JPH05139861A - 多孔質炭化珪素焼結体の製造方法 - Google Patents

多孔質炭化珪素焼結体の製造方法

Info

Publication number
JPH05139861A
JPH05139861A JP3297396A JP29739691A JPH05139861A JP H05139861 A JPH05139861 A JP H05139861A JP 3297396 A JP3297396 A JP 3297396A JP 29739691 A JP29739691 A JP 29739691A JP H05139861 A JPH05139861 A JP H05139861A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
silicon carbide
powder
average particle
sintered body
particle size
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3297396A
Other languages
English (en)
Inventor
Atsushi Ito
淳 伊藤
Takeshi Ninomiya
健 二宮
Kozo Takada
孝三 高田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ibiden Co Ltd filed Critical Ibiden Co Ltd
Priority to JP3297396A priority Critical patent/JPH05139861A/ja
Publication of JPH05139861A publication Critical patent/JPH05139861A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B38/00Porous mortars, concrete, artificial stone or ceramic ware; Preparation thereof
    • C04B38/0022Porous mortars, concrete, artificial stone or ceramic ware; Preparation thereof obtained by a chemical conversion or reaction other than those relating to the setting or hardening of cement-like material or to the formation of a sol or a gel, e.g. by carbonising or pyrolysing preformed cellular materials based on polymers, organo-metallic or organo-silicon precursors
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B38/00Porous mortars, concrete, artificial stone or ceramic ware; Preparation thereof
    • C04B38/0038Porous mortars, concrete, artificial stone or ceramic ware; Preparation thereof by superficial sintering or bonding of particulate matter
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B38/00Porous mortars, concrete, artificial stone or ceramic ware; Preparation thereof
    • C04B38/06Porous mortars, concrete, artificial stone or ceramic ware; Preparation thereof by burning-out added substances by burning natural expanding materials or by sublimating or melting out added substances
    • C04B38/063Preparing or treating the raw materials individually or as batches
    • C04B38/0635Compounding ingredients
    • C04B38/0645Burnable, meltable, sublimable materials
    • C04B38/068Carbonaceous materials, e.g. coal, carbon, graphite, hydrocarbons
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2111/00Mortars, concrete or artificial stone or mixtures to prepare them, characterised by specific function, property or use
    • C04B2111/00474Uses not provided for elsewhere in C04B2111/00
    • C04B2111/00793Uses not provided for elsewhere in C04B2111/00 as filters or diaphragms
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02BINTERNAL-COMBUSTION PISTON ENGINES; COMBUSTION ENGINES IN GENERAL
    • F02B3/00Engines characterised by air compression and subsequent fuel addition
    • F02B3/06Engines characterised by air compression and subsequent fuel addition with compression ignition

Abstract

(57)【要約】 【目的】 気孔径の大きさを精密に制御して、所望の気
孔径を有するディーゼルエンジン用のパティキュレート
フィルタとして優れた特性を有する多孔質炭化珪素焼結
体を製造する方法を提供する。 【構成】 本発明では、先ず平均粒径が0.1〜5μm
のβ型多結晶炭化珪素に、平均粒径が0.5〜100μ
mの範囲内でかつβ型多結晶炭化珪素の平均粒径よりも
大きい粉末を混合する。そして、その混合物を1700
℃〜2300℃で焼成する。平均粒径が大きな粉末とし
ては、例えば、炭化珪素と固相焼結し、前記焼成温度よ
りも高い分解温度を有するα型炭化珪素等が用いられ
る。このような異常粒成長を抑制する粉末の添加によ
り、大きさの均一な結晶が生成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は各種フィルター、特にデ
ィーゼルエンジン用のパティキュレートフィルターに利
用される多孔質炭化珪素焼結体の製造方法に係り、特に
その気孔径を制御可能な多孔質炭化珪素焼結体の製造方
法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の炭化珪素焼結体として
は、例えば特公平2−24785号公報に記載されたも
のがある。この炭化珪素焼結体は結晶子の粒径が50オ
ングストローム以下のβ型炭化珪素の集合体である。そ
して、平均粒径が0.01〜1μmの球状のβ型多結晶
炭化珪素粉末に、平均粒径が6μm以下の多結晶炭化珪
素を混合し、その混合体を1750から2500℃の温
度で焼成して得られたものである。
【0003】上記の多孔質焼結体は超微粒子と多結晶炭
化珪素との焼結速度の差を利用して製造されている。そ
して、いずれか一方の粉末の配合割合が1重量部以下の
場合、多孔質体を製造することができないという点が指
摘されている。また、気孔径を均一にするには、β型多
結晶炭化珪素粉末の平均粒径は6μm以下にするべきで
あるとも記載されている。
【0004】一般に、β型炭化珪素を焼成する場合、β
型炭化珪素粉末中の特定の部位が異常粒成長を起こした
後、その部分に周囲の粒子が吸収されて、粒子が急速に
成長する。そして、炭化珪素の結晶粒子がすべて六角板
状に形成されて、炭化珪素焼結体には平均気孔径が20
〜60μmの気孔が形成される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
場合には、両粉末の配合割合を変更しても、粒成長のメ
カニズムを変更することはできないため、気孔径の大き
さを精密に制御して、所望の大きさを有する気孔径の多
孔質炭化珪素焼結体を得ることができないという問題が
あった。
【0006】この発明は、炭化珪素粉末の異常粒成長を
抑制する成分を添加すれば、大きさの均一な結晶が生成
されることを知見し、その知見に基づいてなされたもの
であって、その目的は気孔径の大きさを精密に制御し
て、所望の気孔径を有する炭化珪素焼結体を確実に製造
することが可能な多孔質炭化珪素焼結体の製造方法を提
供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段及び作用】上記の目的を達
成するためには、平均粒径が0.1〜5μmのβ型多結
晶炭化珪素に、平均粒径が0.5〜100μmの範囲内
でかつβ型多結晶炭化珪素の平均粒径よりも大きい粉末
を混合し、その混合物を1700〜2300℃の温度で
焼成することが必要である。
【0008】β型多結晶炭化珪素粉末中に、粒径の大き
な別の粉末を混合して焼結すると、図1に示すように、
粒径の大きな複数の粒子P1 によって区画された狭い領
域E内で、β型炭化珪素粒子P2 の粒成長が生じる。そ
れにより、結晶子の大きさが50オングストロームを越
え、かつその大きさの均一なβ型多孔質炭化珪素焼結体
を製造できる。
【0009】そして、前記両粉末の配合量及び粒径を適
宜に設定することにより、1μm〜60μmの範囲内に
て所望の気孔径を有する焼結体を製造できる。焼結材料
として使用されるβ型多結晶炭化珪素の平均粒径は、
0.1〜5μmの範囲内にあることが必要である。その
理由は、平均粒径が0.1μm未満であると、成形体中
での単一粒子状の分散が困難になり、5μmを越える
と、β型炭化珪素の結晶成長が起こり難いためである。
前記多結晶質炭化珪素の粉末に混合される粉末は、そ
の平均粒径が0.5〜100μmの範囲内でかつβ型多
結晶炭化珪素のそれよりも大きい粉末であることが必要
である。混合される粉末の平均粒径が0.5μm未満の
場合には、結晶成長の区画が形成されなくなって好まし
くなく、100μmを越える場合には、焼結体結合力が
弱くなって好ましくない。また、前記の混合される粉末
の平均粒径が多結晶炭化珪素の平均粒径よりも小さい場
合には、前記領域Eを区画形成することができない。
【0010】焼成温度は1700〜2300℃の範囲内
であることが必要である。1700℃未満の場合には、
炭化珪素の焼結が進行せず、2300℃を越えると、炭
化珪素が溶融するためである。
【0011】平均粒径が大きな前記粉末は炭化珪素と固
相焼結し、前記焼成温度よりも高い分解温度を有するこ
とが望ましい。その理由は、焼成時に固体状態が維持さ
れないと、前記領域Eを保持できなくなるからである。
従って、平均粒径が大きな前記粉末は、α型炭化珪素、
炭化チタン、炭化タリウム、炭化タングステン、炭化亜
鉛、炭化バナジウムなどの炭化物であることが好まし
い。
【0012】一方、平均粒径が大きな前記粉末は炭化珪
素と焼結せず、焼成後に炭化する物質であっても良い。
その理由は、焼結が生じないのであればβ型炭化珪素の
粒成長には影響が及ぶことがなく、焼成後に酸化雰囲気
で分解除去することができるからである。その一例とし
ては、エポキシ樹脂が挙げられる。
【0013】炭化珪素と焼結しない前記粉末は、焼成後
に燃焼させられて空隙を残す物質であっても良い。その
理由は、焼結が生じないのであればβ型炭化珪素の粒成
長には影響が及ぶことがなく、焼成後に燃焼させて除去
することができるからである。その例としては、無定型
炭素、黒鉛粒子等が挙げられる。
【0014】
【実施例】以下、この発明を具体化した実施例1及び実
施例2について説明する。 〔実施例1〕平均粒径0.3μmのβ型多結晶炭化珪素
粉末70重量部に、平均粒径8μmのα型炭化珪素粉末
30重量部及び、セルロース系バインダー20重量部を
配合し、その配合物を混練した後、押し出し成形によっ
て、厚さ1mmのシート状成形物を得た。この成形物の
脱脂を行った後、アルゴン雰囲気下、2080℃で1時
間焼成して、多孔質炭化珪素焼結体を得た。この焼結体
の気孔径を水銀ポロシメータで測定したところ、図2に
示すように15μmに気孔径分布中心が存在し、その分
布中心のプラスマイナス2μmの範囲内に気孔の95%
が存在して、分布状態はきわめてシャープであった。 〔実施例2〕前記実施例1におけるα型炭化珪素粉末に
代えて、平均粒径15μmの球状エポキシ樹脂(商品名
エポスター,日本触媒化学株式会社製)を22重量部配
合し、実施例1と同様の方法で焼結させた。この焼結体
を酸化雰囲気下、600℃で1時間で加熱して、エポキ
シ樹脂を分解消失させた。その後、焼結体の気孔径を水
銀ポロシメータで測定したところ、図3に示すように1
0μmに気孔径分布中心が存在し、その分布中心のプラ
スマイナス3μmの範囲内に気孔の95%が存在して、
分布状態はきわめてシャープであった。
【0015】
【発明の効果】以上詳述したようにこの発明は、所望の
気孔径を有する多孔質炭化珪素焼結体を確実に製造する
ことができるという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図1】β型多結晶炭化珪素とそれよりも大きな平均粒
径の粉末との混合状態を示す説明図である。
【図2】実施例1における焼結体の気孔径分布状態を示
すグラフである。
【図3】実施例2における焼結体の気孔径分布状態を示
すグラフである。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】平均粒径が0.1〜5μmのβ型多結晶炭
    化珪素に、平均粒径が0.5〜100μmの範囲内でか
    つβ型多結晶炭化珪素の平均粒径よりも大きい粉末を混
    合し、その混合物を1700〜2300℃の温度で焼成
    することにより、β型多孔質炭化珪素焼結体を製造する
    方法。
  2. 【請求項2】平均粒径が大きな前記粉末は炭化珪素と固
    相焼結し、前記焼成温度よりも高い分解温度を有する請
    求項1に記載の多孔質炭化珪素焼結体の製造方法。
  3. 【請求項3】平均粒径が大きな前記粉末は炭化物である
    請求項2に記載の多孔質炭化珪素焼結体の製造方法。
  4. 【請求項4】平均粒径が大きな前記粉末は炭化珪素と焼
    結せず、焼成後に炭化する物質からなる請求項1に記載
    の多孔質炭化珪素焼結体の製造方法。
  5. 【請求項5】炭化珪素と焼結しない前記粉末は焼成後に
    燃焼させられて空隙を残す物質からなる請求項1に記載
    の多孔質炭化珪素焼結体の製造方法。
JP3297396A 1991-11-13 1991-11-13 多孔質炭化珪素焼結体の製造方法 Pending JPH05139861A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3297396A JPH05139861A (ja) 1991-11-13 1991-11-13 多孔質炭化珪素焼結体の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3297396A JPH05139861A (ja) 1991-11-13 1991-11-13 多孔質炭化珪素焼結体の製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05139861A true JPH05139861A (ja) 1993-06-08

Family

ID=17845952

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3297396A Pending JPH05139861A (ja) 1991-11-13 1991-11-13 多孔質炭化珪素焼結体の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05139861A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1174400A1 (en) * 1999-11-30 2002-01-23 Ibiden Co., Ltd. Porous silicon carbide sintered compact and silicon carbide metal composite suitable for use in table for wafer polishing machine
EP1707544A1 (en) 2005-03-30 2006-10-04 Ibiden Co., Ltd. Silicon carbide-containing particle, method of manufacturing a silicon carbide-based sintered object, silicon carbide-based sintered object, and filter
JP2006344778A (ja) * 2005-06-09 2006-12-21 Disco Abrasive Syst Ltd ウェーハ搬送装置
US8062603B2 (en) 2003-06-23 2011-11-22 Ibiden Co., Ltd. Honeycomb structural body

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1174400A1 (en) * 1999-11-30 2002-01-23 Ibiden Co., Ltd. Porous silicon carbide sintered compact and silicon carbide metal composite suitable for use in table for wafer polishing machine
EP1174400A4 (en) * 1999-11-30 2006-02-01 Ibiden Co Ltd FRESH POROUS SILICON CARBIDE TABLET AND SILICON CARBIDE AND METAL COMPOSITE SUITABLE FOR USE IN A PLATELET POLISHING MACHINE TABLE
US8062603B2 (en) 2003-06-23 2011-11-22 Ibiden Co., Ltd. Honeycomb structural body
US8361400B2 (en) 2003-06-23 2013-01-29 Ibiden Co., Ltd. Honeycomb structural body
EP1707544A1 (en) 2005-03-30 2006-10-04 Ibiden Co., Ltd. Silicon carbide-containing particle, method of manufacturing a silicon carbide-based sintered object, silicon carbide-based sintered object, and filter
JP2006344778A (ja) * 2005-06-09 2006-12-21 Disco Abrasive Syst Ltd ウェーハ搬送装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3581879B2 (ja) アルミナ多孔体及びその製造方法
US5204300A (en) Methods of seeding sintered objects
JPH05139861A (ja) 多孔質炭化珪素焼結体の製造方法
JP2945221B2 (ja) 高靭性アルミナ系複合焼結体の製造方法
JPH04187578A (ja) 多孔質炭化珪素焼結体の製造方法
JPS61423A (ja) 炭化珪素質焼結体のフイルタ−
JPH0585814A (ja) コージエライト質ハニカム構造体の製造法
JPH10167854A (ja) 高強度多孔質α−SiC焼結体の製造方法
JP2851100B2 (ja) 低密度炭化珪素多孔質体の製造方法
JPS5849667A (ja) サイアロン質焼結体の製造方法
JPH0351659B2 (ja)
JP5120793B2 (ja) 炭化ケイ素多孔体の製造方法
OKUMOTO et al. Influence of alumina-slurry-dispersion characteristics on microstructure of granules and uniaxially pressed green bodies
JP4102874B2 (ja) 熱分解籾殻のパルス通電焼結によるシリコンカーバイド多孔体バルクの製造法
JP2000185979A (ja) 多孔質炭化珪素成形体の製造方法
JPH06100358A (ja) ムライト質焼結体の製造方法
JPH05330919A (ja) 窒化珪素質焼結体及びその製造方法
JPS62275067A (ja) 窒化珪素焼結体の製造法
JPH0952780A (ja) 多孔質炭化珪素焼結体の製造方法
JP3468426B2 (ja) 多孔質炭化珪素体の製造方法
KR100346761B1 (ko) 구형 티타늄 카바이드 분말 제조방법
JPH06131915A (ja) 高周波誘電体セラミックスおよびその製造方法
JPH05330893A (ja) セラミックス粉体用分散剤及びセラミックス焼結体の 製造方法
CN112457009A (zh) 一种氧化钨基陶瓷靶材材料的热等静压烧结制备方法
JPH0226863A (ja) コージライト質セラミックスとその製造方法