JP4501099B2 - Xyステージ装置 - Google Patents
Xyステージ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4501099B2 JP4501099B2 JP2002125225A JP2002125225A JP4501099B2 JP 4501099 B2 JP4501099 B2 JP 4501099B2 JP 2002125225 A JP2002125225 A JP 2002125225A JP 2002125225 A JP2002125225 A JP 2002125225A JP 4501099 B2 JP4501099 B2 JP 4501099B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- movable
- movable body
- linear motor
- stages
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、精密加工機、精密測定機等、あるいはバーチャルリアリティの分野でのヒューマンインターフェース装置における仮想的な感覚を呈示する2次元感覚呈示装置等において、ワーク等を精密位置決めするためのXYステージ装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のXYステージ装置においては、ベース上に第1のステージ(以下、Xステージと呼ぶ)が配置され、Xステージ上にX方向に直行する方向にて、第2のステージ(以下、Yステージと呼ぶ)が配置される構造になっている。例えば、特開平6−254734号公報では、XYステージ装置およびこれに用いるリニアモータが記載されている。
以下、従来のXYステージ装置を、図に基づいて簡単に説明する。
図5は従来技術におけるXYステージ装置を示す斜視図である。
図5において、2個1組の直動自由なXステージ2はベース1上に平行に配置され、Xリニアモータ4で駆動される。Yリニアモータ5は両側のXステージ2に支持され、Xステージ2上に支持されたYステージ3を駆動している。
このような構成において、Xリニアモータ4およびYリニアモータ5にてXステージ2とYステージ3をそれぞれ駆動することにより、XY方向の位置決めを行うことができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来のXYステージ装置においては、次のような問題があった。
(1)Yリニアモータ5はXステージ2上に搭載されており、Xリニアモータ4の負荷はXステージ2とYリニアモータ5の合計質量分となるため、Xリニアモータ4のサイズを大きくする必要があり、必然的に装置全体のサイズも大きくなっている。
(2)従来のXYステージ装置では、ステージを支持する手段である軸受等が外部空間に晒されており、軸受の摺動を妨げる埃などが入りやすい構造となっている。
(3)従来のXYステージ装置を、バーチャルリアリティの分野でのヒューマンインターフェース装置における仮想的な感覚を呈示する2次元感覚呈示装置として使用した場合には、軸受、リニアモータ等の周辺部品が剥き出しであるため、ステージを手足で操作する際に危険であり、ヒューマンインターフェース装置としての外観もまた著しく損ねている。
本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、コンパクトで、かつリニアモータや軸受等の周辺部品を保護または隔離できるようなXYステージ装置を提供することを目的とするものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、請求項1記載の本発明は、ベース上を第1の方向に直動自由である2個1組の第1のステージと、これを駆動する第1の駆動手段と、ベース上を前記第1の方向と垂直な第2の方向に直動自由である2個1組の第2のステージと、前記第2のステージを駆動する第2の駆動手段で構成するXYステージ装置において、2個1組の第1のステージ同士は、第2の方向に直動自由な可動体とこれを支持するレールによってレールの両端にて結合されており、2個1組の第2のステージ同士は、第1の方向に直動自由な可動体とこれを支持するレールによってレールの両端にて結合されており、前記第2の方向に直動自由な可動体と第1の方向に直動自由な可動体を結合し、第1、第2両方向に位置決め可能な第3のステージを構成し、かつ、前記第3のステージにワイヤまたはベルトを取付け、前記第1のステージまたは第2のステージの両側に設置した1組の滑車またはプーリを介して、前記第3のステージの上方に新しく設けた第4のステージに前記のワイヤまたはベルトを取付けることによって、第1、第2両方向に位置決め可能とし、前記滑車またはプーリの移動範囲を開口部とした少なくとも1枚のプレートで構成されたカバーを前記第3のステージと第4のステージとの間に挿入することによってステージ部、モータ部、第3のステージと第4のステージを隔離するようにしたものである。
【0005】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。
[第1の実施例]
図1は本発明の第1の実施例におけるXYステージ装置を示す平面図である。
図1において、第1の方向(X方向)に直動自由な2個1組の第1のステージであるXステージ2および第1の方向に直交する第2の方向(Y方向)に直動自由な2個1組の第2のステージであるYステージ3が、LMガイド6,7によって、ベース1に支持されている。Xステージ2、Yステージ3はそれぞれXリニアモータ4、Yリニアモータ5で駆動される。
レール8,9と、このレールに支持される可動体10,11はそれぞれXステージ2、Yステージ3の両側で、互いに干渉することなく且つ可動方向が直交するように固定される。さらに、可動体10,11は、取付部材12によって、互いに結合され、第3のステージであるXYステージ13を構成する。
Xリニアモータ4とYリニアモータ5で、Xステージ2、Yステージ3を駆動することにより、XYステージ13はXY両方向に位置決めされる。
本実施例によれば、Xステージ2、Yステージ3、Xリニアモータ4、Yリニアモータ5をベース1上に配置することで、可動部を小型化、軽量化でき、装置全体をコンパクトにすることができる。
[第2の実施例]
図2は本発明の第2の実施例におけるXYステージ装置を示す分解斜視図、図3は図2におけるYステージ部の正断面図、図4は図2のXYステージ装置の外観を示す斜視図である。
第2の実施例のXYステージ装置を、図2、図3、および図4に基づいて説明する。
図2において、XYステージ13とXY上部ステージ19は、Yステージ3の両側に設置された滑車16,17を通してワイヤ18で繋がれている。XY上部ステージ19は滑車16,17に固定されたレール20に支持されている。XY上部ステージ19はY方向に関してはXYステージ13と同方向に移動し、X方向に関してはXYステージ13と反対方向に移動する。
カバー21,22,23は、スペーサ14,15を介して図2に示す方向から取付けられ、カバー21はワイヤの隙間に差し込まれる。図3、図4に示すように、滑車16,17の移動範囲である開口部24を除いては、リニアステージ、リニアモータ等の周辺部分は、カバー21,22,23によって完全に覆い隠される。
本実施例によれば、ステージ部、モータ部、XY可動部と上部可動体をワイヤ駆動により分離し、カバー21,22,23によってその間を仕切るため、ステージ部、モータ部、XY可動部の周辺部品を保護することができ、上部可動体と干渉なく隔離することができる。
なお、本実施例においては、滑車16,17とワイヤ18は、Y方向に取付けるようにしてもよい。また、滑車16,17とワイヤ18の代わりに、プーリとベルトを用いるようにしてもよい。
【0006】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば次のような効果がある。
(1)請求項1記載のXYステージ装置によれば、Xステージ、Yステージ、Xリニアモータ、Yリニアモータをベース上に配置することで、可動部を小型化、軽量化でき、装置全体をコンパクトにすることができる。
(2)請求項2記載のXYステージ装置によれば、ステージ部、モータ部、XY可動部と上部可動体をワイヤ駆動により分離し、カバーによってその間を仕切るため、ステージ部、モータ部、XY可動部の周辺部品を保護することができ、上部可動体と干渉なく隔離することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施例におけるXYステージ装置を示す平面図である。
【図2】 本発明の第2の実施例におけるXYステージ装置を示す分解斜視図である。
【図3】 図2におけるYステージ部の正断面図である。
【図4】 図2のXYステージ装置の外観を示す斜視図である。
【図5】 従来技術におけるXYステージ装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 ベース
2 Xステージ
3 Yステージ
4 Xリニアモータ
5 Yリニアモータ
6、7 LMガイド
8、9、20 レール
10、11 可動体
12 取付部材
13 XYステージ
14、15 スペーサ
16、17 滑車
18 ワイヤ
19 XY上部ステージ
21、22、23 カバー
24 開口部
Claims (1)
- ベース上を第1の方向に直動自由である2個1組の第1のステージと、これを駆動する第1の駆動手段と、ベース上を前記第1の方向と垂直な第2の方向に直動自由である2個1組の第2のステージと、前記第2のステージを駆動する第2の駆動手段で構成するXYステージ装置において、
2個1組の第1のステージ同士は、第2の方向に直動自由な可動体とこれを支持するレールによってレールの両端にて結合されており、2個1組の第2のステージ同士は、第1の方向に直動自由な可動体とこれを支持するレールによってレールの両端にて結合されており、前記第2の方向に直動自由な可動体と第1の方向に直動自由な可動体を結合し、第1、第2両方向に位置決め可能な第3のステージを構成し、かつ、前記第3のステージにワイヤまたはベルトを取付け、前記第1のステージまたは第2のステージの両側に設置した1組の滑車またはプーリを介して、前記第3のステージの上方に新しく設けた第4のステージに前記のワイヤまたはベルトを取付けることによって、第1、第2両方向に位置決め可能とし、前記滑車またはプーリの移動範囲を開口部とした少なくとも1枚のプレートで構成されたカバーを前記第3のステージと第4のステージとの間に挿入することによってステージ部、モータ部、第3のステージと第4のステージを隔離したことを特徴とするXYステージ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002125225A JP4501099B2 (ja) | 2002-04-26 | 2002-04-26 | Xyステージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002125225A JP4501099B2 (ja) | 2002-04-26 | 2002-04-26 | Xyステージ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003311567A JP2003311567A (ja) | 2003-11-05 |
JP4501099B2 true JP4501099B2 (ja) | 2010-07-14 |
Family
ID=29540004
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002125225A Expired - Fee Related JP4501099B2 (ja) | 2002-04-26 | 2002-04-26 | Xyステージ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4501099B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103128557A (zh) * | 2011-11-24 | 2013-06-05 | 山东科技大学 | 一种安装机床导轨垂直度的控制方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6288528A (ja) * | 1985-10-15 | 1987-04-23 | Omron Tateisi Electronics Co | Xyステ−ジ |
JPS63127841A (ja) * | 1986-11-14 | 1988-05-31 | Toshiba Corp | X−yステ−ジ |
JPH01188242A (ja) * | 1988-01-22 | 1989-07-27 | Canon Inc | 移動案内装置 |
JPH05138469A (ja) * | 1991-09-23 | 1993-06-01 | Takeshi Yanagisawa | 2次元運動機構 |
-
2002
- 2002-04-26 JP JP2002125225A patent/JP4501099B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6288528A (ja) * | 1985-10-15 | 1987-04-23 | Omron Tateisi Electronics Co | Xyステ−ジ |
JPS63127841A (ja) * | 1986-11-14 | 1988-05-31 | Toshiba Corp | X−yステ−ジ |
JPH01188242A (ja) * | 1988-01-22 | 1989-07-27 | Canon Inc | 移動案内装置 |
JPH05138469A (ja) * | 1991-09-23 | 1993-06-01 | Takeshi Yanagisawa | 2次元運動機構 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003311567A (ja) | 2003-11-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6326708B1 (en) | Slider unit with built-in moving-coil linear motor | |
US7152331B2 (en) | Positioning apparatus | |
DE19982072T1 (de) | Hochgeschwindigkeits-Präzisionspositioniervor- richtung | |
JP4104810B2 (ja) | 可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置 | |
JP4883845B2 (ja) | リニアモータ駆動ユニット | |
US9502953B2 (en) | Sliding device | |
KR100792768B1 (ko) | 수평유지테이블이 구비된 리니어 로봇 | |
JP4684679B2 (ja) | リニアモータを内蔵したスライド装置 | |
JP4501099B2 (ja) | Xyステージ装置 | |
DE69409326T2 (de) | Kühlvorrichtung für einen Elektromotor eines Turbolüfters | |
KR100869921B1 (ko) | 스테이지용 반력처리장치 | |
JP3687362B2 (ja) | 2軸移動装置 | |
JP4132222B2 (ja) | スライド装置のシール構造 | |
JP5260914B2 (ja) | 単軸ロボット | |
KR960033649A (ko) | 리니어 모터에 의해 구동되는 2축 테이블 장치 | |
JP3481711B2 (ja) | 電動式直線往復動装置 | |
JPH08226513A (ja) | 電動式直線往復動装置 | |
JPH0885026A (ja) | 門型駆動装置 | |
US7405500B2 (en) | Bonding apparatus | |
KR950006341U (ko) | 리니어모터의 구동방식 엘리베이터의 리니어모터 지지장치 | |
JPS6288528A (ja) | Xyステ−ジ | |
JP2883628B2 (ja) | X―yテーブル装置 | |
JPH02146216U (ja) | ||
JP4573237B2 (ja) | 工作機械 | |
JP2007057248A (ja) | 材料試験機 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050422 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080314 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080512 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090512 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090803 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20090819 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100326 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100408 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130430 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140430 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |