JPH05157734A - 超音波検査装置のインピーダンス整合器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 小型化を図ることができ、しかも探触子を交
換しても、探触子に設けた圧電素子のインピーダンスと
方向性結合器のインピーダンスとを、容易に整合させる
ことができる超音波検査装置のインピーダンス整合器の
提供。 【構成】 抵抗回路６と複数のインダクタンス回路９、
１２、１５とからなるインピーダンス整合手段３３と、
このインピーダンス整合手段３３と探触子とを電気的に
接続する複数の接点１７Ａ、１７Ｂ、１７Ｃを有する接
続手段１７とをケーシング２に収納し、インピーダンス
整合器１を小型化し、且つ、探触子を交換しても、探触
子に設けた圧電素子のインピーダンスと方向性結合器２
６のインピーダンスとを、容易に整合させることができ
るようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超音波検査装置のイン
ピーダンス整合器に係り、特に、探触子を励振させる信
号を送信する送信器と探触子からの信号を受信する受信
器とを選択的に探触子に結合する方向性結合器のインピ
ーダンスと、探触子に設けた圧電素子のインピーダンス
とを整合させる超音波検査装置のインピーダンス整合器
に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種のインピーダンス整合器を有する
超音波検査装置の一例を、図９および図１０を用い説明
する。図９は従来の超音波検査装置の系統図、図１０は
同装置のインピーダンス整合器として用いたスタブチュ
ーナの斜視図である。

【０００３】図９において、探触子２３は、圧電素子２
０および音響レンズ１９からなる。送信器２４は、バー
スト波電圧を出力し圧電素子２０を励振させる。受信器
２５は、圧電素子２０から出力される信号を受信する。
方向性結合器２６は、圧電素子２０の接続関係を送信器
２４の接続に、または、受信器２５の接続に切換える。
インピーダンス整合器２７は、図１０に示すように主線
路３０に対し垂直に結合された複数のスタブ３１と、各
スタブ３１間を短絡する複数のバー３２とからなり、探
触子２３と方向性結合器２６との間に設置され、探触子
２３に設けた圧電素子２０のインピーダンスと方向性結
合器２６のインピーダンスとを整合させる。また、試料
２８は、接触媒体（水等）２９を介し、探触子２３と接
するようになっている。

【０００４】このように構成した超音波検査装置では、
送信器２４は、バースト波電圧を出力し、方向性結合器
２６およびインピーダンス整合器２７を介し、圧電素子
２０に印加する。圧電素子２０は、印加されたバースト
波電圧により励振されて超音波を発生する。この超音波
は、音響レンズ１９により集束されて接触媒体２９を介
し、試料２８に照射される。試料２８に照射された超音
波は、試料２８の表面、および、内部の欠陥あるいは異
なる材質の接合界面等から反射される。この試料２８か
ら反射された超音波は、接触媒体２９および音響レンズ
１９を介し、圧電素子２０に到達する。圧電素子２０
は、試料２８から反射された超音波の音圧に比例した電
気信号を出力する。この圧電素子２０からの信号は、イ
ンピーダンス整合器２７および方向性結合器２６を介し
て受信器２５に受信される。受信器２５に受信された信
号は、図示しない信号処理装置等により所定の処理がな
される。 ところで、上述した方向性結合器２６のイン
ピーダンスと圧電素子２０のインピーダンスとが一致し
ていない場合には、送信器２４から方向性結合器２６を
介し出力されたバースト波電圧の多くが、圧電素子２０
により反射されて圧電素子２０を励振させることができ
ない。したがって、検査前にインピーダンス整合器２７
に設けた各バー３２の位置を上下に移動させ、探触子２
３の入力端からみたインピーダンスと方向性結合器２６
のインピーダンスとがほぼ等しくなるように調整し、こ
の調整が終了した後に、上述した動作にしたがって検査
を行う（参考文献名：電気通信ＩＩ、朝倉書房、１９項
から２４項）。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来技術例え
ば図９および図１０に示すものでは、インピーダンス整
合器２７に設けたスタブ３１の長さが数ｍに及ぶものが
ある。さらに、このスタブ３１が３組あるいは４組と数
多く使用される場合もある。したがって、インピーダン
ス整合器２７が大型になりやすく、インピーダンス整合
器２７を設置するために広いスペースを要すという問題
があった。

【０００６】なお、検査目的や試料に応じて探触子２３
が取替え使用される。このように探触子２３が交換され
ると、当然探触子２３に設けた圧電素子２０のインピー
ダンスも変化する。このため、探触子２３を取替えたと
きには、その都度、前述したインピーダンス整合器２７
に設けた各バー３２の位置を上下に移動させ、受信器２
５に受信された信号の大きさを読みとりながら調整を行
う必要がある。したがって、上記した従来技術では、イ
ンピーダンス整合器２７による調整に多くの手間と時間
を要していた。

【０００７】本発明のうちの請求項１に係る発明の目的
は、小型化を図りうる超音波検査装置のインピーダンス
整合器を提供することにある。

【０００８】また、本発明のうちの請求項２に係る発明
の目的は、小型化を図ることができ、しかも探触子を交
換しても、探触子に設けた圧電素子のインピーダンスと
方向性結合器のインピーダンスとを、容易に整合させる
ことができる超音波検査装置のインピーダンス整合器を
提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１記載の発明は、探触子と、この探触子を励振
させる信号を出力する送信器と、前記探触子からの信号
を受信する受信器と、前記送信器と前記受信器を選択的
に前記探触子に結合する方向性結合器とを備えた超音波
検査装置に設けられ、前記方向性結合器と前記探触子と
の間に配置され、前記探触子に設けた圧電素子のインピ
ーダンスと前記方向性結合器のインピーダンスとの整合
周波数帯域を広くする広帯域整合手段と、前記圧電素子
の共振周波数に対応する共振整合手段とを備えたインピ
ーダンス整合手段と、このインピーダンス整合手段と前
記探触子とを電気的に接続する接続手段とを備えたイン
ピーダンス整合器において、前記インピーダンス整合手
段と前記接続手段とを収納するとともに前記探触子を保
持するケーシングを備えたことを特徴とする。

【００１０】また、請求項２記載の発明は、請求項１記
載の共振整合手段が、複数の探触子に設けた圧電素子の
それぞれの共振周波数に対応する複数の共振整合手段か
らなり、さらに、請求項１記載の前記接続手段が、前記
共振整合手段に対応し、且つ、それぞれの探触子の接点
位置に対応した複数の接続手段からなることを特徴とす
る。

【００１１】

【作用】請求項１記載の発明は、上記のように構成して
いるので、ケーシング内に収納された広帯域整合手段と
共振整合手段とからなるインピーダンス整合手段によ
り、インピーダンス整合器の入力端からみたインピーダ
ンスと方向性結合器のインピーダンスとがほぼ等しくな
る。これにより、前記ケーシングに備えられた接続手段
によりインピーダンス整合手段に電気的に接続された探
触子に対し、送信器から出力されたバースト波電圧が、
探触子に設けた圧電素子により反射されることなく圧電
素子に印加される。

【００１２】また、請求項２記載の発明では、探触子を
交換した場合には、ケーシングに備えた複数の接続手段
の中から、交換した探触子の接点位置に対応する接続手
段が選択される。この接続手段は、ケーシング内に収納
された複数の共振整合手段のうち、交換した探触子に設
けた圧電素子のインピーダンスに対応した共振整合手段
と電気的に接続しているため、インピーダンス整合器の
入力端からみたインピーダンスと方向性結合器のインピ
ーダンスとがほぼ等しくなる。これにより、送信器から
出力されたバースト波電圧が、圧電素子により反射され
ることなく圧電素子に印加される。

【００１３】したがって、上記請求項１および請求項２
に記載の発明によれば、探触子のインピーダンスと方向
性結合器のインピーダンスを整合させるインピーダンス
整合器を小型化することができる。また、特に、請求項
２記載の発明によれば、インピーダンスの異なる探触子
に交換した場合でも、探触子のインピーダンスと方向性
結合器のインピーダンスとを、確実に整合させることが
できる。

【００１４】

【実施例】以下、本発明の実施例を図を用い説明する。

【００１５】図１〜図８は本発明の超音波検査装置のイ
ンピーダンス整合器の実施例の説明図で、図１はインピ
ーダンス整合器を含む超音波検査装置を示す図、図２は
接続手段例えば接続基板の斜視図、図３は探触子の外観
図、図４はケーシングに探触子が係合した状態を示す図
１のＧ矢視図、図５は共振整合手段例えばインダクタン
ス回路と圧電素子を電気回路的に表現した模式図、図６
は広帯域整合手段例えば抵抗回路の回路図、図７はイン
ピーダンス整合手段と圧電素子を電気回路的に表現した
模式図、図８は周波数に対する共振曲線図である。

【００１６】なお、これらの図で、図９に示した従来技
術の系統図と共通する部分については、共通の符号を付
している。すなわち、送信器２４から出力されるバース
ト波電圧は、方向性結合器２６を介しインピーダンス整
合器１に入力される。逆に、図示しない試料からの反射
波は、図３に示す圧電素子２０Ａ、または、２０Ｂ、あ
るいは、２０Ｃにより電圧信号に変換され、インピーダ
ンス整合器１および方向性結合器２６を介し、受信器２
５により受信される。また、圧電素子２０Ａ、または、
２０Ｂ、あるいは、２０Ｃと送信器２４または受信器２
５との接続関係は、方向性結合器２６により選択切換え
られる。

【００１７】この実施例では、図１に示すように、広帯
域整合手段例えば抵抗回路６を備えた抵抗回路基板５
と、共振整合手段例えばインダクタンス回路９、１２、
１５をそれぞれ備えたインダクタンス回路基板８、１
１、１４と、探触子の接点と電気的に接続する接続手段
例えば接点１７Ａ、１７Ｂ、１７Ｃを有する接続基板１
７とをケーシング２内に収納してある。これらの抵抗回
路基板５と、インダクタンス回路基板８、１１、１４と
でインピーダンス整合手段３３を形成している。

【００１８】また、ケーシング２の外側部分には方向性
結合器２６に接続されるコネクタ３を設けてあり、この
コネクタ３を介して信号の送受信を行う。さらに、コネ
クタ３のピン３Ａと抵抗回路６とを導線４により、抵抗
回路６とインダクタンス回路９、１２、１５とを導線７
および導線７から分岐した導線７Ａ、７Ｂ、７Ｃによ
り、インダクタンス回路９、１２、１５と接点１７Ｃ、
１７Ｂ、１７Ａとを導線１０、１３、１６によりそれぞ
れ接続している。

【００１９】また、図２にも示すように、接続基板１７
に設けた接点１７Ａ、１７Ｂ、１７Ｃは板ばね状の導体
に形成してある。これらの各接点１７Ａ、１７Ｂ、１７
Ｃは、図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すインピーダン
スの異なる３種類の探触子２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃのい
ずれか１つをケーシング２に係合させたとき、各探触子
２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃに設けた突起状の接点２１Ａ、
２１Ｂ、２１Ｃと位置的に一致し、インピーダンス整合
器１と使用される探触子２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃとが電
気的に接続する。その際、図４に示すようにケーシング
２には係合手段例えば最終端を円形状に広げた溝１８を
設けており、この溝１８に沿って図３に示した探触子２
３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃのピン２２を移動させ、溝１８の
最終端でピン２２を固定することにより、前記接続基板
１７の接点１７Ａ、１７Ｂ、１７Ｃと探触子２３Ａ、２
３Ｂ、２３Ｃの接点２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃのそれぞれ
対応するものとが位置的に一致する。

【００２０】このように構成した超音波検査装置のイン
ピーダンス整合器では、例えば図３（ａ）に示した探触
子２３Ａを使用した場合には、送信器２４からのバース
ト波電圧が、方向性結合器２６およびコネクタ３を介
し、インピーダンス整合器１に入力される。この入力さ
れたバースト波電圧はピン３Ａおよび導線４により、抵
抗回路６へ導かれる。また、このバースト波電圧は導線
７および導線７から分岐した導線７Ａにより、インダク
タンス回路１５へと導かれ、さらに導線１６により接点
１７Ａへと導かれる。また、上述したように、インピー
ダンス整合器１の接点１７Ａと探触子２３Ａの接点２１
Ａとは、位置的に一致しており導通状態にあるため、バ
ースト波電圧は探触子２３Ａの圧電素子２０Ａに印加さ
れる。このバースト波電圧により、圧電素子２３Ａが励
振され超音波を発生する。この超音波は音響レンズ１９
Ａを介し、図示しない試料に照射され、試料表面および
試料内部の欠陥あるいは異なる材質の接合界面等により
反射される。この試料から反射された超音波は、音響レ
ンズ１９Ａを介し、圧電素子２０Ａに到達する。圧電素
子２０Ａは、この反射された超音波の音圧に比例した電
気信号を出力する。この圧電素子２０Ａからの信号は、
探触子２３Ａの接点２１Ａと接続したインピーダンス整
合器１の接点１７Ａを介し、インピーダンス整合器１へ
伝達される。このインピーダンス整合器１内では、導線
１６によりインダクタンス回路１５へ、さらに、導線７
Ａおよび導線７により抵抗回路６へ、そして、導線４に
よりコネクタ３のピン３Ａおよびコネクタ３へと導かれ
る。インピーダンス整合器１からの信号は、方向性結合
器２６を介し、受信器２５で受信される。この受信器２
５で受信された信号は、図示しない信号処理装置等によ
り所定の処理がなされる。

【００２１】その際、方向性結合器２６のインピーダン
スと図３（ａ）に示す探触子２３Ａに設けた圧電素子２
０Ａのインピーダンスとが一致していない場合には、印
加されたバースト波電圧が圧電素子２０Ａにより反射さ
れる。上記抵抗回路６およびインダクタンス回路１５
は、両者のインピーダンスがほぼ等しくなるように、以
下に示す公知の手法により設定される（参考文献名：電
気回路論、電気学会、７９項から８７項）。

【００２２】一般に、最も単純なＲ−Ｌ−Ｃ直列回路で
は、インダクタンスＺは、式（１）により表される。

【００２３】 Ｚ＝Ｒ＋ｊ・ω・Ｌ＋１／（ｊ・ω・Ｃ） （１） なお、同式において、Ｒは抵抗（Ω）、Ｌはインダクタ
ンス（Ｈ）、Ｃはキャパシタンス（Ｆ）である。また、
ｊは虚数を示し、ωは角周波数（ｒａｄ／ｓｅｃ）であ
り、この角周波数ωは、 ω＝２・π・ｆ （２） で表される。ここで、ｆは周波数（１／ｓｅｃ）を示
す。

【００２４】また、方向性結合器２６のインピーダンス
Ｚ０は簡易的に、 Ｚ０＝Ｒ０ （３） として扱うことができる。

【００２５】一方、音響レンズ１９Ａに配設した圧電素
子２０Ａは、電気回路的にはキャパシタンスＣで置換す
ることができる。この圧電素子２０Ａのキャパシタンス
Ｃは、圧電素子２０Ａを音響レンズ１９Ａに配設したと
きに測定することにより求められる。また、キャパシタ
ンスＣとインダクタンスＬとを直列に接続すると、入力
電圧の周波数ｆ０を共振周波数として共振を生じさせる
共振回路を形成することができる。この回路構成を図５
に示す。このＬ−Ｃ回路のインピーダンスＺ１は、
Ｚ１＝ｊ・ω・Ｌ＋１／（ｊ・ω・Ｃ） ＝ｊ・｛ω・Ｌ−１／（ω・Ｃ）｝ （４） と表すことができ、ω＝２・π・ｆ０のとき、 ω・Ｌ−１／（ω・Ｃ）＝０ （５） となる。この式（５）を変形し、Ｌを求めると、 Ｌ＝１／｛（ω＊＊２）・Ｃ｝ ＝１／［｛（２・π）＊＊２｝・Ｃ］ （６） となる。ただし、＊＊２は２乗を示す。したがって、上
述したインダクタンス回路１５のインダクタンスＬは、
計測した圧電素子２０ＡのキャパシタンスＣに基づき、
式（６）により設定する。

【００２６】また、入力側すなわち方向性結合器２６の
インピーダンスがＺ０で、負荷側すなわち圧電素子２０
ＡのインピーダンスがＺ１のとき、入力電圧と反射され
る電圧の比は次式のように表される。

【００２７】 Γ＝（Ｚ１−Ｚ０）／（Ｚ１＋Ｚ０） （７） したがって、インピーダンスＺ０とＺ１とが一致した場
合、Γ＝０となり反射される電圧は存在せず両者のイン
ピーダンスの整合が達成されたことになる。ところで、
ここで用いる圧電素子のＱ値は大きいためインピーダン
スが整合する帯域は非常に狭くなってしまう。そこで整
合する帯域を広げるために、方向性結合器２６と同等の
インピーダンスを持った回路を付加する。この回路とし
て、例えば図６に示すように３本の抵抗体で構成するπ
形等価回路とよばれる抵抗回路を用いる。この抵抗回路
を図７に示すように、前述したＬ−Ｃ回路に接続しＲ−
Ｌ−Ｃ直列回路とすると、方向性結合器２６からみたイ
ンピーダンスＺ０１と探触子２３Ａ側からみたインピー
ダンスＺ１１は等しくなり、 Ｚ０１＝Ｚ１１ ＝ＳＱＲＴ［Ｒ１・Ｒ２・Ｒ３・（１＋Ｒ１／Ｒ３）／ ｛（Ｒ１＋Ｒ２＋Ｒ３）・（１＋Ｒ２／Ｒ３）｝］ （８） となる。ただし、ＳＱＲＴは平方根を表す。また、π形
等価回路ではＲ２＝Ｒ３である。このＲ−Ｌ−Ｃ直列回
路全体のインピーダンスＺ２は、 Ｚ２＝Ｚ１１＋ｊ・｛ω・Ｌ−１／（ω・Ｃ）｝ （９） となる。

【００２８】ところで、式（１）において共振周波数ｆ
０における角周波数をω０とすると、式（１）は下記に
示す式（１０）のように変形することができる。

【００２９】 Ｚ＝Ｒ・｛１＋ｊ・（ω０・Ｌ／Ｒ）・（ω／ω０−ω０／ω）｝ （１０） ここで、Ｑ＝ω０・Ｌ／Ｒとおくと、式（５）からω０
・Ｌ＝１／（ω０・Ｃ）だから、 Ｑ＝（１／Ｒ）・ＳＱＲＴ（Ｌ／Ｃ） （１１） となる。このＱを用い、式（１０）を変形すると、 Ｚ／Ｒ＝１＋ｊ・Ｑ・（ω／ω０−ω０／ω） （１２） と表すことができる。共振周波数ｆ０すなわち角周波数
ω０のとき、回路を流れる電流｜Ｉ｜は最大値｜Ｉ０｜
となり、入力電圧をＥとすると、 ｜Ｉ０｜＝Ｅ／Ｒ （１３） となる。また、回路を流れる電流｜Ｉ｜は、 ｜Ｉ｜＝Ｅ／｜Ｚ｜ （１４） したがって、｜Ｉ｜／｜Ｉ０｜は式（１３）、式（１
４）より、 ｜Ｉ｜／｜Ｉ０｜＝Ｒ／｜Ｚ｜ ＝１／ＳＱＲＴ｛１＋Ｑ＊＊２・（ω／ω０ −ω０／ω）＊＊２｝ （１５） となる。この式（１５）は、Ｒ−Ｌ−Ｃ直列回路の｜Ｉ
｜／｜Ｉ０｜の周波数特性を示し、横軸にω／ω０を、
縦軸に｜Ｉ｜／｜Ｉ０｜をとり、Ｑの値をパラメータと
して｜Ｑ・（ω／ω０−ω０／ω）｜を描くと、図８の
ようになる（上述の文献、電気回路論、８５項参照）。

【００３０】この図８は、Ｑの種々の値に対応し、入力
電圧の周波数に対するＲ−Ｌ−Ｃ直列回路の周波数特性
を示す。同図からわかるように、入力電圧の周波数ｆが
Ｒ−Ｌ−Ｃ直列回路の共振周波数ｆ０に等しいとき、｜
Ｉ｜が最大値｜Ｉ０｜となる。また、Ｑが大きくなるほ
ど共振曲線がせん鋭となり、Ｒ−Ｌ−Ｃ直列回路に電流
を流し得る入力電圧の周波数帯域が狭くなることがわか
る。逆にいえば、Ｑの値を小さくすることにより、周波
数帯域を広げることができる。式（１１）に示したよう
に、ＱはＲ、Ｌ、Ｃの値で決まり、このうち、ＬとＣは
圧電素子２０Ａにより設定される固定値のため、結局は
Ｒにより決定される。

【００３１】したがって、図６に示した抵抗Ｒ１、Ｒ
２、Ｒ３の値を調整することにより、圧電素子２０Ａの
インピーダンスと、方向性結合器２６のインピーダンス
とが整合する周波数帯域を調整することができる。

【００３２】なお、探触子が２３Ｂあるいは２３Ｃの場
合であっても、圧電素子２０Ｂあるいは２０Ｃのキャパ
シタンスＣを測定し、上述した公知の手法に則りインダ
クタンスＬを設定する。さらに、上述した手法に則りイ
ンダクタンス回路９、１２、１５および抵抗回路６が設
定される。

【００３３】このように構成した超音波検査装置のイン
ピーダンス整合器では、広帯域整合手段と使用する探触
子の種類に応じた数の共振整合手段および接続手段とを
ケーシング内に収納し、さらに、探触子と一体化するた
めの係合手段をケーシングに設けているため、小型化を
図ることができ、しかも探触子を交換しても、探触子に
設けた圧電素子のインピーダンスと方向性結合器のイン
ピーダンスとを、確実に整合させることができる。

【００３４】なお、上述した実施例では、方向性結合器
２６と圧電素子２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃとの間のインピ
ーダンスを整合させる際、実際上、整合周波数帯域を厳
密に設定する用途が少ないことから、広帯域整合手段と
しての抵抗回路６を１個のみ使用しているが、各圧電素
子２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃに応じた抵抗回路６を複数作
製し、インダクタンス回路９、１２、１５に対応させて
もよい。

【００３５】さらに、実施例としては、対応する探触子
の数を２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃの３種類としたが、その
数に限定されることはなく、もっと多くても、少なくて
もよい。

【００３６】

【発明の効果】本発明によれば、超音波検査装置のイン
ピーダンス整合器を形成する広帯域整合手段と共振整合
手段および接続手段とを、１個のケーシング内に収納す
るため、インピーダンス整合器を小型化することができ
る。したがって、インピーダンス整合器を設置するため
の広いスペースは不要となる。さらに、このケーシング
には探触子を係合する係合手段が備えられているため、
インピーダンス整合器と探触子とを結ぶ配線が不要とな
る。

【００３７】また、特に、請求項２に記載の発明によれ
ば、使用する探触子の特性に応じた複数の共振整合手段
および複数の接続手段を設けているため、探触子を交換
しても、探触子に設けた圧電素子のインピーダンスと方
向性結合器のインピーダンスとを確実に整合させること
ができる。したがって、検査者等は両者のインピーダン
スを整合させるための、余分な手間と時間を費やすこと
がなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の超音波検査装置のインピーダンス整合
器の実施例を含む超音波検査装置の構成図である。

【図２】本発明の超音波検査装置のインピーダンス整合
器の実施例に備えられた接続基板の斜視図である。

【図３】探触子の外観図である。

【図４】本発明の超音波検査装置のインピーダンス整合
器の実施例に備えられたケーシングに探触子を係合させ
た状態を示す外観図である。

【図５】本発明の超音波検査装置のインピーダンス整合
器の実施例に備えられた共振整合手段例えばインダクタ
ンス回路と探触子とを電気回路的に表現した模式図で有
る。

【図６】本発明の超音波検査装置のインピーダンス整合
器の実施例に備えられた広帯域整合手段例えば抵抗回路
の回路図である。

【図７】本発明の超音波検査装置のインピ−ダンス整合
器に備えられたインピ−ダンス整合手段と探触子とを電
気回路的に表現した模式図である。

【図８】Ｒ−Ｌ−Ｃ直列回路の入力周波数に対する共振
曲線である。

【図９】従来の超音波検査装置の系統図である。

【図１０】従来の超音波検査装置のインピ−ダンス整合
器に用いられたスタブチュ−ナの斜視図である。

【符号の説明】

１ インピ−ダンス整合器 ２ ケ−シング ６ 抵抗回路基板（広帯域整合手段） ８ インダクタンス回路基板（共振整合手段） １１ インダクタンス回路基板（共振整合手段） １４ インダクタンス回路基板（共振整合手段） １７ 接続基板（接続手段） １８ 溝（係合手段） ２０ 圧電素子 ２３ 探触子 ２４ 送信器 ２５ 受信器 ２６ 方向性結合器 ３３ インピーダンス整合手段

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 探触子と、この探触子を励振させる信号
   を出力する送信器と、前記探触子からの信号を受信する
   受信器と、前記送信器と前記受信器を選択的に前記探触
   子に結合する方向性結合器とを備えた超音波検査装置に
   設けられ、前記方向性結合器と前記探触子との間に配置
   され、前記探触子に設けた圧電素子のインピーダンスと
   前記方向性結合器のインピーダンスとの整合周波数帯域
   を広くする広帯域整合手段と、前記圧電素子の共振周波
   数に対応する共振整合手段とを備えたインピーダンス整
   合手段と、このインピーダンス整合手段と前記探触子と
   を電気的に接続する接続手段とを備えた超音波検査装置
   のインピーダンス整合器において、前記インピーダンス
   整合手段と前記接続手段とを収納するとともに前記探触
   子を保持するケーシングを備えたことを特徴とする超音
   波検査装置のインピーダンス整合器。
2. 【請求項２】 前記共振整合手段は、複数の探触子に設
   けた圧電素子のそれぞれの共振周波数に対応する複数の
   共振整合手段からなり、さらに、前記接続手段は、前記
   共振整合手段に対応し、且つ、それぞれの探触子の接点
   位置に対応した複数の接続手段からなることを特徴とす
   る請求項１記載の超音波検査装置のインピーダンス整合
   器。
3. 【請求項３】 前記ケーシングに前記探触子を係合させ
   る係合手段を設けたことを特徴とする請求項１あるいは
   請求項２記載の超音波検査装置のインピーダンス整合
   器。