JPH05136256A

JPH05136256A - 低湿度保管装置

Info

Publication number: JPH05136256A
Application number: JP29592191A
Authority: JP
Inventors: Daiichi Saito; 大一齋藤
Original assignee: Fujitsu Miyagi Electronics Ltd
Current assignee: Fujitsu Miyagi Electronics Ltd
Priority date: 1991-11-12
Filing date: 1991-11-12
Publication date: 1993-06-01

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は保管庫内を一定の低湿度に保つ低湿度
保管装置に関し、簡単な設備で開閉扉の開閉に拘わらず
庫内を低湿度に保つことを目的とする。【構成】半導体装置が保管される保管庫１１と、電気的
手段により保管庫１１の湿度を下げる電気乾燥機１３
と、保管庫１１に所定のガスを供給することにより保管
庫１１の湿度を下げるガス雰囲気乾燥装置（工場内配管
１６及びガス供給設備１９とにより構成される）と、保
管庫１１に設けられた開閉扉１２の開閉状態を検知する
センサ１７と、このセンサ１７が開閉扉１２が開いたこ
とを検知した場合に、ガス雰囲気乾燥装置により所定時
間だけ保管庫１１内に上記ガスを供給する電磁弁１５及
びガス雰囲気乾燥制御装置１８とを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は低湿度保管装置に係り、
特に保管庫内を一定の低湿度に保つ低湿度保管装置に関
する。

【０００２】一般に、樹脂封止後の半導体装置は、内部
に水分を吸湿しないように低湿度雰囲気中に保管するこ
とが行われている。これは、仮に樹脂封止後の半導体装
置内に水分が侵入すると、半導体装置の実装時に半田付
けする際にパッケージ割れが発生するおそれがあるから
である。

【０００３】半導体装置を低湿度雰囲気中に保管する装
置としては低湿度保管装置が知られており、樹脂封止後
の半導体装置は低湿度保管装置内に保管される。

【０００４】この低湿度保管装置は頻繁に開閉扉が開閉
され、半導体装置の取り出しが行われるが、半導体装置
が水分を吸湿しないためには、この開閉扉の開閉に拘わ
らず保管庫内を常に一定の低湿度に保つことが重要とな
る。

【０００５】

【従来の技術】従来知られている低湿度保管装置として
は、ガス雰囲気乾燥式の低湿度保管装置と、電気乾燥式
の低湿度保管装置が知られている。

【０００６】図３は、ガス雰囲気乾燥式の低湿度保管装
置１（以下、ガス雰囲気乾燥式装置という）を示してい
る。ガス雰囲気乾燥式装置１は、保管庫２，ガス供給設
備３，工場内配管４等より構成されている。ガス供給設
備３は、窒素（Ｎ₂)ガス或いはドライエアー等（以下、
低湿度ガスという）を供給する設備であり、低湿度ガス
はガス供給設備３より工場内配管４を介して工場内の保
管庫２が配置された部屋に送られる。工場内配管４と保
管庫２はホース５により接続されており、これにより低
湿度ガスは保管庫２内に導入され、保管庫２内は低湿度
に保たれる構成となっている。尚、６は半導体装置を出
し入れする際開閉される開閉扉である。

【０００７】また、図４は電気乾燥式の低湿度保管装置
７（以下、電気乾燥式装置という）を示している。電気
乾燥式装置７は、開閉扉９を有する保管庫８の内部に電
気乾燥機９を設けており、この電気乾燥機９により庫内
の湿度を低湿度に保つ構成となっている。尚、電気乾燥
機９としては冷却式ドライヤ等、種々の構成のものが採
用されている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記した低湿度保管装
置の内、電気乾燥式装置７は、装置の構造自体は単純な
構造である。しかるに、電気乾燥機９が庫内の空気を循
環させつつ除湿を行う構成であるため、電気乾燥式装置
７は庫内全体を所定の湿度にするのに時間を要するとい
う問題点がある。

【０００９】具体的には、庫内の容量にもよるが、半導
体装置を出し入れするために開閉扉９を開閉し、これに
より庫内に湿度の高い外気が侵入すると、これを元の所
定の湿度に復帰させるためには３時間から４時間程度を
要する。

【００１０】従って、頻繁に開閉扉９を開閉して半導体
装置の出し入れを行う製造工程では、電気乾燥式装置７
は低湿度保管の効果が殆ど無かった。

【００１１】これに対してガス雰囲気乾燥式装置１は、
低湿度ガスを保管庫２内に強制的に導入する構成である
ため、開閉扉６を開閉しても即効的に庫内を低湿度に復
帰させることができる。よって、半導体装置の量産工場
では、一般に低湿度保管装置としてガス雰囲気乾燥式装
置１を採用していた。

【００１２】しかるに、ガス雰囲気乾燥式装置１は、常
時保管庫２内に低湿度ガスを供給せねばならず、低湿度
ガスを多量に必要とする。また、ガス雰囲気乾燥式装置
１は、通常工場内に複数個配置されるものであり、これ
によっても必要とされる低湿度ガスの量は増大する。

【００１３】従って、従来のガス雰囲気乾燥式装置１で
は、大型のガス供給設備３が必要となりこれに要する設
備費が増大し、またこの大型のガス供給設備３を維持す
るための維持費も高くなるという問題点があった。

【００１４】また、上記のように多量の低湿度ガスを搬
送するためには、工場内配管４も大型のものが必要とな
り、工場内配管４の付設についても多額の費用を要する
という問題点があった。

【００１５】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、簡単な設備で開閉扉の開閉に拘わらず庫内を低湿
度に保つことができる低湿度保管装置を提供することを
目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係る低湿度保管装置では、半導体装置が保
管される保管庫と、電気的手段によりこの保管庫内の湿
度を下げる電気乾燥装置と、この保管庫に所定のガスを
供給することにより保管庫内の湿度を下げるガス雰囲気
乾燥装置と、上記保管庫に設けられた開閉扉の開閉状態
を検知する検知手段と、この検知手段が開閉扉が開いた
ことを検知した場合に、上記ガス雰囲気乾燥装置により
所定時間だけ保管庫内に上記ガスを供給するガス雰囲気
乾燥制御手段とを設けたことを特徴とするものである。

【００１７】

【作用】上記構成とされた低湿度保管装置では、電気乾
燥装置とガス雰囲気乾燥装置を同時に、或いは選択的に
駆動させることが可能となる。

【００１８】そして、検知手段により開閉扉が開いたこ
とが検知された場合に、ガス雰囲気乾燥装置制御手段が
ガス雰囲気乾燥装置を所定期間駆動して保管庫内に上記
ガスを供給する構成とすることにより、開閉扉が開いた
時の庫内の湿度上昇を、即効的に低湿度に復帰させるこ
とができる。

【００１９】また、開閉扉の開閉の度合いの少ない時
は、ガス雰囲気乾燥装置は駆動せず、電気乾燥装置によ
り庫内は低湿度に保たれるため、ガス雰囲気乾燥装置に
対してガス供給するのに必要とされる設備の簡略化及び
無人化を図ることができる。

【００２０】

【実施例】次に本発明の実施例について図面と共に説明
する。

【００２１】図１は本発明の一実施例である低湿度保管
装置１０を示す斜視図である。同図において、１１は保
管庫であり、その前面部には半導体装置を出し入れする
時に開閉される複数の開閉扉１２が設けられている。樹
脂封止された半導体装置は、この開閉扉１２を開いて庫
内に収納されて保管され、加工時にはこの開閉扉１２を
開いて庫内から取り出される。

【００２２】また、保管庫１１の内部所定位置には、電
気的手段によりこの保管庫１１内の湿度を下げる電気乾
燥機１３が配設されている。この電気乾燥機１３は、前
記した従来の電気乾燥式装置７に配設されていた電気乾
燥機９（図４参照）と変わるものではない。また、この
電気乾燥機１３は、低湿度保管装置１０が作動している
間は常時作動し、庫内の除湿を行う構成とされている。

【００２３】更に、保管庫１１の内部には、窒素（Ｎ₂)
ガス或いはドライエアー等（以下、低湿度ガスという）
を庫内に導入するための導入配管１４が配設されてお
り、この導入配管１４は庫内で複数に分岐し、その先端
部には低湿度ガスの吹き出し口１４ａが設けられてい
る。

【００２４】この導入配管１４の保管庫１１の外部に引
き出された部分には電磁弁１５が取り付けられている。
導入配管１４はホース２０を介して工場内配管１６に接
続されているが、電磁弁１５が開弁することにより工場
内配管１６から供給される低湿度ガスは保管庫１１内に
導入され各吹き出し口１４ａから庫内に噴射され、また
電磁弁１５が閉弁することにより低湿度ガスの保管庫１
１内への導入は停止される構成となっている。

【００２５】一方、前記した複数の開閉扉１２の配設位
置には、図２に示すように、開閉扉１２の開閉状態を検
知するセンサ１７が夫々配設されている。このセンサ１
７は、例えばフォトセンサ或いはマイクロスイッチ等で
あり、開閉扉１２が開かれた時に信号を生成しうる構成
となっている。この各センサ１７は、ガス雰囲気乾燥制
御装置１８に接続されている。

【００２６】ガス雰囲気乾燥制御装置１８は、前記した
電磁弁１５を駆動する駆動回路、及びタイマー回路を内
設している。そして、複数あるセンサ１７のいずれかか
ら開閉扉１２が開かれたことを示す信号が供給される
と、駆動回路及びタイマー回路が作動し、ガス雰囲気乾
燥制御装置１８は電磁弁１５が所定の時間（庫内の湿度
が所定の値に復帰するのに要する時間）だけ開弁するよ
う動作する。

【００２７】上記構成とされた低湿度保管装置１０で
は、開閉扉１２が開かれ庫内の湿度が上昇した時にの
み、所定の時間にわたってのみ低湿度ガスが庫内に導入
される構成となる。従って、庫内に供給させる低湿度ガ
スの量は、従来のように常時供給を行う構成の場合に比
べて極めて少ない量となり、低湿度ガスを供給するガス
供給設備１９を小規模施設で賄うことができ、また工場
内配管１６も小径化等を図ることができ簡略化を図るこ
とができる。

【００２８】また、開閉扉１２の開閉の無い休日，夜
間，長期休日等の場合には、庫内は電気乾燥機１３によ
り低湿度を保つことができるため、無人化を図る事が出
来る。

【００２９】更に、低湿度保管装置１０は、開閉扉１２
が開かれ庫内の湿度が上昇した時に低湿度ガスを庫内に
導入し湿度を下げる構成であるため、即効的に庫内を低
湿度に復帰させることができる。よって、半導体装置が
水分を吸湿することを確実に防止することができ、半導
体装置の信頼性を向上させることができる。

【００３０】尚、上記実施例では低湿度ガスを供給する
時間をガス雰囲気乾燥制御装置１８に組み込まれたタイ
マーにより時間管理する構成を示したが、庫内に湿度検
出センサを設け、庫内の湿度が所定の湿度となるまで低
湿度ガスを庫内に供給するよう構成してもよい。

【００３１】

【発明の効果】上述の如く本発明によれば、開閉扉の開
閉時にのみガスが庫内に供給されるため、ガス供給設備
を小規模施設で賄うことができ、設備費，維持費等の低
減を図ることができると共に、扉開閉の無い休日，夜
間，長期休日等においては電気乾燥装置により庫内の低
湿度を保つことができるために無人化を図ることができ
る等の特長を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である低湿度保管装置を示す
図である。

【図２】センサの配設位置を説明するための図である。

【図３】従来におけるガス雰囲気乾燥式装置の一例を示
す図である。

【図４】従来における電気乾燥式装置の一例を示す図で
ある。

【符号の説明】

１０低湿度保管装置１１保管庫１２開閉扉１３電気乾燥機１４導入配管１４ａ吹き出し口１５電磁弁１６工場内配管１７センサ１８ガス雰囲気乾燥制御装置１９ガス供給設備

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】半導体装置が保管される保管庫（１１）
と、電気的手段により該保管庫（１１）の湿度を下げる電気
乾燥装置（１３）と、該保管庫（１１）に所定のガスを供給することにより該
保管庫（１１）の湿度を下げるガス雰囲気乾燥装置（１
６，１９）と、該保管庫（１１）に設けられた開閉扉（１２）の開閉状
態を検知する検知手段（１７）と、該検知手段（１７）が該開閉扉（１２）が開いたことを
検知した場合に、該ガス雰囲気乾燥装置（１６，１９）
により所定時間だけ該保管庫（１１）内に上記ガスを供
給するガス雰囲気乾燥制御手段（１５，１８）と、を設けてなることを特徴とする低湿度保管装置。