JPH05144861A - 電子部品のモールドプレス装置 - Google Patents

電子部品のモールドプレス装置

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JPH05144861A
JPH05144861A JP30738491A JP30738491A JPH05144861A JP H05144861 A JPH05144861 A JP H05144861A JP 30738491 A JP30738491 A JP 30738491A JP 30738491 A JP30738491 A JP 30738491A JP H05144861 A JPH05144861 A JP H05144861A
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  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 複数個のチップをパッケージする電子部品を
製造するためのモールドプレス装置を提供する。 【構成】 リードフレーム10と基板1の接合部に対応
する位置に樹脂4が圧入されるキャビティ69が形成さ
れた上型56および下型55と、この上型を下型に対し
て相対的に上下動させる駆動手段57と、この下型55
の内側部に昇降自在に設けられたブロック90と、この
ブロック90を昇降自在に弾持するばね材92と、上記
基板1を突き上げるエジェクタピン71と、このエジェ
クタピン71を昇降させる昇降手段94とからモールド
プレス装置を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は電子部品のモールドプレ
ス装置に係り、詳しくは、複数個のチップをパッケージ
する電子部品を製造するためのモールドプレス装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】電子部品として、例えばQFPやSOP
のように、モールド体の周囲から外方へリードが延出し
たものがある。このような電子部品の一般的な製造方法
は、ダイボンダによりリードフレームにチップをボンデ
ィングする工程と、ワイヤボンダを用いてチップとリー
ドフレームをワイヤにより接続する工程と、チップの保
護のためにモールドプレス装置によりリードフレームに
モールド体を形成する工程と、リードフレームを打ち抜
いてリードのフォーミングを行う工程とから成ってい
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年電子部
品は益々高集積化が要請されているが、上記従来手段で
は、1個の電子部品には1個のチップしかパッケージさ
れていないため、このような高集積化には限界があっ
た。そこで、電子部品の集積度を高めるために、1個の
電子部品に多数個のチップをパッケージすることが考え
られる。
【0004】したがって本発明は、複数個のチップをパ
ッケージする電子部品を製造するためのモールドプレス
装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】このために本発明は、リ
ードフレームと基板の接合部に対応する位置に樹脂が圧
入される凹入部が形成された上型および下型と、この上
型を下型に対して相対的に上下動させる駆動手段と、こ
の下型の内側部に昇降自在に設けられたブロックと、こ
のブロックを昇降自在に弾持するばね材と、上記基板を
突き上げるエジェクタピンと、このエジェクタピンを昇
降させる昇降手段とから成るモールドプレス装置を構成
した。
【0006】
【作用】上記構成によれば、下型上に基板が接着された
リードフレームを載置し、上型と下型を接合すると、基
板の下面に当接したブロックが、ばね材を介して基板の
厚さに応じて下降することで、基板の厚さのばらつきを
吸収する。
【0007】次いで、キャビティ内に樹脂を圧入して、
リードフレームと基板の接合部に対応する位置にモール
ド体を形成した後、上型と下型を離反させると、ばね材
が伸びて基板をブロックが押し上げ、成形されたモール
ド体の一部が下型のキャビティから剥離される。次い
で、昇降手段を駆動してエジェクタピンを上昇させる
と、モールド体はキャビティから完全に剥離される。
【0008】
【実施例】次に、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。図1は本発明に係る電子部品Cの斜視図、図
2は同断面図である。図中、1は基板であり、この基板
1から外方へリード10aが延出されている。3は基板
1の周囲に形成されたモールド体である。このモールド
体3は、基板1とリード10aが分離しないように両者
をしっかり結合するために、両者の接合部に枠型に形成
されている。Pはチップであり、この基板1の上面に複
数個搭載されている。4はチップPの保護手段としての
電気絶縁性の樹脂であり、チップPおよびワイヤ6を樹
脂封止して保護するべくモールド体3の内部に塗布され
ている。5は半田部、7はこの電子部品Cが後工程で搭
載される主基板である。この電子部品Cは、QFPやS
OPなどの従来の電子部品C′と同様に主基板7に搭載
される。なお、半田部5に代えて、ボンドなどにより固
着してもよい。
【0009】本電子部品Cは上記のような構成により成
り、次にその製造方法を説明する。図3〜図6は本発明
に係る電子部品Cの製造工程の説明図であり、一連の動
作を示している。まず、図3(a)に示すように、スク
リーン印刷機8により、リードフレーム10に半田部5
を形成する。具体的には、スクリーンマスク9の下方に
リードフレーム10を配置し、このスクリーンマスク9
上をスキージ11を摺動させることにより、このスクリ
ーンマスク9に形成されたパターン孔を介してクリーム
半田5′をリードフレーム10上に塗布し、上記半田部
5を形成する。このリードフレーム10は、図7に示す
ように、タイバー部10cにより連結された複数本のリ
ード10aと、基板1を支持する4本の支持部10bが
打抜加工により形成されている。
【0010】次いで、図3(b)に示すように、半田部
5上に基板1を搭載する。具体的には、移載ヘッド13
をXY方向に駆動してノズル14に吸着された基板1を
半田部5上に搭載する。
【0011】次に、図3(c)に示すように、この半田
部5をリフロー装置により加熱処理して、基板1をリー
ドフレーム10に接着し、次いでその表裏を反転させる
(図4(a))。なお半田部5は、半田メッキ、半田レ
ベラなどの他の手段によって形成してもよい。あるいは
また、半田の代わりに例えば紫外線の照射により硬化す
る光硬化樹脂や通常の樹脂などのその他の接着剤によ
り、基板1とリードフレーム10を結合してもよい。こ
の場合、接着剤は基板またはリードフレームのいずれの
側に塗布してもよい。次いで、図4(b)に示すよう
に、基板1とリードフレーム10の接合部をしっかり結
合するために、基板1の周囲に図8に示すモールドプレ
ス装置50(後述)により枠型のモールド体3を形成す
る。
【0012】次に、図4(c)に示すように、リード1
0aの基端部を切断する切断部30aと、タイバー部1
0cを切断する切断部30bにより、基板1を支持する
支持部10bを残して、リード10aの基端部とタイバ
ー部10cを切断し(図4(c),図5(a))、次に
移載ヘッド15により、ノズル16に吸着されたチップ
Pをこの基板1上に複数個搭載する(図5(b))。
【0013】次いで、図5(c)に示すように、ワイヤ
ボンダ18によりチップPの電極と基板1の電極をワイ
ヤ6により接続する。具体的には、ホーン19を上下方
向に揺動させながら、キャピラリツール20に挿通され
たワイヤ6により、チップPと基板1の電極を接続す
る。なお、このようなチップPのほかに、フリップチッ
プやTABチップ等を基板1の電極に直接搭載してもよ
く、この場合はワイヤボンディングは不要となる。
【0014】次に図6(a)に示すように、チップPお
よびワイヤ6の保護のために、ディスペンサ17によ
り、このモールド体3の内部に絶縁性の樹脂4を塗布し
て、搭載されたチップPを樹脂封止する。この樹脂4と
しては、例えばUV樹脂、熱硬化性樹脂などが使用でき
る。次いで、この樹脂4がUV樹脂の場合には、紫外線
照射により、また熱硬化性樹脂の場合には加熱処理をし
て、この樹脂4を硬化させる。なおこの場合、樹脂4は
モールド体3の内部に充填するよう多量に塗布しても良
く、あるいはチップPの搭載箇所のみに局所的に塗布し
てもよい。
【0015】次いで、図6(b)に示すように、この切
断されたリード10aの先端部に、ファンクションテス
タのプローブTを当接して、搭載されたチップPの特性
検査をする。このような本手段によれば、製造工程にお
ける電子部品Cの良否判断の時期を早期化できる。
【0016】すなわち、従来の電子部品の製造方法で
は、リード10aやタイバー部10cをリードフレーム
10から切断分離する作業は最終工程で行われていた
が、チップの特性検査は、リードがリードフレームと一
体の状態ではできないことから、この切断分離作業が終
了した電子部品Cの完成後でなければ、この電子部品C
の特性検査ができなかった。このため、電子部品Cの良
否を判断する時期が遅れ、不良品であっても最終工程ま
で作業が進められてしまい、生産効率が低下していた。
しかも、電子部品の完成後は、極細のリードがモールド
体からむき出しで突出しているため、リードに器物が当
たるなどしてリードが屈曲変形しやすく、したがって従
来手段では、電子部品をトレイに収納するなどして注意
深く電子部品を取り扱いながら特性検査を行わねばなら
ず、それだけ検査能率が低下する問題点があった。
【0017】これに対して、本手段では、図5(a)に
示すように、リード10aがリードフレーム10と実質
的に一体の状態で特性検査ができるため、電子部品Cの
良否判断の時期が早められて、最終工程に至る前に不良
品は取り除けるので、生産効率の向上が図れる。しかも
図5(a)に示す状態で、リード10aはリードフレー
ム10や、基板1、モールド体3などによりガードされ
ているため、特性検査のための取り扱い搬送中に、器物
が当たるなどして屈曲変形するのを防止でき、且つリー
ドフレーム10を搬送用キャリヤとして、搬送路を自動
搬送しながら、作業性良く特性検査ができる。
【0018】次に、図6(c)に示すように、切断装置
31により、支持部10bを切断し、且つリード10a
のフォーミングをすることにより、図1に示す電子部品
Cが完成する。図5(a)に示す破線aは、支持部10
bの切断線である。なお、この支持部10bの切断およ
びリード10aのフォーミングは別個の工程で行っても
よく、あるいは同一工程で行ってもよい。
【0019】このようにして製造された電子部品Cは、
複数個のチップPがパッケージされているため、きわめ
て集積度化高く、実質的に電子部品Cを大幅に小型化し
て、主基板7に高密度搭載できる。なお、本発明は上記
実施例に限定されないのであって、例えば基板1にチッ
プPを搭載したのち、モールド体3を形成してもよく、
あるいは樹脂4を塗布する前に特性検査を行ってもよい
ものであり、このように上記工程は適宜前後させてもよ
い。
【0020】次に、上記図4(b)で使用されるモール
ドプレス装置50を詳細に説明する。図8はモールドプ
レス装置の全体斜視図であって、51,52,53は昇
降ガイド用ロッド54を介して積層された固定ベース、
昇降プラテン、固定トッププレートである。ベース51
の上面には下型55が、またプラテン52の下面には上
型56が装着されている。この下型55上には、リード
フレーム10がセットされる。57はトッププレート5
3上に配設されたACサーボモータであって、その回転
は減速用ウォーム58を介して、ウォームホイール59
に伝達され、上型56を下型55に対して相対的に上下
動させる。
【0021】60はウォームホイール59の軸心部に装
着された送りナット、61はこのナット60に駆動され
る垂直なボールネジである。上記プラテン52はこのボ
ールネジ61の下端部に取り付けられており、モータ5
7が駆動するとプラテン52は昇降し、上型56は上下
動して下型55に接離する。62はカバー用ケーシン
グ、63はベース51の下方に設けられたタブレット6
7の押し上げ用プランジャ(後述)を上下動させるため
のACサーボモータである。
【0022】図9は上記下型55と上型56の断面図で
あって、67はモールド体3の原料樹脂としての円柱状
タブレットであり、下型55の上部に配設された円筒状
ケーシングから成る装着部68に複数個並べて装着され
ている。なおタブレット67の加熱手段等は、図が繁雑
になるので省略している。
【0023】69は下型55と上型56に凹設されたキ
ャビティであって、下型55のキャビティ69は溝状の
ゲート70を介して上記装着部68内と連通しており、
このキャビティ69の中央部にリードフレーム10に搭
載された基板1を位置決めした状態で、加熱溶融された
タブレット67を圧入することにより、リードフレーム
10と基板1の接合部に対応する位置に枠型の上記モー
ルド体3が成形される。
【0024】90はこの下型55の内側部に昇降自在に
設けられたブロック、91はブロック90の下面に凹設
された筒孔、92はばね材であり、筒孔91内に収納さ
れてブロック90を昇降自在に弾持する。90aはブロ
ック90のフランジ部である。71は基板1を突き上げ
るエジェクタピンであり、ブロック90に穿孔された貫
通孔93およびベース51の貫通孔51aに昇降自在に
挿通されている。94はこのエジェクタピン71を昇降
させる昇降手段としてのシリンダであり、モールド作業
の終了後、シリンダ94を駆動してロッド95を突出さ
せると、エジェクタピン71が上昇し、このエジェクタ
ピン71により基板1を突き上げて、リードフレーム1
0を下型55から取り外す。
【0025】90bはブロック90の上部周縁に形成さ
れた支持部、56aは上型56に形成された支持部であ
って、上型56と下型55が接合した状態で、両支持部
90b,56aにより基板1が挟持される。この場合、
ブロック90はばね材92により昇降自在に弾接されて
いるので、基板1に厚さのばらつきがあっても、両支持
部90b,56aは基板1をしっかり挾持し、キャビテ
ィ69の気密性を保持する。
【0026】75は上記装着部68の下部に装着され
て、タブレット67を上方へ押し上げるプランジャであ
り、76はプランジャ75の突き上げ用ロッドであっ
て、モータ63(図8参照)に図外の動力伝達系を介し
て連結されている。このモータ63を駆動してロッド7
6を突出させると、プランジャ75が上昇して、タブレ
ット67を徐々に押し上げる。
【0027】次に、この電子部品のモールドプレス装置
50の動作の説明をする。図9において基板1がブロッ
ク90上に配置されるようにして、リードフレーム10
を下型55上に載置する。次いで、プレス用モータ57
を駆動して上型56を下降させて下型55に接合させ
る。ところで、この接合時に基板1はブロック90の支
持部90bと上型56の支持部56aで挟持されるが、
上述したように本手段では、ブロック90はばね材92
により昇降自在に弾支されているので基板1の厚さのば
らつきを吸収して、キャビティ69をしっかり密閉でき
る。
【0028】次に、プランジャ75を上昇させ、加熱溶
融されたタブレット67(以下、「溶融樹脂」とも言
う)をキャビティ69に徐々に圧入する。キャビティ6
9が溶融樹脂で充填されたならば、モータ63のトルク
を落して送り圧を低減し、引き続き保圧とキュアを行
い、キャビティ69内の樹脂を硬化させる。そしてキュ
アが終了したならば、再びモータ57を駆動して上型5
6を上昇させて、下型55と上型56の接合を解除す
る。すると、上型56による押圧状態が解除されたこと
により、図10においてばね材92が自身のばね力によ
り若干伸びて基板1をブロック90がわずかに押し上
げ、その結果、モールド体3は実線位置から鎖線位置へ
若干浮き上って、その外側面aと下面bはキャビティ6
9から剥離される。この状態で、モールド体3の内側面
cはキャビティ69の内壁面になおも付着している。
【0029】次いで、同図鎖線に示すようにシリンダ9
4を駆動してエジェクタピン71を上昇させると、この
エジェクタピン71により基板1の下面が押し上げられ
て、モールド体3の内壁面cもキャビティ69から剥離
され、モールド体3はキャビティ69から完全に剥離さ
れる。このような二段モーションによりモールド体3を
キャビティ69から剥離すれば、エジェクタピン71の
みによる単独の押し上げの場合よりも、リードフレーム
10の下型55からの型離れを確実に行える。このよう
に、このモールドプレス装置50によれば、リードフレ
ーム10と基板1の接合部を結合するモールド体3を簡
単に形成できる。
【0030】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、リードフ
レームに基板を接着し、この基板に複数個のチップを搭
載する電子部品のモールドプレス装置であって、リード
フレームと基板の接合部に対応する位置に樹脂が圧入さ
れるキャビティが形成された上型および下型と、この上
型を下型に対して相対的に上下動させる駆動手段と、こ
の下型の内側部に昇降自在に設けられたブロックと、こ
のブロックを昇降自在に弾持するばね材と、上記基板を
突き上げるエジェクタピンと、このエジェクタピンを昇
降させる昇降手段とから成るので、複数個のチップが搭
載される基板と、この基板が接着されるリードフレーム
との接合部にモールド体を形成し、基板とリードフレー
ムをしっかり結合することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る電子部品の斜視図
【図2】同断面図
【図3】同電子部品の製造工程の説明図
【図4】同電子部品の製造工程の説明図
【図5】同電子部品の製造工程の説明図
【図6】同電子部品の製造工程の説明図
【図7】同リードフレームの平面図
【図8】本発明に係るモールドプレス装置の全体斜視図
【図9】同モールドプレス装置の要部断面図
【図10】同モールドプレス装置の要部断面図
【符号の説明】
1 基板 3 モールド体 4 樹脂 10 リードフレーム 50 モールドプレス装置 55 下型 56 上型 57 駆動手段 71 エジェクタピン 90 ブロック 92 ばね材 94 昇降手段 C 電子部品 P チップ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】リードフレームに基板を接着し、この基板
    に複数個のチップを搭載する電子部品のモールドプレス
    装置であって、リードフレームと基板の接合部に対応す
    る位置に樹脂が圧入されるキャビティが形成された上型
    および下型と、この上型を下型に対して相対的に上下動
    させる駆動手段と、この下型の内側部に昇降自在に設け
    られたブロックと、このブロックを昇降自在に弾持する
    ばね材と、上記基板を突き上げるエジェクタピンと、こ
    のエジェクタピンを昇降させる昇降手段とから成ること
    を特徴とする電子部品のモールドプレス装置。
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