JPH05138469A - ２次元運動機構 - Google Patents
２次元運動機構Info
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- JPH05138469A JPH05138469A JP3305344A JP30534491A JPH05138469A JP H05138469 A JPH05138469 A JP H05138469A JP 3305344 A JP3305344 A JP 3305344A JP 30534491 A JP30534491 A JP 30534491A JP H05138469 A JPH05138469 A JP H05138469A
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- JP
- Japan
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- rod
- axis
- axis guide
- parallel
- movable
- Prior art date
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Actuator (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は流体を利用して平面内で２次元的な
運動を行わせることが可能な２次元運動機構を提供する
ことを目的とする。 【構成】 １対のＸ軸ガイド１２ａ、１２ｂと、１対の
Ｙ軸ガイド２４ａ、２４ｂと、両端が１対のＸ軸ガイド
１２ａ、１２ｂへそれぞれ取り付けられたＸロッド２２
と、両端が１対のＹ軸ガイド２４ａ、２４ｂへそれぞれ
取り付けられたＹロッド２８と、Ｘロッド２２と、Ｙロ
ッド２８とが挿通され、Ｘロッド２２と、Ｙロッド２８
上を移動可能であり、内部にチャンバ４０ａ、４０ｂ、
４０ｃ、４０ｄが画成された移動体３０とを具備し、チ
ャンバ４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄへ流体を選択的
に給排することにより、移動体３０が２次元運動可能に
なっている。
運動を行わせることが可能な２次元運動機構を提供する
ことを目的とする。 【構成】 １対のＸ軸ガイド１２ａ、１２ｂと、１対の
Ｙ軸ガイド２４ａ、２４ｂと、両端が１対のＸ軸ガイド
１２ａ、１２ｂへそれぞれ取り付けられたＸロッド２２
と、両端が１対のＹ軸ガイド２４ａ、２４ｂへそれぞれ
取り付けられたＹロッド２８と、Ｘロッド２２と、Ｙロ
ッド２８とが挿通され、Ｘロッド２２と、Ｙロッド２８
上を移動可能であり、内部にチャンバ４０ａ、４０ｂ、
４０ｃ、４０ｄが画成された移動体３０とを具備し、チ
ャンバ４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄへ流体を選択的
に給排することにより、移動体３０が２次元運動可能に
なっている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は２次元運動機構に関し、
一層詳細には流体を給排することにより、移動体を１の
面内で移動させる２次元運動機構に関する。
一層詳細には流体を給排することにより、移動体を１の
面内で移動させる２次元運動機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、流体を給排することにより、移動
体を駆動させる運動機構としては油圧シリンダ装置、エ
アシリンダ装置、ロッドレスシリンダ装置等が知られて
いる。油圧シリンダ装置もしくはエアシリンダ装置のロ
ッドの先端、またはロッドレスシリンダ装置の駆動部分
に取り付けられた移動体が流体（油、圧空等）の選択的
給排により直線運動可能な装置である。
体を駆動させる運動機構としては油圧シリンダ装置、エ
アシリンダ装置、ロッドレスシリンダ装置等が知られて
いる。油圧シリンダ装置もしくはエアシリンダ装置のロ
ッドの先端、またはロッドレスシリンダ装置の駆動部分
に取り付けられた移動体が流体（油、圧空等）の選択的
給排により直線運動可能な装置である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
油圧シリンダ装置、エアシリンダ装置、ロッドレスシリ
ンダ装置等には次のような課題がある。各シリンダ装置
においては移動体は直線運動、つまり１次元的な運動を
行うのみであり、平面内で２次元的な運動を行わせるこ
とができないという課題がある。従って、本発明は流体
を利用して平面内で２次元的な運動を行わせることが可
能な２次元運動機構を提供することを目的とする。
油圧シリンダ装置、エアシリンダ装置、ロッドレスシリ
ンダ装置等には次のような課題がある。各シリンダ装置
においては移動体は直線運動、つまり１次元的な運動を
行うのみであり、平面内で２次元的な運動を行わせるこ
とができないという課題がある。従って、本発明は流体
を利用して平面内で２次元的な運動を行わせることが可
能な２次元運動機構を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は次の構成を備える。すなわち、第１の構成
は、平行に配された１対のＸ軸ガイドと、該Ｘ軸ガイド
に直角な方向へ平行に配された１対のＹ軸ガイドと、両
端が前記１対のＸ軸ガイドへそれぞれ取り付けられ、前
記Ｙ軸ガイドに対して平行、かつＸ軸ガイドに沿って移
動可能なＸロッドと、両端が前記１対のＹ軸ガイドへそ
れぞれ取り付けられ、前記Ｘ軸ガイドに対して平行、か
つＹ軸ガイドに沿って移動可能なＹロッドと、前記Ｘロ
ッドと、前記Ｙロッドとが挿通されると共に、Ｘロッド
と、Ｙロッド上を移動可能であり、Ｘロッド外周面とＸ
ロッドが挿通された部分の内壁面との間、およびＹロッ
ド外周面とＹロッドが挿通された部分の内壁面との間に
はそれぞれチャンバがＸロッドまたはＹロッドの長さ方
向へ画成された移動体とを具備し、前記チャンバへ流体
を選択的に給排することにより、前記移動体は前記Ｘ軸
ガイドと前記Ｙ軸ガイドとで囲繞されてなる面内を移動
可能なことを特徴とする。
め、本発明は次の構成を備える。すなわち、第１の構成
は、平行に配された１対のＸ軸ガイドと、該Ｘ軸ガイド
に直角な方向へ平行に配された１対のＹ軸ガイドと、両
端が前記１対のＸ軸ガイドへそれぞれ取り付けられ、前
記Ｙ軸ガイドに対して平行、かつＸ軸ガイドに沿って移
動可能なＸロッドと、両端が前記１対のＹ軸ガイドへそ
れぞれ取り付けられ、前記Ｘ軸ガイドに対して平行、か
つＹ軸ガイドに沿って移動可能なＹロッドと、前記Ｘロ
ッドと、前記Ｙロッドとが挿通されると共に、Ｘロッド
と、Ｙロッド上を移動可能であり、Ｘロッド外周面とＸ
ロッドが挿通された部分の内壁面との間、およびＹロッ
ド外周面とＹロッドが挿通された部分の内壁面との間に
はそれぞれチャンバがＸロッドまたはＹロッドの長さ方
向へ画成された移動体とを具備し、前記チャンバへ流体
を選択的に給排することにより、前記移動体は前記Ｘ軸
ガイドと前記Ｙ軸ガイドとで囲繞されてなる面内を移動
可能なことを特徴とする。
【０００５】第２の構成は、平行に配された１対のＸ軸
ガイドと、該Ｘ軸ガイドに直角な方向へ平行に配された
１対のＹ軸ガイドと、両端が前記１対のＸ軸ガイドへそ
れぞれ取り付けられ、前記Ｙ軸ガイドに対して平行、か
つＸ軸ガイドに沿って移動可能なＸロッドと、両端が前
記１対のＹ軸ガイドへそれぞれ取り付けられ、前記Ｘ軸
ガイドに対して平行、かつＹ軸ガイドに沿って移動可能
なＹロッドと、前記Ｘロッドまたは前記Ｙロッドとが挿
通されると共に、ＸロッドまたはＹロッド上を移動可能
であり、ＸロッドまたはＹロッド外周面とＸロッドまた
はＹロッドが挿通された部分の内壁面との間にはチャン
バがＸロッドまたはＹロッドの長さ方向へ画成された第
１の移動体と、該第１の移動体上において、前記Ｘロッ
ドまたは前記Ｙロッドと平行に配設された第２のロッド
と、該第２のロッドと、前記Ｙロッドまたは前記Ｘロッ
ドとが挿通されると共に、第２のロッドと、Ｙロッドま
たはＸロッド上を移動可能であり、第２のロッド外周面
と第２のロッドが挿通された部分の内壁面との間、およ
びＹロッドまたはＸロッド外周面とＹロッドまたはＸロ
ッドが挿通された部分の内壁面との間にはそれぞれチャ
ンバが第２のロッドと、ＹロッドまたはＸロッドの長さ
方向へ画成された第２の移動体とを具備し、前記チャン
バへ流体を選択的に給排することにより、前記第２の移
動体は前記Ｘ軸ガイドと前記Ｙ軸ガイドとで囲繞されて
なる面内を移動可能なことを特徴とする。
ガイドと、該Ｘ軸ガイドに直角な方向へ平行に配された
１対のＹ軸ガイドと、両端が前記１対のＸ軸ガイドへそ
れぞれ取り付けられ、前記Ｙ軸ガイドに対して平行、か
つＸ軸ガイドに沿って移動可能なＸロッドと、両端が前
記１対のＹ軸ガイドへそれぞれ取り付けられ、前記Ｘ軸
ガイドに対して平行、かつＹ軸ガイドに沿って移動可能
なＹロッドと、前記Ｘロッドまたは前記Ｙロッドとが挿
通されると共に、ＸロッドまたはＹロッド上を移動可能
であり、ＸロッドまたはＹロッド外周面とＸロッドまた
はＹロッドが挿通された部分の内壁面との間にはチャン
バがＸロッドまたはＹロッドの長さ方向へ画成された第
１の移動体と、該第１の移動体上において、前記Ｘロッ
ドまたは前記Ｙロッドと平行に配設された第２のロッド
と、該第２のロッドと、前記Ｙロッドまたは前記Ｘロッ
ドとが挿通されると共に、第２のロッドと、Ｙロッドま
たはＸロッド上を移動可能であり、第２のロッド外周面
と第２のロッドが挿通された部分の内壁面との間、およ
びＹロッドまたはＸロッド外周面とＹロッドまたはＸロ
ッドが挿通された部分の内壁面との間にはそれぞれチャ
ンバが第２のロッドと、ＹロッドまたはＸロッドの長さ
方向へ画成された第２の移動体とを具備し、前記チャン
バへ流体を選択的に給排することにより、前記第２の移
動体は前記Ｘ軸ガイドと前記Ｙ軸ガイドとで囲繞されて
なる面内を移動可能なことを特徴とする。
【０００６】第３の構成は、平行に配された１対のＸ軸
ガイドと、該Ｘ軸ガイドに直角な方向へ平行に配された
１対のＹ軸ガイドと、両端が前記１対のＸ軸ガイドへそ
れぞれ取り付けられ、前記Ｙ軸ガイドに対して平行、か
つＸ軸ガイドに沿って移動可能な第１のＸロッドと、両
端が前記１対のＹ軸ガイドへそれぞれ取り付けられ、前
記Ｘ軸ガイドに対して平行、かつＹ軸ガイドに沿って移
動可能な第１のＹロッドと、前記第１のＸロッドが挿通
されると共に、第１のＸロッド上を移動可能であり、第
１のＸロッド外周面と第１のＸロッドが挿通された部分
の内壁面との間にはチャンバが第１のＸロッドの長さ方
向へ画成された第１のＸ移動体と、前記第１のＹロッド
が挿通されると共に、第１のＹロッド上を移動可能であ
り、第１のＹロッド外周面と第１のＹロッドが挿通され
た部分の内壁面との間にはチャンバが第１のＹロッドの
長さ方向へ画成された第１のＹ移動体と、前記第１のＸ
移動体上において、前記第１のＸロッドと平行に配設さ
れた第２のＸロッドと、前記第１のＹ移動体上におい
て、前記第１のＹロッドと平行に配設された第２のＹロ
ッドと、該第２のＸロッドと前記第２のＹロッドとが挿
通されると共に、第２のＸロッドと第２のＹロッド上を
移動可能であり、第２のＸロッド外周面と第２のＸロッ
ドが挿通された部分の内壁面との間、および第２のＹロ
ッド外周面と第２のＹロッドが挿通された部分の内壁面
との間にはそれぞれチャンバが第２のＸロッドと、第２
のＹロッドの長さ方向へ画成された第２の移動体とを具
備し、前記チャンバへ流体を選択的に給排することによ
り、前記第２の移動体は前記Ｘ軸ガイドと前記Ｙ軸ガイ
ドとで囲繞されてなる面内を移動可能なことを特徴とす
る。
ガイドと、該Ｘ軸ガイドに直角な方向へ平行に配された
１対のＹ軸ガイドと、両端が前記１対のＸ軸ガイドへそ
れぞれ取り付けられ、前記Ｙ軸ガイドに対して平行、か
つＸ軸ガイドに沿って移動可能な第１のＸロッドと、両
端が前記１対のＹ軸ガイドへそれぞれ取り付けられ、前
記Ｘ軸ガイドに対して平行、かつＹ軸ガイドに沿って移
動可能な第１のＹロッドと、前記第１のＸロッドが挿通
されると共に、第１のＸロッド上を移動可能であり、第
１のＸロッド外周面と第１のＸロッドが挿通された部分
の内壁面との間にはチャンバが第１のＸロッドの長さ方
向へ画成された第１のＸ移動体と、前記第１のＹロッド
が挿通されると共に、第１のＹロッド上を移動可能であ
り、第１のＹロッド外周面と第１のＹロッドが挿通され
た部分の内壁面との間にはチャンバが第１のＹロッドの
長さ方向へ画成された第１のＹ移動体と、前記第１のＸ
移動体上において、前記第１のＸロッドと平行に配設さ
れた第２のＸロッドと、前記第１のＹ移動体上におい
て、前記第１のＹロッドと平行に配設された第２のＹロ
ッドと、該第２のＸロッドと前記第２のＹロッドとが挿
通されると共に、第２のＸロッドと第２のＹロッド上を
移動可能であり、第２のＸロッド外周面と第２のＸロッ
ドが挿通された部分の内壁面との間、および第２のＹロ
ッド外周面と第２のＹロッドが挿通された部分の内壁面
との間にはそれぞれチャンバが第２のＸロッドと、第２
のＹロッドの長さ方向へ画成された第２の移動体とを具
備し、前記チャンバへ流体を選択的に給排することによ
り、前記第２の移動体は前記Ｘ軸ガイドと前記Ｙ軸ガイ
ドとで囲繞されてなる面内を移動可能なことを特徴とす
る。
【０００７】第４の構成は、平行に配された１対のＸ軸
ガイドと、該Ｘ軸ガイドに直角な方向へ平行に配された
１対のＹ軸ガイドと、内部がシリンダに形成され、両端
が前記１対のＸ軸ガイドへそれぞれ取り付けられ、前記
Ｙ軸ガイドに対して平行、かつＸ軸ガイドに沿って移動
可能なＸロッドと、内部がシリンダに形成され、両端が
前記１対のＹ軸ガイドへそれぞれ取り付けられ、前記Ｘ
軸ガイドに対して平行、かつＹ軸ガイドに沿って移動可
能なＹロッドと、前記Ｘロッド内へ移動可能に配される
と共に、Ｘロッド内においてチャンバを画成するＸピス
トンと、前記Ｙロッド内へ移動可能に配されると共に、
Ｙロッド内においてチャンバを画成するＹピストンと、
前記Ｘロッドと、前記Ｙロッドとが挿通され、前記Ｘピ
ストンおよび前記Ｙピストンと一体に移動可能となるよ
う連結されると共に、Ｘロッドと、Ｙロッド上を移動可
能な移動体とを具備し、前記チャンバへ流体を選択的に
給排することにより、前記移動体は前記Ｘ軸ガイドと前
記Ｙ軸ガイドとで囲繞されてなる面内を移動可能なこと
を特徴とする。
ガイドと、該Ｘ軸ガイドに直角な方向へ平行に配された
１対のＹ軸ガイドと、内部がシリンダに形成され、両端
が前記１対のＸ軸ガイドへそれぞれ取り付けられ、前記
Ｙ軸ガイドに対して平行、かつＸ軸ガイドに沿って移動
可能なＸロッドと、内部がシリンダに形成され、両端が
前記１対のＹ軸ガイドへそれぞれ取り付けられ、前記Ｘ
軸ガイドに対して平行、かつＹ軸ガイドに沿って移動可
能なＹロッドと、前記Ｘロッド内へ移動可能に配される
と共に、Ｘロッド内においてチャンバを画成するＸピス
トンと、前記Ｙロッド内へ移動可能に配されると共に、
Ｙロッド内においてチャンバを画成するＹピストンと、
前記Ｘロッドと、前記Ｙロッドとが挿通され、前記Ｘピ
ストンおよび前記Ｙピストンと一体に移動可能となるよ
う連結されると共に、Ｘロッドと、Ｙロッド上を移動可
能な移動体とを具備し、前記チャンバへ流体を選択的に
給排することにより、前記移動体は前記Ｘ軸ガイドと前
記Ｙ軸ガイドとで囲繞されてなる面内を移動可能なこと
を特徴とする。
【０００８】
【作用】第１の構成においては、移動体にはＸロッド
と、Ｙロッドとが挿通され、ＸロッドとＹロッド上を移
動可能であり、Ｘロッド外周面とＸロッドが挿通された
部分の内壁面との間、およびＹロッド外周面とＹロッド
が挿通された部分の内壁面との間にはそれぞれチャンバ
がＸロッドまたはＹロッドの長さ方向へ画成されている
ので、チャンバへ流体を選択的に給排することにより、
移動体はＸ軸ガイドとＹ軸ガイドとで囲繞されてなる面
内を移動可能となる。第２の構成においては、Ｘロッド
またはＹロッドの長さ方向へ移動可能な第１の移動体の
上に、ＸロッドまたはＹロッドの長さ方向へ配設された
第２のロッドの長さ方向へ第２の移動体が移動可能にな
るため、第２の移動体が移動可能な方向における第２の
移動体の位置数を増加可能となる。第３の構成において
は、第１のＸロッドの長さ方向へ移動可能な第１のＸ移
動体の上に、第１のＸロッドの長さ方向へ第２のＸロッ
ドが配設され、第１のＹロッドの長さ方向へ移動可能な
第１のＹ移動体の上に、第１のＹロッドの長さ方向へ第
２のＹロッドが配設され、第２の移動体が第２のＸロッ
ドおよび第２のＹロッド上を移動可能になるため、第２
の移動体のＸ−Ｙ方向における位置数を増加可能とな
る。第４の構成においては、移動体にはＸロッドと、Ｙ
ロッドとが挿通され、ＸピストンおよびＹピストンと一
体に移動可能となるよう連結され、ＸロッドとＹロッド
上を移動可能であり、ＸロッドとＹロッド内のチャンバ
へ流体を選択的に給排することにより、移動体はＸ軸ガ
イドとＹ軸ガイドとで囲繞されてなる面内を移動可能と
なる。
と、Ｙロッドとが挿通され、ＸロッドとＹロッド上を移
動可能であり、Ｘロッド外周面とＸロッドが挿通された
部分の内壁面との間、およびＹロッド外周面とＹロッド
が挿通された部分の内壁面との間にはそれぞれチャンバ
がＸロッドまたはＹロッドの長さ方向へ画成されている
ので、チャンバへ流体を選択的に給排することにより、
移動体はＸ軸ガイドとＹ軸ガイドとで囲繞されてなる面
内を移動可能となる。第２の構成においては、Ｘロッド
またはＹロッドの長さ方向へ移動可能な第１の移動体の
上に、ＸロッドまたはＹロッドの長さ方向へ配設された
第２のロッドの長さ方向へ第２の移動体が移動可能にな
るため、第２の移動体が移動可能な方向における第２の
移動体の位置数を増加可能となる。第３の構成において
は、第１のＸロッドの長さ方向へ移動可能な第１のＸ移
動体の上に、第１のＸロッドの長さ方向へ第２のＸロッ
ドが配設され、第１のＹロッドの長さ方向へ移動可能な
第１のＹ移動体の上に、第１のＹロッドの長さ方向へ第
２のＹロッドが配設され、第２の移動体が第２のＸロッ
ドおよび第２のＹロッド上を移動可能になるため、第２
の移動体のＸ−Ｙ方向における位置数を増加可能とな
る。第４の構成においては、移動体にはＸロッドと、Ｙ
ロッドとが挿通され、ＸピストンおよびＹピストンと一
体に移動可能となるよう連結され、ＸロッドとＹロッド
上を移動可能であり、ＸロッドとＹロッド内のチャンバ
へ流体を選択的に給排することにより、移動体はＸ軸ガ
イドとＹ軸ガイドとで囲繞されてなる面内を移動可能と
なる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例について添付図
面と共に詳述する。 （第１実施例）第１実施例について、図１および図２と
共に説明する。１０は基台であり、中央部分をくり抜い
た枠体状に形成されている。１２ａ、１２ｂはＸ軸ガイ
ドであり、金属シャフトが基台１０上においてＸ軸方向
へ互いに平行に配設されている。Ｘ軸ガイド１２ａ、１
２ｂの両端は基台１０の四隅に設けられているボックス
１４にボルト１６を介して固定されている。１８ａ、１
８ｂはＸ軸移動体であり、Ｘ軸ガイド１２ａ、１２ｂへ
それぞれ摺動可能に外嵌されている。Ｘ軸移動体１８
ａ、１８ｂは内部にスライドベアリング２０ａを内包
し、Ｘ軸ガイド１２ａ、１２ｂとの間の摩耗を防止して
いる。２２はＸロッドであり、両端がＸ軸移動体１８
ａ、１８ｂに固定されている。これにより、Ｘ軸移動体
１８ａ、１８ｂは一体にＸ軸方向へ移動可能になってい
る。２４ａ、２４ｂはＹ軸ガイドであり、金属シャフト
が基台１０上においてＸ軸と直角なＹ軸方向へ互いに平
行に配設されている。Ｙ軸ガイド２４ａ、２４ｂの両端
も基台１０の四隅に設けられているボックス１４にボル
ト１６を介して固定されている。
面と共に詳述する。 （第１実施例）第１実施例について、図１および図２と
共に説明する。１０は基台であり、中央部分をくり抜い
た枠体状に形成されている。１２ａ、１２ｂはＸ軸ガイ
ドであり、金属シャフトが基台１０上においてＸ軸方向
へ互いに平行に配設されている。Ｘ軸ガイド１２ａ、１
２ｂの両端は基台１０の四隅に設けられているボックス
１４にボルト１６を介して固定されている。１８ａ、１
８ｂはＸ軸移動体であり、Ｘ軸ガイド１２ａ、１２ｂへ
それぞれ摺動可能に外嵌されている。Ｘ軸移動体１８
ａ、１８ｂは内部にスライドベアリング２０ａを内包
し、Ｘ軸ガイド１２ａ、１２ｂとの間の摩耗を防止して
いる。２２はＸロッドであり、両端がＸ軸移動体１８
ａ、１８ｂに固定されている。これにより、Ｘ軸移動体
１８ａ、１８ｂは一体にＸ軸方向へ移動可能になってい
る。２４ａ、２４ｂはＹ軸ガイドであり、金属シャフト
が基台１０上においてＸ軸と直角なＹ軸方向へ互いに平
行に配設されている。Ｙ軸ガイド２４ａ、２４ｂの両端
も基台１０の四隅に設けられているボックス１４にボル
ト１６を介して固定されている。
【００１０】２６ａ、２６ｂはＹ軸移動体であり、Ｙ軸
ガイド２４ａ、２４ｂへそれぞれ摺動可能に外嵌されて
いる。Ｙ軸移動体２６ａ、２６ｂもＸ軸移動体１８ａ、
１８ｂと同様、内部にスライドベアリング２０ｂを内包
し、Ｙ軸ガイド２４ａ、２４ｂとの間の摩耗を防止して
いる。２８はＹロッドであり、両端がＹ軸移動体２６
ａ、２６ｂに固定されている。これにより、Ｙ軸移動体
２６ａ、２６ｂは一体にＹ軸方向へ移動可能になってい
る。３０は移動体であり、略十字状のブロック体であ
る。移動体３０は十字状に交差した形状で一体化された
上部３２と下部３４とから成る。上部３２、下部３４は
共に内部に貫通孔が穿設されている。上部３２の貫通孔
にはＹロッド２８が挿通されている。一方、下部３４の
貫通孔にはＸロッド２２が挿通され、両ロッド２２、２
８は移動体３０内部で平面的に直交している。この構造
により、移動体３０はＸロッド２２およびＹロッド２８
上を、Ｘ軸ガイド１２ａ、１２ｂ、Ｙ軸ガイド２４ａ、
２４ｂで囲繞された平面３６内を２次元運動可能となっ
ている。この移動体３０に加工作業用のロボットヘッド
５２や工具、ワークを着脱可能になっている。
ガイド２４ａ、２４ｂへそれぞれ摺動可能に外嵌されて
いる。Ｙ軸移動体２６ａ、２６ｂもＸ軸移動体１８ａ、
１８ｂと同様、内部にスライドベアリング２０ｂを内包
し、Ｙ軸ガイド２４ａ、２４ｂとの間の摩耗を防止して
いる。２８はＹロッドであり、両端がＹ軸移動体２６
ａ、２６ｂに固定されている。これにより、Ｙ軸移動体
２６ａ、２６ｂは一体にＹ軸方向へ移動可能になってい
る。３０は移動体であり、略十字状のブロック体であ
る。移動体３０は十字状に交差した形状で一体化された
上部３２と下部３４とから成る。上部３２、下部３４は
共に内部に貫通孔が穿設されている。上部３２の貫通孔
にはＹロッド２８が挿通されている。一方、下部３４の
貫通孔にはＸロッド２２が挿通され、両ロッド２２、２
８は移動体３０内部で平面的に直交している。この構造
により、移動体３０はＸロッド２２およびＹロッド２８
上を、Ｘ軸ガイド１２ａ、１２ｂ、Ｙ軸ガイド２４ａ、
２４ｂで囲繞された平面３６内を２次元運動可能となっ
ている。この移動体３０に加工作業用のロボットヘッド
５２や工具、ワークを着脱可能になっている。
【００１１】移動体３０の上部３２の内部構造について
説明すると、Ｙロッド２８の中央には大径部３８が形成
され、この大径部３８が上部３２内で、上部３２の貫通
孔の内壁面とＹロッド２８の外周面との間に形成（画
成）された空間をチャンバの一例である気密室４０ａ、
４０ｂに画成している。気密室４０ａ、４０ｂにはエア
ポート４２から流体の一例である圧空が給排可能になっ
ている。気密室４０ａ、４０ｂに圧空を選択的に供給す
ると、移動体３０はＹロッド２８上をＸ軸方向へ選択的
に移動しようとするので、Ｘロッド２２、Ｘ軸移動体１
８ａ、１８ｂも一体になりＸ軸方向へ移動する。なお、
移動ストロークの長さは気密室４０ａ、４０ｂの長さで
規定される。移動体３０の下部３４の内部構造は上部３
２と同一の構造であり、下部３４の貫通孔の内壁面とＸ
ロッド２２の外周面との間に形成（画成）された空間を
気密室４０ｃ、４０ｄに画成している。気密室４０ｃ、
４０ｄにはエアポート４４から圧空が給排可能になって
いる。気密室４０ｃ、４０ｄに圧空を選択的に供給する
と、移動体３０はＸロッド２２上をＹ軸方向へ選択的に
移動しようとするので、Ｙロッド２８、Ｙ軸移動体２６
ａ、２６ｂも一体になりＹ軸方向へ移動する。なお、移
動ストロークの長さは気密室４０ｃ、４０ｄの長さで規
定される。上述の移動体３０の上記Ｘ軸方向およびＹ軸
方向への移動の組み合わせにより移動体３０が平面３６
内を２次元運動可能となる。
説明すると、Ｙロッド２８の中央には大径部３８が形成
され、この大径部３８が上部３２内で、上部３２の貫通
孔の内壁面とＹロッド２８の外周面との間に形成（画
成）された空間をチャンバの一例である気密室４０ａ、
４０ｂに画成している。気密室４０ａ、４０ｂにはエア
ポート４２から流体の一例である圧空が給排可能になっ
ている。気密室４０ａ、４０ｂに圧空を選択的に供給す
ると、移動体３０はＹロッド２８上をＸ軸方向へ選択的
に移動しようとするので、Ｘロッド２２、Ｘ軸移動体１
８ａ、１８ｂも一体になりＸ軸方向へ移動する。なお、
移動ストロークの長さは気密室４０ａ、４０ｂの長さで
規定される。移動体３０の下部３４の内部構造は上部３
２と同一の構造であり、下部３４の貫通孔の内壁面とＸ
ロッド２２の外周面との間に形成（画成）された空間を
気密室４０ｃ、４０ｄに画成している。気密室４０ｃ、
４０ｄにはエアポート４４から圧空が給排可能になって
いる。気密室４０ｃ、４０ｄに圧空を選択的に供給する
と、移動体３０はＸロッド２２上をＹ軸方向へ選択的に
移動しようとするので、Ｙロッド２８、Ｙ軸移動体２６
ａ、２６ｂも一体になりＹ軸方向へ移動する。なお、移
動ストロークの長さは気密室４０ｃ、４０ｄの長さで規
定される。上述の移動体３０の上記Ｘ軸方向およびＹ軸
方向への移動の組み合わせにより移動体３０が平面３６
内を２次元運動可能となる。
【００１２】４６はスライドベアリングであり、移動体
３０とＸロッド２２、Ｙロッド２８との間の摩耗防止を
図っている。４８はＯリングであり、気密室４０ａ、４
０ｂ、４０ｃ、４０ｄの気密を保持している。５０はス
トッパであり、Ｘロッド２２およびＹロッド２８上に固
定され、移動体３０の移動量を規制する。ストッパ５０
のＸロッド２２およびＹロッド２８上の位置は移動可能
になっている。
３０とＸロッド２２、Ｙロッド２８との間の摩耗防止を
図っている。４８はＯリングであり、気密室４０ａ、４
０ｂ、４０ｃ、４０ｄの気密を保持している。５０はス
トッパであり、Ｘロッド２２およびＹロッド２８上に固
定され、移動体３０の移動量を規制する。ストッパ５０
のＸロッド２２およびＹロッド２８上の位置は移動可能
になっている。
【００１３】（第２実施例）第２実施例について、図３
と共に説明する。なお、第１実施例と同一の部材につい
ては同一の部材記号を付し、説明は省略する。第２実施
例の２次元運動機構は、第１実施例の２次元運動機構に
おいて、Ｙロッド２８が２本設けられ（またはＸロッド
２２の方を２本設けるようにしてもよい）、各Ｙロッド
２８およびＸロッド２２に対応した気密室（不図示、第
１実施例参照）が移動体３０内に形成されている。移動
体３０は２個のブロック部１００と、筒状に形成され、
内部にＸロッド２２およびＹロッド２８がそれぞれ挿通
されると共に、内部に前記気密室が画成された３個のシ
リンダ部１０２とから成り、ブロック部１００とシリン
ダ部１０２とは一体に移動可能になっている。この実施
例の２次元運動機構では、２本のＹロッド２８の長さ方
向であるＸ軸方向への推力を、第１実施例と比較して２
倍にすることができる。従って、特にＸ軸方向を上下方
向とし、立体的にこの２次元運動機構を使用する際に有
利である。また、Ｘロッド２２およびＹロッド２８の端
部における振れを抑制することも可能となる。
と共に説明する。なお、第１実施例と同一の部材につい
ては同一の部材記号を付し、説明は省略する。第２実施
例の２次元運動機構は、第１実施例の２次元運動機構に
おいて、Ｙロッド２８が２本設けられ（またはＸロッド
２２の方を２本設けるようにしてもよい）、各Ｙロッド
２８およびＸロッド２２に対応した気密室（不図示、第
１実施例参照）が移動体３０内に形成されている。移動
体３０は２個のブロック部１００と、筒状に形成され、
内部にＸロッド２２およびＹロッド２８がそれぞれ挿通
されると共に、内部に前記気密室が画成された３個のシ
リンダ部１０２とから成り、ブロック部１００とシリン
ダ部１０２とは一体に移動可能になっている。この実施
例の２次元運動機構では、２本のＹロッド２８の長さ方
向であるＸ軸方向への推力を、第１実施例と比較して２
倍にすることができる。従って、特にＸ軸方向を上下方
向とし、立体的にこの２次元運動機構を使用する際に有
利である。また、Ｘロッド２２およびＹロッド２８の端
部における振れを抑制することも可能となる。
【００１４】（第３実施例）第３実施例について、図４
と共に説明する。なお、先行実施例と同一の部材につい
ては同一の部材記号を付し、説明は省略する。第３実施
例の２次元運動機構は、第２実施例の２次元運動機構を
改良したものであり、Ｘロッド２２およびＹロッド２８
が２本づつ設けられ、各Ｘロッド２２およびＹロッド２
８に対応した気密室（不図示、第１実施例参照）が移動
体３０内に形成されている。移動体３０は４個のブロッ
ク部１００と、筒状に形成され、内部にＸロッド２２お
よびＹロッド２８がそれぞれ挿通されると共に、内部に
気密室が画成された４個のシリンダ部１０２とから成
り、ブロック部１００とシリンダ部１０２とは一体に移
動可能になっている。この実施例の２次元運動機構で
は、移動体３０へ作用するＸ−Ｙ方向の推力を、第１実
施例と比較して２倍にすることができる。従って、第２
実施例と同様、立体的にこの２次元運動機構を使用する
際に有利である。また、Ｘロッド２２およびＹロッド２
８の端部における振れを抑制することも同じく可能とな
る。
と共に説明する。なお、先行実施例と同一の部材につい
ては同一の部材記号を付し、説明は省略する。第３実施
例の２次元運動機構は、第２実施例の２次元運動機構を
改良したものであり、Ｘロッド２２およびＹロッド２８
が２本づつ設けられ、各Ｘロッド２２およびＹロッド２
８に対応した気密室（不図示、第１実施例参照）が移動
体３０内に形成されている。移動体３０は４個のブロッ
ク部１００と、筒状に形成され、内部にＸロッド２２お
よびＹロッド２８がそれぞれ挿通されると共に、内部に
気密室が画成された４個のシリンダ部１０２とから成
り、ブロック部１００とシリンダ部１０２とは一体に移
動可能になっている。この実施例の２次元運動機構で
は、移動体３０へ作用するＸ−Ｙ方向の推力を、第１実
施例と比較して２倍にすることができる。従って、第２
実施例と同様、立体的にこの２次元運動機構を使用する
際に有利である。また、Ｘロッド２２およびＹロッド２
８の端部における振れを抑制することも同じく可能とな
る。
【００１５】（第４実施例）第４実施例について、図５
と共に説明する。なお、先行実施例と同一の部材につい
ては同一の部材記号を付し、説明は省略する。第４実施
例の２次元運動機構においては、Ｘロッド２２（または
Ｙロッド２８でもよい）とが挿通されると共に、Ｘロッ
ド２２上を移動可能であり、Ｘロッド２２外周面と、Ｘ
ロッド２２が挿通された部分の内壁面との間には気密室
（不図示、第１実施例参照）がＸロッド２２の長さ方向
へ画成された第１の移動体２００が設けられている。シ
リンダ状に形成された第１の移動体２００内の気密室に
はエアポート２０４から圧空が給排可能になっている。
気密室に圧空を選択的に供給すると、第１の移動体２０
０はＸロッド２２上をＹ軸方向へ選択的に移動可能にな
っている。第１の移動体２００の両端には支持部材２０
２が立設され、Ｘロッド２２と平行に配設された第２の
ロッド２０６が支持部材２０２間に架設されている。２
０８は第２の移動体であり、ブロック部１００とシリン
ダ部１０２とから成っている。第２の移動体２０８に
は、第２のロッド２０６と、Ｙロッド２８とが挿通され
ると共に、第２のロッド２０６と、Ｙロッド２８上を移
動可能になっている。第２のロッド２０６の外周面と、
第２の移動体２０８内部の第２のロッド２０６が挿通さ
れた部分の内壁面との間、およびＹロッド２８外周面と
第２の移動体２０８内部のＹロッド２８が挿通された部
分の内壁面との間には、それぞれ気密室（不図示、第１
実施例参照）が第２のロッド２０６と、Ｙロッド２８の
長さ方向へ画成されている。
と共に説明する。なお、先行実施例と同一の部材につい
ては同一の部材記号を付し、説明は省略する。第４実施
例の２次元運動機構においては、Ｘロッド２２（または
Ｙロッド２８でもよい）とが挿通されると共に、Ｘロッ
ド２２上を移動可能であり、Ｘロッド２２外周面と、Ｘ
ロッド２２が挿通された部分の内壁面との間には気密室
（不図示、第１実施例参照）がＸロッド２２の長さ方向
へ画成された第１の移動体２００が設けられている。シ
リンダ状に形成された第１の移動体２００内の気密室に
はエアポート２０４から圧空が給排可能になっている。
気密室に圧空を選択的に供給すると、第１の移動体２０
０はＸロッド２２上をＹ軸方向へ選択的に移動可能にな
っている。第１の移動体２００の両端には支持部材２０
２が立設され、Ｘロッド２２と平行に配設された第２の
ロッド２０６が支持部材２０２間に架設されている。２
０８は第２の移動体であり、ブロック部１００とシリン
ダ部１０２とから成っている。第２の移動体２０８に
は、第２のロッド２０６と、Ｙロッド２８とが挿通され
ると共に、第２のロッド２０６と、Ｙロッド２８上を移
動可能になっている。第２のロッド２０６の外周面と、
第２の移動体２０８内部の第２のロッド２０６が挿通さ
れた部分の内壁面との間、およびＹロッド２８外周面と
第２の移動体２０８内部のＹロッド２８が挿通された部
分の内壁面との間には、それぞれ気密室（不図示、第１
実施例参照）が第２のロッド２０６と、Ｙロッド２８の
長さ方向へ画成されている。
【００１６】第４実施例によると、第２の移動体２０８
のＹ軸方向の選択位置を４箇所設定でき、Ｘ軸方向の選
択位置を２箇所設定できるので、第２の移動体２０８は
Ｘ軸ガイド１２ａ、１２ｂとＹ軸ガイド２４ａ、２４ｂ
とで囲繞されてなる面内において、８箇所で位置決め可
能となる。先行各実施例において、移動体３０の位置決
め可能箇所数は４箇所であり、２倍の数の位置決め箇所
を設定することが出来る。
のＹ軸方向の選択位置を４箇所設定でき、Ｘ軸方向の選
択位置を２箇所設定できるので、第２の移動体２０８は
Ｘ軸ガイド１２ａ、１２ｂとＹ軸ガイド２４ａ、２４ｂ
とで囲繞されてなる面内において、８箇所で位置決め可
能となる。先行各実施例において、移動体３０の位置決
め可能箇所数は４箇所であり、２倍の数の位置決め箇所
を設定することが出来る。
【００１７】（第５実施例）第５実施例について、図６
と共に説明する。なお、先行実施例と同一の部材につい
ては同一の部材記号を付し、説明は省略する。第５実施
例の２次元運動機構は第４実施例の２次元運動機構を改
良したものである。３００はシリンダ状に形成された第
１のＸ移動体であり、第１のＸロッド３０２が挿通され
ると共に、第１のＸロッド３０２上を移動可能になって
いる。第１のＸロッド３０２外周面と第１のＸ移動体３
００内部の第１のＸロッド３０２が挿通された部分の内
壁面との間には気密室（不図示、第１実施例参照）のＸ
ロッド３０２の長さ方向へ画成されている。第１のＸ移
動体３００内の気密室にはエアポート３０６から圧空が
給排可能になっている。気密室に圧空を選択的に供給す
ると、第１のＸ移動体３００は第１のＸロッド３０２上
をＹ軸方向へ選択的に移動可能になっている。３０８は
シリンダ状に形成された第１のＹ移動体であり、第１の
Ｙロッド３１０が挿通されると共に、第１のＹロッド３
１０上を移動可能になっている。第１のＹロッド３１０
外周面と第１のＹ移動体３０８内部の第１のＹロッド３
１０が挿通された部分の内壁面との間には、第１のＸ移
動体３００と同様に気密室（不図示、第１実施例参照）
が第１のＹロッド３１０の長さ方向へ画成されている。
第１のＹ移動体３０８内の気密室にはエアポート３０６
から圧空が給排可能になっている。気密室に圧空を選択
的に供給すると、第１のＹ移動体３０８は第１のＹロッ
ド３１０上をＸ軸方向へ選択的に移動可能になってい
る。
と共に説明する。なお、先行実施例と同一の部材につい
ては同一の部材記号を付し、説明は省略する。第５実施
例の２次元運動機構は第４実施例の２次元運動機構を改
良したものである。３００はシリンダ状に形成された第
１のＸ移動体であり、第１のＸロッド３０２が挿通され
ると共に、第１のＸロッド３０２上を移動可能になって
いる。第１のＸロッド３０２外周面と第１のＸ移動体３
００内部の第１のＸロッド３０２が挿通された部分の内
壁面との間には気密室（不図示、第１実施例参照）のＸ
ロッド３０２の長さ方向へ画成されている。第１のＸ移
動体３００内の気密室にはエアポート３０６から圧空が
給排可能になっている。気密室に圧空を選択的に供給す
ると、第１のＸ移動体３００は第１のＸロッド３０２上
をＹ軸方向へ選択的に移動可能になっている。３０８は
シリンダ状に形成された第１のＹ移動体であり、第１の
Ｙロッド３１０が挿通されると共に、第１のＹロッド３
１０上を移動可能になっている。第１のＹロッド３１０
外周面と第１のＹ移動体３０８内部の第１のＹロッド３
１０が挿通された部分の内壁面との間には、第１のＸ移
動体３００と同様に気密室（不図示、第１実施例参照）
が第１のＹロッド３１０の長さ方向へ画成されている。
第１のＹ移動体３０８内の気密室にはエアポート３０６
から圧空が給排可能になっている。気密室に圧空を選択
的に供給すると、第１のＹ移動体３０８は第１のＹロッ
ド３１０上をＸ軸方向へ選択的に移動可能になってい
る。
【００１８】シリンダ状に形成された第１のＸ移動体３
００の両端には支持部材２０２が立設され、第１のＸロ
ッド３０２と平行に配設された第２のＸロッド３１２が
支持部材２０２間に架設されている。シリンダ状に形成
された第１のＹ移動体３０８の両端にも支持部材２０２
が立設され、第１のＹロッド３１０と平行に配設された
第２のＹロッド３１４が支持部材２０２間に架設されて
いる。第２の移動体２０８はブロック部１００とシリン
ダ部１０２とから成る。第２の移動体２０８には、第２
のＸロッド３１２と第２のＹロッド３１４とが挿通され
ると共に、第２のＸロッド３１２と第２のＹロッド３１
４上を移動可能になっている。第２のＸロッド３１２外
周面と第２の移動体２０８内部の第２のＸロッド３１２
が挿通された部分の内壁面との間、および第２のＹロッ
ド３１４外周面と第２の移動体２０８内部の第２のＹロ
ッド３１４が挿通された部分の内壁面との間にはそれぞ
れ気密室（不図示、第１実施例参照）が第２のＸロッド
３１２と、第２のＹロッド３１４の長さ方向へ画成され
ている。第５実施例によると、第２の移動体２０８のＸ
軸およびＹ軸方向の選択位置をそれぞれ４箇所づつ設定
できるので、第２の移動体２０８はＸ軸ガイド１２ａ、
１２ｂとＹ軸ガイド２４ａ、２４ｂとで囲繞されてなる
面内において、１６箇所で位置決め可能となる。第１〜
第３実施例において、移動体３０の位置決め可能箇所数
は４箇所なので、４倍の数の位置決め箇所を設定するこ
とが出来る。
００の両端には支持部材２０２が立設され、第１のＸロ
ッド３０２と平行に配設された第２のＸロッド３１２が
支持部材２０２間に架設されている。シリンダ状に形成
された第１のＹ移動体３０８の両端にも支持部材２０２
が立設され、第１のＹロッド３１０と平行に配設された
第２のＹロッド３１４が支持部材２０２間に架設されて
いる。第２の移動体２０８はブロック部１００とシリン
ダ部１０２とから成る。第２の移動体２０８には、第２
のＸロッド３１２と第２のＹロッド３１４とが挿通され
ると共に、第２のＸロッド３１２と第２のＹロッド３１
４上を移動可能になっている。第２のＸロッド３１２外
周面と第２の移動体２０８内部の第２のＸロッド３１２
が挿通された部分の内壁面との間、および第２のＹロッ
ド３１４外周面と第２の移動体２０８内部の第２のＹロ
ッド３１４が挿通された部分の内壁面との間にはそれぞ
れ気密室（不図示、第１実施例参照）が第２のＸロッド
３１２と、第２のＹロッド３１４の長さ方向へ画成され
ている。第５実施例によると、第２の移動体２０８のＸ
軸およびＹ軸方向の選択位置をそれぞれ４箇所づつ設定
できるので、第２の移動体２０８はＸ軸ガイド１２ａ、
１２ｂとＹ軸ガイド２４ａ、２４ｂとで囲繞されてなる
面内において、１６箇所で位置決め可能となる。第１〜
第３実施例において、移動体３０の位置決め可能箇所数
は４箇所なので、４倍の数の位置決め箇所を設定するこ
とが出来る。
【００１９】（第６実施例）続いて第６実施例について
図７および図８と共に説明する。なお、先行実施例と同
一の部材については同一の部材記号を付し、説明は省略
する。本実施例において、移動体３０を嵌挿するＸロッ
ド４００とＹロッド４０２は中空のシリンダ状に形成さ
れている。Ｘロッド４００とＹロッド４０２の内部には
それぞれ永久磁石製のＸピストン４０４、Ｙピストン４
０６が配設されている。ピストン４０４、４０６はそれ
ぞれＸロッド４００、Ｙロッド４０２の長さ方向へ移動
可能になっている。Ｘロッド４００についてみると、Ｘ
ピストン４０４の外周には気密用のＯリング４０８が配
され、Ｘピストン４０４により、Ｘロッド４００内には
気密室４１０ａ、４１０ｂが画成されている。気密室４
１０ａ、４１０ｂには、Ｘ軸移動体１８ａ、１８ｂに設
けられたエアポート４２から圧空が給排可能になってい
る。気密室４１０ａ、４１０ｂへ圧空が選択的に供給さ
れると、Ｘピストン４０４がＹ軸方向へ選択的に移動す
る。一方、Ｙロッド４０２についても同一の構造になっ
ており、圧空がＹ軸移動体２６ａ、２６ｂに設けられた
エアポート４４からＹピストン４０６に画成されたＹロ
ッド４０２内の気密室（不図示）へ選択的に供給される
とピストン４０６がＸ軸方向へ選択的に移動する。ピス
トン４０４、４０６のストロークの長さはＸロッド４０
０、Ｙロッド４０２の長さにより規定される。
図７および図８と共に説明する。なお、先行実施例と同
一の部材については同一の部材記号を付し、説明は省略
する。本実施例において、移動体３０を嵌挿するＸロッ
ド４００とＹロッド４０２は中空のシリンダ状に形成さ
れている。Ｘロッド４００とＹロッド４０２の内部には
それぞれ永久磁石製のＸピストン４０４、Ｙピストン４
０６が配設されている。ピストン４０４、４０６はそれ
ぞれＸロッド４００、Ｙロッド４０２の長さ方向へ移動
可能になっている。Ｘロッド４００についてみると、Ｘ
ピストン４０４の外周には気密用のＯリング４０８が配
され、Ｘピストン４０４により、Ｘロッド４００内には
気密室４１０ａ、４１０ｂが画成されている。気密室４
１０ａ、４１０ｂには、Ｘ軸移動体１８ａ、１８ｂに設
けられたエアポート４２から圧空が給排可能になってい
る。気密室４１０ａ、４１０ｂへ圧空が選択的に供給さ
れると、Ｘピストン４０４がＹ軸方向へ選択的に移動す
る。一方、Ｙロッド４０２についても同一の構造になっ
ており、圧空がＹ軸移動体２６ａ、２６ｂに設けられた
エアポート４４からＹピストン４０６に画成されたＹロ
ッド４０２内の気密室（不図示）へ選択的に供給される
とピストン４０６がＸ軸方向へ選択的に移動する。ピス
トン４０４、４０６のストロークの長さはＸロッド４０
０、Ｙロッド４０２の長さにより規定される。
【００２０】移動体３０は磁性体で形成され、ピストン
４０４、４０６とは磁気的に連結しており、ピストン４
０４、４０６と一体に移動可能になっている。従って、
圧空の気密室への給排により、ピストン４０４、４０６
をＸ−Ｙ軸方向へ移動させると移動体３０も一体となっ
て平面３６内を２次元運動する。なお、本実施例ではピ
ストン４０４、４０６を永久磁石で形成し、移動体３０
を磁性体で形成して磁気的連結を図ったが、永久磁石と
磁性体の関係は磁気的連結が保持できればこれに限定さ
れるものではない。さらに、ピストン４０４、４０６と
移動体３０の連結関係は磁気的連結に限るのではなく、
Ｘロッド４００、Ｙロッド４０２に長さ方向のスリット
を設け、ピストン４０４と４０６を連結具で連結すると
共に、連結具と移動体３０とを連結するようにしてもよ
い。上述の両実施例において、移動体３０を嵌挿するＸ
ロッド、ＹロッドはＸ軸ガイドおよびＹ軸ガイドでしっ
かり四辺支持されているので。耐震性等に優れた構造に
なっている。以上、本発明の好適な実施例について種々
述べてきたが、本発明は上述の実施例に限定されるので
はなく、例えば各実施例の圧空（エア）駆動方式に代え
て油圧駆動方式にしてもよいし、移動体に移動体の運動
平面と直角な方向へ移動可能な機構を設け、３次元運動
機構を構成してもよい等、発明の精神を逸脱しない範囲
でさらに多くの改変を施し得るのはもちろんである。
４０４、４０６とは磁気的に連結しており、ピストン４
０４、４０６と一体に移動可能になっている。従って、
圧空の気密室への給排により、ピストン４０４、４０６
をＸ−Ｙ軸方向へ移動させると移動体３０も一体となっ
て平面３６内を２次元運動する。なお、本実施例ではピ
ストン４０４、４０６を永久磁石で形成し、移動体３０
を磁性体で形成して磁気的連結を図ったが、永久磁石と
磁性体の関係は磁気的連結が保持できればこれに限定さ
れるものではない。さらに、ピストン４０４、４０６と
移動体３０の連結関係は磁気的連結に限るのではなく、
Ｘロッド４００、Ｙロッド４０２に長さ方向のスリット
を設け、ピストン４０４と４０６を連結具で連結すると
共に、連結具と移動体３０とを連結するようにしてもよ
い。上述の両実施例において、移動体３０を嵌挿するＸ
ロッド、ＹロッドはＸ軸ガイドおよびＹ軸ガイドでしっ
かり四辺支持されているので。耐震性等に優れた構造に
なっている。以上、本発明の好適な実施例について種々
述べてきたが、本発明は上述の実施例に限定されるので
はなく、例えば各実施例の圧空（エア）駆動方式に代え
て油圧駆動方式にしてもよいし、移動体に移動体の運動
平面と直角な方向へ移動可能な機構を設け、３次元運動
機構を構成してもよい等、発明の精神を逸脱しない範囲
でさらに多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【００２１】
【発明の効果】本発明に係る２次元運動機構を用いる
と、請求項１の構成においては、移動体にはＸロッド
と、Ｙロッドとが挿通され、ＸロッドとＹロッド上を移
動可能であり、Ｘロッド外周面とＸロッドが挿通された
部分の内壁面との間、およびＹロッド外周面とＹロッド
が挿通された部分の内壁面との間にはそれぞれチャンバ
が画成されているので、チャンバへ流体を選択的に給排
することにより、移動体はＸ軸ガイドとＹ軸ガイドとで
囲繞されてなる面内を移動可能となる。請求項２の構成
を採用すると、移動体の推力を大きくすることが可能と
なると共に、各ロッドの端部の振れを抑制可能となる。
請求項３および４の構成を採用すると、第２の移動体の
位置決め箇所の数を増加可能となる。請求項５の構成を
採用すると、移動体にはＸロッドと、Ｙロッドとが挿通
され、ＸピストンおよびＹピストンと一体に移動可能と
なるよう連結され、ＸロッドとＹロッド上を移動可能で
あり、ＸロッドとＹロッド内のチャンバへ流体を選択的
に給排することにより、移動体はＸ軸ガイドとＹ軸ガイ
ドとで囲繞されてなる面内を移動可能となるので、流体
を利用した簡単な構造で、平面内において２次元的運動
を行わせることが可能な２次元運動機構を提供できる等
の著効を奏する。
と、請求項１の構成においては、移動体にはＸロッド
と、Ｙロッドとが挿通され、ＸロッドとＹロッド上を移
動可能であり、Ｘロッド外周面とＸロッドが挿通された
部分の内壁面との間、およびＹロッド外周面とＹロッド
が挿通された部分の内壁面との間にはそれぞれチャンバ
が画成されているので、チャンバへ流体を選択的に給排
することにより、移動体はＸ軸ガイドとＹ軸ガイドとで
囲繞されてなる面内を移動可能となる。請求項２の構成
を採用すると、移動体の推力を大きくすることが可能と
なると共に、各ロッドの端部の振れを抑制可能となる。
請求項３および４の構成を採用すると、第２の移動体の
位置決め箇所の数を増加可能となる。請求項５の構成を
採用すると、移動体にはＸロッドと、Ｙロッドとが挿通
され、ＸピストンおよびＹピストンと一体に移動可能と
なるよう連結され、ＸロッドとＹロッド上を移動可能で
あり、ＸロッドとＹロッド内のチャンバへ流体を選択的
に給排することにより、移動体はＸ軸ガイドとＹ軸ガイ
ドとで囲繞されてなる面内を移動可能となるので、流体
を利用した簡単な構造で、平面内において２次元的運動
を行わせることが可能な２次元運動機構を提供できる等
の著効を奏する。
【図１】本発明に係る２次元運動機構の第１実施例を示
した平面図。
した平面図。
【図２】第１実施例の２次元運動機構の斜視図。
【図３】第２実施例の２次元運動機構の斜視図。
【図４】第３実施例の２次元運動機構の斜視図。
【図５】第４実施例の２次元運動機構の斜視図。
【図６】第５実施例の２次元運動機構の斜視図。
【図７】第６実施例の移動体およびＸロッドの構造を示
した断面図。
した断面図。
【図８】第６実施例の２次元運動機構の要部斜視図。
１２ａ、１２ｂ Ｘ軸ガイド ２２、４００ Ｘロッド ２４ａ、２４ｂ Ｙ軸ガイド ２８、４０２ Ｙロッド ３０ 移動体 ３６ 移動平面 ４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄ、４１０ａ、４１０ｂ
チャンバ ２００ 第１の移動体 ２０６ 第２のロッド ２０８ 第２の移動体 ３００ 第１のＸ移動体 ３０２ 第１のＸロッド ３０８ 第１のＹ移動体 ３１０ 第１のＹロッド ３１２ 第２のＸロッド ３１４ 第２のＹロッド ４０４ Ｘピストン ４０６ Ｙピストン
チャンバ ２００ 第１の移動体 ２０６ 第２のロッド ２０８ 第２の移動体 ３００ 第１のＸ移動体 ３０２ 第１のＸロッド ３０８ 第１のＹ移動体 ３１０ 第１のＹロッド ３１２ 第２のＸロッド ３１４ 第２のＹロッド ４０４ Ｘピストン ４０６ Ｙピストン
Claims (5)
- 【請求項１】 平行に配された１対のＸ軸ガイドと、 該Ｘ軸ガイドに直角な方向へ平行に配された１対のＹ軸
ガイドと、 両端が前記１対のＸ軸ガイドへそれぞれ取り付けられ、
前記Ｙ軸ガイドに対して平行、かつＸ軸ガイドに沿って
移動可能なＸロッドと、 両端が前記１対のＹ軸ガイドへそれぞれ取り付けられ、
前記Ｘ軸ガイドに対して平行、かつＹ軸ガイドに沿って
移動可能なＹロッドと、 前記Ｘロッドと、前記Ｙロッドとが挿通されると共に、
Ｘロッドと、Ｙロッド上を移動可能であり、Ｘロッド外
周面とＸロッドが挿通された部分の内壁面との間、およ
びＹロッド外周面とＹロッドが挿通された部分の内壁面
との間にはそれぞれチャンバがＸロッドまたはＹロッド
の長さ方向へ画成された移動体とを具備し、 前記チャンバへ流体を選択的に給排することにより、前
記移動体は前記Ｘ軸ガイドと前記Ｙ軸ガイドとで囲繞さ
れてなる面内を移動可能なことを特徴とする２次元運動
機構。 - 【請求項２】 前記Ｘロッドおよび／または前記Ｙロッ
ドは複数設けられ、各Ｘロッドおよび／または前記Ｙロ
ッドに対応して前記チャンバが前記移動体に形成されて
いることを特徴とする請求項１記載の２次元運動機構。 - 【請求項３】 平行に配された１対のＸ軸ガイドと、 該Ｘ軸ガイドに直角な方向へ平行に配された１対のＹ軸
ガイドと、 両端が前記１対のＸ軸ガイドへそれぞれ取り付けられ、
前記Ｙ軸ガイドに対して平行、かつＸ軸ガイドに沿って
移動可能なＸロッドと、 両端が前記１対のＹ軸ガイドへそれぞれ取り付けられ、
前記Ｘ軸ガイドに対して平行、かつＹ軸ガイドに沿って
移動可能なＹロッドと、 前記Ｘロッドまたは前記Ｙロッドとが挿通されると共
に、ＸロッドまたはＹロッド上を移動可能であり、Ｘロ
ッドまたはＹロッド外周面とＸロッドまたはＹロッドが
挿通された部分の内壁面との間にはチャンバがＸロッド
またはＹロッドの長さ方向へ画成された第１の移動体と
該第１の移動体上において、前記Ｘロッドまたは前記Ｙ
ロッドと平行に配設された第２のロッドと、 該第２のロッドと、前記Ｙロッドまたは前記Ｘロッドと
が挿通されると共に、第２のロッドと、Ｙロッドまたは
Ｘロッド上を移動可能であり、第２のロッド外周面と第
２のロッドが挿通された部分の内壁面との間、およびＹ
ロッドまたはＸロッド外周面とＹロッドまたはＸロッド
が挿通された部分の内壁面との間にはそれぞれチャンバ
が第２のロッドと、ＹロッドまたはＸロッドの長さ方向
へ画成された第２の移動体とを具備し、 前記チャンバへ流体を選択的に給排することにより、前
記第２の移動体は前記Ｘ軸ガイドと前記Ｙ軸ガイドとで
囲繞されてなる面内を移動可能なことを特徴とする２次
元運動機構。 - 【請求項４】 平行に配された１対のＸ軸ガイドと、 該Ｘ軸ガイドに直角な方向へ平行に配された１対のＹ軸
ガイドと、 両端が前記１対のＸ軸ガイドへそれぞれ取り付けられ、
前記Ｙ軸ガイドに対して平行、かつＸ軸ガイドに沿って
移動可能な第１のＸロッドと、 両端が前記１対のＹ軸ガイドへそれぞれ取り付けられ、
前記Ｘ軸ガイドに対して平行、かつＹ軸ガイドに沿って
移動可能な第１のＹロッドと、 前記第１のＸロッドが挿通されると共に、第１のＸロッ
ド上を移動可能であり、第１のＸロッド外周面と第１の
Ｘロッドが挿通された部分の内壁面との間にはチャンバ
が第１のＸロッドの長さ方向へ画成された第１のＸ移動
体と、 前記第１のＹロッドが挿通されると共に、第１のＹロッ
ド上を移動可能であり、第１のＹロッド外周面と第１の
Ｙロッドが挿通された部分の内壁面との間にはチャンバ
が第１のＹロッドの長さ方向へ画成された第１のＹ移動
体と、 前記第１のＸ移動体上において、前記第１のＸロッドと
平行に配設された第２のＸロッドと、 前記第１のＹ移動体上において、前記第１のＹロッドと
平行に配設された第２のＹロッドと、 該第２のＸロッドと前記第２のＹロッドとが挿通される
と共に、第２のＸロッドと第２のＹロッド上を移動可能
であり、第２のＸロッド外周面と第２のＸロッドが挿通
された部分の内壁面との間、および第２のＹロッド外周
面と第２のＹロッドが挿通された部分の内壁面との間に
はそれぞれチャンバが第２のＸロッドと、第２のＹロッ
ドの長さ方向へ画成された第２の移動体とを具備し、 前記チャンバへ流体を選択的に給排することにより、前
記第２の移動体は前記Ｘ軸ガイドと前記Ｙ軸ガイドとで
囲繞されてなる面内を移動可能なことを特徴とする２次
元運動機構。 - 【請求項５】 平行に配された１対のＸ軸ガイドと、 該Ｘ軸ガイドに直角な方向へ平行に配された１対のＹ軸
ガイドと、 内部がシリンダに形成され、両端が前記１対のＸ軸ガイ
ドへそれぞれ取り付けられ、前記Ｙ軸ガイドに対して平
行、かつＸ軸ガイドに沿って移動可能なＸロッドと、 内部がシリンダに形成され、両端が前記１対のＹ軸ガイ
ドへそれぞれ取り付けられ、前記Ｘ軸ガイドに対して平
行、かつＹ軸ガイドに沿って移動可能なＹロッドと、 前記Ｘロッド内へ移動可能に配されると共に、Ｘロッド
内においてチャンバを画成するＸピストンと、 前記Ｙロッド内へ移動可能に配されると共に、Ｙロッド
内においてチャンバを画成するＹピストンと、 前記Ｘロッドと、前記Ｙロッドとが挿通され、前記Ｘピ
ストンおよび前記Ｙピストンと一体に移動可能となるよ
う連結されると共に、Ｘロッドと、Ｙロッド上を移動可
能な移動体とを具備し、 前記チャンバへ流体を選択的に給排することにより、前
記移動体は前記Ｘ軸ガイドと前記Ｙ軸ガイドとで囲繞さ
れてなる面内を移動可能なことを特徴とする２次元運動
機構。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3-272035 | 1991-09-23 | ||
| JP27203591 | 1991-09-23 |
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|---|---|
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| JP2888463B2 JP2888463B2 (ja) | 1999-05-10 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Cited By (1)
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| JP2003311567A (ja) * | 2002-04-26 | 2003-11-05 | Yaskawa Electric Corp | Ｘｙステージ装置 |
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1991
- 1991-10-24 JP JP3305344A patent/JP2888463B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-09-17 DE DE4231171A patent/DE4231171C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-09-17 US US07/946,089 patent/US5222424A/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
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| US5222424A (en) | 1993-06-29 |
| JP2888463B2 (ja) | 1999-05-10 |
| DE4231171C2 (de) | 1994-06-01 |
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|---|---|---|---|
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