JPH05192524A - 集塵装置 - Google Patents
集塵装置Info
- Publication number
- JPH05192524A JPH05192524A JP4029907A JP2990792A JPH05192524A JP H05192524 A JPH05192524 A JP H05192524A JP 4029907 A JP4029907 A JP 4029907A JP 2990792 A JP2990792 A JP 2990792A JP H05192524 A JPH05192524 A JP H05192524A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- dust
- sub
- pipe
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 不活性ガス中に混入する粉塵の集塵装置にお
いて、酸化しやすい活性な粉体を集塵装置から系外へ安
全に取り出す。 【構成】 集塵装置の内部のフィルターに外部からの不
活性ガス吹き込み手段を設けると共に、前記集塵装置の
下部へ副容器を併設し、前記副容器へ前記不活性ガスの
排出手段および大気の吹き込み手段を設ける。
いて、酸化しやすい活性な粉体を集塵装置から系外へ安
全に取り出す。 【構成】 集塵装置の内部のフィルターに外部からの不
活性ガス吹き込み手段を設けると共に、前記集塵装置の
下部へ副容器を併設し、前記副容器へ前記不活性ガスの
排出手段および大気の吹き込み手段を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は大気に対して内部を隔絶
した処理容器内部で溶射などの処理を行う設備で発生す
る粉塵を捕集するための装置に関する。
した処理容器内部で溶射などの処理を行う設備で発生す
る粉塵を捕集するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、高付加価値型の素材開発、部品処
理が隆盛となり、その製造工程の一環として処理容器を
設けてその内部を大気側とは気密にし所要の雰囲気、圧
力、温度などの条件に設定、制御し、例えば、真空処
理、加熱処理、減圧プラズマ溶射などを実施する技術が
注目を浴びている。こうした処理装置の中でも、積極的
に粉体を処理容器内部に供給するかあるいは処理により
粉塵が発生する設備では、粉塵対策のため、処理容器と
排気装置間に集塵装置を介設して粉塵漏出を防止してい
る。
理が隆盛となり、その製造工程の一環として処理容器を
設けてその内部を大気側とは気密にし所要の雰囲気、圧
力、温度などの条件に設定、制御し、例えば、真空処
理、加熱処理、減圧プラズマ溶射などを実施する技術が
注目を浴びている。こうした処理装置の中でも、積極的
に粉体を処理容器内部に供給するかあるいは処理により
粉塵が発生する設備では、粉塵対策のため、処理容器と
排気装置間に集塵装置を介設して粉塵漏出を防止してい
る。
【０００３】特に減圧プラズマ溶射や雰囲気制御溶射装
置では処理容器内に通常アルゴンガスなどのプラズマガ
スによって通常数１０ミクロン程度の比較的微細かつ大
量の粉体を被処理物に溶射する。この処理容器内圧力を
制御するためにガスを真空ポンプ等の排気装置で排気す
る際、粉塵もガスに混入するので、粉塵対策のために必
ず処理容器と排気装置間に集塵装置を設けている。
置では処理容器内に通常アルゴンガスなどのプラズマガ
スによって通常数１０ミクロン程度の比較的微細かつ大
量の粉体を被処理物に溶射する。この処理容器内圧力を
制御するためにガスを真空ポンプ等の排気装置で排気す
る際、粉塵もガスに混入するので、粉塵対策のために必
ず処理容器と排気装置間に集塵装置を設けている。
【０００４】これらの集塵装置のフィルターには、ガラ
ス、金属または樹脂などの繊維状の素材を使用すること
が一般的である。図２は従来の集塵装置の構造を示す断
面図であり、粉塵が吸入側配管４より容器２に吸入され
ると重い粉塵は下方に落下堆積し、軽いものはフィルタ
ー１に捕集される。集塵量の増加に伴い、下方の堆積粉
塵については蓋２７を開いて外部に除去し、捕集粉塵の
目詰まりによって圧力損失が増したフィルターについて
は蓋３を開けて取り出して清掃または交換する。図２に
おいて５はフィルター押さえフランジである。
ス、金属または樹脂などの繊維状の素材を使用すること
が一般的である。図２は従来の集塵装置の構造を示す断
面図であり、粉塵が吸入側配管４より容器２に吸入され
ると重い粉塵は下方に落下堆積し、軽いものはフィルタ
ー１に捕集される。集塵量の増加に伴い、下方の堆積粉
塵については蓋２７を開いて外部に除去し、捕集粉塵の
目詰まりによって圧力損失が増したフィルターについて
は蓋３を開けて取り出して清掃または交換する。図２に
おいて５はフィルター押さえフランジである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のような集塵装置
の粉塵除去作業においては、集塵装置内部を一度大気開
放することになるため、処理において例えばチタンなど
の酸化しやすい活性な粉体を使用した場合には、大気開
放の際にフィルターに捕集されていた粉塵が大気に触れ
て急激に酸化燃焼し、フィルターの焼損のみならず火災
発生の危険性があった。また、蓋７からの粉塵除去また
はフィルター交換や洗浄作業においては設備を停止させ
内部を大気に戻し、操業に際して再度条件を設定し直す
必要があり、その頻度が高いほど生産性が悪化するとい
う問題もあった。本発明はこれらの問題点を解決するも
のである。
の粉塵除去作業においては、集塵装置内部を一度大気開
放することになるため、処理において例えばチタンなど
の酸化しやすい活性な粉体を使用した場合には、大気開
放の際にフィルターに捕集されていた粉塵が大気に触れ
て急激に酸化燃焼し、フィルターの焼損のみならず火災
発生の危険性があった。また、蓋７からの粉塵除去また
はフィルター交換や洗浄作業においては設備を停止させ
内部を大気に戻し、操業に際して再度条件を設定し直す
必要があり、その頻度が高いほど生産性が悪化するとい
う問題もあった。本発明はこれらの問題点を解決するも
のである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の問題点を解決し本
発明の目的を達成するための構成を説明すると、本発明
は、不活性ガスの吸入側配管４と排気側配管６を繋ぐ容
器２の内部に該不活性ガス中の粉塵を捕集するためのフ
ィルター１を収納し底部に堆積した粉塵を該容器２の外
部に除去するための蓋７を設けた集塵装置において、前
記フィルター１に内設したノズル１１付きのヘッダー管
１０への前記容器２の外部からの不活性ガス供給を可能
ならしめる配管１２および該不活性ガスの仕切り弁１３
を設け、かつ前記蓋７を介して副容器１４を併設し、該
副容器１４に蓋９および副容器１４に設けた配管１７を
通じて副容器１４内部の真空排気を可能ならしめる配管
１８と仕切り弁１６および副容器１４の内部へのガス供
給を可能ならしめる仕切り弁１５を設けたことを特徴と
する。
発明の目的を達成するための構成を説明すると、本発明
は、不活性ガスの吸入側配管４と排気側配管６を繋ぐ容
器２の内部に該不活性ガス中の粉塵を捕集するためのフ
ィルター１を収納し底部に堆積した粉塵を該容器２の外
部に除去するための蓋７を設けた集塵装置において、前
記フィルター１に内設したノズル１１付きのヘッダー管
１０への前記容器２の外部からの不活性ガス供給を可能
ならしめる配管１２および該不活性ガスの仕切り弁１３
を設け、かつ前記蓋７を介して副容器１４を併設し、該
副容器１４に蓋９および副容器１４に設けた配管１７を
通じて副容器１４内部の真空排気を可能ならしめる配管
１８と仕切り弁１６および副容器１４の内部へのガス供
給を可能ならしめる仕切り弁１５を設けたことを特徴と
する。
【０００７】
【作用】本発明は、上述のような構成であるので、集塵
装置の容器２を通過するガスに不活性ガスを使用する場
合、フィルター１に内設のヘッダー１０に同様の不活性
ガスを供給し該ヘツダーに付属のノズル１１からの該ガ
スの噴流によるエネルギーにてフィルター１に捕集され
た微細粉塵は逆洗され容器底部に向かって落下する。こ
の際、仕切り弁７は開いており、粉塵は副容器内に落下
し堆積する。
装置の容器２を通過するガスに不活性ガスを使用する場
合、フィルター１に内設のヘッダー１０に同様の不活性
ガスを供給し該ヘツダーに付属のノズル１１からの該ガ
スの噴流によるエネルギーにてフィルター１に捕集され
た微細粉塵は逆洗され容器底部に向かって落下する。こ
の際、仕切り弁７は開いており、粉塵は副容器内に落下
し堆積する。
【０００８】次に再び仕切り弁７を閉じて副容器１４と
容器２との間を気密にする。さらに、仕切り弁７と１６
を閉じた状態で仕切り弁１５を開き副容器１４内にガス
を送り込む。このガスには空気などの酸素を含んだガス
を使用し、活性な粉塵は蓋９から外へ除去する前に副容
器１４内にて酸化し不活性となる。この後仕切り弁７、
１５、１６を閉じた状態で、副容器１４の蓋９を開いて
内部を清掃した後同蓋９を閉めて仕切り弁１６を開き副
容器１４内部を配管１７、１８を介して真空排気する。
これにより、副容器１４内の空気は無くなるので再度仕
切り弁７を開いた際に容器２側に空気が逆流することを
防止できる。
容器２との間を気密にする。さらに、仕切り弁７と１６
を閉じた状態で仕切り弁１５を開き副容器１４内にガス
を送り込む。このガスには空気などの酸素を含んだガス
を使用し、活性な粉塵は蓋９から外へ除去する前に副容
器１４内にて酸化し不活性となる。この後仕切り弁７、
１５、１６を閉じた状態で、副容器１４の蓋９を開いて
内部を清掃した後同蓋９を閉めて仕切り弁１６を開き副
容器１４内部を配管１７、１８を介して真空排気する。
これにより、副容器１４内の空気は無くなるので再度仕
切り弁７を開いた際に容器２側に空気が逆流することを
防止できる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は本発明の集塵装置の実施例を示す断面図で
ある。集塵のための容器２の内部にフィルター１を載置
し、該フィルターの内部に容器２の外部から不活性ガス
を随意に供給できる配管１２および仕切り弁１３に連な
るヘッダー管１０を設ける。該ヘッダー管にはフィルタ
ー１内部より上記粉塵を含むガスの流入方向とは逆方向
にガス噴射（逆洗）を可能ならしめる複数のノズル１１
が配置される。
する。図１は本発明の集塵装置の実施例を示す断面図で
ある。集塵のための容器２の内部にフィルター１を載置
し、該フィルターの内部に容器２の外部から不活性ガス
を随意に供給できる配管１２および仕切り弁１３に連な
るヘッダー管１０を設ける。該ヘッダー管にはフィルタ
ー１内部より上記粉塵を含むガスの流入方向とは逆方向
にガス噴射（逆洗）を可能ならしめる複数のノズル１１
が配置される。
【００１０】容器２にはガスを上流から内部に吸引する
ための配管４が設けられ、一方該容器と排気装置２０の
間には、配管６と１９が、仕切り弁８を介して設けられ
る。配管６は容器２の壁面を貫通して上記フィルター１
の内側に連通する。
ための配管４が設けられ、一方該容器と排気装置２０の
間には、配管６と１９が、仕切り弁８を介して設けられ
る。配管６は容器２の壁面を貫通して上記フィルター１
の内側に連通する。
【００１１】さらに、容器２の底部には仕切り弁７を介
設して蓋９および配管１７を付設してなる副容器１４が
設けられる。配管１７は二方に分岐し、一方は空気など
酸素を含むガスの供給配管につながる仕切り弁１５に、
他方は仕切り弁８と排気装置２０の間から分岐する配管
１８と仕切り弁１６に連結する。
設して蓋９および配管１７を付設してなる副容器１４が
設けられる。配管１７は二方に分岐し、一方は空気など
酸素を含むガスの供給配管につながる仕切り弁１５に、
他方は仕切り弁８と排気装置２０の間から分岐する配管
１８と仕切り弁１６に連結する。
【００１２】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように、集塵の
ためのフィルターを収納した容器の底部に該容器とは随
意に相互連通または気密を実現できる副容器を併設して
いるので、連通状態にて、フィルターに目詰まりした粉
塵を逆洗して副容器に落下せしめた後は、相互を気密に
し気密を保ったまま副容器内で粉塵を酸化、燃焼させ
て、該粉塵を大気に対して不活性としてから外部に除去
できるため、火災、火傷等の粉塵の燃焼による危険を防
止する効果がある。また、逆洗した粉塵のほとんどは副
容器内に落下した後容器側に再び戻らないよう仕切られ
るのでフィルターの収納されている容器側に残留する粉
塵量を少なくでき、次にガス排気を実施する際に、一度
逆洗されていた粉塵が再びフィルターに捕集されるのを
防止できるので、フィルターの清掃または交換頻度を低
減できる。よって、その作業時間省略による生産性向上
という効果もある。
ためのフィルターを収納した容器の底部に該容器とは随
意に相互連通または気密を実現できる副容器を併設して
いるので、連通状態にて、フィルターに目詰まりした粉
塵を逆洗して副容器に落下せしめた後は、相互を気密に
し気密を保ったまま副容器内で粉塵を酸化、燃焼させ
て、該粉塵を大気に対して不活性としてから外部に除去
できるため、火災、火傷等の粉塵の燃焼による危険を防
止する効果がある。また、逆洗した粉塵のほとんどは副
容器内に落下した後容器側に再び戻らないよう仕切られ
るのでフィルターの収納されている容器側に残留する粉
塵量を少なくでき、次にガス排気を実施する際に、一度
逆洗されていた粉塵が再びフィルターに捕集されるのを
防止できるので、フィルターの清掃または交換頻度を低
減できる。よって、その作業時間省略による生産性向上
という効果もある。
【図１】本発明による集塵装置の実施例を示す断面図
【図２】従来の集塵装置の構成を示す断面図
１ フィルター ２ フィルター収納の容器 ４ 吸入側配管 ６ 排気側配管 ７、８、１３、１５、１６ 仕切り弁 ９ 副容器の蓋 １０ ヘッダー管 １１ ノズル １２、１７、１８ 配管 １４ 副容器 ２０ 排気装置
Claims (1)
- 【請求項１】 不活性ガスの吸入側配管４と排気側配管
６を繋ぐ容器２の内部に該不活性ガス中の粉塵を捕集す
るためのフィルター１を収納し底部に堆積した粉塵を該
容器２の外部に除去するための蓋７を設けた集塵装置に
おいて、前記フィルター１に内設したノズル１１付きの
ヘッダー管１０への前記容器２の外部からの不活性ガス
供給を可能ならしめる配管１２および該不活性ガスの仕
切り弁１３を設け、かつ前記蓋７を介して副容器１４を
併設し、該副容器１４に蓋９および副容器１４に設けた
配管１７を通じて副容器１４内部の真空排気を可能なら
しめる配管１８と仕切り弁１６および副容器１４の内部
へのガス供給を可能ならしめる仕切り弁１５を設けたこ
とを特徴とする集塵装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4029907A JPH05192524A (ja) | 1992-01-22 | 1992-01-22 | 集塵装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4029907A JPH05192524A (ja) | 1992-01-22 | 1992-01-22 | 集塵装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05192524A true JPH05192524A (ja) | 1993-08-03 |
Family
ID=12289063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4029907A Withdrawn JPH05192524A (ja) | 1992-01-22 | 1992-01-22 | 集塵装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05192524A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998029575A1 (en) * | 1996-12-25 | 1998-07-09 | Nippon Steel Corporation | Method for vacuum/reduced-pressure refining and facility for vacuum/reduced-pressure refining |
| CN115243782A (zh) * | 2020-01-28 | 2022-10-25 | 埃尔丁过滤技术有限公司 | 用于干式过滤携带异物的气体流的方法及用于清洁携带异物的原料气体的过滤器装置 |
-
1992
- 1992-01-22 JP JP4029907A patent/JPH05192524A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998029575A1 (en) * | 1996-12-25 | 1998-07-09 | Nippon Steel Corporation | Method for vacuum/reduced-pressure refining and facility for vacuum/reduced-pressure refining |
| US6251169B1 (en) | 1996-12-25 | 2001-06-26 | Nippon Steel Corporation | Method for vacuum/reduced-pressure refining and facility for vacuum/reduced-pressure refining |
| CN115243782A (zh) * | 2020-01-28 | 2022-10-25 | 埃尔丁过滤技术有限公司 | 用于干式过滤携带异物的气体流的方法及用于清洁携带异物的原料气体的过滤器装置 |
| JP2023512045A (ja) * | 2020-01-28 | 2023-03-23 | ヘルディング ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング フィルターテヒニーク | 異物を運ぶガス流れを乾式ろ過する方法、及び異物を運ぶ未処理ガスを浄化するろ過装置 |
| JP2023525427A (ja) * | 2020-01-28 | 2023-06-16 | ヘルディング ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング フィルターテヒニーク | 異物を運ぶガス流の乾式ろ過のための方法、及び異物を運ぶ未処理ガスを浄化するためのろ過装置 |
| CN115243782B (zh) * | 2020-01-28 | 2025-04-25 | 禾鼎过滤技术有限公司 | 用于干式过滤携带异物的气体流的方法及用于清洁携带异物的原料气体的过滤器装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101973473B1 (ko) | 집진설비 분진 배출 저감 시스템 | |
| US5527019A (en) | Device and method for cleaning a filter | |
| CN110022962A (zh) | 一种高效自动化粉尘治理装置 | |
| EP1414545B1 (en) | Apparatus for and method of trapping products in exhaust gas | |
| CN108057292A (zh) | 车间粉尘处理设备 | |
| JPH05192524A (ja) | 集塵装置 | |
| US3368523A (en) | Laminar flow work station | |
| US5053122A (en) | Oil filtration and exhaust apparatus | |
| WO1998029575A1 (en) | Method for vacuum/reduced-pressure refining and facility for vacuum/reduced-pressure refining | |
| JPH0225573A (ja) | 処理装置 | |
| CA2289870C (en) | An assembly for controlling the gas flow in a plasma spraying apparatus | |
| JPH029408A (ja) | ダストトラップ装置 | |
| JP2635062B2 (ja) | 真空排気系用微粒子捕集装置 | |
| JPH07193008A (ja) | 半導体化学気相成長システム | |
| JP7411004B2 (ja) | ロードポートモジュールのウエハ容器の湿度低減装置及びそれを備えた半導体工程装置 | |
| JP3107375B2 (ja) | オイルミスト捕集装置 | |
| JP2003515244A (ja) | 半導体ウェーハから汚染物を減らす方法と装置 | |
| JP5940885B2 (ja) | 排ガス処理装置 | |
| JP2010016303A (ja) | 集塵装置および融解装置 | |
| CN210633107U (zh) | 一种激光加工设备的抽尘系统 | |
| JPH0364477A (ja) | 常圧処理装置 | |
| CN110484894B (zh) | 尾气清理单元、尾气清理装置和气相沉积设备 | |
| JP2000257750A (ja) | 真空脱ガス設備の排ガス用真空弁 | |
| JPH07100319A (ja) | バツグ式反応集塵機のクリーニング制御方法 | |
| CN108837633A (zh) | 一种在线玻璃镀膜尾气膜法高温处理系统及工艺 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990408 |