JPH05138486A - ワーク搬送装置 - Google Patents
ワーク搬送装置Info
- Publication number
- JPH05138486A JPH05138486A JP30757991A JP30757991A JPH05138486A JP H05138486 A JPH05138486 A JP H05138486A JP 30757991 A JP30757991 A JP 30757991A JP 30757991 A JP30757991 A JP 30757991A JP H05138486 A JPH05138486 A JP H05138486A
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- Control Of Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 搬送部材をワーク処理部材に対して所定の位
置で精度良く停止させることができる搬送装置を提供す
る。 【構成】 ワーク処理部材３，４と搬送部材１とに円柱
体１１と凹部１０ａとを備え、搬送部材１の停止時に円
柱体１１と凹部１０ａとが係合するように少なくとも搬
送部材１又はワーク処理部材３，４が移動するように構
成する。
置で精度良く停止させることができる搬送装置を提供す
る。 【構成】 ワーク処理部材３，４と搬送部材１とに円柱
体１１と凹部１０ａとを備え、搬送部材１の停止時に円
柱体１１と凹部１０ａとが係合するように少なくとも搬
送部材１又はワーク処理部材３，４が移動するように構
成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワークを搬送部材でワ
ーク処理部材まで搬送したのち、該ワーク処理部材で所
定の処理を行う場合、搬送部材をワーク処理部材に対し
て所定の停止位置で停止させるワーク搬送装置に関す
る。
ーク処理部材まで搬送したのち、該ワーク処理部材で所
定の処理を行う場合、搬送部材をワーク処理部材に対し
て所定の停止位置で停止させるワーク搬送装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工程においては、ワークとし
て例えばウエーハは所定数だけキャリアケースに収納さ
れたのち、キャリアケースごと処理層等のワーク処理部
材に搬送部材で搬送されて所定の処理が行われている。
しかしながら、近年、一度に搬送及び処理すべきウエー
ハの枚数を増加させたいという要望があり、この要望を
満たすためにはキャリアケースを大型化することが考え
られる。しかし、キャリアケースを大型化することによ
り処理槽も大型化する必要が生じ、全体として半導体製
造工場全体が大型化してしまう。
て例えばウエーハは所定数だけキャリアケースに収納さ
れたのち、キャリアケースごと処理層等のワーク処理部
材に搬送部材で搬送されて所定の処理が行われている。
しかしながら、近年、一度に搬送及び処理すべきウエー
ハの枚数を増加させたいという要望があり、この要望を
満たすためにはキャリアケースを大型化することが考え
られる。しかし、キャリアケースを大型化することによ
り処理槽も大型化する必要が生じ、全体として半導体製
造工場全体が大型化してしまう。
【０００３】そこで、キャリアケースをなくしてウエー
ハを搬送部材のロボット等により直接把持して搬送する
ことが考えられている。このような場合には、搬送部材
をワーク処理部材に対して所定の停止位置で精度良く停
止させることが要求される。この要求を満たすために
は、フォトセンサ等により搬送部材の位置を検出して、
搬送部材を所定の停止位置に停止させるように搬送部材
の駆動を制御することが考えられる。
ハを搬送部材のロボット等により直接把持して搬送する
ことが考えられている。このような場合には、搬送部材
をワーク処理部材に対して所定の停止位置で精度良く停
止させることが要求される。この要求を満たすために
は、フォトセンサ等により搬送部材の位置を検出して、
搬送部材を所定の停止位置に停止させるように搬送部材
の駆動を制御することが考えられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
造のものでは、フォトセンサ等を使用するため装置全体
が高価なものとなるとともに、搬送部材の慣性力やブレ
ーキ制御における誤差等により位置ずれが生じるといっ
た問題があった。
造のものでは、フォトセンサ等を使用するため装置全体
が高価なものとなるとともに、搬送部材の慣性力やブレ
ーキ制御における誤差等により位置ずれが生じるといっ
た問題があった。
【０００５】従って、本発明の目的は、上記問題を解決
することにあって、搬送部材をワーク処理部材に対して
所定の位置で精度良く停止させることができる搬送装置
を提供することにある。
することにあって、搬送部材をワーク処理部材に対して
所定の位置で精度良く停止させることができる搬送装置
を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、ワーク処理部材と搬送部材とに第１位置
決め部材と第２位置決め部材とを備え、搬送部材の停止
時に第１位置決め部材と第２位置決め部材とが係合する
ように少なくとも搬送部材又はワーク処理部材が移動す
るように構成する。
に、本発明は、ワーク処理部材と搬送部材とに第１位置
決め部材と第２位置決め部材とを備え、搬送部材の停止
時に第１位置決め部材と第２位置決め部材とが係合する
ように少なくとも搬送部材又はワーク処理部材が移動す
るように構成する。
【０００７】すなわち、本発明は、ワークに所定の処理
を行うとともに、第１位置決め部材を有する一方、ワー
ク搬送方向に移動可能なワーク処理部材と、上記ワーク
搬送方向に沿って上記ワーク処理部材に関して上記ワー
クを搬送するとともに上記ワーク処理部材に対して所定
位置で停止可能な搬送部材と、上記搬送部材に設けら
れ、上記第１位置決め部材と係合する第２位置決め部材
を有するとともに、該第２位置決め部材を上記第１位置
決め部材側に付勢する付勢部材とを備え、上記第１位置
決め部材と上記第２位置決め部材とのうちいずれか一方
が円柱体であり、いずれか他方が上記円柱体を係合する
大略Ｖ字状凹部であり、上記付勢部材により上記凹部内
に上記円柱体が入るとき上記円柱体に対して上記凹部が
所定の係合状態まで係合するように上記搬送部材に対し
て上記ワーク処理部材が移動可能であるように構成す
る。
を行うとともに、第１位置決め部材を有する一方、ワー
ク搬送方向に移動可能なワーク処理部材と、上記ワーク
搬送方向に沿って上記ワーク処理部材に関して上記ワー
クを搬送するとともに上記ワーク処理部材に対して所定
位置で停止可能な搬送部材と、上記搬送部材に設けら
れ、上記第１位置決め部材と係合する第２位置決め部材
を有するとともに、該第２位置決め部材を上記第１位置
決め部材側に付勢する付勢部材とを備え、上記第１位置
決め部材と上記第２位置決め部材とのうちいずれか一方
が円柱体であり、いずれか他方が上記円柱体を係合する
大略Ｖ字状凹部であり、上記付勢部材により上記凹部内
に上記円柱体が入るとき上記円柱体に対して上記凹部が
所定の係合状態まで係合するように上記搬送部材に対し
て上記ワーク処理部材が移動可能であるように構成す
る。
【０００８】また、本発明は、ワークに所定の処理を行
うとともに、第１位置決め部材を有する一方、ワーク搬
送方向に対して固定されたワーク処理部材と、上記ワー
ク搬送方向に沿って上記ワーク処理部材に関して上記ワ
ークを搬送するとともに上記ワーク処理部材に対して所
定位置で停止する一方、停止動作後に必要に応じて移動
可能な搬送部材と、上記搬送部材に設けられ、上記第１
位置決め部材と係合する第２位置決め部材を有するとと
もに、該第２位置決め部材を上記第１位置決め部材側に
付勢する付勢部材とを備え、上記第１位置決め部材と上
記第２位置決め部材とのうちいずれか一方が円柱体であ
り、いずれか他方が上記円柱体を係合する大略Ｖ字状凹
部であり、上記付勢部材により上記凹部内に上記円柱体
が入るとき上記円柱体に対して上記凹部が所定の係合状
態まで係合するように上記ワーク処理部材に対して上記
搬送部材が移動調整可能であるように構成する。
うとともに、第１位置決め部材を有する一方、ワーク搬
送方向に対して固定されたワーク処理部材と、上記ワー
ク搬送方向に沿って上記ワーク処理部材に関して上記ワ
ークを搬送するとともに上記ワーク処理部材に対して所
定位置で停止する一方、停止動作後に必要に応じて移動
可能な搬送部材と、上記搬送部材に設けられ、上記第１
位置決め部材と係合する第２位置決め部材を有するとと
もに、該第２位置決め部材を上記第１位置決め部材側に
付勢する付勢部材とを備え、上記第１位置決め部材と上
記第２位置決め部材とのうちいずれか一方が円柱体であ
り、いずれか他方が上記円柱体を係合する大略Ｖ字状凹
部であり、上記付勢部材により上記凹部内に上記円柱体
が入るとき上記円柱体に対して上記凹部が所定の係合状
態まで係合するように上記ワーク処理部材に対して上記
搬送部材が移動調整可能であるように構成する。
【０００９】上記構成においては、上記付勢部材は、上
記第１位置決め部材が先端に取り付けられたロッドを駆
動する駆動シリンダであるように構成することもでき
る。
記第１位置決め部材が先端に取り付けられたロッドを駆
動する駆動シリンダであるように構成することもでき
る。
【００１０】
【発明の効果】本発明の構成によれば、搬送部材がワー
ク処理部材に対して停止するとき、付勢部材により搬送
部材の第１位置決め部材とワーク処理部材の第２位置決
め部材とを係合させ、所定の係合状態が達成されない場
合には、ワーク処理部材と搬送部材とのいずれか一方が
いずれか他方に対して移動することにより、両位置決め
部材が所定の係合状態に係合するようになる。よって、
搬送部材はワーク処理部材に対して常に一定の位置関係
で停止することになり、搬送部材を精度良くワーク処理
部材に対して停止させることができる。
ク処理部材に対して停止するとき、付勢部材により搬送
部材の第１位置決め部材とワーク処理部材の第２位置決
め部材とを係合させ、所定の係合状態が達成されない場
合には、ワーク処理部材と搬送部材とのいずれか一方が
いずれか他方に対して移動することにより、両位置決め
部材が所定の係合状態に係合するようになる。よって、
搬送部材はワーク処理部材に対して常に一定の位置関係
で停止することになり、搬送部材を精度良くワーク処理
部材に対して停止させることができる。
【００１１】
【実施例】以下に、本発明にかかる実施例を図１〜図３
に基づいて詳細に説明する。
に基づいて詳細に説明する。
【００１２】本実施例にかかる搬送装置は、図１に示す
ように、ウエーハ等のワークを把持する搬送部材として
ロボット１がワーク搬送方向に沿って配置されたレール
６沿いに移動し、該レール６に沿って配置されたワーク
処理部材として例えば処理槽４の受け台３に対して所定
の位置で停止するようになっている。
ように、ウエーハ等のワークを把持する搬送部材として
ロボット１がワーク搬送方向に沿って配置されたレール
６沿いに移動し、該レール６に沿って配置されたワーク
処理部材として例えば処理槽４の受け台３に対して所定
の位置で停止するようになっている。
【００１３】上記ロボット１は、処理槽４とロボット１
とを区切る仕切り壁２６に固定されたレール６に対して
該レール６を抱持しつつ摺動するガイド２７を備えてお
り、ガイド２７がレール６に対して摺動することにより
ロボット１がレール６に沿って直線的に移動できるよう
になっている。上記ロボット１は、昇降軸２１を介して
処理槽側にワーク把持アーム２を備えるとともに、ロボ
ット１の基台２０の上面には付勢部材としてのシリンダ
１８と該シリンダ１８により駆動される第２位置決め部
材としての円柱体１１を備える。シリンダ１８は、その
ロッド１７の軸方向が上記レール６すなわちワーク搬送
方向に対して直交するように支持ブラケット１９により
基台２０に固定されている。このロッド１７の先端には
連結板１６を介して駆動軸１５の一端に連結されてい
る。駆動軸１５はロッド１７と平行に配置され、案内部
材１４によりその軸方向への移動が案内されている。案
内部材１４内には摺動部材２２，２２が内蔵された軸受
けとなっており、駆動軸１５を円滑にその軸方向に案内
する。駆動軸１５の他端には、ナックル１３がネジ２４
により回り止めされつつ固定されている。このナックル
１３の先端には、上下二股に分岐され、その空間に上記
円柱体１１が軸１２により回転自在に支持されている。
よって、シリンダ１８の駆動により連結板１６を介して
駆動軸１５がワーク搬送方向とは直交方向に移動し、円
柱体１１がレール側に対して前後に移動する。
とを区切る仕切り壁２６に固定されたレール６に対して
該レール６を抱持しつつ摺動するガイド２７を備えてお
り、ガイド２７がレール６に対して摺動することにより
ロボット１がレール６に沿って直線的に移動できるよう
になっている。上記ロボット１は、昇降軸２１を介して
処理槽側にワーク把持アーム２を備えるとともに、ロボ
ット１の基台２０の上面には付勢部材としてのシリンダ
１８と該シリンダ１８により駆動される第２位置決め部
材としての円柱体１１を備える。シリンダ１８は、その
ロッド１７の軸方向が上記レール６すなわちワーク搬送
方向に対して直交するように支持ブラケット１９により
基台２０に固定されている。このロッド１７の先端には
連結板１６を介して駆動軸１５の一端に連結されてい
る。駆動軸１５はロッド１７と平行に配置され、案内部
材１４によりその軸方向への移動が案内されている。案
内部材１４内には摺動部材２２，２２が内蔵された軸受
けとなっており、駆動軸１５を円滑にその軸方向に案内
する。駆動軸１５の他端には、ナックル１３がネジ２４
により回り止めされつつ固定されている。このナックル
１３の先端には、上下二股に分岐され、その空間に上記
円柱体１１が軸１２により回転自在に支持されている。
よって、シリンダ１８の駆動により連結板１６を介して
駆動軸１５がワーク搬送方向とは直交方向に移動し、円
柱体１１がレール側に対して前後に移動する。
【００１４】一方、処理槽４は、所定の溶液を備え、該
溶液内にウエーハ受け台３を移動可能に配置する。この
受け台３は仕切り壁２６に対して移動可能に支持部材５
により支持されている。この支持部材５は、仕切り壁２
６の上端近傍でコ字状に屈曲しており、この支持部材５
は、仕切り壁２６の上端近傍でコの字状に屈曲してお
り、この支持部材５の先端の処理槽側に固定されたスラ
イド軸受８，８と仕切り壁２６にブラケット７を介して
固定されたスライド軸９を備えて、仕切り壁２６に対し
て支持部材５が仕切り壁２６に沿ってスライド軸９が設
けられている範囲で自在にかつ円滑に移動するようにし
ている。２個のスライド軸受け８，８を設けることによ
り、支持部材５が仕切り壁２６に対してねじれ状態で移
動することを防止できるようにしている。支持部材５の
上記先端のロボット側には円柱体１１が当接する案内板
１０を固定するとともに、該案内板１０に大略Ｖ字状の
凹部１０ａを第１位置決め部材として形成する。この凹
部１０ａには上記円柱体１１が入り込んで係合すること
により、処理槽４の受け台３とロボット１とが所定の位
置に位置することになる。
溶液内にウエーハ受け台３を移動可能に配置する。この
受け台３は仕切り壁２６に対して移動可能に支持部材５
により支持されている。この支持部材５は、仕切り壁２
６の上端近傍でコ字状に屈曲しており、この支持部材５
は、仕切り壁２６の上端近傍でコの字状に屈曲してお
り、この支持部材５の先端の処理槽側に固定されたスラ
イド軸受８，８と仕切り壁２６にブラケット７を介して
固定されたスライド軸９を備えて、仕切り壁２６に対し
て支持部材５が仕切り壁２６に沿ってスライド軸９が設
けられている範囲で自在にかつ円滑に移動するようにし
ている。２個のスライド軸受け８，８を設けることによ
り、支持部材５が仕切り壁２６に対してねじれ状態で移
動することを防止できるようにしている。支持部材５の
上記先端のロボット側には円柱体１１が当接する案内板
１０を固定するとともに、該案内板１０に大略Ｖ字状の
凹部１０ａを第１位置決め部材として形成する。この凹
部１０ａには上記円柱体１１が入り込んで係合すること
により、処理槽４の受け台３とロボット１とが所定の位
置に位置することになる。
【００１５】上記構成によれば、ワークを把持したロボ
ット１が処理槽４に向けてレール６に沿って移動してい
るとき、停止すべき位置の近くで予めロボット１の移動
速度を小さくして円柱体１１が処理槽４の支持部材５の
案内板１０の凹部１０ａの近傍で停止させる。そして、
シリンダ１８を駆動して円柱体１１を凹部１０ａに向け
て移動させる。このシリンダ１８はロボット１が上記停
止すべき位置の近傍に達したときにロボット１の移動中
から駆動を開始してもよい。シリンダ１８の駆動により
円柱体１１が受け台３に連結された支持部材５側の凹部
１０ａ内に入り込むとき、ワーク搬送方向に対する直交
する方向において円柱体１１の中心と凹部１０ａのＶ字
状の底部とが一致していないときには、円柱体１１に対
して凹部１０ａが完全に係合するように支持部材５を介
して処理槽４の受け台３が仕切り壁２６沿いに移動す
る。すなわち、円柱体１１がＶ字状凹部１０ａのＶ字の
底部近傍まで入り込んで凹部１０ａの相対する２つの面
に円柱体１１が当接する所定の係合状態になるまで、シ
リンダ１８により円柱体１１及び凹部１０ａを介して受
け台３を処理槽４内でを移動させる。この移動により、
ロボット１の円柱体１１が案内板１０の凹部１０ａ内に
確実にかつ充分に係合して入り込むようになる。一方、
ワーク搬送方向に対する直交する方向において円柱体１
１の中心と凹部１０ａのＶ字状の底部とが一致している
場合には、円柱体１１が凹部１０ａ内に確実にかつ充分
に入り込んで係合するため、受け台３は何ら移動する必
要はない。
ット１が処理槽４に向けてレール６に沿って移動してい
るとき、停止すべき位置の近くで予めロボット１の移動
速度を小さくして円柱体１１が処理槽４の支持部材５の
案内板１０の凹部１０ａの近傍で停止させる。そして、
シリンダ１８を駆動して円柱体１１を凹部１０ａに向け
て移動させる。このシリンダ１８はロボット１が上記停
止すべき位置の近傍に達したときにロボット１の移動中
から駆動を開始してもよい。シリンダ１８の駆動により
円柱体１１が受け台３に連結された支持部材５側の凹部
１０ａ内に入り込むとき、ワーク搬送方向に対する直交
する方向において円柱体１１の中心と凹部１０ａのＶ字
状の底部とが一致していないときには、円柱体１１に対
して凹部１０ａが完全に係合するように支持部材５を介
して処理槽４の受け台３が仕切り壁２６沿いに移動す
る。すなわち、円柱体１１がＶ字状凹部１０ａのＶ字の
底部近傍まで入り込んで凹部１０ａの相対する２つの面
に円柱体１１が当接する所定の係合状態になるまで、シ
リンダ１８により円柱体１１及び凹部１０ａを介して受
け台３を処理槽４内でを移動させる。この移動により、
ロボット１の円柱体１１が案内板１０の凹部１０ａ内に
確実にかつ充分に係合して入り込むようになる。一方、
ワーク搬送方向に対する直交する方向において円柱体１
１の中心と凹部１０ａのＶ字状の底部とが一致している
場合には、円柱体１１が凹部１０ａ内に確実にかつ充分
に入り込んで係合するため、受け台３は何ら移動する必
要はない。
【００１６】この結果、上記実施例においては、ロボッ
ト１が処理槽４の受け台３に対して停止するとき、シリ
ンダ１８よりロボット１の円柱体１１と処理槽４側の凹
部１０ａとを係合させ、所定の係合状態が達成されない
場合には、処理槽４の受け台３がロボット１に対して移
動することにより、円柱体１１と凹部１０ａとが所定の
係合状態に係合するようになる。よって、ロボット１は
処理槽４の受け台３に対して常に一定の位置関係で停止
することになり、ロボット１を精度良く処理槽４に対し
て停止させることができる。また、ロボット１の円柱体
１１は回転自在に駆動軸１５に支持されているため、処
理槽側の凹部１０ａに係合するとき、凹部１０ａの内面
を円柱体１１が転動することにより両部材が円滑に係合
作動を開始し、ロボット１に対する処理槽４の受け台３
の移動を円滑に行うことができる。また、シリンダ１８
のロッド１７により円柱体１１を直接凹部１０ａ内に係
合させるのではなく、駆動軸１５を介して間接的に係合
させるようにしたので、係合動作時における過負荷がシ
リンダ１８に作用しない。さらに、円柱体１１の駆動ス
トロークを大きくしたい場合には、シリンダ１８のロッ
ド１７で円柱体１１を駆動していた場合にはシリンダ全
体を大型化する必要が生じるが、上記実施例のような構
成にすれば、駆動軸１５の移動ストロークを大きくする
だけでよくシリンダ１８を大きなものとする必要がな
い。
ト１が処理槽４の受け台３に対して停止するとき、シリ
ンダ１８よりロボット１の円柱体１１と処理槽４側の凹
部１０ａとを係合させ、所定の係合状態が達成されない
場合には、処理槽４の受け台３がロボット１に対して移
動することにより、円柱体１１と凹部１０ａとが所定の
係合状態に係合するようになる。よって、ロボット１は
処理槽４の受け台３に対して常に一定の位置関係で停止
することになり、ロボット１を精度良く処理槽４に対し
て停止させることができる。また、ロボット１の円柱体
１１は回転自在に駆動軸１５に支持されているため、処
理槽側の凹部１０ａに係合するとき、凹部１０ａの内面
を円柱体１１が転動することにより両部材が円滑に係合
作動を開始し、ロボット１に対する処理槽４の受け台３
の移動を円滑に行うことができる。また、シリンダ１８
のロッド１７により円柱体１１を直接凹部１０ａ内に係
合させるのではなく、駆動軸１５を介して間接的に係合
させるようにしたので、係合動作時における過負荷がシ
リンダ１８に作用しない。さらに、円柱体１１の駆動ス
トロークを大きくしたい場合には、シリンダ１８のロッ
ド１７で円柱体１１を駆動していた場合にはシリンダ全
体を大型化する必要が生じるが、上記実施例のような構
成にすれば、駆動軸１５の移動ストロークを大きくする
だけでよくシリンダ１８を大きなものとする必要がな
い。
【００１７】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、
上記シリンダ１８の代わりにモータにより円柱体１１を
駆動するようにしてもよい。また、円柱体１１はシリン
ダ１８により凹部１０ａに係合するのではなく、バネ等
により円柱体１１が常時すなわちロボット１の走行中で
も仕切り壁２６側に押圧付勢され、凹部１０ａに係合可
能に配置するようにしてもよい。
のではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、
上記シリンダ１８の代わりにモータにより円柱体１１を
駆動するようにしてもよい。また、円柱体１１はシリン
ダ１８により凹部１０ａに係合するのではなく、バネ等
により円柱体１１が常時すなわちロボット１の走行中で
も仕切り壁２６側に押圧付勢され、凹部１０ａに係合可
能に配置するようにしてもよい。
【００１８】また、上記処理槽４の受け台３は処理槽４
とともに支持部材５により仕切り壁２６に固定してもよ
い。この場合、円柱体１１を凹部１０ａ内に係合させる
とき、位置ずれがある場合には円柱体１１側すなわちロ
ボット１が処理槽４に対して移動するように構成する。
とともに支持部材５により仕切り壁２６に固定してもよ
い。この場合、円柱体１１を凹部１０ａ内に係合させる
とき、位置ずれがある場合には円柱体１１側すなわちロ
ボット１が処理槽４に対して移動するように構成する。
【００１９】また、受け台３のみが移動するのではな
く、処理槽４が受け台３とともに移動してロボット１に
対する位置調整が行えるようにしてもよい。
く、処理槽４が受け台３とともに移動してロボット１に
対する位置調整が行えるようにしてもよい。
【００２０】また、上記実施例ではワーク処理部材とし
ては、処理槽４を例示したがワークに所定の加工を行う
ためにワークを支持するための治具受け台であってもよ
い。
ては、処理槽４を例示したがワークに所定の加工を行う
ためにワークを支持するための治具受け台であってもよ
い。
【図１】 本発明の一実施例にかかるワーク搬送装置の
正面図である。
正面図である。
【図２】 上記搬送装置の平面図である。
【図３】 上記搬送装置の要部拡大正面図である。
１…ロボット、２…把持アーム、３…受け台、４…処理
槽、５…支持部材、６…レール、７…ブラケット、８…
スライド軸受、９…スライド軸、１０…案内板、１０ａ
…凹部、１１…円柱体、１２…軸、１３…ナックル、１
４…案内部材、１５…駆動軸、１６…連結板、１７…ロ
ッド、１８…シリンダ、１９…支持ブラケット、２０…
基台、２１…昇降軸、２２…摺動部材、２３…、２４…
ネジ、２６…仕切り壁、２７…ガイド。
槽、５…支持部材、６…レール、７…ブラケット、８…
スライド軸受、９…スライド軸、１０…案内板、１０ａ
…凹部、１１…円柱体、１２…軸、１３…ナックル、１
４…案内部材、１５…駆動軸、１６…連結板、１７…ロ
ッド、１８…シリンダ、１９…支持ブラケット、２０…
基台、２１…昇降軸、２２…摺動部材、２３…、２４…
ネジ、２６…仕切り壁、２７…ガイド。
Claims (3)
- 【請求項１】 ワークに所定の処理を行うとともに、第
１位置決め部材（１０ａ；１１）を有する一方、ワーク
搬送方向に移動可能なワーク処理部材（３，４）と、 上記ワーク搬送方向に沿って上記ワーク処理部材（３，
４）に関して上記ワークを搬送するとともに上記ワーク
処理部材（３，４）に対して所定位置で停止可能な搬送
部材（１）と、 上記搬送部材（１）に設けられ、上記第１位置決め部材
（１０ａ；１１）と係合する第２位置決め部材（１１；
１０ａ）を有するとともに、該第２位置決め部材（１
１；１０ａ）を上記第１位置決め部材側に付勢する付勢
部材（１８）とを備え、 上記第１位置決め部材（１１；１０ａ）と上記第２位置
決め部材（１０ａ；１１）とのうちいずれか一方が円柱
体（１１）であり、いずれか他方が上記円柱体（１１）
を係合する大略Ｖ字状凹部（１０ａ）であり、上記付勢
部材（１８）により上記凹部（１０ａ）内に上記円柱体
（１１）が入るとき上記円柱体（１１）に対して上記凹
部（１０ａ）が所定の係合状態まで係合するように上記
搬送部材（１）に対して上記ワーク処理部材（３，４）
が移動可能であるようにしたことを特徴とするワーク搬
送装置。 - 【請求項２】 ワークに所定の処理を行うとともに、第
１位置決め部材（１０ａ；１１）を有する一方、ワーク
搬送方向に対して固定されたワーク処理部材（３，４）
と、 上記ワーク搬送方向に沿って上記ワーク処理部材（３，
４）に関して上記ワークを搬送するとともに上記ワーク
処理部材（３，４）に対して所定位置で停止する一方、
停止動作後に必要に応じて移動可能な搬送部材（１）
と、 上記搬送部材（１）に設けられ、上記第１位置決め部材
（１０ａ；１１）と係合する第２位置決め部材（１１；
１０ａ）を有するとともに、該第２位置決め部材（１
１；１０ａ）を上記第１位置決め部材側に付勢する付勢
部材（１８）とを備え、 上記第１位置決め部材（１１；１０ａ）と上記第２位置
決め部材（１０ａ；１１）とのうちいずれか一方が円柱
体（１１）であり、いずれか他方が上記円柱体（１１）
を係合する大略Ｖ字状凹部（１０ａ）であり、上記付勢
部材（１８）により上記凹部（１０ａ）内に上記円柱体
（１１）が入るとき上記円柱体に対して上記凹部が所定
の係合状態まで係合するように上記ワーク処理部材
（３，４）に対して上記搬送部材（１）が移動調整可能
であるようにしたことを特徴とするワーク搬送装置。 - 【請求項３】 上記付勢部材（１８）は、上記第１位置
決め部材（１０ａ；１１）が先端に取り付けられたロッ
ド（１５，１６，１７）を駆動する駆動シリンダである
請求項１又は２に記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3307579A JPH0773816B2 (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | ワーク搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3307579A JPH0773816B2 (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | ワーク搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05138486A true JPH05138486A (ja) | 1993-06-01 |
| JPH0773816B2 JPH0773816B2 (ja) | 1995-08-09 |
Family
ID=17970775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3307579A Expired - Fee Related JPH0773816B2 (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | ワーク搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0773816B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61120425U (ja) * | 1985-01-17 | 1986-07-29 |
-
1991
- 1991-11-22 JP JP3307579A patent/JPH0773816B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61120425U (ja) * | 1985-01-17 | 1986-07-29 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0773816B2 (ja) | 1995-08-09 |
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Legal Events
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