JPH05180616A - プローブ保持機構 - Google Patents

プローブ保持機構

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JPH05180616A
JPH05180616A JP2041892A JP2041892A JPH05180616A JP H05180616 A JPH05180616 A JP H05180616A JP 2041892 A JP2041892 A JP 2041892A JP 2041892 A JP2041892 A JP 2041892A JP H05180616 A JPH05180616 A JP H05180616A
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JP
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holding mechanism
fixing member
elastic leaf
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JP2041892A
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English (en)
Inventor
Toshimitsu Kawase
俊光 川瀬
Katsuhiko Shinjo
克彦 新庄
Osamu Takamatsu
修 高松
Katsunori Hatanaka
勝則 畑中
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Canon Inc
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 種々のプローブを容易にかつ確実に固定でき
交換も容易に行うことができるようにする。 【構成】 トンネル電流検出用のプローブ10は、弾性
板ばね11によって板状の固定部材12に押圧固定され
ており、弾性板ばね11の自由端には、プローブ10が
固定部材12の表面上をX方向に滑らないようにするた
めの三角形状の切欠き13が設けられている。固定部材
12と弾性板ばね11の片側端部は保持部材14の略中
央に略垂直に接合固定されており、その際に弾性板ばね
11の押圧部が固定部材12に押圧するように弾性板ば
ね11を弾性変形させながら固定されている。保持部材
14はプローブをX、Y、Z方向に駆動する円筒型の微
動用圧電素子15に接着などにより固定されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、走査型トンネル顕微鏡
又は原子間力顕微鏡等の表面観察装置や、情報処理装置
に使用されるプローブ保持機構に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、実空間で導体表面を原子スケール
の分解能で観察できる走査型トンネル顕微鏡(以後ST
Mと云う)が開発されている。[G.binning et al.,Helv
eticaPhysica Acta.,55,726(1982)] 。また、最近、S
TMの実用化が進み国内外の数社からのSTMの販売が
開始され、幅広い分野で手軽に使用され始めている。S
TMは真空中のみならず大気中や液体中でも動作し、そ
の応用分野は表面粗さ計測等に始まり、半導体、生体分
子、化学反応、超微細加工など広範囲に渡っている。
【0003】このような装置では、プローブを駆動機構
に堅固に保持しかつ容易に交換できるようなプローブ保
持機構が必要であり、図8〜図10に示すような保持機
構が用いられ、それぞれプローブの材料や使用目的によ
り使い分けられている。
【0004】図8においては、プローブ1はハウジング
2に螺合する固定ねじ3によってハウジング2の内壁に
押圧固定されている。
【0005】図9ににおいては、プローブ4は固定ねじ
5と一体に取り付けられ、ハウジング6に螺着されてい
る。
【0006】図10においては、プローブ7はくの字状
に弾性変形され、その際に得られる反発力によってハウ
ジング8の内壁に押圧固定されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述の従
来例では、次のような問題点がある。 (1) 図8、図9に示すようなねじにより固定する機構で
は、ねじ部の質量がプローブに比べかなり重いため共振
周波数が低下し、装置の高速走査性を損う。また、プロ
ーブを交換する場合に、ねじを廻して交換しなければな
らず手間が掛かる。
【0008】(2) 図10に示すようなプローブの弾性変
形から得られる反発力を利用する機構では、ダイヤモン
ドのような高硬度のプローブが使用できない。
【0009】(3) 表面観察装置や記録再生装置では、観
察目的によりプローブ材料や形状を選択することが求め
られ、それに応じてプローブ保持機構も選択し交換する
必要があり、手間を有する。
【0010】本発明の目的は、ねじのような比較的重い
材料を使うことなく、ダイヤモンドのような高硬度のプ
ローブを含め、その他の観察目的に応じた種々のプロー
ブを容易にかつ確実に固定でき、交換も容易に行うがこ
とできるプローブ保持機構を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めの本発明に係るプローブ保持機構は、プローブを固定
する平面部を有する固定部材と、前記プローブを押圧す
る自由端に切欠きを設けた弾性板ばねとから成ることを
特徴とするものである。
【0012】
【作用】上述の構成を有するプローブ保持機構は、プロ
ーブを固定する平面部を有する固定部材と弾性板ばねの
切り欠きとの間にプローブを挿入し、弾性板ばねにより
プローブを固定部材側に押圧固定してプローブを保持す
る。
【0013】
【実施例】本発明を図1〜図7に図示の実施例に基づい
て詳細に説明する。図1は第1の実施例に基づく走査型
トンネル顕微鏡のトンネル電流検出用のプローブ保持機
構の斜視図であり、図2はその断面図である。円柱の形
状を持つタングステン、白金等の材料を電解研磨や機械
加工により先端を鋭利に加工されたトンネル電流検出用
のプローブ10は、弾性板ばね11によって板状の固定
部材12に押圧固定されており、弾性板ばね11の自由
端である押圧部にはプローブ10が固定部材12の表面
上をX方向に滑らないようにするための三角形状の切欠
き13が設けられている。固定部材12と弾性板ばね1
1の片側端部はスポット溶接により円板状の保持部材1
4の略中央に略垂直に接合固定されており、その際に弾
性板ばね11の押圧部が固定部材12を押圧するよう
に、弾性板ばね11を弾性変形させながら固定されてい
る。また、保持部材14はプローブをX、Y、Z方向に
駆動する円筒型の微動用圧電素子15に接着などにより
固定されている。
【0014】図3はプローブ保持機構の作用説明図であ
る。弾性板ばね11の押圧部は中間部で塑性変形により
曲げ角度θが鋭角になるように折り曲げられている。プ
ローブ10を固定部材12と平行にかつ弾性板ばね11
の切欠き13に、弾性板ばね11を軽く持ち上げながら
矢印のように挿入し、プローブ10の端部が保持部材1
4に当接するまで押し込む。この結果、プローブ10は
弾性板ばね11により固定部材12に押圧され、プロー
ブ10は固定部材12と切欠き13の2個所により3点
支持され、摩擦力により確実に固定される。
【0015】プローブ10の材料にはタングステン、白
金、単結晶材料等が使用でき、ダイヤモンドのような高
硬度の材料でもよい。なお、本実施例ではプローブ10
の材料に円柱状の材料を使用しているが、何らこの形状
に拘泥する必要はなく、例えば四角柱の形状を持つプロ
ーブでもよい。特に、単結晶材料は四角形状を有するこ
とが多いため、この意味からも、また固定するためにも
四角柱のプローブは好適である。
【0016】弾性板ばね11の材料にはステンレス板が
好適に適用でき、本実施例では厚さ0.1mmのステン
レス材が用いられている。切欠き13は三次元に試料を
移動可能なステージを持つ炭酸ガスレーザー加工機を使
用し形成され、その際に生じた加工ばりは電解エッチン
グにより取り除かれる。
【0017】図4は第2の実施例の斜視図である。下面
に突起状のプローブ16aを有し板体状の原子間力顕微
鏡用の微小カンチレバープローブ16が、第1の実施例
と同様に固定部材12と弾性板ばね11との間に挿入さ
れている。従来のプローブ保持機構はこのようなカンチ
レバープローブ16には適用不能であったが、本プロー
ブ保持機構を用いることにより3点支持により、カンチ
レバープローブ16は固定部材12と弾性板ばねの切欠
き13の両側の2個所により容易に固定することがで
き、観察試料や観察方法に幅を持たせることができる。
【0018】図5は第1の実施例に示したプローブ保持
機構をSTMに搭載したブロック回路構成図である。ウ
ェットプロセスによるエッチング法を用いて作成され、
結晶面が(211)、(100)、(110)面で囲ま
れた形状のTiC単結晶から成るプローブ17が、第1
の実施例と同様に固定部材12と弾性板ばね11との間
に挿入され保持されている。プローブ17を三次元に走
査する微動用圧電素子15は粗動機構20に取り付けら
れている。粗動機構20には粗動制御回路21の出力が
接続されており、粗動制御回路21は粗動機構20を制
御し、プローブ17を観察試料22に接近させる働きを
持っている。観察試料22は試料台23上に固定されて
おり、バイアス電源24が接続されている。プローブ1
7の出力は電流電圧変換器25、対数変換器26、比較
器27、積分器28を介して増幅器29とマイクロコン
ピュータ30に接続され、増幅器29の出力は微動圧電
素子15に接続されている。また、三次元走査回路31
の出力は微動用圧電素子15とマイクロコンピュータ3
0に接続され、マイクロコンピュータ30の出力は表示
装置32に接続されている。
【0019】プローブ17はプローブ17を三次元に走
査する微動用圧電素子15の走査方向に対し、プローブ
17の先端の角度が最小になるようにセッティングされ
ている。また、観察試料22はHOPG(高配向グラフ
ァイト)上に液晶(10CB:4−デシル−4’−シア
ノビフェニル)分子を蒸着したものとされている。
【0020】本実施例の表面観察装置を大気中において
動作させた場合に、プローブ17と観察試料22との間
の距離が数nmの一定状態になるように制御するため
に、バイアス電源24が100mVの電圧に設定された
状態で、電流電圧変換器25、対数変換器26、比較器
27、積分器28、増幅器29を通じてプローブ17と
観察試料22との間に流れるトンネル電流による電気フ
ィードバック信号を微動用圧電素子15に与える。微動
用圧電素子15の変位量は、1kV当り1μmである。
この後に、電気的フィードバックをかけながら微動用圧
電素子15を三次元走査回路31により、プローブ17
と観察試料22との間に流れるトンネル電流が一定とな
るように走査し、この信号と積分器28からの信号をマ
イクロコンピュータ30で解析し、得られた試料表面の
分子像を表示装置32に出力する。この時のプローブ1
7の走査速度を、1ライン当り2mSの速度としたとこ
ろ、鮮明な液晶の分子像が観測された。
【0021】図6は情報処理装置にプローブ保持機構を
適用したブロック回路構成図である。記録位置の移動の
ための高精度XYステージ35の上にZ方向の粗動を行
う粗動機構36が取り付けられ、粗動機構36の上に記
録媒体37を載置している。記録媒体37は基板38の
上にAuにより基板電極39を形成し、その上にスクア
リリュウム−ビス−6−オクチルアズレン(以下SOA
Zと云う)の8層のLB(ラングミュア・ブロジェッ
ト)膜から成る記録層40が形成されている。ウエット
プロセスにより作製した単結晶TiCを用い、固定部材
12、板ばね11により保持されたプローブ41が圧電
素子を用いた微動制御機構42により記録層40に対向
して支持され、XYZ何れの方向にも微動可能とされて
いる。
【0022】基板電極39とプローブ41には記録層4
0に電圧を印加するための電源43が接続され、電源4
3に接続しているマイクロコンピュータ44によって、
記録/消去時には記録/消去用のパルス電圧を発生し、
再生時には情報再生用の一定電圧を発生するようになっ
ている。マイクロコンピュータ44の出力はまたXY走
査駆動回路45を介して微動制御機構42のXY方向駆
動用の圧電素子に接続されており、更にサーボ回路46
を介して微動制御機構42のZ方向駆動用の圧電素子に
接続されている。基板電極39とプローブ41にはプロ
ーブ電流増幅器47も接続され、プローブ41から基板
電極39に流れるトンネル電流を検出かつ増幅し、サー
ボ回路46とマイクロコンピュータ44に伝達する。ま
た、マイクロコンピュータ44には粗動機構36を駆動
するZ方向粗動回路48と、再生情報の表示等を行う表
示手段49も接続されている。
【0023】Z方向粗動回路48は粗動機構36を用い
て予め10-9A程度のプローブ電流が得られるように、
プローブ41と記録媒体37との距離を粗動制御する。
XY走査駆動回路45はXY方向にプローブ41を移動
させるように微動制御機構42を制御する。このとき、
サーボ回路46は再生時にはトンネル電流が一定になる
ように微動制御機構42を制御し、記録/消去時にはパ
ルス電圧を印加する時にプローブ電流が急激に変化する
ので、その間は出力電圧が一定になるようにホールド回
路を作動させながら、同様にトンネル電流が一定になる
ように微動制御機構42を制御する。これらの各機器
は、全てマイクロコンピュータ44により中央制御され
ている。
【0024】また、この場合の圧電素子を用いた移動制
御における機械的性能は次の通りである。 Z方向微動制御範囲:0.1nm〜1μm Z方向微動制御範囲:10nm〜10mm XY方向走査範囲:<0.1nm〜1μm 計測、制御許容誤差:<0.1nm
【0025】次に、基板電極39の上に形成されたSO
AZのLB膜(8層)を用いて記録・再生・消去の実験
を行った。SOAZを積層した記録層40を持つ記録媒
体37をXYステージ35の上に置き、先ず目視により
プローブ41の位置を決めて固定する。基板電極39に
対して、プローブ41に−1.0Vの電圧を印加し、ト
ンネル電流をモニタしながらプローブ41と記録層40
の表面との距離Zを調整する。その後に、微動制御機構
42を制御してプローブ41と記録層40の表面までの
距離Zを変えてゆくと、図7のグラフ図に示すような電
流特性が得られた。
【0026】なお、プローブ電流及びプローブ電圧を変
化させることで、プローブ41と記録層40の表面との
距離Zを調整することができるが、距離Zを適当な値で
一定に保持するためには、プローブ41を流れる電流Ip
が、10-7A>Ip>10-12A、好適には10-8A>Ip
>10-10 Aになるようにプローブ41に印加する電圧
を調整する必要がある。
【0027】先ず、図7のa領域の電流値である10-7
Aに制御電流を設定した。この条件下ではプローブ41
は記録層40の表面に接触している。サーボ回路46の
出力電圧を一定に保持し、プローブ41と基板電極39
との間に電気メモリ効果を生ずる閾値電圧を越えていな
い電圧である読取り用電圧0.5Vを印加して、電流値
を測定したところ、1μA以下のオフ状態を示した。
【0028】次に、オン状態を生ずる閾値電圧Von 以上
の電圧である三角パルス電圧を、プローブ41と基板電
極39との間に印加した後に、再び0.5Vの読取り用
電圧を印加して電流を測定したところ、0.3mA程度
の電流が流れオン状態となっていたことを示した。続い
て、オン状態からオフ状態にへ変化する閾値電圧Voff以
上の電圧である三角波パルス電圧を印加した後に、再び
0.5Vの読取り用電圧を印加して電流値を測定したと
ころ、この時の電流値は1μA以下でオフ状態に戻るこ
とが確認された。
【0029】次に、プローブ電圧を0.5Vとし、プロ
ーブ電流Ipを図7のb領域に相当する10-9Aに設定し
て、プローブ41と記録層40の表面との距離Zを制御
した。XYステージ35を一定の間隔の1μmピッチで
移動させながら、先と同様な波形を有する閾値電圧Von
以上のパルス電圧(Vmax=−15V)を印加して、オン
状態を書き込んだ。なお、パルス電圧を印加する際は、
サーボ回路46の出力電圧を一定にしている。
【0030】書き込まれた情報を読取る場合には、書き
込みの際と同じ条件でプローブ41と記録層40の表面
の距離を制御した後に、サーボ回路46の出力を一定に
したままでXYステージ35を駆動し、オン状態領域と
オフ状態領域とのプローブ電流での変化で直接読み取る
か、又はサーボ回路46を動作させたままつまりホール
ド回路オフのままXYステージ35を駆動し、オン状態
領域とオフ状態領域とでのサーボ回路46の出力電圧の
変化で情報を読み取ることができた。
【0031】本実施例では、オン状態領域でのプローブ
電流を記録前と又はオフ状態領域と比較して3桁以上変
化していることを確認した。更に、書き込みの際と同じ
条件でプローブ41と記録層40の表面との距離を制御
した後にサーボ回路46の出力を一定に保持し、プロー
ブ電圧を閾値電圧Voff以上の8Vに設定して、再びXY
ステージ35を駆動して、記録位置をトレースした結
果、全ての記録状態が消去され、オフ状態に遷移したこ
とも確認された。
【0032】XYステージ35を駆動する代りにXY走
査駆動回路45を動作させ、微動制御機構42を駆動し
て、0.01μm間隔に前述と同じ条件で記録・再生・
消去の実験を行っても、同様な結果が得られた。即ち、
書き込み後の記録層40の表面との距離を一定に保持し
た後に、サーボ回路46の出力を一定にし、その後に微
動制御機構42を駆動して記録位置をトレースしたとこ
ろ、0.01μm周期で3桁以上のプローブ電流の変化
を確認できた。また、同じ条件でプローブ電圧を8Vに
設定し、記録位置をトレースした結果、0.01μm周
期の記録状態は全て消去されることも確認された。上述
の記録・再生・消去実験を繰り返して行っても、安定し
た結果が得られた。
【0033】次に、微動制御機構42を用いて、0.0
01μmから0.01μmの間の種々のピッチで長さ1
μmのストライプを上述の方法で書込み、分解能を測定
したところ、0.01μm以上のピッチでは常に3桁以
上のプローブ電流の変化が書き込みピッチと同じピッチ
で確認された。
【0034】これらの実験に用いた記録媒体37は次の
ように作成した。即ち、光学研磨したガラス基板38を
中性洗剤及びトリクレンを用いて洗浄した後に、下引き
層としてCrを真空蒸着法により50オングストローム
の厚さで堆積させ、更にAuを同法により400オング
ストロームの厚さで蒸着して、基板電極39を形成す
る。次に、SOAZを濃度0.2mg/mlで溶かした
クロロホルム溶液を20℃の水相上に展開し、水面上に
単分子膜を形成した。溶媒の蒸発を待ち単分子膜の表面
圧を20mN/mまで高め、更にこれを一定に保持しな
がらガラス基板38を水面を横切るように速度5mm/
分で静かに浸漬し、更に引上げて2層のY型単分子膜の
累積を行う。この操作を4回繰り返すことで、SOAZ
を積層した記録層40を持つ記録媒体37が作成され
る。
【0035】電流−電圧特性においてメモリスイッチン
グ現象を有する電気メモリの効果は、上述の有機単分子
膜、その累積膜等の薄膜を一対の電極間に配置させた状
態で、それぞれ異なる2つ以上の導電率を示す状態のオ
ン状態、オフ状態に遷移させることが可能な閾値を越え
た電圧を印加することにより、可逆的に低抵抗状態(オ
ン状態)及び高抵抗状態(オフ状態)への遷移つまりス
イッチングさせることができる。また、それぞれの状態
は電圧を印加しなくとも保持つまりメモリしておくこと
ができる。
【0036】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るプロー
ブ保持機構は、プローブの保持のために自由端に切欠き
を有する弾性板ばねを使用しているので、観察目的に応
じた種々のプローブを容易にかつ確実に固定でき交換も
容易に行うことができ、また表面観察装置や情報処理装
置に適用した場合に、観察目的に応じた種々のプローブ
が使用可能となり、装置性能を向上させることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施例の斜視図である。
【図2】断面図である。
【図3】作用説明図である。
【図4】第2の実施例の斜視図である。
【図5】プローブ保持機構をSTMに適用した場合のブ
ロック回路構成図である。
【図6】プローブ保持機構を情報処理装置に適用した場
合のブロック回路構成図である。
【図7】プローブと記録層の表面との距離とプローブ電
流との関係のグラフ図である。
【図8】従来例の断面図である。
【図9】従来例の断面図である。
【図10】従来例の断面図である。
【符号の説明】
10、17、41 プローブ 11 弾性板ばね 12 固定部材 13 切欠き 14 保持部材 15 微動用圧電素子
フロントページの続き (72)発明者 畑中 勝則 東京都大田区下丸子三丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 プローブを固定する平面部を有する固定
    部材と、前記プローブを押圧する自由端に切欠きを設け
    た弾性板ばねとから成ることを特徴とするプローブ保持
    機構。
  2. 【請求項2】 前記弾性板ばねは前記固定部材の一部に
    接合した請求項1に記載のプローブ保持機構。
  3. 【請求項3】 前記弾性板ばねの中間部を、塑性変形に
    より折り曲げばね性を持たせた請求項1に記載のプロー
    ブ保持機構。
  4. 【請求項4】 前記切欠きの形状は三角形状とした請求
    項1に記載のプローブ保持機構。
  5. 【請求項5】 前記プローブを走査型トンネル顕微鏡又
    は原子間力顕微鏡に適用した請求項1に記載のプローブ
    保持機構。
  6. 【請求項6】 前記プローブと記録層との間に流れるト
    ンネル電流又は前記プローブと記録層との間に働く原子
    間力の変動から、前記記録層に記録された情報を読み取
    る情報処理装置に前記プローブを適用した請求項1に記
    載のプローブ保持機構。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0871166A1 (en) * 1997-04-09 1998-10-14 Seiko Instruments Inc. Apparatus for machining, recording, or reproducing, using scanning probe microscope
EP0871006A1 (en) * 1997-04-09 1998-10-14 Seiko Instruments Inc. Scanning probe microscope
EP0864899A3 (en) * 1997-03-12 2000-08-02 Seiko Instruments Inc. Scanning near-field optical microscope
KR100526217B1 (ko) * 1997-04-10 2006-01-12 에스아이아이 나노 테크놀로지 가부시키가이샤 주사식 프로브 현미경을 이용한 가공장치와, 주사식 프로브 현미경을 이용한 기록 및 재생장치
WO2011126232A2 (ko) * 2010-04-05 2011-10-13 (주)나노포커스 원자현미경

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0864899A3 (en) * 1997-03-12 2000-08-02 Seiko Instruments Inc. Scanning near-field optical microscope
EP0871166A1 (en) * 1997-04-09 1998-10-14 Seiko Instruments Inc. Apparatus for machining, recording, or reproducing, using scanning probe microscope
EP0871006A1 (en) * 1997-04-09 1998-10-14 Seiko Instruments Inc. Scanning probe microscope
KR19980081247A (ko) * 1997-04-09 1998-11-25 이토기요시 주사식 프로브 현미경
JPH10283972A (ja) * 1997-04-10 1998-10-23 Seiko Instr Inc 走査型プローブ顕微鏡を用いた加工、記録、再生装置
KR100526217B1 (ko) * 1997-04-10 2006-01-12 에스아이아이 나노 테크놀로지 가부시키가이샤 주사식 프로브 현미경을 이용한 가공장치와, 주사식 프로브 현미경을 이용한 기록 및 재생장치
WO2011126232A2 (ko) * 2010-04-05 2011-10-13 (주)나노포커스 원자현미경
WO2011126232A3 (ko) * 2010-04-05 2012-03-15 (주)나노포커스 원자현미경
KR101218177B1 (ko) * 2010-04-05 2013-01-18 (주)나노포커스 원자현미경

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