JPH05190374A - グリーンシート積層体の切断方法及び切断装置 - Google Patents
グリーンシート積層体の切断方法及び切断装置Info
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- JPH05190374A JPH05190374A JP4003707A JP370792A JPH05190374A JP H05190374 A JPH05190374 A JP H05190374A JP 4003707 A JP4003707 A JP 4003707A JP 370792 A JP370792 A JP 370792A JP H05190374 A JPH05190374 A JP H05190374A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 裏面に接着テープが貼付されたグリーンシー
トの積層体を切断刃で、接着テープを切断することなく
正確に、作業性良く切断する。 【構成】 積層体（２）の裏面に導電性接着テープ（3
a）を貼付して、積層体（２）を吸着テーブル（４）上
に接着テープ（3a）を介して位置決め載置する。積層体
（２）の真上に配置された切断刃（６）を駆動系（７）
で回転させながら下降させて、積層体（２）を切断する
切断始めにおいて、切断刃（６）が積層体（２）の一部
を切断して接着テープ（3a）の表面に当接した時点（下
死点）を、両者の通電の有無を検知する下死点制御系
（8a）で検知して駆動系（７）に切断刃下降停止信号ａ
を出力する。駆動系（７）は切断刃（６）の下降だけを
停止させ、切断刃（６）を接着テープ（3a）の表面に接
触する下死点位置を維持したまま積層体（２）と平行に
移動させて積層体（２）を縦横に切断する。
トの積層体を切断刃で、接着テープを切断することなく
正確に、作業性良く切断する。 【構成】 積層体（２）の裏面に導電性接着テープ（3
a）を貼付して、積層体（２）を吸着テーブル（４）上
に接着テープ（3a）を介して位置決め載置する。積層体
（２）の真上に配置された切断刃（６）を駆動系（７）
で回転させながら下降させて、積層体（２）を切断する
切断始めにおいて、切断刃（６）が積層体（２）の一部
を切断して接着テープ（3a）の表面に当接した時点（下
死点）を、両者の通電の有無を検知する下死点制御系
（8a）で検知して駆動系（７）に切断刃下降停止信号ａ
を出力する。駆動系（７）は切断刃（６）の下降だけを
停止させ、切断刃（６）を接着テープ（3a）の表面に接
触する下死点位置を維持したまま積層体（２）と平行に
移動させて積層体（２）を縦横に切断する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、積層セラミックコンデ
ンサや多層基板構造のハイブリッドＩＣなどの製造に使
用されるグリーンシート積層体を複数のペレットに切断
分離する工程での切断方法及び切断装置に関する。
ンサや多層基板構造のハイブリッドＩＣなどの製造に使
用されるグリーンシート積層体を複数のペレットに切断
分離する工程での切断方法及び切断装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】積層セラミックコンデンサは、次の工程
を経て製造される。即ち、従来の積層セラミックコンデ
ンサの製造工程は、主として、セラミック粉末の泥しょ
うをドクターブレード法で薄く延ばしてセラミックのグ
リーンシートを形成する工程、グリーンシートの表面に
複数の電極を印刷する工程、複数のグリーンシートを積
層し一体化してグリーンシートの積層体を形成する工
程、積層体を縦横に切断して複数のセラミック積層体の
ペレットを形成する工程、ペレットを焼成する工程、及
びペレットの端面に外部電極を形成する工程からなって
いる。
を経て製造される。即ち、従来の積層セラミックコンデ
ンサの製造工程は、主として、セラミック粉末の泥しょ
うをドクターブレード法で薄く延ばしてセラミックのグ
リーンシートを形成する工程、グリーンシートの表面に
複数の電極を印刷する工程、複数のグリーンシートを積
層し一体化してグリーンシートの積層体を形成する工
程、積層体を縦横に切断して複数のセラミック積層体の
ペレットを形成する工程、ペレットを焼成する工程、及
びペレットの端面に外部電極を形成する工程からなって
いる。
【０００３】上記グリーンシートの積層体の切断は、回
転する切断刃を積層体に縦横に走らせて行われる。この
切断は、積層体切断後に分離されたペレットが飛散しな
いようにする目的で、予め積層体の裏面にポリエチレン
などの接着テープを貼付して行われる。かかる積層体の
切断方法及び切断装置の従来例を、図３を参照して説明
する。
転する切断刃を積層体に縦横に走らせて行われる。この
切断は、積層体切断後に分離されたペレットが飛散しな
いようにする目的で、予め積層体の裏面にポリエチレン
などの接着テープを貼付して行われる。かかる積層体の
切断方法及び切断装置の従来例を、図３を参照して説明
する。
【０００４】同図に示される積層体（２）は、複数のセ
ラミックのグリーンシート（１）…を積層一体化したも
ので、その裏面に接着テープ（10）が貼付される。接着
テープ（10）はポリエチレンテープに接着剤を塗布した
ものである。積層体（２）は、接着テープ（10）を下に
して真空吸引式吸着テーブル（４）上に位置決め載置さ
れる。吸着テーブル（４）は、上面に多数の真空吸引穴
（５）…を有し、この上に接着テープ（10）が真空吸着
される。積層体（２）の真上に円板形の切断刃（６）を
垂直に配置し、切断刃（６）を駆動系（７）で回転させ
下降させて積層体（２）を切断する。切断刃（６）は、
その下端が接着テープ（10）に接触する下死点まで下降
して停止し、下死点の高さで積層体（２）に平行に相対
移動して積層体（２）を縦横に切断し、接着テープ（1
0）上で複数のセラミック積層ペレット（11）…に分離
する。
ラミックのグリーンシート（１）…を積層一体化したも
ので、その裏面に接着テープ（10）が貼付される。接着
テープ（10）はポリエチレンテープに接着剤を塗布した
ものである。積層体（２）は、接着テープ（10）を下に
して真空吸引式吸着テーブル（４）上に位置決め載置さ
れる。吸着テーブル（４）は、上面に多数の真空吸引穴
（５）…を有し、この上に接着テープ（10）が真空吸着
される。積層体（２）の真上に円板形の切断刃（６）を
垂直に配置し、切断刃（６）を駆動系（７）で回転させ
下降させて積層体（２）を切断する。切断刃（６）は、
その下端が接着テープ（10）に接触する下死点まで下降
して停止し、下死点の高さで積層体（２）に平行に相対
移動して積層体（２）を縦横に切断し、接着テープ（1
0）上で複数のセラミック積層ペレット（11）…に分離
する。
【０００５】切断刃（６）による積層体（２）の切断が
完了すると、吸着テーブル（４）の真空吸着が解除さ
れ、吸着テーブル（４）から接着テープ（10）とこれに
接着されたペレット（11）が取出され、次の焼成工程に
送られる。接着テープ（10）は、分割されたペレット
（11）の飛散を防止すると共に、積層体（２）を切断し
た切断刃（６）が吸着テーブル（４）を傷付けないよう
に、積層体（２）と吸着テーブル（４）の間に一定の間
隔を形成する。
完了すると、吸着テーブル（４）の真空吸着が解除さ
れ、吸着テーブル（４）から接着テープ（10）とこれに
接着されたペレット（11）が取出され、次の焼成工程に
送られる。接着テープ（10）は、分割されたペレット
（11）の飛散を防止すると共に、積層体（２）を切断し
た切断刃（６）が吸着テーブル（４）を傷付けないよう
に、積層体（２）と吸着テーブル（４）の間に一定の間
隔を形成する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記切断刃
（６）を積層体（２）に向けて下降させる切断始めにお
いて、切断刃（６）が接着テープ（10）に接触する下死
点を検出して、切断刃（６）の下降を停止させる下死点
合わせの作業が必要であり、この作業を作業員の手動で
行っている。ところが、この下死点合わせは、極微細な
調整を必要として正確に行うのが難しく、作業員に高度
な熟練度が要求されると共に、１回の作業に時間を要し
て、積層体切断の作業性を悪くしている。また、下死点
合わせ時に、下死点が接着テープ表面より下位に誤設定
されると、図４の（イ）に示すように、切断刃（６）が
接着テープ（10）まで切断して、後でペレット（11）が
飛散するトラブルを引き起こしたり、悪くすると切断刃
（６）が吸着テーブル（４）に当たって、切断刃（６）
と吸着テーブル（４）の双方が傷付き、寿命が短くなる
ことがあった。逆に、下死点合わせ時に、下死点が接着
テープ表面より上位に誤設定されると、図４の（ロ）に
示すように、切断刃（６）が積層体（２）を途中までし
か切断せず、ペレット（11）に分割できない不具合が生
じる。
（６）を積層体（２）に向けて下降させる切断始めにお
いて、切断刃（６）が接着テープ（10）に接触する下死
点を検出して、切断刃（６）の下降を停止させる下死点
合わせの作業が必要であり、この作業を作業員の手動で
行っている。ところが、この下死点合わせは、極微細な
調整を必要として正確に行うのが難しく、作業員に高度
な熟練度が要求されると共に、１回の作業に時間を要し
て、積層体切断の作業性を悪くしている。また、下死点
合わせ時に、下死点が接着テープ表面より下位に誤設定
されると、図４の（イ）に示すように、切断刃（６）が
接着テープ（10）まで切断して、後でペレット（11）が
飛散するトラブルを引き起こしたり、悪くすると切断刃
（６）が吸着テーブル（４）に当たって、切断刃（６）
と吸着テーブル（４）の双方が傷付き、寿命が短くなる
ことがあった。逆に、下死点合わせ時に、下死点が接着
テープ表面より上位に誤設定されると、図４の（ロ）に
示すように、切断刃（６）が積層体（２）を途中までし
か切断せず、ペレット（11）に分割できない不具合が生
じる。
【０００７】それ故に、本発明の目的とするところは、
裏面に接着テープが貼付されたグリーンシートの積層体
を切断刃で切断する際の、切断刃の下死点合わせを自動
的に、正確、迅速に行い得る技術的手段を取り入れた切
断方法及び切断装置を提供することにある。
裏面に接着テープが貼付されたグリーンシートの積層体
を切断刃で切断する際の、切断刃の下死点合わせを自動
的に、正確、迅速に行い得る技術的手段を取り入れた切
断方法及び切断装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の切断方法は、複数のグリーンシートを、積層一体化
した積層体の裏面に貼付した接着テープに、切断刃との
接触の電気的検知手段として利用可能な電気感応性接着
テープを使用し、切断刃を下降させて積層体表面から積
層体を切断して電気感応性接着テープに接触した時点
を、電気感応性接着テープを介して検出して、切断刃の
切断下死点を設定したことを特徴とする。
明の切断方法は、複数のグリーンシートを、積層一体化
した積層体の裏面に貼付した接着テープに、切断刃との
接触の電気的検知手段として利用可能な電気感応性接着
テープを使用し、切断刃を下降させて積層体表面から積
層体を切断して電気感応性接着テープに接触した時点
を、電気感応性接着テープを介して検出して、切断刃の
切断下死点を設定したことを特徴とする。
【０００９】また、上記目的を達成する本発明の切断装
置は、複数のグリーンシートを積層一体化した積層体の
裏面に、積層体を切断する切断刃との接触の電気的検知
手段として利用できる電気感応性接着テープを貼付して
なる積層体を、その裏面の接着テープを介して位置決め
載置する吸着テーブルと、切断刃を吸着テーブルの上方
で駆動させて積層体を切断させる駆動系と、積層体の切
断始めに、吸着テーブル上の積層体に向けて下降させた
切断刃が積層体を切断して接着テープに接触した時点を
接着テープを介して電気信号で検出し、この検出信号で
切断刃の駆動系に切断刃の下降を停止させて切断刃の切
断下死点を設定し維持させる下死点制御系をと具備した
ことを特徴とする。
置は、複数のグリーンシートを積層一体化した積層体の
裏面に、積層体を切断する切断刃との接触の電気的検知
手段として利用できる電気感応性接着テープを貼付して
なる積層体を、その裏面の接着テープを介して位置決め
載置する吸着テーブルと、切断刃を吸着テーブルの上方
で駆動させて積層体を切断させる駆動系と、積層体の切
断始めに、吸着テーブル上の積層体に向けて下降させた
切断刃が積層体を切断して接着テープに接触した時点を
接着テープを介して電気信号で検出し、この検出信号で
切断刃の駆動系に切断刃の下降を停止させて切断刃の切
断下死点を設定し維持させる下死点制御系をと具備した
ことを特徴とする。
【００１０】
【作用】電気感応性接着テープとしては、アルミニウム
などの金属製の導電テープや、部分的に外力が加えられ
ると感応して起電力を発生する圧電テープなどが適用さ
れ、これら電気感応性接着テープをグリーンシートの積
層体裏面に貼付して、積層体を切断するようにすると、
切断始めに切断刃が接着テープに接触した時点、つまり
切断刃の下死点が接着テープを介した電気信号で自動的
に検出される。従って、切断刃の下死点合わせが自動的
に、正確、迅速に行えるようになる。
などの金属製の導電テープや、部分的に外力が加えられ
ると感応して起電力を発生する圧電テープなどが適用さ
れ、これら電気感応性接着テープをグリーンシートの積
層体裏面に貼付して、積層体を切断するようにすると、
切断始めに切断刃が接着テープに接触した時点、つまり
切断刃の下死点が接着テープを介した電気信号で自動的
に検出される。従って、切断刃の下死点合わせが自動的
に、正確、迅速に行えるようになる。
【００１１】
【実施例】実施例について、図１及び図２を参照して説
明する。なお、全図を通じ同一または相当部分には同一
符号を付して、説明は省略する。
明する。なお、全図を通じ同一または相当部分には同一
符号を付して、説明は省略する。
【００１２】図１は、積層セラミックコンデンサにおけ
る積層体（２）の裏面に貼付される接着テープ（3a）
に、アルミニウムやニッケル、錫、銅などの導電テープ
を使用した実施例を示す。この実施例における積層体
（２）の切断は、金属の導電性切断刃（６）を使って次
のように行われる。
る積層体（２）の裏面に貼付される接着テープ（3a）
に、アルミニウムやニッケル、錫、銅などの導電テープ
を使用した実施例を示す。この実施例における積層体
（２）の切断は、金属の導電性切断刃（６）を使って次
のように行われる。
【００１３】積層体（２）の裏面に電気感応性接着テー
プとして、導電性接着テープ（3a）を貼付して、積層体
（２）を吸着テーブル（４）上に導電性接着テープ（3
a）を介して位置決め載置する。積層体（２）の真上に
配置された切断刃（６）を駆動系（７）で回転させなが
ら下降させて、積層体（２）を切断する。この切断に備
えて、導電性切断刃（６）と導電性接着テープ（3a）の
間に下死点制御系（8a）を接続しておく。下死点制御系
（8a）は、切断刃（６）と導電性接着テープ（3a）の間
に電源（９）の電圧を印加しておき、切断刃（６）と接
着テープ（3a）の両者間に通電があればこれを検出し
て、駆動系（７）に切断刃下降停止信号ａを出力する電
気回路である。つまり、切断刃（６）を積層体（２）に
向けて下降させる切断始めにおいて、切断刃（６）が積
層体（２）の一部を切断している間は、切断刃（６）と
接着テープ（3a）が非接触の状態にあって、下死点制御
系（8a）は作動しない。切断刃（６）が積層体（２）の
一部を切断して接着テープ（3a）の表面に当接した時点
（下死点）で、両者間が電源電圧で通電し、これを下死
点制御系（8a）が検知して駆動系（７）に切断刃下降停
止信号ａを出力する。すると、駆動系（７）は切断刃
（６）の下降だけを停止させ、切断刃（６）を接着テー
プ（3a）の表面に接触する下死点の位置を維持したまま
積層体（２）と平行に移動させ、積層体（２）の切断を
続行させる。
プとして、導電性接着テープ（3a）を貼付して、積層体
（２）を吸着テーブル（４）上に導電性接着テープ（3
a）を介して位置決め載置する。積層体（２）の真上に
配置された切断刃（６）を駆動系（７）で回転させなが
ら下降させて、積層体（２）を切断する。この切断に備
えて、導電性切断刃（６）と導電性接着テープ（3a）の
間に下死点制御系（8a）を接続しておく。下死点制御系
（8a）は、切断刃（６）と導電性接着テープ（3a）の間
に電源（９）の電圧を印加しておき、切断刃（６）と接
着テープ（3a）の両者間に通電があればこれを検出し
て、駆動系（７）に切断刃下降停止信号ａを出力する電
気回路である。つまり、切断刃（６）を積層体（２）に
向けて下降させる切断始めにおいて、切断刃（６）が積
層体（２）の一部を切断している間は、切断刃（６）と
接着テープ（3a）が非接触の状態にあって、下死点制御
系（8a）は作動しない。切断刃（６）が積層体（２）の
一部を切断して接着テープ（3a）の表面に当接した時点
（下死点）で、両者間が電源電圧で通電し、これを下死
点制御系（8a）が検知して駆動系（７）に切断刃下降停
止信号ａを出力する。すると、駆動系（７）は切断刃
（６）の下降だけを停止させ、切断刃（６）を接着テー
プ（3a）の表面に接触する下死点の位置を維持したまま
積層体（２）と平行に移動させ、積層体（２）の切断を
続行させる。
【００１４】以上の切断始めの切断刃（６）の下死点合
わせは、切断刃（６）と接着テープ（3a）の接触時点の
検出で自動的に、正確、迅速に行われるので、下死点合
わせ以後の切断刃（６）による積層体（２）の切断は常
に正確に実行される。また、切断刃（６）が積層体
（２）を切断し終るまで、下死点制御系（8a）で切断刃
（６）の下死点位置の変動を常時検出しておき、切断刃
（６）が接着テープ（3a）から少しでも離脱すると、駆
動系（７）に切断刃（６）を接着テープ（3a）に接触す
るまで下降させる信号を送るようにすることも可能であ
る。このようにすれば、積層体（２）と接着テープ（3
a）の間に多少の凹凸があっても、切断刃（６）を接着
テープ（3a）に接触させたままにして、積層体（２）を
常時良好に切断すことができる。このことは、次の図２
の実施例においても同様である。
わせは、切断刃（６）と接着テープ（3a）の接触時点の
検出で自動的に、正確、迅速に行われるので、下死点合
わせ以後の切断刃（６）による積層体（２）の切断は常
に正確に実行される。また、切断刃（６）が積層体
（２）を切断し終るまで、下死点制御系（8a）で切断刃
（６）の下死点位置の変動を常時検出しておき、切断刃
（６）が接着テープ（3a）から少しでも離脱すると、駆
動系（７）に切断刃（６）を接着テープ（3a）に接触す
るまで下降させる信号を送るようにすることも可能であ
る。このようにすれば、積層体（２）と接着テープ（3
a）の間に多少の凹凸があっても、切断刃（６）を接着
テープ（3a）に接触させたままにして、積層体（２）を
常時良好に切断すことができる。このことは、次の図２
の実施例においても同様である。
【００１５】図２は、電気感応性接着テープ（3b）とし
て、圧電テープを使用した実施例を示す。圧電接着テー
プ（3b）は、一部に外力が加えられると、外力に応じた
起電力を発生するテープである。この場合、圧電接着テ
ープ（3b）の一部に起電力検出手段である下死点制御系
（8b）を接続し、これが起電力を検出すると駆動系
（７）に切断刃下降停止信号ｂを出力するようにしてお
く。すなわち、吸着テーブル（４）上の積層体（２）を
切断刃（６）で切断する始めにおいて、下降する切断刃
（６）が積層体（２）の一部を切断して圧電接着テープ
（3b）の表面に接触して少し押圧すると、圧電接着テー
プ（3b）に起電力が発生する。この時点（下死点）を起
電力検出手段の下死点制御系（8b）で検出して、駆動系
（７）に切断刃下降停止信号ｂを出力すると、切断刃
（６）は圧電接着テープ（3b）を少し押圧した下死点で
下降が停止し、下死点を維持して積層体（２）を切断し
ていく。
て、圧電テープを使用した実施例を示す。圧電接着テー
プ（3b）は、一部に外力が加えられると、外力に応じた
起電力を発生するテープである。この場合、圧電接着テ
ープ（3b）の一部に起電力検出手段である下死点制御系
（8b）を接続し、これが起電力を検出すると駆動系
（７）に切断刃下降停止信号ｂを出力するようにしてお
く。すなわち、吸着テーブル（４）上の積層体（２）を
切断刃（６）で切断する始めにおいて、下降する切断刃
（６）が積層体（２）の一部を切断して圧電接着テープ
（3b）の表面に接触して少し押圧すると、圧電接着テー
プ（3b）に起電力が発生する。この時点（下死点）を起
電力検出手段の下死点制御系（8b）で検出して、駆動系
（７）に切断刃下降停止信号ｂを出力すると、切断刃
（６）は圧電接着テープ（3b）を少し押圧した下死点で
下降が停止し、下死点を維持して積層体（２）を切断し
ていく。
【００１６】なお、本発明は上記実施例に限らず、例え
ば積層体の裏面に貼付する広義の電気感応性接着テープ
に、磁性体の切断刃が接触すると磁気反応して磁気抵抗
が変化する磁気テープを使用してもよい。この場合の下
死点制御系は、磁気テープの磁気抵抗変化を抵抗ブリッ
ジで検出する抵抗検出回路を使用すればよい。また、本
発明は積層セラミックコンデンサ製造用のグリーンシー
ト積層体の切断方法、切断装置に限らず、配線パターン
を印刷した複数のセラミックグリーンシートを積層した
ハイブリッドＩＣなどの多層配線基板の積層体の切断方
法、切断装置においても上記同様に適用できる。
ば積層体の裏面に貼付する広義の電気感応性接着テープ
に、磁性体の切断刃が接触すると磁気反応して磁気抵抗
が変化する磁気テープを使用してもよい。この場合の下
死点制御系は、磁気テープの磁気抵抗変化を抵抗ブリッ
ジで検出する抵抗検出回路を使用すればよい。また、本
発明は積層セラミックコンデンサ製造用のグリーンシー
ト積層体の切断方法、切断装置に限らず、配線パターン
を印刷した複数のセラミックグリーンシートを積層した
ハイブリッドＩＣなどの多層配線基板の積層体の切断方
法、切断装置においても上記同様に適用できる。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば、電気感応性接着テープ
をグリーンシートの積層体裏面に貼付し、積層体をその
表面から切断刃で切断する際の切断始めにおいて、切断
刃が接着テープに接触した時点を接着テープを介した電
気信号で自動的に検出することができ、その結果、切断
刃の下死点合わせが自動的に、正確、迅速に行えるよう
になり、積層体切断工程の作業性を一段と向上させる効
果がある。また、接着テープを切断することなく積層体
を切断することができて、積層体切断の信頼性改善、確
実な積層体切断後のペレット飛散防止が図れ、さらに、
切断刃と積層体載置用吸着テーブルの接触防止による切
断刃と吸着テーブルの損傷防止、長寿命化が図れる効果
がある。
をグリーンシートの積層体裏面に貼付し、積層体をその
表面から切断刃で切断する際の切断始めにおいて、切断
刃が接着テープに接触した時点を接着テープを介した電
気信号で自動的に検出することができ、その結果、切断
刃の下死点合わせが自動的に、正確、迅速に行えるよう
になり、積層体切断工程の作業性を一段と向上させる効
果がある。また、接着テープを切断することなく積層体
を切断することができて、積層体切断の信頼性改善、確
実な積層体切断後のペレット飛散防止が図れ、さらに、
切断刃と積層体載置用吸着テーブルの接触防止による切
断刃と吸着テーブルの損傷防止、長寿命化が図れる効果
がある。
【図１】本発明の第１の実施例を説明するための切断装
置の側面図
置の側面図
【図２】本発明の第２の実施例を説明するための切断装
置の側面図
置の側面図
【図３】従来のグリーンシート積層体の切断装置の側面
図
図
【図４】図３の装置の切断不良例を説明するための部分
側面図で、（イ）は過切断時、（ロ）は切断不足時を示
す。
側面図で、（イ）は過切断時、（ロ）は切断不足時を示
す。
１ グリーンシート ２ 積層体 3a 電気感応性接着テープ（導電性接着テープ） 3b 電気感応性接着テープ（圧電性接着テープ） ４ 吸着テーブル ６ 切断刃 ７ 駆動系 8a 下死点制御系 8b 下死点制御系
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 3/46 Ｘ 6921−4Ｅ
Claims (3)
- 【請求項１】 複数のグリーンシートを積層一体化し、
裏面に接着テープを貼付した積層体を切断刃で複数のペ
レットに切断分離する工程において、 接着テープに、切断刃との接触の電気的検知手段として
利用可能な電気感応性接着テープを使用し、切断刃を下
降させて積層体表面から積層体を切断して電気感応性接
着テープに接触した時点を電気感応性接着テープを介し
て検出して切断刃の切断下死点を設定し、この下死点を
維持して積層体を切断することを特徴とするグリーンシ
ート積層体の切断方法。 - 【請求項２】 グリーンシートが、表面に複数の電極が
印刷された積層セラミックコンデンサ製造用グリーンシ
ートであることを特徴とする請求項１記載のグリーンシ
ート積層体の切断方法。 - 【請求項３】 複数のグリーンシートを積層一体化した
積層体の裏面に、積層体を切断する切断刃との接触の電
気的検知手段として利用できる電気感応性接着テープを
貼付して、積層体を切断刃で複数のペレットに切断分離
する装置であって、 積層体を接着テープを介して位置決め載置する吸着テー
ブルと、切断刃を吸着テーブルの上方で駆動させて積層
体を切断させる駆動系と、積層体の切断始めに、吸着テ
ーブル上の積層体に向けて下降させた切断刃が積層体を
切断して接着テープに接触した時点を、接着テープを介
して電気信号で検出し、この検出信号で切断刃の駆動系
に切断刃の下降を停止させて切断刃の切断下死点を設定
し維持させる下死点制御系とを具備したことを特徴とす
るグリーンシート積層体の切断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4003707A JPH05190374A (ja) | 1992-01-13 | 1992-01-13 | グリーンシート積層体の切断方法及び切断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4003707A JPH05190374A (ja) | 1992-01-13 | 1992-01-13 | グリーンシート積層体の切断方法及び切断装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05190374A true JPH05190374A (ja) | 1993-07-30 |
Family
ID=11564825
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4003707A Pending JPH05190374A (ja) | 1992-01-13 | 1992-01-13 | グリーンシート積層体の切断方法及び切断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05190374A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6677553B2 (en) | 1999-08-06 | 2004-01-13 | Hitachi, Ltd. | Laser processing apparatus |
| CN113208688A (zh) * | 2021-03-19 | 2021-08-06 | 桂林医学院 | 一种颅骨切开设备 |
-
1992
- 1992-01-13 JP JP4003707A patent/JPH05190374A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6677553B2 (en) | 1999-08-06 | 2004-01-13 | Hitachi, Ltd. | Laser processing apparatus |
| CN113208688A (zh) * | 2021-03-19 | 2021-08-06 | 桂林医学院 | 一种颅骨切开设备 |
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