JPH05161865A - 回転塗布装置 - Google Patents
回転塗布装置Info
- Publication number
- JPH05161865A JPH05161865A JP33053491A JP33053491A JPH05161865A JP H05161865 A JPH05161865 A JP H05161865A JP 33053491 A JP33053491 A JP 33053491A JP 33053491 A JP33053491 A JP 33053491A JP H05161865 A JPH05161865 A JP H05161865A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk
- substrate
- shaped substrate
- rotary
- rotation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Coating Apparatus (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 円盤状基板に塗布液をスピンコート法によっ
て塗布する回転装置において、該円盤状基板の回転と同
期して回転し、該円盤状基板の下部から基板側に送風す
るように傾斜角をつけた回転翼を有することを特徴とす
る回転塗布装置。 【効果】 本発明の回転塗布装置によれば、気流が円盤
状基板下面から吹き出されるために、ミスト状の紫外線
硬化型樹脂が円盤状基板裏面に飛散してくることが防止
でき、圧縮空気を吹き出す構造も、回転と圧縮空気の吹
き出しのタイミングを調整する必要もなくなり、従って
回転塗布装置の構造が簡素化できる。
て塗布する回転装置において、該円盤状基板の回転と同
期して回転し、該円盤状基板の下部から基板側に送風す
るように傾斜角をつけた回転翼を有することを特徴とす
る回転塗布装置。 【効果】 本発明の回転塗布装置によれば、気流が円盤
状基板下面から吹き出されるために、ミスト状の紫外線
硬化型樹脂が円盤状基板裏面に飛散してくることが防止
でき、圧縮空気を吹き出す構造も、回転と圧縮空気の吹
き出しのタイミングを調整する必要もなくなり、従って
回転塗布装置の構造が簡素化できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、円盤状基板に塗布液を
スピンコート法により塗布して均一な皮膜を形成する回
転塗布装置に関するものである。
スピンコート法により塗布して均一な皮膜を形成する回
転塗布装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来知られている円盤状基板の樹脂被膜
方法は、例えば、光ディスクでは、グルーブと称される
溝が形成されたポリカーボネート樹脂、ポリメチルメタ
クリルレート樹脂、エポキシ樹脂、アモルファスポリオ
レフィン樹脂等の円盤状のプラスチック基板に、グルー
ブが形成された側とは反対側の面にハードコート剤と称
される紫外線硬化型樹脂をスピンコート法により回転塗
布してプラスチック基板全面に均一に行きわたらせた
後、紫外線を照射してハードコート膜を製膜する。
方法は、例えば、光ディスクでは、グルーブと称される
溝が形成されたポリカーボネート樹脂、ポリメチルメタ
クリルレート樹脂、エポキシ樹脂、アモルファスポリオ
レフィン樹脂等の円盤状のプラスチック基板に、グルー
ブが形成された側とは反対側の面にハードコート剤と称
される紫外線硬化型樹脂をスピンコート法により回転塗
布してプラスチック基板全面に均一に行きわたらせた
後、紫外線を照射してハードコート膜を製膜する。
【０００３】次に、真空蒸着法やスパッタ法等によりグ
ルーブが形成された側に記録膜を製膜して光ディスクを
作製する。この光ディスクの記録膜形成面側に保護コー
ト剤と称される紫外線硬化型樹脂をスピンコート法によ
り回転塗布して光ディスク全面に保護膜を製膜してい
た。
ルーブが形成された側に記録膜を製膜して光ディスクを
作製する。この光ディスクの記録膜形成面側に保護コー
ト剤と称される紫外線硬化型樹脂をスピンコート法によ
り回転塗布して光ディスク全面に保護膜を製膜してい
た。
【０００４】また、コンパクトディスクでは、予め所定
の情報信号が刻印された円盤状のプラスチック基板に、
情報信号が刻印されている側の面に真空蒸着法やスパッ
タ法により反射膜を製膜して、この反射膜形成面側に保
護コート剤と称される紫外線硬化型樹脂をスピンコート
法により回転塗布してコンパクトディスク全面に保護膜
を製膜していた。
の情報信号が刻印された円盤状のプラスチック基板に、
情報信号が刻印されている側の面に真空蒸着法やスパッ
タ法により反射膜を製膜して、この反射膜形成面側に保
護コート剤と称される紫外線硬化型樹脂をスピンコート
法により回転塗布してコンパクトディスク全面に保護膜
を製膜していた。
【０００５】このように、ハードコート剤や保護コート
剤等の紫外線硬化型樹脂を円盤状基板にスピンコート法
により回転塗布する場合には、樹脂を一定量円盤状基板
に塗布した後高速回転させて余分な紫外線硬化型樹脂を
振り切るので、樹脂がミスト状となって周囲に飛散す
る。このミスト状の樹脂が円盤状基板の裏面に飛散して
くるのを防止するために、図４に示したように円盤状基
板の裏面から圧縮気体を吹き出していた。
剤等の紫外線硬化型樹脂を円盤状基板にスピンコート法
により回転塗布する場合には、樹脂を一定量円盤状基板
に塗布した後高速回転させて余分な紫外線硬化型樹脂を
振り切るので、樹脂がミスト状となって周囲に飛散す
る。このミスト状の樹脂が円盤状基板の裏面に飛散して
くるのを防止するために、図４に示したように円盤状基
板の裏面から圧縮気体を吹き出していた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この方
法では、圧縮気体を吹き出す構造を有する必要があり、
また、回転と圧縮気体の吹き出しのタイミングを調整す
る必要があるので、回転塗布装置の構造が複雑となって
いた。
法では、圧縮気体を吹き出す構造を有する必要があり、
また、回転と圧縮気体の吹き出しのタイミングを調整す
る必要があるので、回転塗布装置の構造が複雑となって
いた。
【０００７】本発明が解決しようとする課題は、円盤状
基板に紫外線硬化型樹脂であるハードコート剤又は保護
コート剤をスピンコート法により塗布する回転塗布装置
において、紫外線硬化型樹脂が円盤状基板の裏面へ飛散
するのを防止する構造を簡素化することにある。
基板に紫外線硬化型樹脂であるハードコート剤又は保護
コート剤をスピンコート法により塗布する回転塗布装置
において、紫外線硬化型樹脂が円盤状基板の裏面へ飛散
するのを防止する構造を簡素化することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するために、円盤状基板に塗布液をスピンコート法によ
って塗布する回転装置において、該円盤状基板の回転と
同期して回転し、該円盤状基板の下部から基板側に送風
するように傾斜角をつけた回転翼を有することを特徴と
する回転塗布装置を提供する。
するために、円盤状基板に塗布液をスピンコート法によ
って塗布する回転装置において、該円盤状基板の回転と
同期して回転し、該円盤状基板の下部から基板側に送風
するように傾斜角をつけた回転翼を有することを特徴と
する回転塗布装置を提供する。
【０００９】
【作用】本発明によれば、円盤状基板にハードコート剤
又は保護コート剤等の紫外線硬化型樹脂をスピンコート
法によって塗布する回転塗布装置において、円盤状基板
の回転と同期して回転し、円盤状基板側に送風するよう
に傾斜角をつけた回転翼を有するので、円盤状基板上の
余分な紫外線硬化型樹脂を振り切るために円盤状基板支
持台が回転すると回転翼も同期して回転し、この回転翼
の回転により円盤状基板下面に気流が発生する。
又は保護コート剤等の紫外線硬化型樹脂をスピンコート
法によって塗布する回転塗布装置において、円盤状基板
の回転と同期して回転し、円盤状基板側に送風するよう
に傾斜角をつけた回転翼を有するので、円盤状基板上の
余分な紫外線硬化型樹脂を振り切るために円盤状基板支
持台が回転すると回転翼も同期して回転し、この回転翼
の回転により円盤状基板下面に気流が発生する。
【００１０】この気流が円盤状基板下面から吹き出すこ
とによって、ミスト状の紫外線硬化型樹脂が円盤状基板
裏面に飛散してくることが防止でき、圧縮気体を吹き出
す構造も回転と圧縮気体の吹き出しのタイミングを調整
する必要もなく、その結果、回転塗布装置の構造が簡素
化できる。
とによって、ミスト状の紫外線硬化型樹脂が円盤状基板
裏面に飛散してくることが防止でき、圧縮気体を吹き出
す構造も回転と圧縮気体の吹き出しのタイミングを調整
する必要もなく、その結果、回転塗布装置の構造が簡素
化できる。
【００１１】
【実施例】以下、実施例を示しながら具体的説明を行な
う。
う。
【００１２】（実施例）図１に示したように、円盤状基
板３側に送風するように傾斜角θが水平方向に対して１
２０度となっている回転翼１が４枚有り、この回転翼１
は、円盤状基板支持台２と直結した構造を有し、円盤状
基板３の下面と接しないように作製された部材を用意し
た。
板３側に送風するように傾斜角θが水平方向に対して１
２０度となっている回転翼１が４枚有り、この回転翼１
は、円盤状基板支持台２と直結した構造を有し、円盤状
基板３の下面と接しないように作製された部材を用意し
た。
【００１３】ここで、回転翼１の傾斜角は、回転により
円盤状基板側に送風するような角度であれば、いずれの
角度でも良いが、好ましくは、回転翼１が回転した時に
効率的に気流が発生する角度が良い。
円盤状基板側に送風するような角度であれば、いずれの
角度でも良いが、好ましくは、回転翼１が回転した時に
効率的に気流が発生する角度が良い。
【００１４】本実施例では、一例として傾斜角を水平方
向に対して１２０度とした。
向に対して１２０度とした。
【００１５】また、円盤状基板支持台２の周囲には、内
径が円盤状基板３の外径と一致する側壁４が円盤状基板
３との間隙５が０．５〜１mmとなるように設置されてお
り、高速回転した時に円盤状基板３の下面より効率的に
気流が吹き出される構造となっている。
径が円盤状基板３の外径と一致する側壁４が円盤状基板
３との間隙５が０．５〜１mmとなるように設置されてお
り、高速回転した時に円盤状基板３の下面より効率的に
気流が吹き出される構造となっている。
【００１６】次に、図２に示したようにグルーブが形成
された円盤状プラスチック基板６をグルーブ形成面側を
下にして円盤状基板支持台２に設置した後、円盤状基板
支持台２に設けられた真空吸着穴７により真空吸着して
保持し、モーター８により円盤状基板支持台２と円盤状
プラスチック基板６と回転翼１を ６０rpmの低速回転で
回転させながら円盤状プラスチック基板６上に塗布ノズ
ル９でハードコート剤「ＥＸ−７０４」（大日本インキ
化学工業社製）１０を塗布するが、低速回転時には、樹
脂はミスト状ではないので円盤状プラスチック基板６の
下面から気体を吹き出す必要はなく、本実施例のように
回転翼を使用すれば低速回転時に気体が吹き出すことは
ない。
された円盤状プラスチック基板６をグルーブ形成面側を
下にして円盤状基板支持台２に設置した後、円盤状基板
支持台２に設けられた真空吸着穴７により真空吸着して
保持し、モーター８により円盤状基板支持台２と円盤状
プラスチック基板６と回転翼１を ６０rpmの低速回転で
回転させながら円盤状プラスチック基板６上に塗布ノズ
ル９でハードコート剤「ＥＸ−７０４」（大日本インキ
化学工業社製）１０を塗布するが、低速回転時には、樹
脂はミスト状ではないので円盤状プラスチック基板６の
下面から気体を吹き出す必要はなく、本実施例のように
回転翼を使用すれば低速回転時に気体が吹き出すことは
ない。
【００１７】その後、図３に示したように円盤状基板支
持台２と円盤状プラスチック基板６と回転翼１を ６，
０００rpmの高速回転で回転させたところ、余分なハー
ドコート剤１０が振り切られてミスト状となって飛散す
るが、回転翼１により発生した気流１１が回転速度に応
じた流量で円盤状基板３の下面より効率的に間隙５から
吹き出されて、ミスト状となったハードコート剤１０は
円盤状プラスチック基板６の裏面に飛散することはな
い。
持台２と円盤状プラスチック基板６と回転翼１を ６，
０００rpmの高速回転で回転させたところ、余分なハー
ドコート剤１０が振り切られてミスト状となって飛散す
るが、回転翼１により発生した気流１１が回転速度に応
じた流量で円盤状基板３の下面より効率的に間隙５から
吹き出されて、ミスト状となったハードコート剤１０は
円盤状プラスチック基板６の裏面に飛散することはな
い。
【００１８】
【発明の効果】本発明の回転塗布装置では、円盤状基板
に紫外線硬化型樹脂をスピンコート法によって塗布する
場合、円盤状基板支持台と直結した回転翼を有し、円盤
状基板上の余分な紫外線硬化型樹脂を振り切るために円
盤状基板支持台が回転すると回転翼も一体となって回転
し、この回転翼の回転により円盤状基板下面に気流が発
生する。
に紫外線硬化型樹脂をスピンコート法によって塗布する
場合、円盤状基板支持台と直結した回転翼を有し、円盤
状基板上の余分な紫外線硬化型樹脂を振り切るために円
盤状基板支持台が回転すると回転翼も一体となって回転
し、この回転翼の回転により円盤状基板下面に気流が発
生する。
【００１９】この気流が円盤状基板下面から吹き出され
るために、ミスト状の紫外線硬化型樹脂が円盤状基板裏
面に飛散してくることが防止でき、圧縮空気を吹き出す
構造も、回転と圧縮空気の吹き出しのタイミングを調整
する必要もなくなり、従って回転塗布装置の構造が簡素
化できる。
るために、ミスト状の紫外線硬化型樹脂が円盤状基板裏
面に飛散してくることが防止でき、圧縮空気を吹き出す
構造も、回転と圧縮空気の吹き出しのタイミングを調整
する必要もなくなり、従って回転塗布装置の構造が簡素
化できる。
【図１】本実施例による回転翼と円盤状基板支持台が一
体構造となった部材の側面図である。
体構造となった部材の側面図である。
【図２】本実施例により円盤状プラスチック基板に紫外
線硬化型樹脂を低速回転で塗布する概念図である。
線硬化型樹脂を低速回転で塗布する概念図である。
【図３】本実施例により円盤状プラスチック基板上の余
分な紫外線硬化型樹脂を振り切る工程を示した概念図で
ある。
分な紫外線硬化型樹脂を振り切る工程を示した概念図で
ある。
【図４】従来方法により円盤状基板に紫外線硬化型樹脂
を塗布した後、余分な紫外線硬化型樹脂を振り切る工程
を示した概念図である。
を塗布した後、余分な紫外線硬化型樹脂を振り切る工程
を示した概念図である。
１ 回転翼 ２ 円盤状基板支持台 ３ 円盤状基板 ４ 側壁 ５ 間隙 ６ 円盤状プラスチック基板 ７ 真空吸着穴 ８ モーター ９ 塗布ノズル １０ ハードコート剤 １１ 気流
Claims (2)
- 【請求項１】 円盤状基板に塗布液をスピンコート法に
よって塗布する回転装置において、該円盤状基板の回転
と同期して回転し、該円盤状基板の下部から基板側に送
風するように傾斜角をつけた回転翼を有することを特徴
とする回転塗布装置。 - 【請求項２】 円盤状基板の回転と同期する回転翼が円
盤状基板支持体と直結して回転することを特徴とする請
求項１記載の回転塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33053491A JPH05161865A (ja) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | 回転塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33053491A JPH05161865A (ja) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | 回転塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05161865A true JPH05161865A (ja) | 1993-06-29 |
Family
ID=18233713
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33053491A Pending JPH05161865A (ja) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | 回転塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05161865A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020129483A1 (ja) * | 2018-12-17 | 2020-06-25 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置 |
-
1991
- 1991-12-13 JP JP33053491A patent/JPH05161865A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020129483A1 (ja) * | 2018-12-17 | 2020-06-25 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置 |
| JP2020098841A (ja) * | 2018-12-17 | 2020-06-25 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置 |
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