JP6860869B2 - 高耐荷の案内機構及び多自由度、大ストローク、高精度の移動ステージシステム - Google Patents
高耐荷の案内機構及び多自由度、大ストローク、高精度の移動ステージシステム Download PDFInfo
- Publication number
- JP6860869B2 JP6860869B2 JP2018000624A JP2018000624A JP6860869B2 JP 6860869 B2 JP6860869 B2 JP 6860869B2 JP 2018000624 A JP2018000624 A JP 2018000624A JP 2018000624 A JP2018000624 A JP 2018000624A JP 6860869 B2 JP6860869 B2 JP 6860869B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving stage
- freedom
- degree
- flexible hinge
- hinge unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 15
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70716—Stages
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
- B23Q1/36—Springs
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/445—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms using a first carriage for a smaller workspace mounted on a second carriage for a larger workspace, both carriages moving on the same axes
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C11/00—Pivots; Pivotal connections
- F16C11/04—Pivotal connections
- F16C11/12—Pivotal connections incorporating flexible connections, e.g. leaf springs
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70758—Drive means, e.g. actuators, motors for long- or short-stroke modules or fine or coarse driving
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K2201/00—Specific aspects not provided for in the other groups of this subclass relating to the magnetic circuits
- H02K2201/18—Machines moving with multiple degrees of freedom
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
一態様として、高耐荷の案内機構を提出し、大ストロークの変位を発生し、高速移動を実現するための剛性フレーム(102)と、前記剛性フレーム(102)に設けられて、非接触式アクチュエータの駆動で前記剛性フレーム(102)に小ストロークの精密変位を発生するためのコア移動ステージ(104)と、前記剛性フレーム(102)と前記コア移動ステージ(104)両側との間に設けられ、前記コア移動ステージ(104)を前記剛性フレーム(102)に接続し、前記コア移動ステージ(104)の負荷を支持し、かつ移動方向に沿う変形により前記コア移動ステージに前記精密変位を発生させるためのメインフレキシブルヒンジユニット(106)と、前記剛性フレーム(102)と前記コア移動ステージ(104)の別の両側との間に設けられてかつ前記メインフレキシブルヒンジユニットと垂直配置され、前記コア移動ステージ(104)を前記剛性フレーム(102)に接続し、コア移動ステージの捩り変形抵抗能力を向上し、かつコア移動ステージが前記移動方向に沿う変位を発生することを許容するサブフレキシブルヒンジユニット(108)と、を含み、前記サブフレキシブルヒンジユニット(108)のフレキシブルヒンジは、前記コア移動ステージ(104)に対して対称的に設置され、前記メインフレキシブルヒンジユニット(106)のフレキシブルヒンジは、前記コア移動ステージ(104)に対して対称的に設置されている。
本出願に使用するような「複数個」は、2つ以上を示す。
本出願に使用するような、「含む」、「含有」、「有する」、「付く」、又は類似する用語は、開放式として理解すべきであり、即ち、それを含むが、それに限定されていない。
一自由度移動ステージは、図1、2に示すように、案内機構10、ベース20、非接触式アクチュエータ30及びリニアガイド40を含む。案内機構10は、剛性フレーム102、コア移動ステージ104、メインフレキシブルヒンジユニット106及びサブフレキシブルヒンジユニット108を含む。剛性フレーム102は、リニアガイド40によりベース20と摺動対偶接続を形成し、高耐荷の案内機構10におけるコア移動ステージ104は、非接触式アクチュエータ30の移動部分302に接続し、前記コア移動ステージ104を駆動してメインフレキシブルヒンジユニット106の剛性約束で変位を生じる。前記非接触式アクチュエータ30の固定部分304は、前記ベース20に剛性接続している。
さらに、図5−9に示すように、本実施例は、案内機構の具体的な構成を提供する。前記案内機構が、従来のフレキシブルヒンジ案内機構との主な区別は、大負荷を支持し、非作動方向の変形を防止するのに使用するサブフレキシブルヒンジ108を増加することである。本実施例に係る案内機構は、大ストロークの変位を発生し、高速移動を実現するための剛性フレーム102と、前記剛性フレーム102に設けられて、非接触式アクチュエータの駆動で前記剛性フレーム102に小ストロークの精密変位を発生するためのコア移動ステージ104と、前記剛性フレーム102と前記コア移動ステージ104両側との間に設けられ、前記コア移動ステージ104を前記剛性フレーム102に接続し、前記コア移動ステージ104の負荷を支持し、かつ移動方向に沿う変形により前記コア移動ステージに前記精密変位を発生させるためのメインフレキシブルヒンジユニット106と、前記剛性フレーム102と前記コア移動ステージ104の別の両側との間に設けられてかつ前記メインフレキシブルヒンジユニットと垂直配置され、前記コア移動ステージ104を前記剛性フレーム102に接続し、コア移動ステージの捩り変形抵抗能力を向上し、かつコア移動ステージが前記移動方向に沿う変位を発生することを許容するサブフレキシブルヒンジユニット108と、を含む。前記サブフレキシブルヒンジユニット108は、前記コア移動ステージ104の移動方向に沿って設置され、前記メインフレキシブルヒンジユニット106は、前記コア移動ステージ104に垂直する移動方向に沿って設置されている。前記サブフレキシブルヒンジユニット108のフレキシブルヒンジは、前記コア移動ステージ104に対して対称的に設置され、前記メインフレキシブルヒンジユニット106のフレキシブルヒンジは、前記コア移動ステージ104に対して対称的に設置されている。
Claims (10)
- 高耐荷の案内機構であって、剛性フレームとコア移動ステージとメインフレキシブルヒン
ジユニットとサブフレキシブルヒンジユニットとを備え、
前記剛性フレームは、大ストロークの変位を発生し、高速移動を実現するために用いられ
、
前記コア移動ステージは、前記剛性フレームに設けられて、
前記メインフレキシブルヒンジユニットは、前記剛性フレームと前記コア移動ステージ両
側との間に設けられ、前記コア移動ステージを前記剛性フレームに接続し、前記コア移動
ステージの負荷を支持し、
前記サブフレキシブルヒンジユニットは、前記剛性フレームと前記コア移動ステージの別
の両側との間に設けられてかつ前記メインフレキシブルヒンジユニットと垂直配置され、
前記コア移動ステージを前記剛性フレームに接続し、コア移動ステージの捩り変形抵抗能
力を向上し、かつコア移動ステージが前記移動方向に沿う変位を発生することを許容する
サブフレキシブルヒンジユニットと、を含み、
前記サブフレキシブルヒンジユニットのフレキシブルヒンジは、前記コア移動ステージに
対して対称的に設置され、前記メインフレキシブルヒンジユニットのフレキシブルヒンジ
は、前記コア移動ステージに対して対称的に設置され、前記剛性フレーム、コア移動ステ
ージ及びメインフレキシブルヒンジユニットは、一体成形されており、
前記サブフレキシブルヒンジユニットと前記剛性フレームとは一体成形されており、
前記案内機構は、さらに、剛性接続部を含み、前記コア移動ステージは、剛性接続部によ
り前記サブフレキシブルヒンジユニットに接続しており、
前記サブフレキシブルヒンジユニット、前記コア移動ステージ及び前記剛性接続部は、一
体成形されていることを特徴とする高耐荷の案内機構。 - 前記剛性フレーム、コア移動ステージ及びメインフレキシブルヒンジユニットは、航空ア
ルミニウム又は航空アルミニウム合金から製造されることを特徴とする請求項1に記載の
案内機構。 - 前記サブフレキシブルヒンジユニット、前記剛性フレーム、前記コア移動ステージ及び前
記剛性接続部は、航空アルミニウム又は航空アルミニウム合金から製造されることを特徴
とする請求項1に記載の案内機構。 - 前記剛性フレームには前記サブフレキシブルヒンジユニットを連通する開口が開設されて
おり、前記案内機構は、さらに、剛性ブロックを含み、前記剛性ブロックは、前記開口に
嵌め込み、かつ前記剛性フレームに剛性接続し、それにより、前記サブフレキシブルヒン
ジユニットの加工なので前記剛性フレームが発生する脆弱箇所の剛性を増加することを特
徴とする請求項1に記載の案内機構。 - 第1回動部材、第2回動部材、摺動部材、第1一自由度移動ステージ、第2一自由度移動
ステージ及び第3一自由度移動ステージを含み、それぞれの前記一自由度移動ステージは
、いずれも、ベース、非接触式アクチュエータ及び請求項1に記載の案内機構を含み、
第1回動部材と摺動部材とは回動・摺動対偶を構成し、前記回動・摺動対偶が第1一自由
度移動ステージにおけるコア移動ステージに剛性接続し、かつ第3一自由度移動ステージ
におけるベースに剛性接続し、
第2回動部材が第2一自由度移動ステージにおけるコア移動ステージに剛性接続し、かつ
第3一自由度移動ステージにおけるベースに剛性接続していることを特徴とする多自由度
、大ストローク、高精度の移動ステージシステム。 - 前記多自由度、大ストローク、高精度の移動ステージは、さらに、第1接続部材と第2接
続部材とを含み、
前記回動・摺動対偶は、第1接続部材により第3一自由度移動ステージにおけるベースに
剛性接続し、
前記第2回動部材は、第2接続部材により第3一自由度移動ステージにおけるベースに剛
性接続していることを特徴とする請求項5に記載の多自由度、大ストローク、高精度の移
動ステージシステム。 - 前記第1回動部材と第2回動部材とは、共にクロスローラベアリングであることを特徴と
する請求項5に記載の多自由度、大ストローク、高精度の移動ステージ。 - 前記摺動部材は、短いリニアガイドステージであることを特徴とする請求項5に記載の多
自由度、大ストローク、高精度の移動ステージ。 - それぞれの前記一自由度の移動ステージは、いずれも、リニアガイドを含み、剛性フレー
ムは、リニアガイドによりベースと摺動対偶接続を形成し、コア移動ステージが非接触式
アクチュエータの移動部分に接続し、前記非接触式アクチュエータの固定部分が前記ベー
スに剛性接続していることを特徴とする請求項5に記載の多自由度、大ストローク、高精
度の移動ステージ。 - 第1一自由度移動ステージと第2一自由度移動ステージとは、共に、台座に設けられてい
ることを特徴とする請求項5に記載の多自由度、大ストローク、高精度の移動ステージ。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710881691.4 | 2017-09-26 | ||
CN201710881691.4A CN107627292B (zh) | 2017-09-26 | 2017-09-26 | 一种多自由度大行程高精度运动平台 |
CN201710883865.0 | 2017-09-26 | ||
CN201710883865.0A CN107705822B (zh) | 2017-09-26 | 2017-09-26 | 一种大承载柔性铰链导向机构 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019059011A JP2019059011A (ja) | 2019-04-18 |
JP6860869B2 true JP6860869B2 (ja) | 2021-04-21 |
Family
ID=65807508
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018000624A Active JP6860869B2 (ja) | 2017-09-26 | 2018-01-05 | 高耐荷の案内機構及び多自由度、大ストローク、高精度の移動ステージシステム |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10564553B2 (ja) |
JP (1) | JP6860869B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3730986B1 (de) * | 2019-04-24 | 2023-02-15 | Etel S.A. | Kopplungsglied für eine positioniereinrichtung, positioniereinrichtung mit einem kopplungsglied, sowie fertigungsverfahren |
CN110211627B (zh) * | 2019-05-14 | 2023-12-22 | 江南大学 | 高精度大行程大有效台面空间平动精密定位平台 |
CN111930150B (zh) * | 2020-07-07 | 2023-07-25 | 江苏长虹智能装备股份有限公司 | 一种电动柔性对轨装置 |
KR102602634B1 (ko) * | 2021-02-25 | 2023-11-16 | 이노6 주식회사 | 힌지구조를 갖는 스테이지 |
CN113655612B (zh) * | 2021-09-03 | 2023-07-25 | 上海科技大学 | 一种高稳定性二维姿态调整机构 |
CN114613721B (zh) * | 2022-05-10 | 2022-07-26 | 上海隐冠半导体技术有限公司 | 一种运动台及运动装置 |
CN114992453B (zh) * | 2022-06-07 | 2024-02-27 | 重庆大学 | 一种具有高负载、大行程的可控平面高精度柔性位移平台 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL8500615A (nl) * | 1985-03-05 | 1986-10-01 | Nederlanden Staat | Fijninstelmechanisme voor het nauwkeurig positioneren van een instelelement. |
JPH0722876B2 (ja) * | 1987-06-24 | 1995-03-15 | 新技術事業団 | 研削用ワークテーブル装置 |
CA2060674C (en) * | 1991-02-08 | 1996-10-01 | Masahiro Tagawa | Driving apparatus and a recording and/or reproducing apparatus using the same |
US5623853A (en) * | 1994-10-19 | 1997-04-29 | Nikon Precision Inc. | Precision motion stage with single guide beam and follower stage |
US5834864A (en) * | 1995-09-13 | 1998-11-10 | Hewlett Packard Company | Magnetic micro-mover |
US6353271B1 (en) * | 1999-10-29 | 2002-03-05 | Euv, Llc | Extreme-UV scanning wafer and reticle stages |
US7093827B2 (en) * | 2001-11-08 | 2006-08-22 | Massachusetts Institute Of Technology | Multiple degree of freedom compliant mechanism |
US6784978B2 (en) * | 2002-03-12 | 2004-08-31 | Asml Holding N.V. | Method, system, and apparatus for management of reaction loads in a lithography system |
JP4307886B2 (ja) * | 2003-04-03 | 2009-08-05 | オリンパス株式会社 | 電磁駆動型アクチュエータ |
US20050128449A1 (en) * | 2003-12-12 | 2005-06-16 | Nikon Corporation, A Japanese Corporation | Utilities transfer system in a lithography system |
KR101119814B1 (ko) * | 2004-06-07 | 2012-03-06 | 가부시키가이샤 니콘 | 스테이지 장치, 노광 장치 및 노광 방법 |
CN101807010B (zh) * | 2010-03-19 | 2011-12-28 | 清华大学 | 纳米精度六自由度磁浮微动台及应用 |
US8988655B2 (en) * | 2010-09-07 | 2015-03-24 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, movable body apparatus, flat-panel display manufacturing method, and device manufacturing method |
CN103990998B (zh) * | 2014-05-20 | 2017-01-25 | 广东工业大学 | 基于应力刚化原理的刚度频率可调二维微动平台 |
EP3026277B1 (en) * | 2014-11-27 | 2023-04-26 | Skf Magnetic Mechatronics | Magnetic bearing, apparatus comprising such a magnetic bearing and method for manufacturing such a magnetic bearing |
WO2016106047A1 (en) * | 2014-12-22 | 2016-06-30 | The Regents Of The University Of Michigan | Vibration-assisted positioning stage |
US10388850B2 (en) * | 2016-01-29 | 2019-08-20 | Microjet Technology Co., Ltd. | Piezoelectric actuator |
-
2017
- 2017-12-24 US US15/853,847 patent/US10564553B2/en active Active
-
2018
- 2018-01-05 JP JP2018000624A patent/JP6860869B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019059011A (ja) | 2019-04-18 |
US20190094714A1 (en) | 2019-03-28 |
US10564553B2 (en) | 2020-02-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6860869B2 (ja) | 高耐荷の案内機構及び多自由度、大ストローク、高精度の移動ステージシステム | |
CN103225728B (zh) | 一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台 | |
US7793564B2 (en) | Parallel mechanism having two rotational and one translational degrees of freedom | |
CN102446563A (zh) | 一种用于超精密定位的三自由度微操作正交并联工作台 | |
Panas et al. | Eliminating underconstraint in double parallelogram flexure mechanisms | |
CN107627292B (zh) | 一种多自由度大行程高精度运动平台 | |
CN103273356B (zh) | 一种基于四自由度并联机构的多轴联动混联装置 | |
CN113464780B (zh) | 一种空间三平移自由度柔顺定位平台 | |
EP1637277A1 (en) | Parallel kinematics machine with elastic joints | |
CN209774584U (zh) | 一种平面三自由度全柔性并联定位平台 | |
CN103216711A (zh) | 一种柔性微定位平台 | |
CN102941572A (zh) | 一种仅含低副的空间三平动并联机构 | |
CN108747426B (zh) | 一种共定子大行程跨尺度三自由度并联运动平台 | |
CN104900573B (zh) | 一种对称式差动杠杆微位移放大装置 | |
CN101733754B (zh) | 三维移动解耦微操作机器人 | |
CN102626921B (zh) | 含两自由度平面子链的无汇交轴对称两转一移并联机构 | |
US6150740A (en) | Linear motion carriage system and method with bearings preloaded by inclined linear motor with high attractive force | |
CN105643592B (zh) | 一种对称解耦单自由度柔性操作机构 | |
CN106965133B (zh) | 一种可变刚度的三自由度定位平台 | |
EP1612921A1 (en) | Ultrasonic float-up device | |
US20140053670A1 (en) | Biaxial linear-motion micro drive apparatus | |
CN109872767B (zh) | 多源驱动的柔顺并联微操作器 | |
CN106838566A (zh) | 一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构 | |
CN101871549A (zh) | 三自由度精密定位工作台 | |
EP3246614B1 (en) | Movable table system |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180105 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180709 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190402 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190701 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200107 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200407 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201006 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201222 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20201222 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201225 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210225 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210312 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6860869 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |