JPH0519360A - 露光台温度制御装置 - Google Patents
露光台温度制御装置Info
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- JPH0519360A JPH0519360A JP17526891A JP17526891A JPH0519360A JP H0519360 A JPH0519360 A JP H0519360A JP 17526891 A JP17526891 A JP 17526891A JP 17526891 A JP17526891 A JP 17526891A JP H0519360 A JPH0519360 A JP H0519360A
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- density
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Abstract
(57)【要約】
【目的】光源の光量ムラに起因する濃度ムラ調整時の手
間を省略し、また、調整に要するコストの削減をはか
る。 【構成】露光台を感光シートの幅方向に複数のブロック
に分割する。各ブロックにはヒータを設け、この各ブロ
ックに対応する画像エリアの濃度を検出する検出器を設
ける。そして、各画像エリアの検出濃度に基づいて各ブ
ロックのヒータ温度を制御する。
間を省略し、また、調整に要するコストの削減をはか
る。 【構成】露光台を感光シートの幅方向に複数のブロック
に分割する。各ブロックにはヒータを設け、この各ブロ
ックに対応する画像エリアの濃度を検出する検出器を設
ける。そして、各画像エリアの検出濃度に基づいて各ブ
ロックのヒータ温度を制御する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は露光処理時の温度によ
って形成画像濃度が変化する感光シートを用いて画像形
成処理を行う画像形成装置において、露光処理が行われ
る露光台の温度を制御する制御装置に関する。
って形成画像濃度が変化する感光シートを用いて画像形
成処理を行う画像形成装置において、露光処理が行われ
る露光台の温度を制御する制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】光硬化材料,発色性染料等を封入したマ
イクロカプセルが塗布された感光シートを原稿反射光で
露光して複写画像を得る複写機においては、例えば図5
に示したような光源装置が用いられる。複写機において
は一般にタングステンランプ等の光源63が用いられ、
光源63の光が原稿で反射されて感光シートへ導かれ
る。、タングステンランプ63等の光源には軸方向に光
量の多い高輝度点があり、高輝度点の部分が投影された
画像エリアでは他のエリアに比して画像濃度が淡くな
る。そこで従来、光源63の軸方向(図において垂直方
向)に沿って複数の調光板64を配置し、各調光板の光
源光路への進入状態を調整することによって光源63か
ら原稿への光量を調整して濃度ムラを防止していた。
イクロカプセルが塗布された感光シートを原稿反射光で
露光して複写画像を得る複写機においては、例えば図5
に示したような光源装置が用いられる。複写機において
は一般にタングステンランプ等の光源63が用いられ、
光源63の光が原稿で反射されて感光シートへ導かれ
る。、タングステンランプ63等の光源には軸方向に光
量の多い高輝度点があり、高輝度点の部分が投影された
画像エリアでは他のエリアに比して画像濃度が淡くな
る。そこで従来、光源63の軸方向(図において垂直方
向)に沿って複数の調光板64を配置し、各調光板の光
源光路への進入状態を調整することによって光源63か
ら原稿への光量を調整して濃度ムラを防止していた。
【0003】また、感光シートを用いて画像形成装置を
行う場合、露光処理時のシート温度が形成画像濃度に大
きな影響を与えることが知られている。このため感光シ
ートを用いて画像形成処理を行う画像形成装置では、露
光台にヒータを備えて露光処理時の感光シートの温度を
制御することによって形成画像濃度が一定に保たれるよ
うにしている。図4は従来の露光台におけるヒータ線の
配置状態を示した露光台の平面図である。感光シート
(不図示)は長尺物であって、図中矢印で示された方向
に搬送されてゆく。露光台61上には感光シートの搬送
方向と直交する方向に、スリット状の原稿反射光が導か
れ、感光シートは搬送されながら原稿反射光で露光され
る。露光台61にはヒータ線62が設けられている。ヒ
ータ線は図示するように、両端部分が密で、中央部が疎
になっている。これは、放熱量の多い両端部での温度低
下を防止し、複写画像の濃度ムラをなくすためである。
行う場合、露光処理時のシート温度が形成画像濃度に大
きな影響を与えることが知られている。このため感光シ
ートを用いて画像形成処理を行う画像形成装置では、露
光台にヒータを備えて露光処理時の感光シートの温度を
制御することによって形成画像濃度が一定に保たれるよ
うにしている。図4は従来の露光台におけるヒータ線の
配置状態を示した露光台の平面図である。感光シート
(不図示)は長尺物であって、図中矢印で示された方向
に搬送されてゆく。露光台61上には感光シートの搬送
方向と直交する方向に、スリット状の原稿反射光が導か
れ、感光シートは搬送されながら原稿反射光で露光され
る。露光台61にはヒータ線62が設けられている。ヒ
ータ線は図示するように、両端部分が密で、中央部が疎
になっている。これは、放熱量の多い両端部での温度低
下を防止し、複写画像の濃度ムラをなくすためである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら調光板6
4の光路中への進入状態の調整は、サンプル原稿を複写
して作業者が複写状態を目で確認しながら行うというも
のであり、光源の軸方向に対向する方向の画像濃度ムラ
が許容範囲内になるまで繰り返し複写処理および調光板
の位置調整が行われていた。このため調整に時間がかか
りコトス高なってしまう問題があった。画像濃度ムラの
確認は作業者の視覚によるものであるため誤差が生じや
すく、また、光硬化材料を用いた感光シートの場合、複
写スピードが60秒/枚(A4サイズ)と遅く、調整に
はますます時間がかかってしまっていた。このような調
光板の調整は光源の交換の度に行う必要があり、非常に
手間であった。
4の光路中への進入状態の調整は、サンプル原稿を複写
して作業者が複写状態を目で確認しながら行うというも
のであり、光源の軸方向に対向する方向の画像濃度ムラ
が許容範囲内になるまで繰り返し複写処理および調光板
の位置調整が行われていた。このため調整に時間がかか
りコトス高なってしまう問題があった。画像濃度ムラの
確認は作業者の視覚によるものであるため誤差が生じや
すく、また、光硬化材料を用いた感光シートの場合、複
写スピードが60秒/枚(A4サイズ)と遅く、調整に
はますます時間がかかってしまっていた。このような調
光板の調整は光源の交換の度に行う必要があり、非常に
手間であった。
【0005】この発明の目的は、光源の軸方向の濃度ム
ラの調整を自動で行うことができるようにして、濃度ム
ラ調整時の手間を省略し、また、調整に要するコストの
削減をはかることのできる露光台温度制御装置を提供す
ることにある。
ラの調整を自動で行うことができるようにして、濃度ム
ラ調整時の手間を省略し、また、調整に要するコストの
削減をはかることのできる露光台温度制御装置を提供す
ることにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】従来技術の欄で説明した
ように、感光シートは露光処理時のシート温度によって
形成される画像濃度が変化する。この発明はそのことを
利用したものであり、光源の特性によって変化する画像
濃度を、露光台の温度、すなわち露光処理時の感光シー
トの温度によって補正するようにしている。
ように、感光シートは露光処理時のシート温度によって
形成される画像濃度が変化する。この発明はそのことを
利用したものであり、光源の特性によって変化する画像
濃度を、露光台の温度、すなわち露光処理時の感光シー
トの温度によって補正するようにしている。
【0007】この発明は、露光台を感光シートの幅方向
に複数のブロックに分割し、各ブロックにヒータを設け
るとともに、前記各ブロックに対応する画像エリアの濃
度を検出する検出器を設け、さらに、各画像エリアの検
出濃度に基づいて各ブロックのヒータ温度を制御する手
段を設けたことを特徴とする。
に複数のブロックに分割し、各ブロックにヒータを設け
るとともに、前記各ブロックに対応する画像エリアの濃
度を検出する検出器を設け、さらに、各画像エリアの検
出濃度に基づいて各ブロックのヒータ温度を制御する手
段を設けたことを特徴とする。
【0008】
【作用】タングステンランプ等の光源の光を原稿に照射
し、その反射光(原稿反射光)で感光シートを露光して
画像形成を行った場合、光源の高輝度点に対応して形成
画像上には濃度ムラが生じる。検出器はこの濃度ムラを
検出し、そのムラの状態に応じて各ブロックのヒータ温
度を制御する。ここで、各ブロックを光源の高輝度の部
分に対応するように構成しておけば、高輝度の部分に対
応して露光台表面の温度設定を行うことができ、これに
よって光源特性による画像濃度ムラの補正を行うことが
できる。
し、その反射光(原稿反射光)で感光シートを露光して
画像形成を行った場合、光源の高輝度点に対応して形成
画像上には濃度ムラが生じる。検出器はこの濃度ムラを
検出し、そのムラの状態に応じて各ブロックのヒータ温
度を制御する。ここで、各ブロックを光源の高輝度の部
分に対応するように構成しておけば、高輝度の部分に対
応して露光台表面の温度設定を行うことができ、これに
よって光源特性による画像濃度ムラの補正を行うことが
できる。
【0009】
【実施例】図1は感光シートを用いて画像形成を行う複
写機の概略構成を示した図である。
写機の概略構成を示した図である。
【0010】複写機本体の上面には透明な硬質ガラスか
らなる原稿台1が備えられている。
らなる原稿台1が備えられている。
【0011】原稿台1の下方には光源2a,2b、ミラ
ー2c〜2f、レンズ2g、色分解フィルタ2hを含む
光学系2が備えられている。光源2a,2bは図におい
て垂直な方向を軸方向とするタングステンランプであ
る。光学系2は原稿台1上にセットされた原稿を走査し
てその反射光を後述する露光台に導く。原稿台1下面
の、光源2a,2bのホームポジション位置には基準原
稿1aが設けられている。この基準原稿は後述するよう
に光源2a,2bの軸方向の輝度ムラに起因する画像濃
度のムラを検知するためのものである。
ー2c〜2f、レンズ2g、色分解フィルタ2hを含む
光学系2が備えられている。光源2a,2bは図におい
て垂直な方向を軸方向とするタングステンランプであ
る。光学系2は原稿台1上にセットされた原稿を走査し
てその反射光を後述する露光台に導く。原稿台1下面
の、光源2a,2bのホームポジション位置には基準原
稿1aが設けられている。この基準原稿は後述するよう
に光源2a,2bの軸方向の輝度ムラに起因する画像濃
度のムラを検知するためのものである。
【0012】複写機本体内の中央部左側にはメディアカ
ートリッジ3が、複写機本体に対して着脱自在に設けら
れている。メディアカートリッジ3は供給軸3a,巻取
軸3bを備え、供給軸3aには未使用の感光シート4が
巻回されている。供給軸3aの感光シートは複数のロー
ラおよび露光台5、バッファローラ6、圧力現像ローラ
7を経由して巻取軸3bへと送られる。露光台5には前
述したように光学系2によって原稿反射光が導かれ、露
光台5上の感光シート4が露光される。感光シート4は
この露光処理によって塗布されているマイクロカプセル
が部分的に硬化し、選択的硬化像が形成される。
ートリッジ3が、複写機本体に対して着脱自在に設けら
れている。メディアカートリッジ3は供給軸3a,巻取
軸3bを備え、供給軸3aには未使用の感光シート4が
巻回されている。供給軸3aの感光シートは複数のロー
ラおよび露光台5、バッファローラ6、圧力現像ローラ
7を経由して巻取軸3bへと送られる。露光台5には前
述したように光学系2によって原稿反射光が導かれ、露
光台5上の感光シート4が露光される。感光シート4は
この露光処理によって塗布されているマイクロカプセル
が部分的に硬化し、選択的硬化像が形成される。
【0013】一方、複写機本体の右側面には受像シート
8を収納する給紙カセット8a,8bが備えられ、圧力
現像ローラ7の位置へ受像シート8を給紙する。給紙さ
れた受像シート8は、感光シート4上の選択的硬化像に
重ね合わされ、圧力現像ローラ7によって圧力現像処理
される。これにより受像シート8上に画像が転写され
る。この後受像シートは画像光沢化装置9を経て、複写
機本体左側面の排紙トレイ20へと排出される。
8を収納する給紙カセット8a,8bが備えられ、圧力
現像ローラ7の位置へ受像シート8を給紙する。給紙さ
れた受像シート8は、感光シート4上の選択的硬化像に
重ね合わされ、圧力現像ローラ7によって圧力現像処理
される。これにより受像シート8上に画像が転写され
る。この後受像シートは画像光沢化装置9を経て、複写
機本体左側面の排紙トレイ20へと排出される。
【0014】露光台5の裏面側にはファン10が配置さ
れている。ファン10は露光台5に対して送風を行うこ
とによって、後述するブロック間で温度差が生じるよう
にしている。露光台5の上流側には感度情報センサS1
が備えられている。感度情報センサS1は光センサから
なり、装着されている感光シート4の特性の読み取りを
行う。感光シート4はロッドによって感度の温度依存性
等が変わり、それらの特性はロール状にされている感光
シート4の先端部にバーコード等の形式で記されてい
る。感度情報センサS1は新たな感光シート4がセット
されたとき、その特性の読み取りを行う。感度情報セン
サS1によって読み取られた感光シート感度の温度依存
性は、後述するように露光台のヒータ線の目標温度を設
定するときに、目標温度を設定するためのデータとして
用いられる。
れている。ファン10は露光台5に対して送風を行うこ
とによって、後述するブロック間で温度差が生じるよう
にしている。露光台5の上流側には感度情報センサS1
が備えられている。感度情報センサS1は光センサから
なり、装着されている感光シート4の特性の読み取りを
行う。感光シート4はロッドによって感度の温度依存性
等が変わり、それらの特性はロール状にされている感光
シート4の先端部にバーコード等の形式で記されてい
る。感度情報センサS1は新たな感光シート4がセット
されたとき、その特性の読み取りを行う。感度情報セン
サS1によって読み取られた感光シート感度の温度依存
性は、後述するように露光台のヒータ線の目標温度を設
定するときに、目標温度を設定するためのデータとして
用いられる。
【0015】露光台5には複数のヒータ線が配置されて
いる。図2は露光台5上のヒータ線の配置状態を示して
いる。露光台5は熱伝導性を有する板材で、感光シート
の幅よりも若干広い幅に構成されている。露光台5は幅
方向に9ブロックに分割され、それぞれのブロックにヒ
ータ線11,12・・・19が配置されている。また、
各ブロックには温度検知センサ31,32・・・39が
配置されている。ヒータ線11,12・・・19にはそ
れぞれ異なる目標温度が設定され、温度検知センサ3
1,32・・・39による検知温度が目標温度となるよ
うに温度制御される。露光台5上の各ブロックは光源2
a,2bの高輝度点21,22・・・29に対向してい
る。例えば、高輝度点21から照射された光が原稿で反
射され、露光台上のヒータ線11が位置するブロックに
導かれ、高輝度点25から照射された光が原稿で反射さ
れ、露光台上のヒータ線15が位置するブロックに導か
れる。41〜49は画像濃度センサである。画像濃度セ
ンサ41〜49は、複写機本体内の画像光沢化装置9,
排紙トレイ20間の位置に、受像シート8の搬送路に対
向して配置され、受像シート8上に形成されている画像
の濃度を検知する。画像濃度センサ41,42・・・4
9の位置は光源の高輝度点21,22・・・29および
ヒータ線11,12・・・19に対応している。したが
って例えば、高輝度点21から照射され、原稿で反射さ
れた光によって形成された画像の濃度が画像濃度センサ
41で読み取られ、高輝度点25から照射され原稿で反
射された光によって形成された画像の濃度が画像濃度セ
ンサ45が読み取られる。
いる。図2は露光台5上のヒータ線の配置状態を示して
いる。露光台5は熱伝導性を有する板材で、感光シート
の幅よりも若干広い幅に構成されている。露光台5は幅
方向に9ブロックに分割され、それぞれのブロックにヒ
ータ線11,12・・・19が配置されている。また、
各ブロックには温度検知センサ31,32・・・39が
配置されている。ヒータ線11,12・・・19にはそ
れぞれ異なる目標温度が設定され、温度検知センサ3
1,32・・・39による検知温度が目標温度となるよ
うに温度制御される。露光台5上の各ブロックは光源2
a,2bの高輝度点21,22・・・29に対向してい
る。例えば、高輝度点21から照射された光が原稿で反
射され、露光台上のヒータ線11が位置するブロックに
導かれ、高輝度点25から照射された光が原稿で反射さ
れ、露光台上のヒータ線15が位置するブロックに導か
れる。41〜49は画像濃度センサである。画像濃度セ
ンサ41〜49は、複写機本体内の画像光沢化装置9,
排紙トレイ20間の位置に、受像シート8の搬送路に対
向して配置され、受像シート8上に形成されている画像
の濃度を検知する。画像濃度センサ41,42・・・4
9の位置は光源の高輝度点21,22・・・29および
ヒータ線11,12・・・19に対応している。したが
って例えば、高輝度点21から照射され、原稿で反射さ
れた光によって形成された画像の濃度が画像濃度センサ
41で読み取られ、高輝度点25から照射され原稿で反
射された光によって形成された画像の濃度が画像濃度セ
ンサ45が読み取られる。
【0016】図3はヒータ線11〜19の制御部のブロ
ック図である。マイクロコンピュータ51は複写機全体
の制御を行う。マイクロコンピュータ51は感度情報セ
ンサS1、濃度センサ41〜49、温度センサ31〜3
9等の各種センサの検知状態が入力される。マイクロコ
ンピュータ51は感度情報センサS1によって読み取ら
れた感光シート4の特性、および、画像濃度センサ41
〜49によって検知された形成画像濃度に基づいて各ヒ
ータ線11〜19の目標温度を設定し、目標温度と温度
センサ31〜39によって検知される各ブロックの温度
に基づいてヒータ制御系52を介して各ヒータ線11〜
19を制御する。
ック図である。マイクロコンピュータ51は複写機全体
の制御を行う。マイクロコンピュータ51は感度情報セ
ンサS1、濃度センサ41〜49、温度センサ31〜3
9等の各種センサの検知状態が入力される。マイクロコ
ンピュータ51は感度情報センサS1によって読み取ら
れた感光シート4の特性、および、画像濃度センサ41
〜49によって検知された形成画像濃度に基づいて各ヒ
ータ線11〜19の目標温度を設定し、目標温度と温度
センサ31〜39によって検知される各ブロックの温度
に基づいてヒータ制御系52を介して各ヒータ線11〜
19を制御する。
【0017】以上のような構成において、各ヒータ線1
1〜19の温度設定手順を説明する。
1〜19の温度設定手順を説明する。
【0018】まず、各ヒータ線11〜19は一定の温度
に制御され、この後基準原稿1aに基づいて複写処理が
行われる。
に制御され、この後基準原稿1aに基づいて複写処理が
行われる。
【0019】光源2a,2bが基準原稿1aに対して光
を照射すると、その反射光は露光台5上の感光シート4
を露光し選択的硬化像を形成させる。この選択的硬化像
には受像シート8が重ねあわされて圧力現像ローラ7に
おいて加圧され、受像シート8上に画像が形成される。
この後受像シートは画像光沢化装置9によって後処理さ
れ、画像濃度センサ41〜49に対向する。ここで、受
像シート8は一旦停止され、画像濃度センサ41〜49
により軸方向の画像濃度が検出される。画像濃度センサ
41〜49による画像濃度検知結果はマイクロコンピュ
ータ51に入力される。マイクロコンピュータ51は入
力された画像濃度と、感度情報センサS1によって読み
取られた感光シートの感度の温度依存性に基づいて各ヒ
ータ線の目標温度を設定する。このとき光源2a,2b
の軸方向に対応する画像濃度ムラを補正するように各ヒ
ータ線11〜19の目標温度が設定される。通常、画像
濃度は光源2a,2bの輝度が高い中央部が低く、輝度
が低い両端部が高くなっている。このため、中央部のヒ
ータ線の温度を上げるように、両端部のヒータ線の温度
を下げるように目標温度の調整がされる。
を照射すると、その反射光は露光台5上の感光シート4
を露光し選択的硬化像を形成させる。この選択的硬化像
には受像シート8が重ねあわされて圧力現像ローラ7に
おいて加圧され、受像シート8上に画像が形成される。
この後受像シートは画像光沢化装置9によって後処理さ
れ、画像濃度センサ41〜49に対向する。ここで、受
像シート8は一旦停止され、画像濃度センサ41〜49
により軸方向の画像濃度が検出される。画像濃度センサ
41〜49による画像濃度検知結果はマイクロコンピュ
ータ51に入力される。マイクロコンピュータ51は入
力された画像濃度と、感度情報センサS1によって読み
取られた感光シートの感度の温度依存性に基づいて各ヒ
ータ線の目標温度を設定する。このとき光源2a,2b
の軸方向に対応する画像濃度ムラを補正するように各ヒ
ータ線11〜19の目標温度が設定される。通常、画像
濃度は光源2a,2bの輝度が高い中央部が低く、輝度
が低い両端部が高くなっている。このため、中央部のヒ
ータ線の温度を上げるように、両端部のヒータ線の温度
を下げるように目標温度の調整がされる。
【0020】このようにして目標温度が設定されると各
ヒータ線がそれに応じて制御され、温度センサ31〜3
9の何れもが目標温度であることを検出すると再び基準
原稿1aからの複写処理が行われ、画像濃度センサ41
〜49によって得られる各画像エリアの画像濃度が許容
範囲内であれば目標温度の設定処理を終了するが、画像
濃度のばらつきが許容範囲を越えていた場合には再び上
記の手順で目標温度の設定がされる。
ヒータ線がそれに応じて制御され、温度センサ31〜3
9の何れもが目標温度であることを検出すると再び基準
原稿1aからの複写処理が行われ、画像濃度センサ41
〜49によって得られる各画像エリアの画像濃度が許容
範囲内であれば目標温度の設定処理を終了するが、画像
濃度のばらつきが許容範囲を越えていた場合には再び上
記の手順で目標温度の設定がされる。
【0021】なお、この目標温度設定処理は光源を交換
した場合に実施される。また、光源はそのままで感光シ
ートの交換が行われた場合には感光シートの感度情報に
基づく各ヒータ線11〜19の温度設定が変わり、目標
温度が再設定される。
した場合に実施される。また、光源はそのままで感光シ
ートの交換が行われた場合には感光シートの感度情報に
基づく各ヒータ線11〜19の温度設定が変わり、目標
温度が再設定される。
【0022】
【発明の効果】この発明によれば、例えば光源の交換を
行って基準原稿に基づいて複写処理を行った場合、形成
画像のエリアごとの濃度が検出器によって自動的に検出
される。このため作業者が形成画像の濃度ムラの状態を
視覚で見る必要がなく、作業性が向上するとともに、作
業者の錯覚によるミスが生じることもない。そして、検
出器で検出された画像濃度に基づいて各ブロックのヒー
タの温度が制御され、これによって形成画像の濃度ムラ
が補正される。したがって、従来のように光源の光量の
補正を行うための調光板の調整、という作業が不必要に
なり、補正処理の作業性を大幅に向上させることができ
る。
行って基準原稿に基づいて複写処理を行った場合、形成
画像のエリアごとの濃度が検出器によって自動的に検出
される。このため作業者が形成画像の濃度ムラの状態を
視覚で見る必要がなく、作業性が向上するとともに、作
業者の錯覚によるミスが生じることもない。そして、検
出器で検出された画像濃度に基づいて各ブロックのヒー
タの温度が制御され、これによって形成画像の濃度ムラ
が補正される。したがって、従来のように光源の光量の
補正を行うための調光板の調整、という作業が不必要に
なり、補正処理の作業性を大幅に向上させることができ
る。
【図1】露光台制御装置を備える複写機の概略構成図
【図2】光源の高輝度点,露光台のヒータ線,画像濃度
センサの配置位置の関係を示した図
センサの配置位置の関係を示した図
【図3】同露光台制御装置のブロック図
【図4】従来の露光台のヒータ線配置状態を示した図
【図5】従来の光源の構成を示した図
1a 基準原稿 2a,2b 光源 4 感光シート 5 露光台 10 ファン 11〜19 ヒータ線 21〜29 高輝度点 31〜39 温度センサ 41〜49 画像濃度センサ S1 感度情報センサ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項1】光硬化材料,発色性染料等を封入したマイ
クロカプセルが塗布された感光シートに露光台上を搬送
させ、この搬送中に原稿反射光により露光処理を行う画
像形成装置において、 前記露光台を感光シートの幅方向に複数のブロックに分
割し、各ブロックにヒータを設けるとともに、前記各ブ
ロックに対応する画像エリアの濃度を検出する検出器を
設け、さらに、各画像エリアの検出濃度に基づいて各ブ
ロックのヒータ温度を制御する手段を設けたことを特徴
とする露光台温度制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17526891A JPH0519360A (ja) | 1991-07-16 | 1991-07-16 | 露光台温度制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17526891A JPH0519360A (ja) | 1991-07-16 | 1991-07-16 | 露光台温度制御装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0519360A true JPH0519360A (ja) | 1993-01-29 |
Family
ID=15993183
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17526891A Pending JPH0519360A (ja) | 1991-07-16 | 1991-07-16 | 露光台温度制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0519360A (ja) |
-
1991
- 1991-07-16 JP JP17526891A patent/JPH0519360A/ja active Pending
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