JPH05131386A - ダイハンドリング部コレツト上下機構 - Google Patents
ダイハンドリング部コレツト上下機構Info
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- JPH05131386A JPH05131386A JP3290209A JP29020991A JPH05131386A JP H05131386 A JPH05131386 A JP H05131386A JP 3290209 A JP3290209 A JP 3290209A JP 29020991 A JP29020991 A JP 29020991A JP H05131386 A JPH05131386 A JP H05131386A
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- JP
- Japan
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- collet
- coil
- yoke
- die
- force
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F7/00—Magnets
- H01F7/06—Electromagnets; Actuators including electromagnets
- H01F7/066—Electromagnets with movable winding
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F7/00—Magnets
- H01F7/06—Electromagnets; Actuators including electromagnets
- H01F7/08—Electromagnets; Actuators including electromagnets with armatures
- H01F7/18—Circuit arrangements for obtaining desired operating characteristics, e.g. for slow operation, for sequential energisation of windings, for high-speed energisation of windings
- H01F7/1844—Monitoring or fail-safe circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F7/00—Magnets
- H01F7/06—Electromagnets; Actuators including electromagnets
- H01F7/08—Electromagnets; Actuators including electromagnets with armatures
- H01F7/18—Circuit arrangements for obtaining desired operating characteristics, e.g. for slow operation, for sequential energisation of windings, for high-speed energisation of windings
- H01F7/1844—Monitoring or fail-safe circuits
- H01F2007/1861—Monitoring or fail-safe circuits using derivative of measured variable
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Die Bonding (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ペレットやフレームの厚味のバラツキによる
影響を受けることなく、安定したボンディング荷重を得
る。 【構成】 上が閉ざされた筒状のヨーク１２の天井内面
１２ａにマグネット１３を固着するとともに、ヨーク１
３にスライダ１８を介して保持板１６を取付け、この保
持板１６に、コイル１４とコレット１７を一体的に取付
け、コイル１４に通電することにより、その電流Ｉに比
例した、力をコイル１４が受け、コレット１７に、一定
の荷重がかかる。
影響を受けることなく、安定したボンディング荷重を得
る。 【構成】 上が閉ざされた筒状のヨーク１２の天井内面
１２ａにマグネット１３を固着するとともに、ヨーク１
３にスライダ１８を介して保持板１６を取付け、この保
持板１６に、コイル１４とコレット１７を一体的に取付
け、コイル１４に通電することにより、その電流Ｉに比
例した、力をコイル１４が受け、コレット１７に、一定
の荷重がかかる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ダイボンダのダイハ
ンドリング部コレット上下機構に関する。
ンドリング部コレット上下機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ペレットをフレームにダイボント
するのに、図４に示すコレット上下機構が使用されてい
る。このコレット上下機構は、外部力により、上あるい
は下に駆動される駆動台１と、この駆動台１に、バネ２
を介して接続されるコレット３と、駆動台１に取付けら
れ、コレット３の上下動を案内する保持ガイド板４とか
ら構成されている。
するのに、図４に示すコレット上下機構が使用されてい
る。このコレット上下機構は、外部力により、上あるい
は下に駆動される駆動台１と、この駆動台１に、バネ２
を介して接続されるコレット３と、駆動台１に取付けら
れ、コレット３の上下動を案内する保持ガイド板４とか
ら構成されている。
【０００３】このコレット上下機構でダイボンディング
を行う場合に、コレット３の先端にペレット５を付着
し、駆動台１を下方に動かす。この下方への動きによ
り、バネ２を介するコレット３も、そのまま、下方に移
動し、やがて先端のペレット５が、フレーム６の接着剤
７の塗られた面に達する。さらに、駆動台１を下方に下
げると、すでにコレット３の先端が、フレーム６に達し
ていたため、バネ２が上方に伸び、その復帰力により、
ペレット５がフレーム６に圧着され、接着剤７で固着さ
れる。
を行う場合に、コレット３の先端にペレット５を付着
し、駆動台１を下方に動かす。この下方への動きによ
り、バネ２を介するコレット３も、そのまま、下方に移
動し、やがて先端のペレット５が、フレーム６の接着剤
７の塗られた面に達する。さらに、駆動台１を下方に下
げると、すでにコレット３の先端が、フレーム６に達し
ていたため、バネ２が上方に伸び、その復帰力により、
ペレット５がフレーム６に圧着され、接着剤７で固着さ
れる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来のペレッ
ト上下機構は、バネ力により、コレット先端を、フレー
ム等に圧接するものであるから、荷重は、バネ定数によ
り決定するものであり、ペレットやフレームの厚味のバ
ラツキにより、ボンディング荷重が一定とならず、精度
の良いダイボンディングが行なえない、という問題があ
った。
ト上下機構は、バネ力により、コレット先端を、フレー
ム等に圧接するものであるから、荷重は、バネ定数によ
り決定するものであり、ペレットやフレームの厚味のバ
ラツキにより、ボンディング荷重が一定とならず、精度
の良いダイボンディングが行なえない、という問題があ
った。
【０００５】この発明は、上記問題点に着目してなされ
たものであって、ペレットやフレームの厚味のバラツキ
による影響を受けることなく、安定したボンディング荷
重が得られ、精度の良いダイボンディングをなし得るダ
イハンドリング部コレット上下機構を提供することを目
的としている。
たものであって、ペレットやフレームの厚味のバラツキ
による影響を受けることなく、安定したボンディング荷
重が得られ、精度の良いダイボンディングをなし得るダ
イハンドリング部コレット上下機構を提供することを目
的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段及び作用】この発明のダイ
ハンドリング部コレット上下機構は、ヨークと、このヨ
ークに固着されるマグネットと、通電されることによ
り、その電流と前記マグネットの磁束とによる電磁力
で、前記ヨークに対し、相対的に変位駆動されるコイル
と、このコイルに連繋され、コイルと同方向に相対的に
移動するコレットとから構成されている。
ハンドリング部コレット上下機構は、ヨークと、このヨ
ークに固着されるマグネットと、通電されることによ
り、その電流と前記マグネットの磁束とによる電磁力
で、前記ヨークに対し、相対的に変位駆動されるコイル
と、このコイルに連繋され、コイルと同方向に相対的に
移動するコレットとから構成されている。
【０００７】このコレット上下機構において、コイルに
通電するとマグネットの磁束密度が一定であると、コイ
ルの受ける力は電流Ｉに比例し、したがって、ペレット
やフレームの厚味にバラツキがあっても、その影響を受
けず、一定の安定した加重をかけることができる。
通電するとマグネットの磁束密度が一定であると、コイ
ルの受ける力は電流Ｉに比例し、したがって、ペレット
やフレームの厚味にバラツキがあっても、その影響を受
けず、一定の安定した加重をかけることができる。
【０００８】
【実施例】以下、実施例により、この発明をさらに詳細
に説明する。図１は、この発明の一実施例を示すダイハ
ンドリング部コレット上下機構の概略図である。ここで
は上下の駆動手段として、ボイスコイルモータ（ＶＣ
Ｍ）を使用している。図１においてＶＣＭ１１は、上部
が閉ざされた筒状のヨーク１２と、このヨーク１２の天
井部の下面１２ａに固着されるマグネット１３と、コイ
ル１４と、位置センサ１５から構成されている。コイル
１４は、側面視Ｌ字状の保持板１６の水平部１６ａで保
持され、垂直部１６ｂに位置センサ１５が取付けられて
いる。そして保持部１６にはコレット１７が一体的に連
繋され、さらにこの保持板１６は、スライダ１８を介し
て、固定されたヨーク１２に取付けられている。
に説明する。図１は、この発明の一実施例を示すダイハ
ンドリング部コレット上下機構の概略図である。ここで
は上下の駆動手段として、ボイスコイルモータ（ＶＣ
Ｍ）を使用している。図１においてＶＣＭ１１は、上部
が閉ざされた筒状のヨーク１２と、このヨーク１２の天
井部の下面１２ａに固着されるマグネット１３と、コイ
ル１４と、位置センサ１５から構成されている。コイル
１４は、側面視Ｌ字状の保持板１６の水平部１６ａで保
持され、垂直部１６ｂに位置センサ１５が取付けられて
いる。そして保持部１６にはコレット１７が一体的に連
繋され、さらにこの保持板１６は、スライダ１８を介し
て、固定されたヨーク１２に取付けられている。
【０００９】この実施例の動作概要を説明すると、最初
コイル１４がヨーク１２内に挿着された状態で、コイル
１４に電流Ｉを通電すると、マグネット１３の磁束密度
をＢとすると、Ｆ＝ＫＩＢ（Ｋ：定数）の力が発生し、
その電流方向を定めることにより、コイル１４は、その
電磁力により、下方に力を受け、保持板１６は、スライ
ダ１８に沿って下降し、応じてコレット１７も下降し、
その先端には付着したペレット１９も当然、下降し、や
がてフレーム２０上に塗布された接着剤２１の面に、ペ
レット１９が圧着される。その力はペレット１９、フレ
ーム２０の厚味にかかわらず、電流Ｉに比例するので、
安定した加重をかけることができる。
コイル１４がヨーク１２内に挿着された状態で、コイル
１４に電流Ｉを通電すると、マグネット１３の磁束密度
をＢとすると、Ｆ＝ＫＩＢ（Ｋ：定数）の力が発生し、
その電流方向を定めることにより、コイル１４は、その
電磁力により、下方に力を受け、保持板１６は、スライ
ダ１８に沿って下降し、応じてコレット１７も下降し、
その先端には付着したペレット１９も当然、下降し、や
がてフレーム２０上に塗布された接着剤２１の面に、ペ
レット１９が圧着される。その力はペレット１９、フレ
ーム２０の厚味にかかわらず、電流Ｉに比例するので、
安定した加重をかけることができる。
【００１０】ところで、通常、ダイボンダのコレット上
下機構は、ストロークが１０ｍｍ前後あればよいので上
記実施例では、位置検出センサ１５を併用して、位置決
め動作と、荷重動作を分けて制御を行っている。この制
御を行うための回路を図３に示している。この回路は、
位置指令信号と、位置検出センサ１５からの位置検出信
号を位置偏差演算回路２２に加えて、その位置偏差を切
替スイッチ２３を介してドライバ２４に加え、ムービン
グコイル１４に通電している。一方、位置検出センサ１
５の検出信号は、位置偏差演算回路２２に加えるほか
に、微分回路２５で微分して、ＣＰＵ２６に加えてい
る。切替スイッチ２３は、他方の入力として力指令を受
け、その切替は、ＣＰＵ２６で行うようになっている。
下機構は、ストロークが１０ｍｍ前後あればよいので上
記実施例では、位置検出センサ１５を併用して、位置決
め動作と、荷重動作を分けて制御を行っている。この制
御を行うための回路を図３に示している。この回路は、
位置指令信号と、位置検出センサ１５からの位置検出信
号を位置偏差演算回路２２に加えて、その位置偏差を切
替スイッチ２３を介してドライバ２４に加え、ムービン
グコイル１４に通電している。一方、位置検出センサ１
５の検出信号は、位置偏差演算回路２２に加えるほか
に、微分回路２５で微分して、ＣＰＵ２６に加えてい
る。切替スイッチ２３は、他方の入力として力指令を受
け、その切替は、ＣＰＵ２６で行うようになっている。
【００１１】次に、この実施例による位置決め動作と荷
重動作を、図３に示すタイムチャートを参照して説明す
る。動作開始時に、コレット１９は、原点にあり、これ
より、コイル１４に通電すると、コレット１９は下降を
開始する。期間Ｔ1 においては、位置検出センサ１５の
出力が帰還されて、位置決め動作を行う。フレーム２０
に接触する少し上（例：約１００ｕｍ）まで高速に下降
すると、その位置到来で、ＣＰＵ２６は、切替スイッチ
２３を力指令側に切替え、力動作期間Ｔ2 に入る。この
力動作期間の最初のＴ2 a は、フレーム２０に接するま
での期間であり、その後のＴ2 b 期間は、ダイボンディ
ンク期間である。このＴ2 b 期間は、一定の荷重がかけ
られることになる。
重動作を、図３に示すタイムチャートを参照して説明す
る。動作開始時に、コレット１９は、原点にあり、これ
より、コイル１４に通電すると、コレット１９は下降を
開始する。期間Ｔ1 においては、位置検出センサ１５の
出力が帰還されて、位置決め動作を行う。フレーム２０
に接触する少し上（例：約１００ｕｍ）まで高速に下降
すると、その位置到来で、ＣＰＵ２６は、切替スイッチ
２３を力指令側に切替え、力動作期間Ｔ2 に入る。この
力動作期間の最初のＴ2 a は、フレーム２０に接するま
での期間であり、その後のＴ2 b 期間は、ダイボンディ
ンク期間である。このＴ2 b 期間は、一定の荷重がかけ
られることになる。
【００１２】なお、リミッタとして、フレーム２０の下
方数百ｕｍに仮想の位置決め点を置くことが望ましい。
方数百ｕｍに仮想の位置決め点を置くことが望ましい。
【００１３】
【発明の効果】この発明によれば、コイルに通電する電
流に比例した力が、荷重として加えられるので、ペレッ
ト、フレーム等の厚さのバラツキの影響を受けることな
く、安定したダイボンディング荷重が得られ、均一、高
精度のダイボンディングを行うことができる。また、Ｖ
ＣＭを用いることにより、衝突時の荷重をゼロにするこ
とも可能であり、ペレットに与えるダメージが大幅に減
少するという、利点がある。
流に比例した力が、荷重として加えられるので、ペレッ
ト、フレーム等の厚さのバラツキの影響を受けることな
く、安定したダイボンディング荷重が得られ、均一、高
精度のダイボンディングを行うことができる。また、Ｖ
ＣＭを用いることにより、衝突時の荷重をゼロにするこ
とも可能であり、ペレットに与えるダメージが大幅に減
少するという、利点がある。
【図１】この発明の一実施例を示すダイハンドリング部
コレット上下機構の概略構造を示す図である。
コレット上下機構の概略構造を示す図である。
【図２】同実施例ダイハンドリング部コレット上下機構
の動作を説明するためのタイムチャートである。
の動作を説明するためのタイムチャートである。
【図３】同実施例ダイハンドリング部コレット上下機構
を制御するための回路を示すブロック図である。
を制御するための回路を示すブロック図である。
【図４】従来のダイハンドリング部コレット上下機構を
示す概略図である。
示す概略図である。
１２ ヨーク １３ マグネット １４ コイル １５ 位置センサ １６ 保持板 １７ コレット １８ スライダ
Claims (1)
- 【請求項１】ヨークと、このヨークに固着されるマグネ
ットと、通電されることにより、その電流と前記マグネ
ットの磁束とによる電磁力で、前記ヨークに対し、相対
的に変位駆動されるコイルと、このコイルに連繋され、
コイルと同方向に相対的に移動するコレットとからなる
ダイハンドリング部のコレット上下機構。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3290209A JPH05131386A (ja) | 1991-11-06 | 1991-11-06 | ダイハンドリング部コレツト上下機構 |
| US07/919,888 US5402300A (en) | 1991-11-06 | 1992-07-27 | Collet lifting mechanism for die handling unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3290209A JPH05131386A (ja) | 1991-11-06 | 1991-11-06 | ダイハンドリング部コレツト上下機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05131386A true JPH05131386A (ja) | 1993-05-28 |
Family
ID=17753165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3290209A Pending JPH05131386A (ja) | 1991-11-06 | 1991-11-06 | ダイハンドリング部コレツト上下機構 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5402300A (ja) |
| JP (1) | JPH05131386A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100834837B1 (ko) * | 2006-12-29 | 2008-06-03 | 삼성전자주식회사 | 반도체 다이 픽업 장치와 이를 이용한 반도체 다이 픽업방법 |
| JP6086680B2 (ja) * | 2012-09-13 | 2017-03-01 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | ダイボンダ及びボンディング方法 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4370693A (en) * | 1979-08-17 | 1983-01-25 | Mcdonald Donald C | Demagnetizing apparatus for a workpiece holding electromagnet |
| US4429342A (en) * | 1981-04-24 | 1984-01-31 | Siemens Aktiengesellschaft | Impact printing device with an improved print hammer |
| US4797994A (en) * | 1986-04-22 | 1989-01-17 | Kulicke & Soffa Industries, Inc. | Apparatus for and methods of die bonding |
| US4910633A (en) * | 1988-09-07 | 1990-03-20 | Quinn Louis P | Magnetic levitation apparatus and method |
| DE3931628C2 (de) * | 1989-09-22 | 1994-01-20 | Steingroever Magnet Physik | Elektromagnet mit einstellbarem Luftspalt |
| US5173673A (en) * | 1990-06-20 | 1992-12-22 | Ericson Manufacturing Company | Magnetic solenoid resettable ground fault circuit interrupter |
| US5234530A (en) * | 1991-05-20 | 1993-08-10 | Eastman Kodak Company | Apparatus for controlling assembly force |
-
1991
- 1991-11-06 JP JP3290209A patent/JPH05131386A/ja active Pending
-
1992
- 1992-07-27 US US07/919,888 patent/US5402300A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5402300A (en) | 1995-03-28 |
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