
できることから、生産ライン毎の個性をふまえたシミュ
レーションも可能である。
タベース１３に格納される。尚、シミュレーター２によ
るシミュレーション結果と、実作業の結果とが完全に一
致するとは限らず、不一致だとシミュレーション精度は
高くならない。従って、シミュレーション精度を高くす
るために、実作業の結果（ＩＰＱＣ）が作業者用端末９
を通じて入力されると、それがシミュレーター２へフィ
ードバックされるようになっている。また、生産ライン
のＩＰＱＣデータをシミュレーター２にフィードバック
できることから、生産ライン毎の個性をふまえたシミュ
レーションも可能である。
【００１９】更に、本生産管理システムによれば、生産
管理装置に入力された作業の種類、条件のデータがシミ
ュレーター２にも自動的に取り込まれるので、生産管理
用として生産管理装置１に入力するデータをシミュレー
ター２にも入力する特別の入力作業が不要になる。ま
た、実作業の結果ＩＰＱＣのデータがシミュレーター２
に自動的にフィードバックされるので、フィードバック
のためのシミュレーター２へのデータ入力操作が必要で
なくなる。従って、入力作業量が少なくなり、省力化に
寄与することができる。
管理装置に入力された作業の種類、条件のデータがシミ
ュレーター２にも自動的に取り込まれるので、生産管理
用として生産管理装置１に入力するデータをシミュレー
ター２にも入力する特別の入力作業が不要になる。ま
た、実作業の結果ＩＰＱＣのデータがシミュレーター２
に自動的にフィードバックされるので、フィードバック
のためのシミュレーター２へのデータ入力操作が必要で
なくなる。従って、入力作業量が少なくなり、省力化に
寄与することができる。
【００２０】そして、生産管理装置１に入力したデータ
が直ちにシミュレーター２の計算パラメーターになるの
で、入力したプロセスのシミュレーション結果がすぐ解
る。従って、入力ミスがあれば早期に発見できるし、ま
た、設計した一連のプロセスのチェックの多くをシミュ
レーションにより行うことができるので、プロセスチェ
ックのための実験を最小限にとどめることができる。そ
して、生産管理装置１のデータベース８にはプロセスの
ＩＰＱＣデータを格納しているので、そのＩＰＱＣデー
タを以ってシミュレーターの計算精度を上げることがで
きる。更に、生産ラインのＩＰＱＣデータをシミュレー
ターにフィードバックできることから、生産ラインの持
つ個性をもふまえたシミュレーションができる。
が直ちにシミュレーター２の計算パラメーターになるの
で、入力したプロセスのシミュレーション結果がすぐ解
る。従って、入力ミスがあれば早期に発見できるし、ま
た、設計した一連のプロセスのチェックの多くをシミュ
レーションにより行うことができるので、プロセスチェ
ックのための実験を最小限にとどめることができる。そ
して、生産管理装置１のデータベース８にはプロセスの
ＩＰＱＣデータを格納しているので、そのＩＰＱＣデー
タを以ってシミュレーターの計算精度を上げることがで
きる。更に、生産ラインのＩＰＱＣデータをシミュレー
ターにフィードバックできることから、生産ラインの持
つ個性をもふまえたシミュレーションができる。
【００２１】
【発明の効果】本発明生産管理システムは、一連の多数
の作業により行われる生産の各作業の種類、条件を予め
入力されたデータに従って指示し、ないしは制御をする
生産管理装置と、作業の種類、条件に関するデータを処
理して上記生産に関するシミュレーションを行うシミュ
レーターと、からなり、該シミュレーターは生産管理装
置に入力された各作業の種類、条件のデータをそのまま
取り込んであるいは適宜処理して取り込んでシミュレー
ションを行うようにされてなることを特徴とするもので
ある。従って、本発明生産管理システムによれば、生産
管理装置に入力された作業の種類、条件のデータがシミ
ュレーターにも自動的に取り込まれるので、生産管理用
として生産管理装置に入力するデータをシミュレーター
にも入力する特別の入力作業が不要になり、また迅速に
シミュレーション結果を得ることができる。
の作業により行われる生産の各作業の種類、条件を予め
入力されたデータに従って指示し、ないしは制御をする
生産管理装置と、作業の種類、条件に関するデータを処
理して上記生産に関するシミュレーションを行うシミュ
レーターと、からなり、該シミュレーターは生産管理装
置に入力された各作業の種類、条件のデータをそのまま
取り込んであるいは適宜処理して取り込んでシミュレー
ションを行うようにされてなることを特徴とするもので
ある。従って、本発明生産管理システムによれば、生産
管理装置に入力された作業の種類、条件のデータがシミ
ュレーターにも自動的に取り込まれるので、生産管理用
として生産管理装置に入力するデータをシミュレーター
にも入力する特別の入力作業が不要になり、また迅速に
シミュレーション結果を得ることができる。
【図１】本発明生産管理システムの一つの実施例を示す
構成図である。
構成図である。
１ 生産管理装置 ２ シミュレーター
Claims (1)
- 【請求項１】 一連の多数の作業により行われる生産の
各作業の種類、条件を予め入力されたデータに従って指
示ないしは制御をする生産管理装置と、 作業の種類、条件に関するデータを処理して上記生産に
関するシミュレーションを行うシミュレーターと、 からなり、 上記シミュレーターは生産管理装置に入力された各作業
の種類、条件のデータをそのまま取り込んであるいは適
宜処理して取り込んでシミュレーションを行うようにさ
れてなることを特徴とする生産管理システム
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3424492A JPH05204926A (ja) | 1992-01-25 | 1992-01-25 | 生産管理システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3424492A JPH05204926A (ja) | 1992-01-25 | 1992-01-25 | 生産管理システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05204926A true JPH05204926A (ja) | 1993-08-13 |
Family
ID=12408753
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3424492A Pending JPH05204926A (ja) | 1992-01-25 | 1992-01-25 | 生産管理システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05204926A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008109095A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-05-08 | Toshiba Corp | 検査方法、検査システム、検査プログラム及び電子デバイスの製造方法 |
| CN106002300A (zh) * | 2016-07-21 | 2016-10-12 | 上海前山管道技术有限公司 | 一种管道预制数字工厂的生产系统及其使用方法 |
-
1992
- 1992-01-25 JP JP3424492A patent/JPH05204926A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008109095A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-05-08 | Toshiba Corp | 検査方法、検査システム、検査プログラム及び電子デバイスの製造方法 |
| CN106002300A (zh) * | 2016-07-21 | 2016-10-12 | 上海前山管道技术有限公司 | 一种管道预制数字工厂的生产系统及其使用方法 |
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