JPH01119731A

JPH01119731A - 多軸力覚センサ

Info

Publication number: JPH01119731A
Application number: JP62277301A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Kigami; 博之木上; Hitoshi Tsukasaki; 塚崎　仁史
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1987-11-04
Filing date: 1987-11-04
Publication date: 1989-05-11

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野コ本発明は、例えばロボットのアーム部とフィンガ一部と
の間に装着等されて、力及びモーメントを検出するため
の力覚センサに関する。

［従来の技術］産業用ロボットにおいては、ダイレクトティーチングや
コンプライアンス機能等の力制御を行なうために、ロボ
ットのフィンガ一部に作用する力やモーメント等を検出
するための力覚センサが必要となる。

第８図〜第１０図は従来の代表的な力覚センサの構造を
示す。

第８Ａ図及び第８Ｂ図に示した従来のセンサは、４本の
弾性ビーム（ｌａ〜ｌｄ）の夫々の端部を、１つの中心
となる軸体３の位置で固定し、そこから４つの弾性ビー
ムを放射状に並べ、残りの端部を円形リングで固定する
ものである。そして、４つの歪ゲージ４を各ビームには
り付けて、各軸方向の力Ｆｘ　、Ｆｙ　、Ｆｚと、各軸
周りのモーメントＭ、、ＭＹ、Ｍｚを検出する。

第９図の力覚センサは平行平板機構を基礎とする。即ち
、２枚の平行部材（５，８）を弾性部材８ａ、８ｂとに
より平行に弾性支持し、平行部材６．７を弾性部材９ａ
、９ｂにより弾性支持するものである。各平板に歪ゲー
ジ４をはり付け、さらに平行部材７には、４つの開口（
１０ａ〜１゜ｄ）を特に設けることにより、各方向の力
とモーメントを独立に検出できるものである。

また、第１０図は、特開昭６１−５７８２５号の第１４
図に示された力覚センサである。即ち、放射中心１４か
ら、４つの梁構造体（１５８〜１５ｄ）が十文字に伸び
、そのうち、２つ直線状に並んだ２つの梁体１５ｂ、１
５ｄが上部環状体１２に結合され、梁体１５ａ、１５ｃ
が下部環状体１３に結合されている。各梁体には、Ｚ軸
方向の開口１７と、梁体の長尺方向に直交する開口１８
とが設けられており、梁体はこの開口の周りに歪むこと
により、３軸方向の力と３軸周りのモーメントとが検出
できる。

［発明が解決しようとする問題点］ところが、第８図に示したような従来例では、１６個の
歪ゲージからの出力に対して、前もっての較正によって
得られた補正係数をかけ合せた演算を行なわないと、各
方向の力とモーメントとを検出することはできない、従
って、この演算の必要性により、高速の力検知は不可能
になり、例えば、この力覚センサをロボットのハンドに
装着して、負荷力を検出しながらの高速作業は不可能と
なる。

また、第９図の力覚センサでは、各弾性部材に張られた
歪ゲージによって、各方向の力を独立に検出することは
可能になるが、装置の外形が大きくなって、ロボット等
の操作性が低下する、また、部品点数が多くなることか
らガタ等により誤差が生じてくる、３方向の力の合成に
比べてモーメント方向の合成が弱く、実際のロボット作
業には向いていない等の欠点がある。

第１０図の従来例では、上記２つの従来例が有する欠点
は解消しているものの、同図に示すように１つの梁体に
おける歪みが、直列状に発生するという点に根本的な欠
点がある。即ち、例えば、梁体１５ｂに着目すれば、開
口１７により、Ｚ軸周りのモーメントとＸ軸方向に力と
が検出で杜、開口１８により、Ｘ軸周りのモーメントと
２軸方向の力とが検出できる０本来、歪ゲージには各軸
の力が分離独立して印加されるのが、精度の面からでも
理想的であるが、ところが、この従来例では、２軸以上
の方向の力が同時に加わると、１つの梁体は２つの方向
で変位するために、１つの梁体における１つの歪ゲージ
の１つの方向の変位は、他の方向の変位の影響を直接的
に受けることになる。即ち、軸ズレと干渉力の発生の問
題である。

そこで、本発明は上述従来例の欠点を除去するために提
案されたものでその目的は、各方向の力等の成分が独立
して精度良く、かつ高速に測定できる多軸力覚センサを
提案するところにある。

［問題点を解決するための手段及び作用］上記課題を達
成するための本発明の１つの構成は、互いに直交する３
つの軸の軸方向及びそれらの軸周りにおいて、第１と第
２の力作用部材間において伝達される力及びモーメント
を検出する力覚センサであって、開口が、前記３つの軸
のうちの第１の軸方向を向き、放射状に連結された４つ
の第１の平行梁構造部材と、これらの４つの第１の平行
梁構造部材を前記第１の力作用部材に固定する第１の固
定部材と、開口が前記第１の軸に直交する方向を向き、
放射状に連結された４つの第２の平行梁構造部材と、前
記４つの第１の平行梁構造部材と４つの第２の平行梁構
造部材とを、前記第１の軸方向で４つの第２の平行梁構
造部材を撓み自在に結合する結合部材と、前記４つの第
２の平行梁構造部材を前記第２の力作用部材に固定する
第２の固定部材とからなり、前記第１と第２の平行梁構
造部材のうち、互いに放射中心をはさんで対向する２つ
の平行梁構造部材の梁筋に、少なくとも１つづつ撓み検
出手段を設けたことを特徴とする。

同じく同一目的を達成するための本発明に係る他の構成
は、互いに直交する少なくとも２つ以上の軸の軸方向及
びそれらの軸周りにおいて、第１と第２の部材間におい
て伝達される力及びモーメントを検出する力覚センサで
あって、開口が、前記２つの軸のうちの第１の軸方向を
向き、直線状に連結された２つの第１の平行梁構造部材
と、これらの２つの第１の平行梁構造部材を前記第１の
力作用部材に固定する第１の固定部材と、開口が前記第
１の軸に直交する方向を向き、互いに直線状に並び、か
つ、前記２つの第１の平行梁構造部材と互いに放射状に
連結された２つの第２の平行梁構造部材と、前記２つの
第２の平行梁構造部材を前記第２の力作用部材に固定す
る第２の固定部材とからなり、前記第１と第２の平行梁
構造部材のうち、互いに放射中心をはさんで対向する２
つの平行梁構造部材の梁筋に、少なくとも１つづつ撓み
検出手段を設けたことを特徴とする。

［実施例］以下添付図面を参照して本発明に係る実施例を説明する
。

第１図は、ロボットハンド１００に取付けられるところ
の６軸の力覚センサの分解図である。この力覚センサは
、第２Ａ図〜第２Ｃ図に示したような片持ち支持構造の
梁体を８つ巧みに組合せることにより実現される。この
片持ち支持梁体は第２Ａ図に示すように、２枚の並行な
弾性板を組合せて構成され、Ｚ軸方向の力が加わると、
第２Ｂ図のように変形し、Ｙ軸周りの偶力が加わると、
第２Ｃ図のように変形する。それらの歪を歪ゲージによ
り検出する。第２Ａ図に示したような位置に歪ゲージ４
を２つ取付けると、第２Ｂ図の平行力の印加状態では、
２つの歪ゲージからの出力は伸長に基づいた出力であり
、一方、第２Ｃ図の偶力印加では、一方の歪ゲージ出力
は伸長であり、他方の歪ゲージ出力は圧縮である。

第２Ａ図〜第２Ｃ図をみても明らかなように、片持ち支
持梁体はＹ軸に平行な開口を有している結果、第２Ｂ図
、第２Ｃ図のような変形をとげる。即ち、開口の延長方
向が梁体の変形を決するといえる。従って、開口の延長
方向が例えばＺ軸に平行であれば、検出される力はＹ方
向の力及び２軸周りのモーメントである。また、Ｘ、Ｙ
方向の力に対する変形、そしてＸ軸、Ｙ軸周りの変形に
は強いことになる。

さて、第１図の実施例に係る力覚センサは、略十文字形
状の構造体２００と、丸干文字形状の構造体３００と、
フィンガー取付は部材４００とからなる。十文字構造体
２００は、Ｚ軸方向に伸びた開口を有する４つの片持ち
支持梁体（Ａ、Ｂ。

Ｃ，Ｄ）が、それらの一端において柱体２０２により放
射状に連結され、片持ち支持梁体ＡとＣの夫々の他端に
は、ロボットアーム１００に固定するための固定部材２
０１ａ、２０１ｂが設けられ、片持ち支持梁体ＢとＤの
夫々の他端には、丸干文字構造体３００に結合するため
の結合部材２０２ａ、２０２ｂが設けられている。固定
部材及び結合部材には、ボルト留め用の穴が設けられて
いる。

丸干文字構造体３００は、Ｘ軸方向に開口した開口をも
つ２つの片持ち支持梁体Ｅ、Ｇと、Ｙ軸方向に開口した
２つの片持ち支持梁体Ｆ、Ｈとが、柱体３０２を中心に
放射状に配設され、６片持ち支持梁体の他端は、リング
３０１により一体に連結される。

フィンガー取付は部材４００は、丸干文字構造体３００
の′柱体３０２のボルト穴に固定されるべき凸状部４０
１を有し、このフィンガー取付は部材が、ロボットの把
持用のフィンガー（不図示）に固定される。

第１図の斜線部分は歪ゲージである。これらの歪ゲージ
の取付は位置の詳細は第４Ａ図、第４Ｂ図に示す。

かくして、第１図に示された如き、不図示のフィンガー
とアーム１００との間に取付けられた力覚センサ１００
０は、フィンガーに作用する６軸の力、偶力を検知する
。尚、片持ち支持梁体はムクの弾性材料から製造される
ことが望ましい。

十文字構造体２００．丸干文字構造体３００゜フィンガ
ー取付は部材４００とが組み合された力覚センサ１００
０の、Ｘ軸方向からみた状態を第３Ａ図に示す。図中の
破線はボルトを示す。この力覚センサ１０００に対して
Ｙ軸方向の右から左に向く力がフィンガーに加わった状
態を第３Ｂ図に示す。この場合は、十文字構造体２００
の片持ち支持梁体Ｂ、Ｄが変形することになる。第３Ａ
図の状態の力覚センサ１ｏｏｏに、Ｚ軸方向で下から上
向きに力が加わって変形した状態を第３Ｃ図に示す、こ
のときは、丸干文字構造体３００の片持ち支持梁体Ｅ、
Ｆ、Ｇ、Ｈが変形することになる。

第４Ａ図、第４Ｂ図は夫々、十文字構造体２００、丸干
文字構造体３００への歪ゲージの貼付は位置を示す図で
ある。第４Ａ図の十文字構造体２００には、全部で１２
個の歪ゲージが張られており、これらの歪ゲージは４個
ずつ３グループを形成して、Ｆｘ、ＦＹ、Ｍ、を検出す
る。即ち、梁体Ｃの向こう側の弾性平板２１０に取付け
られた歪ゲージＲＸＩ＋　ＲＸ２と、梁体Ａのこちら側
の平板２０６に取付けられたＲＸ３＋　ＲＸ４とが力Ｆ
ｘを決定する。梁体Ｂの右側の平板２０８に付けられた
ＲＹｌ＋　ＲＹ２と梁体りの左側の平板２１２に付けら
れたＲＹ３＋　ＲＹ４とにより力ＦＹが決定される。ま
た、梁体Ｃのこちら側の平板２０６に付けられた歪ゲー
ジＲＺ１＋　ＲＺ□と梁体Ａのこちら側の平板２０９に
付けられたＲＺ３＊　Ｉ’ｔｚ４とによりモーメントＭ
２が決定される。

第４Ｂ図の丸干文字構造体３００にも、全部で１２個の
歪ゲージが張られており、これらの歪シ−ジは４個ずつ
３グループを形成して、モーメントＭｘ、Ｍｙモして力
Ｆｚを検出する。即ち、梁体Ｅの上側の弾性平板３２０
の中心寄りに取付けられた歪ゲージｒＸｌ＋ｒＸ２と、
梁体Ｇの上側の弾性平板３２２に取付けられたｒＸ３＋
ｒに４とがモーメントＭｘを決定する。梁体Ｈの平板３
２３の中心寄りに付けられたｒＹｌ＋ｒＹ２と梁体Ｆの
平板３２１の中心寄りに付けられたｒ　Ｖ３＊　　ｒ　
Ｙ４とによりモーメントＭＹが決定される。また、梁体
Ｅの上側の平板３２０の端部側に付けられた歪ゲージｒ
　ＺＩ＋　　ｒ　Ｚ２と梁体Ｇの下側の平板３２４に付
けられたｒ　Ｚ３＋　　ｒ　２４とにより力Ｆ２が決定
される。

第４Ａ図、第４Ｂ図に表わされた歪ゲージの取。

付は方法の基本は次のようである。即ち、座標軸に平行
な力を測定するためには、４つの片持ち支持梁体の放射
中心を通り、梁体の開口方向に平行な線（第４Ａ図の場
合であれば、Ｚ軸がこれに相当する）に線対称な位置に
、２組の歪ゲージが置かれる。例えば、Ｙ軸方向の力Ｆ
Ｙを測定するための歪ゲージＲＹＩ＋　ＲＹ２とＲＹ３
．　ＲＹ４は、Ｚ軸に線対称な位置におかれる。そして
、Ｚ軸方向の力Ｆ２を測定するための歪ゲージＲ２□、
Ｒ２２とＲ２３＋　Ｒ２４とは、Ｘ軸に線対称な位置に
おかれることになる。次に、ある軸周りのモーメントを
測定する場合の歪ゲージの取付は位置の基本は、その軸
を含み、その歪ゲージが貼られる２つの梁体の延長方向
に垂直である面に関して面対称な位置におかれるという
ものである。例えば、第４Ａ図のＺ軸周りのモーメント
を測定するための歪ゲージＲＺ　Ｉ　＋　Ｒ２２＊　Ｒ
２３＋　Ｒ２４は、Ｚ軸を含みかつ、梁体Ａ、Ｃの延長
方向（Ｙ軸に一致）に垂直である面（即ち、ｘＺ平面）
にとを含む面について、面対称である。このような線対
称若しくは面対称な位置におく理由は、ある軸について
力等を測定する場合に、他の軸からの干渉をキャンセル
するためである。

第６Ａ図〜第６Ｆ図に夫々、Ｆｘ、Ｆｙ。

Ｍｚ　、Ｆｚ　、Ｍｘ　、ＭＹを検出するためのブリッ
ジ回路を示す。即ち、第６Ａ図に示すように、ＲＸＩ〜
ＲＸ４のブリッジからの出力電圧ｅはＦＸに比例するか
ら、ＦＸ　：同様にして、第６Ｂ図から、ＦＹ　：第６Ｃ図から、Ｍｚ　：第６Ｄ図から、Ｆｚ　：第６Ｅ図から、Ｍｘ　：第６Ｆ図から、ＭＹ　：である。

第５Ａ図、第５Ｂ図に示したように、力、モーメントを
検出するには、原理的には、伸、縮する１つのセンサが
あれば足りるのであるが、この実施例の如く４つの歪ゲ
ージを設けることにより、出力を１つに比べ４倍にして
温度補償の効果も得られることになる。

第５Ａ図は、Ｘ軸方向に力が加わったときの十文字構造
体２００の変形状態を図示する。第５Ｂ図は、Ｚ軸周り
にフィンガーに反時計方向の偶力が加わったときの十文
字構造体２００の変形を示す。第５Ｃ図は、Ｘ軸周りに
反時計方向の偶力が加わったときの丸干文字構造体３０
０の変形を示す。これらの図面を用いて、本実施例に係
る力覚センサの歪ゲージの取付は位置（第４Ａ図、第４
Ｂ図）の工夫が、座標軸方向の力と座標軸周りの偶力と
を区別して出力できることの理由を説明する。第５Ａ図
において、歪ゲージＲＸＩは収縮し、ＲＸ３は伸びるよ
うな歪みを受ける。このときのｅＦＸは、伸びによる歪
ゲージの抵抗値変化を△Ｒとし、さらに説明を簡単にす
るために、伸長による抵抗値変化も収縮による抵抗値変
化の絶対値は同じ△Ｒと考え、かつ収縮時の抵抗値変化
を−ΔＲとすると、である。ここで、各歪ゲージの初１１１１　ＩＩ’　＋
値Ｒを有すると仮定すれば、 △ＲｅＰＸ千□Ｅとなる。このとき、２軸周りの干−ノするためのｅＭＺの出力は、となる。逆に、第５Ｂ図のように、２軸周りの偶力がか
かったときのｅｒｘは、となる。かくして、第４Ａ図のような４つの梁体Ａ、Ｂ
、Ｃ，Ｄに同図に示すような配置で歪ゲージを張ると、
第５Ａ図のような力が加わった場合には、ｅｒｘには印
加された力に比例した電圧が発生する。そして、ｅＭＺ
には略零の電圧しか発生しないことがわかる。このｅｒ
ｘとｅｗｚの関係は、第５Ｂ図のような偶力が加わった
ときでも同じで、互いに干渉し合わない。即ち、Ｘ軸と
２軸の間では、所謂干渉力は存在しないことになる。

Ｙ軸との間での干渉力について考察すると、第５Ａ図の
ような力が加わっても、梁体Ｂ、Ｄは弾性平板の剛性に
より変形しない、変形しても、その変形はこの平板の厚
さと横方向の長さの比によりほとんど支配されるから、
問題にならない、また、第５Ｂ図のような偶力が加わっ
たときにおける、ｅＰＹへの干渉は、ｅｒｘの場合と同
様に影響がない。かくして、十文字構造体２００におけ
るｅＦＸとｅｒｖとｅｌにおける干渉の問題はこの実施
例においては発生しないのである。

第５Ｃ図は、Ｘ軸周りの偶力がフィンガーにかかったと
きの丸干文字構造体３００の変形を示す。この場合にお
ける丸干文字構造体３００内部の干渉力の不存在は、前
記説明と略同じようにして証明できる。

干渉力には更に、十文字構造体２００と丸十文字構造体
３００との間におけるものも存在する。

例えば、第５Ｃ図のように丸干文字構造体３００がＸ軸
周りでネジれた場合は、十文字構造体２゜Ｏの梁体Ａ、
Ｃは剛性によりほとんど変形しないが、梁体Ｂ、ＤはＸ
軸周りにネジれることになる。この場合のｅＦＹは、梁
体Ｂ、Ｄに張られたＲｙ＋、Ｒア、とＲＹ３＋　ＲＹ４
とが対称の位置にあることから、第４Ａ図で梁体ＢがＸ
軸周りに反時計方向にネジれれば、となり、前述した場合と同じように干渉はない。

この関係は、十文字構造体２００にＹ軸周りに偶力が加
わったときも同じである。即ち、十文字構造体２００と
丸干文字構造体３００との間にも干渉は発生しないこと
になる。

第１図のような力覚センサが前述の特開昭６１−５７８
２５のセンサよりも更にすぐれている点を考察すると次
のようになる。本実施例の力覚センサｔ　ｏｏｏはＺ軸
方向に開口をもつ４つの梁体Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄ　（十文字
構造体２００）と、横方向に開口をもつ４つの梁体Ｅ、
Ｆ、Ｇ、Ｈ（丸干文字構造体３００）とを、縦に（言わ
ば、並列に）結合することを特徴とする。従って、前述
した理由により、十文字構造体Ｚｏｏと丸干文字構造体
３００との間での軸ずれによる干渉はない。

ところが、特開昭６１−５７８２５は、１つの梁体にお
いては、９０度直交する開口が直列に２つ（例えば第１
０図の１７と１８）存在するために、力が加わると１つ
の梁体の２つの片持ち支持梁体が同時に移動するために
、所謂軸ズレが発生し、そのために、干渉から自由とは
なっていない。また、特開昭６１−５７８２５の直列構
造に対し、本実施例の並列構造゛は、両者で同じ定格の
力覚センサを作るとした場合において、Ｆ、ＭｘＭＹ検
出部において、前者の弾性平板の厚さが後者のそれより
も厚いものが必要となってくる。即ち、一般に片持ち支
持梁体における板バネの厚さと長さとの比が小さいほど
、板バネが曲がり易くなり、従って、他の軸方向への干
渉が少なくなるのであるのに、前者の従来例における直
列平行平板構造においては、この傾向が逆になって干渉
が増大することになる。この点に関し、本実施例ではそ
のような欠点はない、干渉が存在しないということは、
歪ゲージの出力をそのままで、力若しくはモーメント検
出値として使えるということになり、従来のような較正
作業に伴なう演算から開放されることを意味する。従っ
て、高速、かつリアルタイムに力検知が可能となる。

さらに本実施例は、縦に並列に二重構造になっているた
めに、上の十文字構造体２００はＦＸ＋ＦＹ、Ｍ２を決
定し、下の丸干文字構造体３００はＦｚ　、Ｍｘ　、Ｍ
ｙを決定することになり、各軸についてのセンナの感度
を自由に設計できることになる。

尚、第１図実施例での歪ゲージのはり方は、同図の手法
に限定されるものではなく、柱体２゜２．３０２に関し
て対象であれば問題はない。

次に第７図を用いて変形実施例を説明する。この変形例
では、第１図実施例の十文字構造体２゜Ｏの梁体Ｂ、Ｄ
を、丸干文字構造体３００の梁体Ｆ、Ｈによって置き換
え売ものである。十文字構造体５００を、ロボットハン
ド１００には取付け部材５０１ａ、５０１ｂによって固
定し、フィンガー取付は部材６００には部材５０２ａ、
５０２ｂによって固定する。このような力覚センサ２０
００では、検出する軸数は第１図実施例に比較して減少
するが、干渉力が発生しないなどの長所は引き続き具備
している。尚、第７図の実施例では、同図図示の歪ゲー
ジのはりかたの他に、測定しようとする力の方向によっ
て、異ならせてもよい。

また、前述の実施例においてはセンサとして歪ゲージを
用いていたが、その他にも、磁歪検出素子、差動トラン
ス、電気容量変位検出素子、渦電流検出素子等も用いる
ことができる。

［発明の効果］以上説明した如く本発明の多軸の力覚センサによれば、
各軸についての力、モーメント等を精度良く、しかも高
速に検出できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る一実施例の力覚センサの分解図、第２Ａ図〜第２Ｃ図は実施例の力覚センサに使用される
片持ち支持梁体の原理を説明する図、第３Ａ図〜第３Ｃ
図及び第５Ａ図〜第５Ｃ図は一実施例の力覚センサの変
形の様子を説明する図、第４Ａ図、第４Ｂ図は一実施例の力覚センサにおける歪
ゲージの取付は位置を説明する図、第６Ａ図〜第６Ｆ図
は各軸についての力を検出するときのブリッジ構成を説
明する図、第７図は変形実施例の構成を説明する図、第
８Ａ図、第８Ｂ図、第９Ａ図、第９Ｂ図、第１０図は従
来例を説明する図である。図中、４・・・歪ゲージ、１００・・・ロボットハンド、２０
０・・・十文字構造体、２０１ａ、２０１ｂ・・・ハン
ド固定部材、２０２，３０２・・・柱体、２０２ａ、２
０２ｂ・・・結合部材、３００・・・丸干文字構造体、
３０１・・・リング、４００・・・フィンガー取付部材
、４０１　・・・凸状部材、２０８，２０７，２０８，
２０９．２１０，２１１，２１２，３２０，３２１゜３
２２．３２３，３２４・・・弾性平板、Ａ、Ｂ。Ｃ，Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈ・・・片持ち支持梁体である。第２Ａ図第２Ｂ図第２Ｃ図第３Ａ図第３Ｂ図 ↑ 第３Ｃ図どＲＹ３第４Ａ図第５Ｂ図第８Ａ図第８Ｂ図第６Ａ図第６Ｂ図第６Ｃ図第６Ｅ図第６Ｄ図第６Ｆ図第９Ａ図第９８図第１０図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）互いに直交する３つの軸の軸方向及びそれらの軸
周りにおいて、第１と第２の力作用部材間において伝達
される力及びモーメントを検出する力覚センサであつて
、開口が、前記３つの軸のうちの第１の軸方向を向き、放
射状に連結された４つの第１の平行梁構造部材と、これらの４つの第１の平行梁構造部材を前記第１の力作
用部材に固定する第１の固定部材と、開口が前記第１の
軸に直交する方向を向き、放射状に連結された４つの第
２の平行梁構造部材前記４つの第１の平行梁構造部材と
４つの第２の平行梁構造部材とを、前記第１の軸方向で
４つの第２の平行梁構造部材を撓み自在に結合する結合
部材と、前記４つの第２の平行梁構造部材を前記第２の力作用部
材に固定する第２の固定部材とからなり、前記第１と第２の平行梁構造部材のうち、互いに放射中
心をはさんで対向する２つの平行梁構造部材の梁面に、
少なくとも１つづつ撓み検出手段を設けたことを特徴と
する多軸力覚センサ。
（２）前記第１の固定部材は、４つの第１の平行梁構造
部材のうちの、互いに対向する２つの平行梁構造部材の
夫々の端部を、前記第１の作用部材に固定するものであ
り、前記結合部材は、前記４つの第２の平行梁構造部材の放
射中心と反対側の夫々端部を一体に結合し、さらに、前
記第１の固定部材により固定された第１の平行梁構造部
材の残りのものを、それらの放射中心から離れた方の端
部において、前記一体になつた４つの第２の平行梁構造
部材に結合し、前記第２の固定部材は、前記４つの第２の平行梁構造部
材の放射中心において、前記第２の力作用部材に固定さ
れた事を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のの多
軸力覚センサ。
（３）前記撓み検出手段は、１つの梁面に２つが対とな
つて設けられている事を特徴とする特許請求の範囲第１
項に記載の多軸力覚センサ。
（４）互いに直交する少なくとも２つ以上の軸の軸方向
及びそれらの軸周りにおいて、第１と第２の部材間にお
いて伝達される力及びモーメントを検出する力覚センサ
であつて、開口が、前記２つの軸のうちの第１の軸方向を向き、直
線状に連結された２つの第１の平行梁構造部材と、これらの２つの第１の平行梁構造部材を前記第１の力作
用部材に固定する第１の固定部材と、開口が前記第１の
軸に直交する方向を向き、互いに直線状に並び、かつ、
前記２つの第１の平行梁構造部材と互いに放射状に連結
された２つの第２の平行梁構造部材と、前記２つの第２の平行梁構造部材を前記第２の力作用部
材に固定する第２の固定部材とからなり、前記第１と第２の平行梁構造部材のうち、互いに放射中
心をはさんで対向する２つの平行梁構造部材の梁面に、
少なくとも１つづつ撓み検出手段を設けたことを特徴と
する多軸力覚センサ。