JPH0518049B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0518049B2 JPH0518049B2 JP59172210A JP17221084A JPH0518049B2 JP H0518049 B2 JPH0518049 B2 JP H0518049B2 JP 59172210 A JP59172210 A JP 59172210A JP 17221084 A JP17221084 A JP 17221084A JP H0518049 B2 JPH0518049 B2 JP H0518049B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- strain
- force
- shaped elastic
- detection device
- robot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 35
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
- G01L5/16—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force
- G01L5/161—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force using variations in ohmic resistance
- G01L5/1627—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force using variations in ohmic resistance of strain gauges
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(発明の利用分野)
この発明は、例えばロボツトの手先部で物体を
把持して所定の作業を実行する産業用ロボツトの
手先部に作用する力やモーメントを検出するため
の力検出装置に関するものである。
把持して所定の作業を実行する産業用ロボツトの
手先部に作用する力やモーメントを検出するため
の力検出装置に関するものである。
(従来の技術)
産業用ロボツトにおいては、ロボツト手先部の
作業動作を制御するために、ロボツトの手先部に
作用する力やモーメントを検出するための力検出
装置が必要になる。第7図には、産業用ロボツト
の一例が示されており、複数の関節を有するロボ
ツトアーム1の先端に把持機構11により開閉動
作するロボツト手先部10が取り付けられてい
る。このロボツトは、ロボツト手先部10で部品
4をつかみ、基台2上へ供給された物体3の内孔
へこの部品4を挿入する作業を繰り返し実行す
る。このロボツト手先部10とロボツトアーム1
との間に力検出装置5が取り付けられている。
作業動作を制御するために、ロボツトの手先部に
作用する力やモーメントを検出するための力検出
装置が必要になる。第7図には、産業用ロボツト
の一例が示されており、複数の関節を有するロボ
ツトアーム1の先端に把持機構11により開閉動
作するロボツト手先部10が取り付けられてい
る。このロボツトは、ロボツト手先部10で部品
4をつかみ、基台2上へ供給された物体3の内孔
へこの部品4を挿入する作業を繰り返し実行す
る。このロボツト手先部10とロボツトアーム1
との間に力検出装置5が取り付けられている。
力検出装置5は、作業中に部品4と物体3との
間に作用する力やモーメントを検出して、両者間
の位置ずれ状態を検出し、検出情報をコンピユー
タを用いた制御回路へ入力して、ロボツトの作業
動作を修正制御する。
間に作用する力やモーメントを検出して、両者間
の位置ずれ状態を検出し、検出情報をコンピユー
タを用いた制御回路へ入力して、ロボツトの作業
動作を修正制御する。
従来の力検出装置の一つに米国ドレイバー研究
所で開発されたものがある。これは、第8図に示
すように、2個のリング6,7をつなぐ3本の柱
8に6組の歪ゲージ9を粘着し、3本の柱8の歪
(引張、圧縮、捩れ)を検出し、2個のリング6,
7間に働く6自由度の外力(X,Y,Z軸方向の
力とその軸回りのモーメント)を算出するもので
ある。
所で開発されたものがある。これは、第8図に示
すように、2個のリング6,7をつなぐ3本の柱
8に6組の歪ゲージ9を粘着し、3本の柱8の歪
(引張、圧縮、捩れ)を検出し、2個のリング6,
7間に働く6自由度の外力(X,Y,Z軸方向の
力とその軸回りのモーメント)を算出するもので
ある。
第9図に示す別の従来例においては、4本の放
射状に伸びたビーム12の曲げ歪と、4本の垂直
に伸びた柱13の曲げ歪を8ケ所の歪ゲーム14
で検出し、中心の軸15に加わる6自由度の外力
を算出している。
射状に伸びたビーム12の曲げ歪と、4本の垂直
に伸びた柱13の曲げ歪を8ケ所の歪ゲーム14
で検出し、中心の軸15に加わる6自由度の外力
を算出している。
しかしながら、これらの構造では、3本または
4本の柱の相当する分の検出装置の外形、とくに
高さ方向が大きくなり、ロボツト手先部に用いた
場合、操作性が悪くなつたり、装置の重量が重く
なるという問題があつた。
4本の柱の相当する分の検出装置の外形、とくに
高さ方向が大きくなり、ロボツト手先部に用いた
場合、操作性が悪くなつたり、装置の重量が重く
なるという問題があつた。
これに対し、第10図に示す別の従来例におい
ては、4本の弾性ビーム16を中心軸17からリ
ング18へ放射状に配してあるため装置を薄型に
することができる。
ては、4本の弾性ビーム16を中心軸17からリ
ング18へ放射状に配してあるため装置を薄型に
することができる。
この力検出装置においては、各弾性ビーム16
の上面に2枚、下面に2枚合わせて4枚の歪ゲー
ジa(a1,a2,a3,a4)が貼着してあり、各弾性
ビーム16の左面に2枚、右面に2枚合わせて4
枚の歪ゲージA(A1,A2,A3,A4)が貼着して
ある。
の上面に2枚、下面に2枚合わせて4枚の歪ゲー
ジa(a1,a2,a3,a4)が貼着してあり、各弾性
ビーム16の左面に2枚、右面に2枚合わせて4
枚の歪ゲージA(A1,A2,A3,A4)が貼着して
ある。
そして、歪ゲージa(a1,a2,a3,a4)は第1
2図に示すようにホイートストンブリツジ回路を
組み、Z軸方向の力FZを検出する。また、歪ゲ
ージA(A1,A2,A3,A4)は第13図に示すよ
うにホイートストンブリツジ回路を組み、Y軸方
向の力FYを検出する。
2図に示すようにホイートストンブリツジ回路を
組み、Z軸方向の力FZを検出する。また、歪ゲ
ージA(A1,A2,A3,A4)は第13図に示すよ
うにホイートストンブリツジ回路を組み、Y軸方
向の力FYを検出する。
歪ゲージa(a1,a2,a3,a4)はY軸方向の力
FYが作用したとき歪まないために出力しない。
このように、1本の弾性ビーム16から2方向の
力を検出する。
FYが作用したとき歪まないために出力しない。
このように、1本の弾性ビーム16から2方向の
力を検出する。
実際の歪出力は第14図のモデルで求める。
簡単のため2本の弾性ビーム16について考え
る。
る。
力FZ,FYは次の式のように求まる。
FZ=a+a …(i)
FY=A+A …(ii)
ここで力FZの歪出力εFZ、力FYの歪出力εFYは
簡易式で次のようになる。
簡易式で次のようになる。
E:ヤング率
εFZ=2{FZ・l/2(x/l−1/4)/(E・bh
2/6)} …(iii) εFY=2{FY・l/2(x/l−1/4)/(E・hb
2/6)} …(iv) この歪出力をεFZ,εFYを電気的に増幅し、FZ,
FYの力に変換する。
2/6)} …(iii) εFY=2{FY・l/2(x/l−1/4)/(E・hb
2/6)} …(iv) この歪出力をεFZ,εFYを電気的に増幅し、FZ,
FYの力に変換する。
(発明が解決しようとする問題点)
力検出装置で歪出力εFZ,εFYを左右する要因
の中で一番大きいのは2乗項であり、歪出力εFZ
ではビーム厚のhであり、歪出力εFYではビーム
厚はbとなる。したがつて、力FZの感度を上げ
るためビーム厚hを細くして強度を幅bでもたす
べく、この幅bを太くすると、力FYの感度が悪
くなり、FZ,FYの力に応じたビーム設計ができ
ないという問題点があつた。
の中で一番大きいのは2乗項であり、歪出力εFZ
ではビーム厚のhであり、歪出力εFYではビーム
厚はbとなる。したがつて、力FZの感度を上げ
るためビーム厚hを細くして強度を幅bでもたす
べく、この幅bを太くすると、力FYの感度が悪
くなり、FZ,FYの力に応じたビーム設計ができ
ないという問題点があつた。
本発明は上記の問題点を解消するものであつ
て、その目的とするところは、装置の厚さを薄く
することができて、ロボツト等の手先部への取付
けが容易になり、操作性の向上を図ることができ
るばかりか、作用した力成分に応じた効率的な歪
出力をそれぞれ独立して検出することができ、ま
たその寸法設定も容易になり、T型弾性ビームの
位置合わせなどの締結時の諸問題も解消される薄
型力検出装置を提供することにある。
て、その目的とするところは、装置の厚さを薄く
することができて、ロボツト等の手先部への取付
けが容易になり、操作性の向上を図ることができ
るばかりか、作用した力成分に応じた効率的な歪
出力をそれぞれ独立して検出することができ、ま
たその寸法設定も容易になり、T型弾性ビームの
位置合わせなどの締結時の諸問題も解消される薄
型力検出装置を提供することにある。
(問題点を解決するための手段)
上記の目的を達成するために本発明は、外力作
用を受ける軸部の周囲に同一長さの3本のT型弾
性ビームの脚部を等方向に放射状に配すると共
に、T型弾性ビームの頭部を連結部を介して連ね
てリング状にし、T型弾性ビームの脚部に、この
脚部の、軸部の軸線方向に対して垂直方向の曲げ
歪を検出する歪検出器を設け、T型弾性ビームの
頭部に、この頭部の捩り歪を検出する歪検出器を
設けたことを特徴とする。
用を受ける軸部の周囲に同一長さの3本のT型弾
性ビームの脚部を等方向に放射状に配すると共
に、T型弾性ビームの頭部を連結部を介して連ね
てリング状にし、T型弾性ビームの脚部に、この
脚部の、軸部の軸線方向に対して垂直方向の曲げ
歪を検出する歪検出器を設け、T型弾性ビームの
頭部に、この頭部の捩り歪を検出する歪検出器を
設けたことを特徴とする。
(作用)
かかる構成により、装置の厚さを薄くすること
ができるので、ロボツト等の手先部への取付けが
容易になり、操作性の向上を図ることができる。
また、T型弾性ビームのそれぞれの二辺(頭部及
び脚部)に歪検出器を設けたので、作用した力成
分に応じた効率的な歪出力をそれぞれ独立して検
出することができ、またその寸法設定も容易にな
るので、各弾性ビームの位置合わせなどの締結時
の諸問題も解消される。また小型であるため、ロ
ボツト把持機構のハンドル部への取付けも可能で
ある。
ができるので、ロボツト等の手先部への取付けが
容易になり、操作性の向上を図ることができる。
また、T型弾性ビームのそれぞれの二辺(頭部及
び脚部)に歪検出器を設けたので、作用した力成
分に応じた効率的な歪出力をそれぞれ独立して検
出することができ、またその寸法設定も容易にな
るので、各弾性ビームの位置合わせなどの締結時
の諸問題も解消される。また小型であるため、ロ
ボツト把持機構のハンドル部への取付けも可能で
ある。
(実施例)
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。
る。
第1図は、この発明による力検出装置の検出部
20を示している。検出部20は、中心部に軸部
21を有し、ここから等方向に3本のT型弾性ビ
ーム22の脚部22aが放射状に延びており、こ
の3本の脚部22aは共に同一長さとなつてい
る。各T型弾性ビーム22の頭部22bは連結部
23を介してリング状に連結されている。各T型
弾性ビーム22の脚部22aおよび頭部22bに
は、それぞれ歪ゲージ24,25および26,2
7が貼着されている。各脚部22aに貼着された
歪ゲージ24,25は、それぞれ曲げ歪を検出す
る歪検出器S1,S2,S3を構成し、各頭部22bに
貼着された歪ゲージ26,27は、それぞれ捩り
歪を検出する歪検出器T1,T2,T3を構成する。
このような検出部20は、第2図に示すように、
ハウジング28,29により保持され、中心部の
軸部21にはフランジ30が取付けられて力検出
装置5を構成する。フランジ30は、第7図の把
持機構11に取付けられ、ハウジング29はロボ
ツトアーム1に取付けられるが、この発明による
力検出装置5は小型にできるので、第3図に示す
ように、把持機構11のハンド10間に装着して
ハンドの力制御を行うこともできる。
20を示している。検出部20は、中心部に軸部
21を有し、ここから等方向に3本のT型弾性ビ
ーム22の脚部22aが放射状に延びており、こ
の3本の脚部22aは共に同一長さとなつてい
る。各T型弾性ビーム22の頭部22bは連結部
23を介してリング状に連結されている。各T型
弾性ビーム22の脚部22aおよび頭部22bに
は、それぞれ歪ゲージ24,25および26,2
7が貼着されている。各脚部22aに貼着された
歪ゲージ24,25は、それぞれ曲げ歪を検出す
る歪検出器S1,S2,S3を構成し、各頭部22bに
貼着された歪ゲージ26,27は、それぞれ捩り
歪を検出する歪検出器T1,T2,T3を構成する。
このような検出部20は、第2図に示すように、
ハウジング28,29により保持され、中心部の
軸部21にはフランジ30が取付けられて力検出
装置5を構成する。フランジ30は、第7図の把
持機構11に取付けられ、ハウジング29はロボ
ツトアーム1に取付けられるが、この発明による
力検出装置5は小型にできるので、第3図に示す
ように、把持機構11のハンド10間に装着して
ハンドの力制御を行うこともできる。
各T型弾性ビーム22に貼着された歪ゲージ
は、それぞれ歪ゲージ24,25と26,27と
で第4図に示すようなホイーストンブリツジ回路
31を構成し、出力の増大が図られる。各曲げ歪
検出器S1〜S3と各捩り歪検出器T1〜T3の合計6
個の出力は、増幅器32を介してマルチプレクサ
33へ入力され、A/D変換器34を介してコン
ピユータ回路35に取込まれる。
は、それぞれ歪ゲージ24,25と26,27と
で第4図に示すようなホイーストンブリツジ回路
31を構成し、出力の増大が図られる。各曲げ歪
検出器S1〜S3と各捩り歪検出器T1〜T3の合計6
個の出力は、増幅器32を介してマルチプレクサ
33へ入力され、A/D変換器34を介してコン
ピユータ回路35に取込まれる。
次に各歪検出器S1〜S3,T1〜T3からどのよう
にして6自由度の力(FX〜MZ)が検出されるか
について、第5図を参照して説明する。第5図に
おいては矢印方向をプラスの出力とする。まず
FX,FY,MZの力とモーメントは、曲げ歪検出器
S1〜S3の出力から検出される。FZ,MX,MYの力
とモーメントは捩り歪検出器T1〜T3の出力から
検出される。したがつて、各歪検出器の出力を
εS1〜εT3としたとき、次の関係式が成立する。
にして6自由度の力(FX〜MZ)が検出されるか
について、第5図を参照して説明する。第5図に
おいては矢印方向をプラスの出力とする。まず
FX,FY,MZの力とモーメントは、曲げ歪検出器
S1〜S3の出力から検出される。FZ,MX,MYの力
とモーメントは捩り歪検出器T1〜T3の出力から
検出される。したがつて、各歪検出器の出力を
εS1〜εT3としたとき、次の関係式が成立する。
上式の出力合成マトリクスは、第1図におい
て、曲げ歪検出器S1を貼付しているT型弾性ビー
ム16とX軸との角度がθ=15゜の時の値を示す。
て、曲げ歪検出器S1を貼付しているT型弾性ビー
ム16とX軸との角度がθ=15゜の時の値を示す。
FXの力について考える。
第1図において、FXの力が作用した時、S1,
S2,S3の曲げ歪検出器には、座標の関係上次の曲
げ歪が発生する。
S2,S3の曲げ歪検出器には、座標の関係上次の曲
げ歪が発生する。
εS1=−sin15゜ε
εS2=−sin45゜ε
εS3=sin75゜ε
となる。この時、捩り歪検出器T1,T2,T3にも
曲げ歪は発生するが第6図の捩り歪を検出する歪
ゲージ26,27を貼付しているため、曲げ歪は
検出せず、εT1=εT2=εT3=0になる。
曲げ歪は発生するが第6図の捩り歪を検出する歪
ゲージ26,27を貼付しているため、曲げ歪は
検出せず、εT1=εT2=εT3=0になる。
よつて、以上の歪出力を()式に代入する。
FX=K{(−sin15゜)2ε+(−sin45゜)2ε+(sin7
5゜)2ε} =K{0.067ε+0.500ε+0.933ε} =1.500ε・K FY=K{sin75゜・(−sin15゜)ε+(−sin45゜)2ε
+
(−sin15゜)・sin75゜ε} =K{−0.250ε+0.500ε−0.250ε} =0 FZ=0 MX=MY=0 MZ=K{−sin15゜ε−sin45゜ε+sin75゜} =K{−0.259ε−0.707ε+0.966ε} =0 従つて、FXに加わつた力は、出力合成マトク
クスでFX=1.500ε・Kとして求めることができ
る。
5゜)2ε} =K{0.067ε+0.500ε+0.933ε} =1.500ε・K FY=K{sin75゜・(−sin15゜)ε+(−sin45゜)2ε
+
(−sin15゜)・sin75゜ε} =K{−0.250ε+0.500ε−0.250ε} =0 FZ=0 MX=MY=0 MZ=K{−sin15゜ε−sin45゜ε+sin75゜} =K{−0.259ε−0.707ε+0.966ε} =0 従つて、FXに加わつた力は、出力合成マトク
クスでFX=1.500ε・Kとして求めることができ
る。
これは、同時にFX,MYなどの複合荷重が加わ
つた場合でも各荷重に分離して検出できる。
つた場合でも各荷重に分離して検出できる。
上記の実施例によれば第6図のU方向の力は、
捩り歪検出器T1の捩り歪を検出するホイートス
トンブリツジ回路で検出する。また、第6図のV
方向の力は曲げ歪検出器S1の曲げ歪検出用ブリツ
ジ回路で検出する。ここでそれぞれの出力は次の
式のように求まる。
捩り歪検出器T1の捩り歪を検出するホイートス
トンブリツジ回路で検出する。また、第6図のV
方向の力は曲げ歪検出器S1の曲げ歪検出用ブリツ
ジ回路で検出する。ここでそれぞれの出力は次の
式のように求まる。
εU=U/2b2h2・G …(v)
G:横弾性係数
εV=V・l/b1h2 1/6 …(vi)
上式のように、2つの力を検出するT型弾性ビ
ーム16において貼付位置が2つにわかれている
ため、単独で幅b1,b2、厚さh1,h2をいじること
ができ、各U,Vの力に応じた形を選択できる利
点がある。
ーム16において貼付位置が2つにわかれている
ため、単独で幅b1,b2、厚さh1,h2をいじること
ができ、各U,Vの力に応じた形を選択できる利
点がある。
(発明の効果)
以上説明したように、本発明の力検出装置は、
外力作用を受ける軸部の周囲に同一長さの3本の
T型弾性ビームの脚部を等方向に放射状に配する
と共に、T型弾性ビームの頭部を連結部を介して
連ねてリング状にし、T型弾性ビームの脚部に、
この脚部の、軸部の軸線方向に対して垂直方向の
曲げ歪を検出る歪検出器を設け、T型弾性ビーム
の頭部に、この頭部の捩り歪を検出する歪検出器
を設けて構成される。
外力作用を受ける軸部の周囲に同一長さの3本の
T型弾性ビームの脚部を等方向に放射状に配する
と共に、T型弾性ビームの頭部を連結部を介して
連ねてリング状にし、T型弾性ビームの脚部に、
この脚部の、軸部の軸線方向に対して垂直方向の
曲げ歪を検出る歪検出器を設け、T型弾性ビーム
の頭部に、この頭部の捩り歪を検出する歪検出器
を設けて構成される。
これにより、装置の厚さを薄くすることができ
るので、ロボツト等の手先部への取付けが容易に
なり、操作性の向上を図ることができ、また、T
型弾性ビームのそれぞれの二辺(頭部及び脚部)
に歪検出器を設けたので、作用した力成分に応じ
た効率的な歪出力をそれぞれ独立して検出するこ
とができ、またその寸法設定も容易になるので、
各弾性ビームの位置合わせなどの締結時の諸問題
も解消される。また小型であるため、ロボツトの
把持機構のハンド部への取付けも可能である。
るので、ロボツト等の手先部への取付けが容易に
なり、操作性の向上を図ることができ、また、T
型弾性ビームのそれぞれの二辺(頭部及び脚部)
に歪検出器を設けたので、作用した力成分に応じ
た効率的な歪出力をそれぞれ独立して検出するこ
とができ、またその寸法設定も容易になるので、
各弾性ビームの位置合わせなどの締結時の諸問題
も解消される。また小型であるため、ロボツトの
把持機構のハンド部への取付けも可能である。
第1図は本発明による力検出装置の検出部の平
面図、第2図は本発明による力検出装置の部分断
面正面図、第3図は本発明による力検出装置の取
付態様の一例を示す正面図、第4図は本発明にお
ける制御ブロツク図、第5図は本発明における検
出器からの検出歪と力成分およびモーメントの関
係を示す説明図、第6図は本発明における力検出
装置のT型弾性ビームの斜視図、第7図は産業用
ロボツトの一例を示す正面図、第8図は従来の力
検出装置の検出部を示す斜視図、第9図は従来の
力検出装置の検出部を示す斜視図、第10図は従
来の力検出装置の検出部を示す斜視図、第11図
は第10図に示す力検出装置の検出部の弾性ビー
ムの斜視図、第12図は曲げ歪検出回路図、第1
3図は捩り歪検出回路図、第14図は検出部の計
算用モデルの説明図である。 5……力検出装置、20……検出部、21……
軸部、22……T型弾性ビーム、23……連結
部、24〜27……歪ゲージ、28,29……ハ
ウジング、30……フランジ。
面図、第2図は本発明による力検出装置の部分断
面正面図、第3図は本発明による力検出装置の取
付態様の一例を示す正面図、第4図は本発明にお
ける制御ブロツク図、第5図は本発明における検
出器からの検出歪と力成分およびモーメントの関
係を示す説明図、第6図は本発明における力検出
装置のT型弾性ビームの斜視図、第7図は産業用
ロボツトの一例を示す正面図、第8図は従来の力
検出装置の検出部を示す斜視図、第9図は従来の
力検出装置の検出部を示す斜視図、第10図は従
来の力検出装置の検出部を示す斜視図、第11図
は第10図に示す力検出装置の検出部の弾性ビー
ムの斜視図、第12図は曲げ歪検出回路図、第1
3図は捩り歪検出回路図、第14図は検出部の計
算用モデルの説明図である。 5……力検出装置、20……検出部、21……
軸部、22……T型弾性ビーム、23……連結
部、24〜27……歪ゲージ、28,29……ハ
ウジング、30……フランジ。
Claims (1)
- 1 外力作用を受ける軸部の周囲に同一長さの3
本のT型弾性ビームの脚部を等方向に放射状に配
すると共に、T型弾性ビームの頭部を連結部を介
して連ねてリング状にし、T型弾性ビームの脚部
に、この脚部の、軸部の軸線方向に対して垂直方
向の曲げ歪を検出する歪検出器を設け、T型弾性
ビームの頭部に、この頭部の捩り歪を検出する歪
検出器を設けたことを特徴とする薄型力検出装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59172210A JPS6150030A (ja) | 1984-08-18 | 1984-08-18 | 薄型力検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59172210A JPS6150030A (ja) | 1984-08-18 | 1984-08-18 | 薄型力検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6150030A JPS6150030A (ja) | 1986-03-12 |
JPH0518049B2 true JPH0518049B2 (ja) | 1993-03-10 |
Family
ID=15937629
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59172210A Granted JPS6150030A (ja) | 1984-08-18 | 1984-08-18 | 薄型力検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6150030A (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6454324A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-01 | Nec Corp | Horizontal force detecting device |
JPH085025B2 (ja) * | 1991-05-31 | 1996-01-24 | ソニー・テクトロニクス株式会社 | ロボット・ハンド |
JP2767766B2 (ja) * | 1991-11-26 | 1998-06-18 | 川崎重工業株式会社 | 6軸力覚センサ |
JP4764619B2 (ja) * | 2004-08-23 | 2011-09-07 | 株式会社エー・アンド・デイ | 回転型分力計測装置 |
JP4585900B2 (ja) * | 2005-03-28 | 2010-11-24 | ファナック株式会社 | 六軸力センサ |
FR2917660B1 (fr) | 2007-06-25 | 2009-09-25 | Commissariat Energie Atomique | Pince pour robot manipulateur a precision de serrage amelioree et robot manipulateur comportant au moins une telle pince. |
JP6632204B2 (ja) * | 2015-03-13 | 2020-01-22 | キヤノン株式会社 | 駆動装置、ロボット装置、および物品の製造方法 |
JP6378381B1 (ja) * | 2017-03-02 | 2018-08-22 | 株式会社レプトリノ | 力覚センサ |
-
1984
- 1984-08-18 JP JP59172210A patent/JPS6150030A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6150030A (ja) | 1986-03-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4862751A (en) | Force-detecting apparatus | |
CN111094922B (zh) | 力传感器、扭矩传感器、力感测传感器、指尖力传感器及其制造方法 | |
KR102183179B1 (ko) | 스트레인게이지 방식의 다축 힘토크센서 | |
EP0177919A2 (en) | Method for calibrating transformation matrix of a force sensor | |
CN108981987A (zh) | 一种小维间耦合弹性梁六维力传感器 | |
JPH0518049B2 (ja) | ||
Okumura et al. | Development of a multistage six-axis force sensor with a high dynamic range | |
JP2767766B2 (ja) | 6軸力覚センサ | |
JPH0640039B2 (ja) | 力検出装置 | |
US20050120809A1 (en) | Robotic force sensing device | |
KR101280899B1 (ko) | 로봇 관절용 1축 토크 센서 | |
JPS60257335A (ja) | 力センサ | |
JPS6333647B2 (ja) | ||
JPH03245028A (ja) | 6軸力センサによる計測値の校正方法 | |
JPH01262431A (ja) | 力覚センサ | |
SU974155A1 (ru) | Датчик векторов силы и момента | |
KR0138568B1 (ko) | 힘/모멘트 측정장치 | |
JPS62162492A (ja) | 力検出装置 | |
JPS6098325A (ja) | 力覚センサ | |
JP2000266620A (ja) | 力覚センサ | |
JPH01119731A (ja) | 多軸力覚センサ | |
JPS59205297A (ja) | 外力検出装置 | |
JPS61162728A (ja) | 力検出装置 | |
KR101434889B1 (ko) | 1축 토크 센서 장치 및 이를 채용한 로봇 관절 | |
JPH0585853B2 (ja) |