JPH0513362A - 絶縁型半導体装置 - Google Patents

絶縁型半導体装置

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JPH0513362A
JPH0513362A JP3185588A JP18558891A JPH0513362A JP H0513362 A JPH0513362 A JP H0513362A JP 3185588 A JP3185588 A JP 3185588A JP 18558891 A JP18558891 A JP 18558891A JP H0513362 A JPH0513362 A JP H0513362A
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JP
Japan
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resin
heat sink
heat dissipation
semiconductor device
dissipation plate
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP3185588A
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English (en)
Inventor
Shoichi Nakamura
正一 中村
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Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Original Assignee
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0513362A publication Critical patent/JPH0513362A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
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    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
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    • H01L2924/181Encapsulation

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  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】実質的な放熱面積が広められて放熱性、外観の
良好な絶縁型半導体装置を提供することを目的とする。 【構成】銅等の比較的柔らかい金属製の放熱板1の一端
にはリード2が一体に設けられ、この放熱板1の他端寄
りには、シャーシ等に取り付ける止具挿通孔3を形成す
るための丸穴4が穿孔されている。半導体ペレット5の
下面と放熱板1表面とがダイボンディングされ、半導体
ペレット5の上面に形成された各電極と近接して配設さ
れた2本のリード6,6とがそれぞれ金属細線7でワイ
ヤーボンディングされ、支持ピン14で放熱板表面側を
支持して水平に保った状態で全体をエポキシ樹脂等の外
装樹脂8で樹脂被覆し、樹脂モールド後に支持ピン14
を抜き取った残孔9が形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、放熱板を含めて外装樹
脂でモールドされたパワートランジスタ等の絶縁型半導
体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】発熱量が大きいパワートランジスタ等の
半導体装置の中には、図4に示すような樹脂モールド装
置により形成されるものがある。即ち、この絶縁型半導
体装置は、リード100と前側に延設された肉薄の受縁
102を有する肉厚の放熱板103の上に半導体ペレッ
ト104をダイボンディングし、半導体ペレット表面の
エミッタ電極とベース電極を放熱板のリード両側に配設
された2本のリードにそれぞれ金属細線104でワイヤ
ボンディングしてから、受縁102の端面や放熱板10
3の裏面側を含めた全体が樹脂モールドされ、受縁10
2を外部に導出させずに縁面距離を充分に確保して空間
放電等を解消したものである。
【0003】上記の樹脂モールド装置は、図4に示すよ
うに、リード100を挟持する上下金型110,111
の上金型100に前記受縁102を押さえる支持突起1
12が突設されており、また、下金型111にはこの支
持突起112と対向して支持片102を支持して放熱板
100の水平を保つための可動ピン113が上下動自在
に配置されたものとなっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記絶
縁型半導体装置では、薄肉の受縁102が放熱板100
の前方に延設されているので、この放熱板100の裏面
側が封止された実質的な放熱面積が半導体装置の裏面全
体の外装樹脂の面積の割合に対して狭くなっており、放
熱性が不充分になるといった問題があった。そして、裏
面側の外装樹脂に可動ピン103の除去した残孔が形成
されるので、外観的にも不利であった。また、モールド
された樹脂が硬化する際には、放熱板100の裏面側と
受縁102の裏面側の樹脂の厚みが大きく異なるため、
受縁102の裏面側の樹脂の収縮が強くなり、図4に一
点鎖線で示すように、裏面側前方に段差が形成されるよ
うになる。このように、半導体装置の裏面に段差が形成
されていると、シャーシ等に取り付けたときに、この段
差によって放熱板101を被覆した部分の外装樹脂がシ
ャーシ等に接触せずに離れてしまい、確実に放熱が行わ
れないといった問題があった。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、放熱板上にマウントされた半導体ペレット
とその近傍に配設されたリードがワイヤーボンディング
され、外装樹脂にて全体が樹脂モールドされた絶縁型半
導体装置において、外装樹脂にて放熱板裏面側全面に亘
って肉薄に被覆すると共に、外装樹脂の表面側先端に、
樹脂モールドの際に放熱板を支える支持ピンを抜き取っ
たあとの残孔が形成されていることを特徴とする。
【0006】
【作用】上記構成の絶縁型半導体装置では、樹脂モール
ドの際に放熱板の裏面側を上方に位置させ、表面側先端
を支持ピンで支えることにより、放熱板裏面側の水平に
保った状態で樹脂モールドでき、放熱板裏面側全面を外
装樹脂にて被覆することにより、薄肉の外装樹脂で被覆
された放熱板の放熱面積が広くとれるようになる。ま
た、放熱板裏面に外装樹脂の硬化時の収縮による段差も
生じることがなくなり、外観も良く、シャーシ等に確実
に密着させて取り付けることができ、放熱性が充分に確
保される。また、樹脂モールド後に支持ピンを抜き取っ
たあとに形成された残孔は沿面距離が長くとれるため絶
縁耐圧の低下を招く心配もない。
【0007】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の一実施例を説
明する。
【0008】図1は本発明の一実施例に係る絶縁型半導
体装置の一部破断して示す概略斜視図であって、例え
ば、パワートランジスタを例示したものである。
【0009】第1図において、1は銅等の比較的柔らか
い金属製の放熱板であり、この放熱板1の一端にはリー
ド2が一体に設けられている。そして、この放熱板1の
他端寄りには、シャーシ等に取り付ける止具挿通孔3を
形成するための丸穴4が穿孔されている。
【0010】この放熱板1の上面には、パワートランジ
スタ用の半導体ペレット5の下面のコレクタ電極と放熱
板1がダイボンディングされている。そして、この半導
体ペレット5の上面に形成されたエミッタ電極及びベー
ス電極と、放熱板1のリード2の両側に配設された2本
のリード6,6とがそれぞれ金属細線7でワイヤーボン
ディングされ、全体がエポキシ樹脂等の外装樹脂8で被
覆されている。
【0011】この外装樹脂8は、半導体ペレット5及び
金属細線7を封止する部分が厚肉化された段付き直方体
形状に成形され、放熱板1裏面の外装樹脂の厚みは、良
好な放熱性を発揮できるように肉薄に形成されている。
そして、前記丸孔4を被覆して止具挿通孔3が同心的に
形成され、更に、止具挿通孔3の前方側表面には樹脂モ
ールドの際に放熱板1を支える支持ピンを樹脂モールド
後に抜き取って形成された残孔9がテーパを持って形成
されている。
【0012】上記構成の絶縁型半導体装置は、図2及び
図3に示す上下金型10,11を用いて樹脂モールドさ
れる。即ち、この上下金型10,11間に直方体形状の
キャビティ12が形成されており、下金型11のキャビ
ティ12には前記半導体ペレット5をマウントした放熱
板1が半導体ペレット5が下向きにしてセットされ、前
記のリード2,6,6が上下の金型10,11で挟持さ
れるようになっている。この下金型11には、前記の丸
穴4を挿通し止具挿通孔3を成形するための円形ポール
13が上向きに突設され、更に、放熱板1の前方側表面
側を支持し、この放熱板1を水平に保つため、回動動作
により上下動自在となる支持ピン14が設けられてい
る。該支持ピン14は、その先端がテーパ状に加工され
ており、この上端部14aによって放熱板1を支えるよ
うになっている。残孔9はこの支持ピン14を樹脂モー
ルド後に抜き取った後のテーパをもった穴である。
【0013】一方、上金型10のキャビティ12内面は
平面状であり図示していないゲートから溶融状態の外装
樹脂をキャビティ12内へ射出したときに、放熱板1の
裏面側に薄肉の外装樹脂8が均一に形成されるようにな
っている。
【0014】上記上下金型10,11を用いて樹脂モー
ルドを行う場合は、図2に示すように、まず上金型10
を上昇させた状態で、半導体ペレット5を下向きにした
リード2,6,6を下金型11に載置すると共に、円形
ポール13を放熱板1の丸穴4に挿入し、支持ピン14
の先端部14aにて放熱板1の前方側を支持する。この
とき、支持ピン14をやや下降させておくと、一点鎖線
で示すように、放熱板1の前方側がやや下がった状態で
支持される。そこで、この放熱板1の上方に例えば、図
示していないが非接触状態で水平度が検出できる近接セ
ンサ等を配置して放熱板1の傾きを検出し、これに連動
させて支持ピン14を回動して上昇させ、放熱板1を水
平状態に位置決めする。尚、この支持ピン14の上下動
の範囲は上下に1mm程度あれば充分であり、放熱板1
の傾きは他の手段で検出してもよいものである。
【0015】次いで、上金型10を下降させ、図3に示
すようにリード2,6,6を上下の金型10,11で挟
持固定する。これにより、キャビティ12内に挟持固定
された放熱板1の裏面側には全面に亘って一定の隙間が
得られた状態で保持される。放熱板1の保持が完了する
と、図示していないゲートから溶融状態の外装樹脂をキ
ャビティ12内へ注入して全体をモールドする。この状
態で外装樹脂を注入すると、放熱板1が露出することな
く裏面側略全面に亘って肉薄状態の外装樹脂8で被覆さ
れるようになる。
【0016】樹脂モールドが終わると、放熱板1の支持
ピン14を若干下降させて抜き取ると共に、上金型10
を上昇させて半導体装置が取り出される。
【0017】このようにして得られた絶縁型半導体装置
は、裏面側全面に亘って肉厚状態の放熱板1が露出する
ことなく肉薄の外装樹脂8にて被覆されるので、実質的
な放熱面積が従来のものと比べて広くなり、放熱性が向
上する。また、放熱板1の裏面全面に亘って肉薄の外装
樹脂8が形成されるため、外観も従来のものと比べて良
好となり、また、樹脂硬化時の収縮率の違いにより裏面
側の外装樹脂に従来のような段差が生じる心配がなく、
従って、シャーシ等に止具挿通孔3を介してビス止めし
た場合、シャーシ等に放熱板1の裏面側の外装樹脂8が
ぴったりと密着し、放熱性が低下することがなく、パワ
ーの高い半導体装置を構成することが可能となる。
【0018】また、外装樹脂8には、樹脂モールド時に
放熱板1を支持する支持ピン14を抜き取ったあとの残
孔9が形成されいるが、この残孔9は外装樹脂8の上面
に僅かに開口しているので、シャーシ等に実装したとき
の沿面距離も充分とれ、空中放電等を生じ難く、絶縁耐
圧が低下することもない。
【0019】尚、本発明の絶縁型半導体装置は、実施例
で示したパワートランジスタ以外に、放熱板を有する各
種半導体装置に適用できるものである。
【0020】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の絶縁型半導体装置は、放熱板裏面側全面が外装樹脂に
て肉薄に被覆されて放熱板の放熱面積が広くとれると共
に、この部分での外装樹脂の硬化収縮による段差を生じ
ることがなく、外観も良好でシャーシ等に放熱板裏面側
を確実に密着させて取り付けることができ、放熱性が充
分に確保される。また、樹脂モールド後に支持ピンを抜
き取ったあとに形成された残孔は沿面距離が長くとれる
ため絶縁耐圧の低下を招く心配がないといった効果を奏
する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係る絶縁型半導体装置の一
部破断して示す概略斜視図。
【図2】本発明の絶縁型半導体装置を樹脂モールドする
際の下金型へのセット状態を示す概略断面図。
【図3】型半導体装置を樹脂モールドする際の上下金型
間へのセット状態を示す概略断面図。
【図4】従来の絶縁型半導体装置の樹脂モールド状態を
示す概略断面図。
【符号の説明】
1 放熱板 5 半導体ペレット 6 リード 8 外装樹脂 9 残孔 14 支持ピン

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】放熱板上にマウントされた半導体ペレット
    とその近傍に配設されたリードがワイヤーボンディング
    され、外装樹脂にて全体が樹脂モールドされた絶縁型半
    導体装置において、 外装樹脂にて放熱板裏面側全面に亘って肉薄に被覆する
    と共に、外装樹脂の表面側先端に、樹脂モールドの際に
    放熱板を支える支持ピンを抜き取ったあとの残孔が形成
    されていることを特徴とする絶縁型半導体装置。
JP3185588A 1991-06-28 1991-06-28 絶縁型半導体装置 Withdrawn JPH0513362A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3185588A JPH0513362A (ja) 1991-06-28 1991-06-28 絶縁型半導体装置

Applications Claiming Priority (1)

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JP3185588A JPH0513362A (ja) 1991-06-28 1991-06-28 絶縁型半導体装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0513362A true JPH0513362A (ja) 1993-01-22

Family

ID=16173433

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3185588A Withdrawn JPH0513362A (ja) 1991-06-28 1991-06-28 絶縁型半導体装置

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JP (1) JPH0513362A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014118052A (ja) * 2012-12-17 2014-06-30 Autoliv Development Ab スルーアンカおよびシートベルト装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2014118052A (ja) * 2012-12-17 2014-06-30 Autoliv Development Ab スルーアンカおよびシートベルト装置

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Legal Events

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Effective date: 19980903